JPH0755406A - 平面度測定器 - Google Patents
平面度測定器Info
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- JPH0755406A JPH0755406A JP20518393A JP20518393A JPH0755406A JP H0755406 A JPH0755406 A JP H0755406A JP 20518393 A JP20518393 A JP 20518393A JP 20518393 A JP20518393 A JP 20518393A JP H0755406 A JPH0755406 A JP H0755406A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定スパンの連続的かつ簡易な変更を可能と
し、さらに強度や硬度の小さい被測定物であっても正確
な測定が行えるようにする。 【構成】 測定子１３ｂの両側に位置する２つの接触子
１２及び１つの接触子１２をそれぞれ本体３１に移動自
在に取付けたキャリア３２，３３に取付ける。本体３１
の、測定子１３ｂ及び接触子１２の配列方向と平行する
各面の中央部に、その配列方向に沿って凹部３４，３
５，３６，３７ａ，３７ｂをそれぞれ形成し、本体３１
の軽量化を図る。
し、さらに強度や硬度の小さい被測定物であっても正確
な測定が行えるようにする。 【構成】 測定子１３ｂの両側に位置する２つの接触子
１２及び１つの接触子１２をそれぞれ本体３１に移動自
在に取付けたキャリア３２，３３に取付ける。本体３１
の、測定子１３ｂ及び接触子１２の配列方向と平行する
各面の中央部に、その配列方向に沿って凹部３４，３
５，３６，３７ａ，３７ｂをそれぞれ形成し、本体３１
の軽量化を図る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は例えば平面加工時や球
面加工時における平面度測定や球面度測定に用いる平面
度測定器に関する。
面加工時における平面度測定や球面度測定に用いる平面
度測定器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の平面度測定器は図２に示
すように、直方体状の本体１１の長手方向の一方側に２
つの接触子１２が取付けられ、他方側に１つの接触子１
２が取付けられ、これら２つの接触子１２と１つの接触
子１２との中間にダイヤルゲージ１３が取付けられて構
成されている。
すように、直方体状の本体１１の長手方向の一方側に２
つの接触子１２が取付けられ、他方側に１つの接触子１
２が取付けられ、これら２つの接触子１２と１つの接触
子１２との中間にダイヤルゲージ１３が取付けられて構
成されている。
【０００３】ダイヤルゲージ１３の本体１１への取付け
は、本体１１に形成された取付け穴１４にスリーブ１５
を介してダイヤルゲージ１３のステム１３ａを挿通し、
取付け穴１４に開口するように本体１１の側面から形成
されたねじ穴１６にねじ１７を螺合してその先端でスリ
ーブ１５を介してステム１３ａを本体１１に押圧固定す
ることによって行われる。ダイヤルゲージ１３の測定子
１３ｂは本体１１の底面１１ａから突出し、ステム１３
ａの軸方向において前後自在とされる。
は、本体１１に形成された取付け穴１４にスリーブ１５
を介してダイヤルゲージ１３のステム１３ａを挿通し、
取付け穴１４に開口するように本体１１の側面から形成
されたねじ穴１６にねじ１７を螺合してその先端でスリ
ーブ１５を介してステム１３ａを本体１１に押圧固定す
ることによって行われる。ダイヤルゲージ１３の測定子
１３ｂは本体１１の底面１１ａから突出し、ステム１３
ａの軸方向において前後自在とされる。
【０００４】軸状の接触子１２は、その一端が先細形状
とされてその先端に微小ボールが取付けられており、一
方他端部側の周面にはねじが形成されている。接触子１
２は、ねじ部の先端面にねじ穴が形成されたボルト１８
のそのねじ穴に螺合されてボルト１８と一体に連結固定
され、このボルト１８が本体１１に形成されたねじ穴１
９に螺合され、ナット２１で締結されることにより、本
体１１の底面１１ａからボール付先端側が突出されて本
体１１に固定される。
とされてその先端に微小ボールが取付けられており、一
方他端部側の周面にはねじが形成されている。接触子１
