JPH0755319B2 - 一次純水からの超々純水の製造方法及び装置 - Google Patents
一次純水からの超々純水の製造方法及び装置Info
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- JPH0755319B2 JPH0755319B2 JP4224544A JP22454492A JPH0755319B2 JP H0755319 B2 JPH0755319 B2 JP H0755319B2 JP 4224544 A JP4224544 A JP 4224544A JP 22454492 A JP22454492 A JP 22454492A JP H0755319 B2 JPH0755319 B2 JP H0755319B2
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- water
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- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
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- Y02A20/124—Water desalination
- Y02A20/131—Reverse-osmosis
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- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超々純水の製造方法に
係り、特に、半導体製造施設におけるユースポイント近
くで精製できる一次純水からの超々純水の製造方法に関
する。
係り、特に、半導体製造施設におけるユースポイント近
くで精製できる一次純水からの超々純水の製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体製造工場において超純水
は図４の如く市水から一次純水製造装置、サブシステム
（二次純水製造装置）を経て製造され各ユースポイント
に供給されていた。半導体の高集積化には、ユースポイ
ントまでの配管材質を変えたり、ユースポイント近くに
処理装置を置くこともアイデアとして発表されている。
即ち、半導体の高集積化が進むにつれユースポイントで
はより高品質な水、即ち超々純水が要求される。１例と
して、１６Mbitクラスの要求水質は超々純水である下記
表１に掲げる水質のものである。
は図４の如く市水から一次純水製造装置、サブシステム
（二次純水製造装置）を経て製造され各ユースポイント
に供給されていた。半導体の高集積化には、ユースポイ
ントまでの配管材質を変えたり、ユースポイント近くに
処理装置を置くこともアイデアとして発表されている。
即ち、半導体の高集積化が進むにつれユースポイントで
はより高品質な水、即ち超々純水が要求される。１例と
して、１６Mbitクラスの要求水質は超々純水である下記
表１に掲げる水質のものである。
【０００３】
【表１】
【０００４】そこでサブシステムからユースポイントま
での長距離配管の材質を高価な低溶質な物にする等配慮
しなければならなくなる。又サブシステムの処理量は数
１０ｍ3 ／ｈと大きく設置床面積が広いのが現状であ
り、ユースポイント近くに設置するには問題であった。
での長距離配管の材質を高価な低溶質な物にする等配慮
しなければならなくなる。又サブシステムの処理量は数
１０ｍ3 ／ｈと大きく設置床面積が広いのが現状であ
り、ユースポイント近くに設置するには問題であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した問
題点を解決し、装置を小型化して、ユースポイント近く
で超々純水を製造できる経済的な方法を提供することを
課題とする。
題点を解決し、装置を小型化して、ユースポイント近く
で超々純水を製造できる経済的な方法を提供することを
課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では、一次純水を受け入れ、ユースポイント
直前で超々純水まで精製する超々純水の製造方法におい
て、下記工程（ａ）〜（ｇ）を順次通すこととしたもの
である。 （ａ）一次純水を中間貯槽に受け入れ、ユースポイント
直前まで輸送する工程、（ｂ）輸送された一次純水を電
