JPH0754880Y2 - 電子線照射装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、被処理物にカーテン状の電子線を照射する電
子線照射装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第３図は従来の電子線照射装置の水平方向における概略
断面図である。電子線照射装置は、電源部10と電子線発
生部20と、照射室30とを含むものである。

電子線発生部20は、電子線を発生するターミナル21と、
電子線を真空空間（加速空間）で加速する電子加速管22
と、ターミナル21を電子加速管22内に取着する絶縁ブッ
シング23とを含むものである。また、電子加速管22の内
部は、図示しない拡散ポンプ等により真空に保たれてい
る。

電源部10は、ターミナル21内に格納された電子源である
フィラメント25を加熱する加熱用電源と、フィラメント
25とターミナル21のグリッド（図示しない）との間に高
電圧を印加する直流高電圧電源とを含むものである。こ
れらの電源装置は、放電防止のためには角のない円い形
状に形成することが望ましい。しかし、電源装置を丸い
円形状に形成することは困難であるので、これらの装置
は放電を防止するために円い形状の容器であるファラデ
ーケージ２内に収納されている。

また、センターコンダクタ50は、図示しないがターミナ
ル21のグリッドと電気的に接続されており、グリッドに
直流高電圧を供給するものである。このセンターコンダ
クタ50は円筒形状に形成され、その内部にはフィラメン
ト25に接続された導線3,3が絶縁物４を介して配置され
ている。

上記の構成によって、加熱用電源によりフィラメント25
に電力を供給すると、熱電子がフィラメント25から遊離
する。この状態で直流高電圧電源によりフィラメント25
とグリッドとの間に数百ボルトの電圧を印加すると、熱
電子はカーテン状の電子線として取り出され、被処理物
に照射される。

〔考案が解決しようとする課題〕

ところで、センターコンダクタ50は、主に固定具を介し
て絶縁ブッシング23にネジ止めにされ、導線3,3と他の
箇所との放電を防ぐため、絶縁ブッシング23からファラ
デーケージ２までの全域にわたって導線3,3を覆ってい
る。また、センターコンダクタ50の端部にはネジ等が露
出しているため、センターコンダクタ50の先端部は第３
図に示すようにファラデーケージ２の内部にまで挿入さ
れている。

したがって、センターコンダクタ50の中心軸方向に垂直
な方向Ｘ（スライド方向）にスライドさせてファラデー
ケージ２を取り出す場合には、センターコンダクタ50を
も一緒に取り外さなければならない。しかし、センター
コンダクタ50は電気的な接続がなされているだけでな
く、ガスシールが施されているものもあるので、その着
脱は容易ではない。このため、従来の電子線照射装置で
は、電源部10の点検・修理等のためにファラデーケージ
２をＸ方向に取り出す必要が生じた場合に、手間がかか
り、迅速な点検・修理等ができないという問題があっ
た。

本考案は上記事情に基づいてなされたものであり、ファ
ラデーケージの取り付け・取り外しを容易に行うことが
できる電子線照射装置を提供することを目的とするもの
である。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するための本考案は、電子源が放出し
た熱電子を、グリッドに直流電圧を供給して制御する電
子線照射装置において、前記グリッドに直流電圧を供給
するための導体を、長手方向において２以上の部分に分
割し、かつ該分割した部分を螺合して構成したことを特
徴とするものである。

〔作用〕

本考案は前記の構成によって、分割した導体の各部分が
螺合されているので、螺合の状態を加減することによ
り、導体の長手方向の寸法を可変することができる。

〔実施例〕

以下に本考案の一実施例を第１図及び第２図を参照して
説明する。第１図は本考案の一実施例である電子線照射
装置のセンターコンダクタの概略断面図、第２図は電子
線照射装置の垂直方向における概略断面図である。

ターミナル21は、電子源であるフィラメント（たとえば
線状陰極）25と、フィラメント25を支持するガン構造体
26と、ガン構造体26を収納するケース27と、発生した熱
電子を制御するグリッド28とを含むものである。

照射室30は、被処理物の搬送機構を備え、被処理物Ａに
電子線を照射する空間を有する。

照射窓部40は、箔膜状の窓箔41と、窓箔41を電子線発生
部20の下部に取着するための窓枠構造体42とを含むもの
であり、電子線発生部20の真空雰囲気と照射室30のガス
雰囲気とを仕切る共に、電子線を取り出す取出口でもあ
る。尚、本実施例において、従来のものと同一の機能を
有するものには、同一の符号を付すことにより、その詳
細な説明を省略する。

電子線照射装置の電源部10は、フィラメント25を加熱す
る加熱用電源と、フィラメント25とグリッド28との間に
数百ボルトの電圧を印加する直流高電圧電源とを含むも
のである。