２は、ねじ部の先端面にねじ穴が形成されたボルト１８
のそのねじ穴に螺合されてボルト１８と一体に連結固定
され、このボルト１８が本体１１に形成されたねじ穴１
９に螺合され、ナット２１で締結されることにより、本
体１１の底面１１ａからボール付先端側が突出されて本
体１１に固定される。
【０００５】被測定面の大きさに対応して接触子１２の
取付け位置を変更できるように、つまり平面度（球面
度）の測定スパンを調節できるように、本体１１には複
数のねじ穴１９が形成されている。この例では２つの接
触子１２が取付けられる側には本体１１の長手方向に５
個、幅方向に２個の計１０個のねじ穴１９が配列形成さ
れており、一つの接触子１２が取付けられる他方側には
本体１１の長手方向に２個のねじ穴１９が配列形成され
ている。なお、１０個のねじ穴１９は本体１１幅方向の
２個が１組とされ、その１組に２つの接触子１２が取付
けられる。
取付け位置を変更できるように、つまり平面度（球面
度）の測定スパンを調節できるように、本体１１には複
数のねじ穴１９が形成されている。この例では２つの接
触子１２が取付けられる側には本体１１の長手方向に５
個、幅方向に２個の計１０個のねじ穴１９が配列形成さ
れており、一つの接触子１２が取付けられる他方側には
本体１１の長手方向に２個のねじ穴１９が配列形成され
ている。なお、１０個のねじ穴１９は本体１１幅方向の
２個が１組とされ、その１組に２つの接触子１２が取付
けられる。
【０００６】この平面度測定器２２による平面度の測定
は、被測定面の大きさに対応させて３つの接触子１２を
取付けた本体１１を、まず基準平面を構成する定盤上
に、各接触子１２の先端及び測定子１３ｂを接触させて
配して、ダイヤルメータ１３のダイヤルインジケータ１
３ｃのゼロ較正を行い、次にこのゼロ較正された平面度
測定器２２を被測定面上に配してダイヤルインジケータ
１３ｃの指針量、即ち基準平面からの測定子１３ｂの変
位量を読み取ることによって行われる。
は、被測定面の大きさに対応させて３つの接触子１２を
取付けた本体１１を、まず基準平面を構成する定盤上
に、各接触子１２の先端及び測定子１３ｂを接触させて
配して、ダイヤルメータ１３のダイヤルインジケータ１
３ｃのゼロ較正を行い、次にこのゼロ較正された平面度
測定器２２を被測定面上に配してダイヤルインジケータ
１３ｃの指針量、即ち基準平面からの測定子１３ｂの変
位量を読み取ることによって行われる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来の平面度測定器２２は被測定面の大きさに対応して測
定スパンを調節することができるものの、その調節は予
め本体１１に形成された複数のねじ穴１９から適当なも
のを選定して、その位置に接触子１２を取付けるもので
あるため、測定スパンを連続的に調節することができ
ず、つまり被測定面に対して測定スパンを最適に調節す
ることができない恐れがあり、また接触子１２の位置変
更は接触子１２が取付けられたボルト１８を本体１１か
ら一旦取外して再度取付け直すというように、手間のか
かるものとなっていた。
来の平面度測定器２２は被測定面の大きさに対応して測
定スパンを調節することができるものの、その調節は予
め本体１１に形成された複数のねじ穴１９から適当なも
のを選定して、その位置に接触子１２を取付けるもので
あるため、測定スパンを連続的に調節することができ
ず、つまり被測定面に対して測定スパンを最適に調節す
ることができない恐れがあり、また接触子１２の位置変
更は接触子１２が取付けられたボルト１８を本体１１か
ら一旦取外して再度取付け直すというように、手間のか
かるものとなっていた。
【０００８】さらに、直方体状とされた本体１１はかな
りの重量を有するため、例えば被測定物の強度が小さい
場合には、その重量により被測定物が変形し、つまり被
測定面が変形してその平面度を正確に測定することがで
きず、また被測定面の硬度が小さい場合には、接触子１
２の大きな接触圧により被測定面に傷がつき、平面度を
正確に測定することができないという問題があった。
りの重量を有するため、例えば被測定物の強度が小さい
場合には、その重量により被測定物が変形し、つまり被
測定面が変形してその平面度を正確に測定することがで
きず、また被測定面の硬度が小さい場合には、接触子１
２の大きな接触圧により被測定面に傷がつき、平面度を
正確に測定することができないという問題があった。