気再生型イオン交換装置で脱塩処理する工程、（ｃ）
（ｂ）の処理水の一部を気体透過膜の接液側に通水し、
接ガス側に水素を供給する工程、（ｄ）（ｂ）の処理水
の残部と（ｃ）の処理水を併せて、紫外線を照射する工
程、（ｅ）（ｄ）の処理水を水素脱気膜を通して処理す
る工程、（ｆ）（ｅ）の処理水をイオン交換樹脂により
処理する工程、（ｇ）（ｆ）の処理水を限外ろ過する工
程、上記方法において、工程（ｂ）の電気再生型イオン
交換装置は、イオン交換体として球状イオン交換樹脂も
使用できるが、コンパクトで且つ処理量を増加させるに
は接触面積を大きくとれるイオン交換繊維を用いるのが
よい。
に、本発明では、一次純水を受け入れ、ユースポイント
直前で超々純水まで精製する超々純水の製造方法におい
て、下記工程（ａ）〜（ｇ）を順次通すこととしたもの
である。 （ａ）一次純水を中間貯槽に受け入れ、ユースポイント
直前まで輸送する工程、（ｂ）輸送された一次純水を電
気再生型イオン交換装置で脱塩処理する工程、（ｃ）
（ｂ）の処理水の一部を気体透過膜の接液側に通水し、
接ガス側に水素を供給する工程、（ｄ）（ｂ）の処理水
の残部と（ｃ）の処理水を併せて、紫外線を照射する工
程、（ｅ）（ｄ）の処理水を水素脱気膜を通して処理す
る工程、（ｆ）（ｅ）の処理水をイオン交換樹脂により
処理する工程、（ｇ）（ｆ）の処理水を限外ろ過する工
程、上記方法において、工程（ｂ）の電気再生型イオン
交換装置は、イオン交換体として球状イオン交換樹脂も
使用できるが、コンパクトで且つ処理量を増加させるに
は接触面積を大きくとれるイオン交換繊維を用いるのが
よい。
【０００７】また、本発明では、一次純水を受け入れ、
ユースポイント直前で超々純水まで精製する超々純水の
製造装置において、一次純水を受け入れる中間貯槽と、
該中間貯槽から一次純水をユースポイント直前まで輸送
する手段を有し、（ａ）輸送された一次純水を脱塩処理
するイオン交換繊維を用いる電気再生型イオン交換装置
と、（ｂ）処理水の一部を接液側に通水し、接ガス側に
水素を供給する手段を有する気体透過膜と、（ｃ）紫外
線照射装置と、（ｄ）水素脱気膜と、（ｅ）イオン交換
樹脂装置と、（ｆ）限外ろ過装置、とを有し、前記
（ａ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）の各装置を順
次配管で連結すると共に、（ａ）から（ｃ）の配管にバ
イパス管を設けて（ｂ）の気体透過膜を配設したもので
ある。
ユースポイント直前で超々純水まで精製する超々純水の
製造装置において、一次純水を受け入れる中間貯槽と、
該中間貯槽から一次純水をユースポイント直前まで輸送
する手段を有し、（ａ）輸送された一次純水を脱塩処理
するイオン交換繊維を用いる電気再生型イオン交換装置
と、（ｂ）処理水の一部を接液側に通水し、接ガス側に
水素を供給する手段を有する気体透過膜と、（ｃ）紫外
線照射装置と、（ｄ）水素脱気膜と、（ｅ）イオン交換
樹脂装置と、（ｆ）限外ろ過装置、とを有し、前記
（ａ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）の各装置を順
次配管で連結すると共に、（ａ）から（ｃ）の配管にバ
イパス管を設けて（ｂ）の気体透過膜を配設したもので
ある。
【０００８】
【作用】電気再生型イオン交換装置の原理を、図２に示
す説明図を用いて、イオン交換繊維の場合を例に説明す
る。装置は、正と負の電極板１０、１１と、陽イオンと
陰イオン交換膜１２、１３及びイオン交換繊維１４から
なり、電源１７より電極板に電気を通す。被処理水を電
極板の間を流すことにより、水中の不純物、例えばＮａ
+ ，Ｃｌ- 等はイオン交換繊維のＨ+ ，ＯＨ- 基と置換
される。置換されたＮａ+ ，Ｃｌ- は該繊維を移動しイ
オン交換膜で選択透過されＮａ+ は負側の電極方向へ、
Ｃｌ- は正側の電極方向へ移動する。イオン交換繊維に
は、水中のＨ+ ，ＯＨ- が吸着し、常時再生状態が保持
されている。
す説明図を用いて、イオン交換繊維の場合を例に説明す
る。装置は、正と負の電極板１０、１１と、陽イオンと
陰イオン交換膜１２、１３及びイオン交換繊維１４から
なり、電源１７より電極板に電気を通す。被処理水を電
極板の間を流すことにより、水中の不純物、例えばＮａ
+ ，Ｃｌ- 等はイオン交換繊維のＨ+ ，ＯＨ- 基と置換
される。置換されたＮａ+ ，Ｃｌ- は該繊維を移動しイ
オン交換膜で選択透過されＮａ+ は負側の電極方向へ、