加熱用電源及び直流高電圧電源の内部機器の形状は、一
般に凹凸があるので、放電を誘発し易い。このため、こ
れらの電源装置全体を円い形状の容器に収納している。
この容器がファラデーケージ２であり、約1mm厚のアル
ミニウム板を曲げて形成される。

ファラデーケージ２と絶縁ブッシング23との間にはセン
ターコンダクタ１（導体）と２本の導線3,3が渡されて
いるが、２本の導線3,3は加熱用電源によりフィラメン
ト25に加熱用の電力を供給するものである。またセンタ
ーコンダクタ１は直流高電圧電源によりフィラメント25
とグリッド28との間に直流高電圧を供給するものであ
る。尚、導線3,3間及びセンターコンダクタ１と導線3,3
との間は、数十ボルトの電位差であるが、導線3,3とセ
ンターコンダクタ１とは共に200KVの加速電圧にバイア
スされている。この高電圧のために、センターコンダク
タ１や導線3,3は放電を誘発し易い。

センターコンダクタ１は、アルミニウムを円筒状にして
形成し、その内部に導線３を収納している。これは導線
3,3が細い丸線であるために起こる放電を防止するため
である。絶縁物４は導線３とセンターコンダクタ１との
接触を防止するために用いられる。

電源部10内には、高電圧による不要な放電等を防止する
ために、絶縁ガスが封入されている。絶縁ブッシング23
は、この電源部10内の絶縁ガス雰囲気と電子加速管22内
の真空雰囲気とを仕切ると共に、ターミナル21を電子加
速管22の中空に支持するものである。

本実施例におけるセンターコンダクタ１は、第１図に示
すようにインナーコンダクタ1aと、カバーコンダクタ1b
と、スライドコンダクタ1cとに分割されている。インナ
ーコンダクタ1aの外側には雄ねじが、カバーコンダクタ
1bとスライドコンダクタ1cの内側にはインナーコンダク
タ1aの雄ねじに螺合する雌ねじが形成されている。

カバーコンダクタ1bはスライドコンダクタ1cと一体にな
って、インナーコンダクタ1aの尖鋭な雄ねじの表面を覆
い、インナーコンダクタ1aの雄ねじによる放電を防止す
る。尚、装置の運転時は、カバーコンダクタ1bはインナ
ーコンダクタ1aに固定され、カバーコンダクタ1bを動か
すことはできない。

上記の構成により、本実施例の電子線照射装置において
は、スライドコンダクタ1cを回転することにより、セン
ターコンダクタ１全体の長さを伸縮させ、センターコン
ダクタ１の先端部（スライドコンダクタ1cの先端部）を
ファラデーケージ２に容易に出し入れすることができ
る。したがって、ファラデーケージ２を着脱する際に、
センターコンダクタ１をも一緒に着脱する必要はなくな
る。すなわち、ファラデーケージ２を取り外す場合に
は、スライドコンダクタ1cを回転することにより、第１
図の一点鎖線で示すようにスライドコンダクタ1cの先端
部をファラデーケージ２の上部に引き出すことができる
ので、ファラデーケージ２をセンターコンダクタ１の中
心軸方向に垂直な方向にスライドさせて取り外す場合で
も、センターコンダクタ１を取り外すことなく、ファラ
デーケージ２だけを容易に取り外すことが可能となる。

尚、上記の実施例においては、センターコンダクタを３
つに分割した場合について説明したが、本考案はこれに
限定されるものではなく、センターコンダクタは２つに
又は４つに分割してもよい。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案によれば、センターコンダク
タを分割し伸縮自在な構造にすることによって、センタ
ーコンダクタの先端部をファラデーケージに容易に出し
入れすることができるので、電源部の点検・修理等の際
にはファラデーケージを容易に着脱することができ、か
かる点検・修理を迅速に行うことができる電子線照射装
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例である電子線照射装置のセン
ターコンダクタの概略断面図、第２図は電子線照射装置
の垂直方向における概略断面図、第３図は従来の電子線
照射装置の水平方向における概略断面図である。 １……センターコンダクタ、1a……インナーコンダク
タ、1b……カバーコンダクタ、1c……スライドコンダク
タ、２……ファラデーケージ、３……導線、４……絶縁
体、10……電源部、20……電子線発生部、21……ターミ
ナル、22……電子加速管、23……絶縁ブッシング、28…
…グリッド、30……照射室、40……照射窓部、Ａ……被
処理物。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】電子源が放出した熱電子を、グリッドに直
   流電圧を供給して制御する電子線照射装置において、前
   記グリッドに直流電圧を供給するための導体を、長手方
   向において２以上の部分に分割し、かつ該分割した部分
   を螺合して構成したことを特徴とする電子線照射装置。