Ｃｌ- は正側の電極方向へ移動する。イオン交換繊維に
は、水中のＨ+ ，ＯＨ- が吸着し、常時再生状態が保持
されている。
【０００９】このように、電気再生型イオン交換装置に
おいては、イオン交換体が常に再生されるため、装置が
小型でも処理量を増大させることができ、更に従来のよ
うなイオン交換樹脂の再生や廃棄が不要となるという利
点がある。次に、本発明の（ｃ）〜（ｇ）の工程につい
ては、超々純水の製造方法として知られた工程であり、
それぞれの作用を説明する。前記の電気再生型イオン交
換装置で、一次純水中の金属イオン、無機イオン、及び
イオン性有機物質等のイオン性物質が除去された処理水
の一部を、工程（ｃ）で水素を溶存させる。
おいては、イオン交換体が常に再生されるため、装置が
小型でも処理量を増大させることができ、更に従来のよ
うなイオン交換樹脂の再生や廃棄が不要となるという利
点がある。次に、本発明の（ｃ）〜（ｇ）の工程につい
ては、超々純水の製造方法として知られた工程であり、
それぞれの作用を説明する。前記の電気再生型イオン交
換装置で、一次純水中の金属イオン、無機イオン、及び
イオン性有機物質等のイオン性物質が除去された処理水
の一部を、工程（ｃ）で水素を溶存させる。
【００１０】ついで工程（ｄ）の紫外線照射では、２０
０nm以下の波長を含む紫外線によって、被処理水中に残
存する有機物質及び溶存酸素が分解及び除去される。即
ち、有機物質は酸化され主に炭酸となり、後置のイオン
交換樹脂に吸着され、また溶存酸素は水素と活発に反応
して水を生成する。又殺菌線と言われる波長２６０nm付
近の紫外線によって殺菌も行われる。工程（ｅ）では、
工程（ｃ）によって溶解した水素が溶存酸素と反応した
残り、ならびに有機物分解中に生じた水素を水素脱気膜
によって除去する。
０nm以下の波長を含む紫外線によって、被処理水中に残
存する有機物質及び溶存酸素が分解及び除去される。即
ち、有機物質は酸化され主に炭酸となり、後置のイオン
交換樹脂に吸着され、また溶存酸素は水素と活発に反応
して水を生成する。又殺菌線と言われる波長２６０nm付
近の紫外線によって殺菌も行われる。工程（ｅ）では、
工程（ｃ）によって溶解した水素が溶存酸素と反応した
残り、ならびに有機物分解中に生じた水素を水素脱気膜
によって除去する。
【００１１】次に工程（ｆ）のイオン交換樹脂による処
理では、紫外線分解によるイオン性の分解生成物、極微
量溶出する重金属イオンを除去する。次に工程（ｇ）の
限外ろ過によって微粒子を除去する。この微粒子は被処
理水中に含まれるものの他、バクテリアの死菌、ポンプ
の発塵、イオン交換樹脂及び気体透過膜等から漏出した
ものを含む。このように、各工程を通すことにより、前
記した表１に記載の水質をもつ超々純水が得られる。
理では、紫外線分解によるイオン性の分解生成物、極微
量溶出する重金属イオンを除去する。次に工程（ｇ）の
限外ろ過によって微粒子を除去する。この微粒子は被処
理水中に含まれるものの他、バクテリアの死菌、ポンプ
の発塵、イオン交換樹脂及び気体透過膜等から漏出した
ものを含む。このように、各工程を通すことにより、前
記した表１に記載の水質をもつ超々純水が得られる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を実施例により説明するが、本
発明はこれらに限定されない。 実施例１ 図１は、本発明の超々純水の製造方法の概略システムを
示す工程図である。図１において、一次純水製造装置１
から、下記表２の水質の一次純水が、管６から屋内に設
置された中間貯槽２に送られて貯蔵される。
発明はこれらに限定されない。 実施例１ 図１は、本発明の超々純水の製造方法の概略システムを
示す工程図である。図１において、一次純水製造装置１
から、下記表２の水質の一次純水が、管６から屋内に設
置された中間貯槽２に送られて貯蔵される。
【００１３】
【表２】
【００１４】中間貯槽２の一次純水は、管７によって、
ユースポイント５の直前に設置された電気再生型イオン
交換装置３と工程（ｃ）〜（ｇ）の処理工程を行う超々
純水製造装置４とからなる処理装置によって、前記表１
の水質をもつ超々純水となって各ユースポイント５に送
られる。そして、余剰の超々純水はリターン管９によっ
て、中間貯槽２に返送され、循環している。
ユースポイント５の直前に設置された電気再生型イオン
交換装置３と工程（ｃ）〜（ｇ）の処理工程を行う超々
純水製造装置４とからなる処理装置によって、前記表１
の水質をもつ超々純水となって各ユースポイント５に送
られる。そして、余剰の超々純水はリターン管９によっ
て、中間貯槽２に返送され、循環している。
【００１５】次に、上記の装置３と４を詳しく説明す
る。電気再生型イオン交換装置３は、図２に示す構成と
なっており、中間貯槽２からの一次純水が管７から通水
され、イオン交換繊維とイオン交換膜によって被処理水
中の金属イオン（Ｎａ+ ）とか無機イオン（Ｃｌ- ）等
が分離され、イオン性物質の除去された処理水１５とイ
オン性物質の濃縮された排液１６が生成される。
る。電気再生型イオン交換装置３は、図２に示す構成と
なっており、中間貯槽２からの一次純水が管７から通水
され、イオン交換繊維とイオン交換膜によって被処理水
中の金属イオン（Ｎａ+ ）とか無機イオン（Ｃｌ- ）等
が分離され、イオン性物質の除去された処理水１５とイ
オン性物質の濃縮された排液１６が生成される。
【００１６】この装置３は例えば、処理量が５ｍ3 ／ｈ
又は１０ｍ3 ／ｈとすることができ、この場合、５ｍ3
／ｈ装置では使用ポンプの回転数制御により、１〜５ｍ
3 ／ｈ対応可能であり、１０ｍ3 ／ｈ装置では４〜１０
ｍ3 ／ｈ対応可能である。即ち、実際の使用量に対応し
た経済的運転が行える。処理水１５は、次に超々純水装
置４に送水される。超々純水装置４は、図３に系統図と
して示した構成からなる。
又は１０ｍ3 ／ｈとすることができ、この場合、５ｍ3
／ｈ装置では使用ポンプの回転数制御により、１〜５ｍ
3 ／ｈ対応可能であり、１０ｍ3 ／ｈ装置では４〜１０
ｍ3 ／ｈ対応可能である。即ち、実際の使用量に対応し
た経済的運転が行える。処理水１５は、次に超々純水装
置４に送水される。超々純水装置４は、図３に系統図と
して示した構成からなる。
【００１７】まず、送水された処理水１５の一部を分水
し、中空糸状の気体透過膜２１で水素２９を溶存させ、
処理水１５と合流して、紫外線照射装置２２に通水され
る。また、紫外線照射装置２２は角型で５ｍ3 ／ｈ処理
用の本発明の装置では有効容積は約１４０リットルであ
り、人工石英管を介した消費電力４２Ｗの低圧水銀ラン
プ３１本を点灯させた。紫外線照射装置２２で処理され
た処理水は、残留する水素を除去するため、水素脱気膜
２３に通水して水素を除去したのち、カートリッジ型イ
オン交換樹脂塔２４に加圧ポンプを用いて通水される。
なお、２６は溶存水素を吸引するための真空ポンプであ
る。
し、中空糸状の気体透過膜２１で水素２９を溶存させ、
処理水１５と合流して、紫外線照射装置２２に通水され
る。また、紫外線照射装置２２は角型で５ｍ3 ／ｈ処理
用の本発明の装置では有効容積は約１４０リットルであ
り、人工石英管を介した消費電力４２Ｗの低圧水銀ラン
プ３１本を点灯させた。紫外線照射装置２２で処理され
た処理水は、残留する水素を除去するため、水素脱気膜
２３に通水して水素を除去したのち、カートリッジ型イ
オン交換樹脂塔２４に加圧ポンプを用いて通水される。
なお、２６は溶存水素を吸引するための真空ポンプであ
る。
【００１８】カートリッジ型イオン交換樹脂塔２４に
は、十分洗浄したＨ型強酸性カチオン交換樹脂５リット
ルと、ＯＨ型強塩基性アニオン交換樹脂２５リットルと
を混合してＦＲＰ製容器に充填したものを２本を用い
た。イオン交換樹脂塔２４で処理された処理水は、加圧
ポンプ２８により、限外ろ過装置２５に送られて最終的
に処理され、超々純水８となる。限外ろ過装置２５は、
外圧型中空糸膜モジュール（旭化成ＯＬＴ−３０２６）
を用いた。このような工程によって処理することによ
り、超々純水、例えば１６Ｍビットに相当する表１の水
質の純水が得られる。
は、十分洗浄したＨ型強酸性カチオン交換樹脂５リット
ルと、ＯＨ型強塩基性アニオン交換樹脂２５リットルと
を混合してＦＲＰ製容器に充填したものを２本を用い
た。イオン交換樹脂塔２４で処理された処理水は、加圧
ポンプ２８により、限外ろ過装置２５に送られて最終的
に処理され、超々純水８となる。限外ろ過装置２５は、
外圧型中空糸膜モジュール（旭化成ＯＬＴ−３０２６）
を用いた。このような工程によって処理することによ
り、超々純水、例えば１６Ｍビットに相当する表１の水
質の純水が得られる。
【００１９】
【発明の効果】本発明の製造方法によれば、設置面積が
少なくてすみ、ユースポイント直前で超々純水が製造で
きる。例えば、半導体工場におけるサブシステムの設置
床面積は、処理量４０ｍ3 ／ｈを例にとると約１５０ｍ
2 で、使用樹脂量は約１．６ｍ3 である。サブシステム
に代行される電気再生型純水製造装置の設置床面積は５
ｍ3 ／ｈ処理装置で１．２ｍ2 であり、４０ｍ3 ／ｈで
は８倍の９．６ｍ2 で設置床面積は約１／１５でコンパ
クト化できる。
少なくてすみ、ユースポイント直前で超々純水が製造で
きる。例えば、半導体工場におけるサブシステムの設置
床面積は、処理量４０ｍ3 ／ｈを例にとると約１５０ｍ
2 で、使用樹脂量は約１．６ｍ3 である。サブシステム
に代行される電気再生型純水製造装置の設置床面積は５
ｍ3 ／ｈ処理装置で１．２ｍ2 であり、４０ｍ3 ／ｈで
は８倍の９．６ｍ2 で設置床面積は約１／１５でコンパ
クト化できる。
【００２０】使用樹脂量は半年で交換するとして年間約
３．２ｍ3 の樹脂が廃棄物として発生するが本装置に設
置された電気再生型純水製造装置の廃棄物量は零であ
る。更に屋外の一次純水製造装置から本装置迄の長距離
配管の材質も従来のクリーン塩ビで十分であり経済的で
ある等の効果がある。
３．２ｍ3 の樹脂が廃棄物として発生するが本装置に設
置された電気再生型純水製造装置の廃棄物量は零であ
る。更に屋外の一次純水製造装置から本装置迄の長距離
配管の材質も従来のクリーン塩ビで十分であり経済的で
ある等の効果がある。
【図１】本初明の製造方法の概略システムを示す工程
図。
図。
【図２】電気再生型イオン交換装置の原理説明図。
【図３】超々純水製造装置の工程図。
【図４】従来の純水供給システムを示す工程図。
１：一次純水製造装置、２：中間貯槽、３：電気再生型
イオン交換装置、４：超々純水製造装置、５：ユースポ
イント、６、７：一次純水配管、８：超々純水配管、
９：リターン水配管、１０：正電極板、１１：負電極
板、１２：陽イオン交換膜、１３：陰イオン交換膜、１
４：イオン交換繊維、１５：処理水、１６：排液、１
７：電源、１８：二次純水配管、１９：サブシステム、
２１：気体透過膜、２２：紫外線照射装置、２３：水素
脱気膜、２４：カートリッジ型イオン交換樹脂塔、２
５：限外ろ過装置、２６：真空ポンプ、２７、２８：加
圧ポンプ、２９：Ｈ2 ガス
イオン交換装置、４：超々純水製造装置、５：ユースポ
イント、６、７：一次純水配管、８：超々純水配管、
９：リターン水配管、１０：正電極板、１１：負電極
板、１２：陽イオン交換膜、１３：陰イオン交換膜、１
４：イオン交換繊維、１５：処理水、１６：排液、１
７：電源、１８：二次純水配管、１９：サブシステム、
２１：気体透過膜、２２：紫外線照射装置、２３：水素
脱気膜、２４：カートリッジ型イオン交換樹脂塔、２
５：限外ろ過装置、２６：真空ポンプ、２７、２８：加
圧ポンプ、２９：Ｈ2 ガス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０２Ｆ 1/32 1/42 Ｂ 1/44 Ｊ 8014−4Ｄ (72)発明者 河津 秀雄 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内 (56)参考文献 特開 平３−188988（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】 一次純水を受け入れ、ユースポイント直
前で超々純水まで精製する超々純水の製造方法におい
て、（ａ）一次純水を中間貯槽に受け入れ、ユースポイ
ント直前まで輸送する工程、（ｂ）輸送された一次純水
を電気再生型イオン交換装置で脱塩処理する工程、
（ｃ）（ｂ）の処理水の一部を気体透過膜の接液側に通
水し、接ガス側に水素を供給する工程、（ｄ）（ｂ）の
処理水の残部と（ｃ）の処理水を併せて、紫外線を照射
する工程、（ｅ）（ｄ）の処理水を水素脱気膜を通して
処理する工程、（ｆ）（ｅ）の処理水をイオン交換樹脂
により処理する工程、（ｇ）（ｆ）の処理水を限外ろ過
する工程、の各工程を順次通すことにより、一次純水を
精製して超々純水とすることを特徴とする超々純水の製
造方法。 - 【請求項２】 前記工程（ｂ）における電気再生型イオ
ン交換装置は、イオン交換繊維を用いることを特徴とす
る請求項１記載の超々純水の製造方法。 - 【請求項３】 一次純水を受け入れ、ユースポイント直
前で超々純水まで精製する超々純水の製造装置におい
て、一次純水を受け入れる中間貯槽と、該中間貯槽から
一次純水をユースポイント直前まで輸送する手段を有
し、（ａ）輸送された一次純水を脱塩処理するイオン交
換繊維を用いる電気再生型イオン交換装置と、（ｂ）処
理水の一部を接液側に通水し、接ガス側に水素を供給す
る手段を有する気体透過膜と、（ｃ）紫外線照射装置
と、（ｄ）水素脱気膜と、（ｅ）イオン交換樹脂装置
と、（ｆ）限外ろ過装置、とを有し、前記（ａ）、
（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）の各装置を順次配管で
連結すると共に、（ａ）から（ｃ）の配管にバイパス管
を設けて（ｂ）の気体透過膜を配設したことを特徴とす
る超々純水の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4224544A JPH0755319B2 (ja) | 1992-08-03 | 1992-08-03 | 一次純水からの超々純水の製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4224544A JPH0755319B2 (ja) | 1992-08-03 | 1992-08-03 | 一次純水からの超々純水の製造方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0655171A JPH0655171A (ja) | 1994-03-01 |
| JPH0755319B2 true JPH0755319B2 (ja) | 1995-06-14 |
Family
ID=16815463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4224544A Expired - Lifetime JPH0755319B2 (ja) | 1992-08-03 | 1992-08-03 | 一次純水からの超々純水の製造方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755319B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013064664A2 (en) | 2011-11-04 | 2013-05-10 | Arcelik Anonim Sirketi | A refrigerator having frozen food thawing function |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10128338A (ja) * | 1996-10-29 | 1998-05-19 | Ebara Corp | 電気再生式連続脱塩装置のスケール析出防止方法及び装置 |
| JP4034668B2 (ja) * | 2003-03-04 | 2008-01-16 | オルガノ株式会社 | 超純水製造システムおよびその運転方法 |
| JP5842347B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2016-01-13 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造用サブシステム |
| JP7192519B2 (ja) * | 2019-01-22 | 2022-12-20 | 栗田工業株式会社 | ホウ素超高純度除去型超純水製造装置及びホウ素超高純度除去超純水の製造方法 |
-
1992
- 1992-08-03 JP JP4224544A patent/JPH0755319B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013064664A2 (en) | 2011-11-04 | 2013-05-10 | Arcelik Anonim Sirketi | A refrigerator having frozen food thawing function |
| WO2013064664A3 (en) * | 2011-11-04 | 2013-08-15 | Arcelik Anonim Sirketi | A refrigerator having frozen food thawing function |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0655171A (ja) | 1994-03-01 |
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