【０００９】この発明の目的はこれら従来の問題点を解
決し、測定スパンを連続的に、かつ簡易に変更すること
ができ、さらに強度や硬度の小さい被測定物であっても
平面度の測定を正確に行うことのできる平面度測定器を
提供することにある。
決し、測定スパンを連続的に、かつ簡易に変更すること
ができ、さらに強度や硬度の小さい被測定物であっても
平面度の測定を正確に行うことのできる平面度測定器を
提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は本体に被測定
面に対して前後自在に測定子を取付け、その測定子の一
方側において本体の底面から２つの接触子を突出させ、
測定子の他方側において本体の底面から１つの接触子を
突出させ、これら接触子の先端を被測定面上に接触させ
て本体を配し、測定子の変位がダイヤルインジケータで
示される平面度測定器において、測定子及び接触子の配
列方向に移動自在にキャリアを本体に取付け、そのキャ
リアに上記２つの接触子と１つの接触子との一方を取付
け、本体の上記配列方向と平行する各面の中央部に、上
記配列方向に沿って凹部を形成したものである。
面に対して前後自在に測定子を取付け、その測定子の一
方側において本体の底面から２つの接触子を突出させ、
測定子の他方側において本体の底面から１つの接触子を
突出させ、これら接触子の先端を被測定面上に接触させ
て本体を配し、測定子の変位がダイヤルインジケータで
示される平面度測定器において、測定子及び接触子の配
列方向に移動自在にキャリアを本体に取付け、そのキャ
リアに上記２つの接触子と１つの接触子との一方を取付
け、本体の上記配列方向と平行する各面の中央部に、上
記配列方向に沿って凹部を形成したものである。
【００１１】
【作用】上記のように構成されたこの発明では、キャリ
アを移動させることにより、接触子の位置は連続的に変
更され、また本体の軽量化が図られる。
アを移動させることにより、接触子の位置は連続的に変
更され、また本体の軽量化が図られる。
【００１２】
【実施例】この発明の一実施例を図１に示す。なお、図
２に示した従来の平面度測定器２２と対応する部分につ
いては同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。本
体３１の長手方向の中間部にダイヤルゲージ１３が取付
けられ、その測定子１３ｂが被測定面に対して前後自在
とされる。測定子１３ｂの一方側及び他方側において本
体３１の底面３１ａからそれぞれ突出される２つの接触
子１２及び１つの接触子１２はそれぞれキャリア３２，
３３を介して本体３１に取付けられる。
２に示した従来の平面度測定器２２と対応する部分につ
いては同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。本
体３１の長手方向の中間部にダイヤルゲージ１３が取付
けられ、その測定子１３ｂが被測定面に対して前後自在
とされる。測定子１３ｂの一方側及び他方側において本
体３１の底面３１ａからそれぞれ突出される２つの接触
子１２及び１つの接触子１２はそれぞれキャリア３２，
３３を介して本体３１に取付けられる。
【００１３】これら接触子１２及び測定子１３ｂの配列
方向と平行する本体３１の各面の中央部には、その配列
方向に沿って凹部がそれぞれ形成されている。この例で
は本体３１の底面３１ａ及び両側面３１ｂ，３１ｃに形
成された凹部３４，３５，３６はそれぞれ断面台形状と
されており、一方本体３１の上面３１ｄには取付け穴１
４を挾んで一対の断面矩形状の凹部３７ａ，３７ｂが形
成されている。なお、ダイヤルゲージ１３のステム１３
ａを本体３１に固定するために使用するねじ穴１６は凹
部３７ｂ及び取付け穴１４間に貫通形成され、本体３１
の側面３１ｃ側の、このねじ穴１６と対向する部分には
大径の穴３８が貫通形成され、ねじ１７の取付け及びね
じ締めが可能とされている。
方向と平行する本体３１の各面の中央部には、その配列
方向に沿って凹部がそれぞれ形成されている。この例で
は本体３１の底面３１ａ及び両側面３１ｂ，３１ｃに形
成された凹部３４，３５，３６はそれぞれ断面台形状と
されており、一方本体３１の上面３１ｄには取付け穴１
４を挾んで一対の断面矩形状の凹部３７ａ，３７ｂが形
成されている。なお、ダイヤルゲージ１３のステム１３
ａを本体３１に固定するために使用するねじ穴１６は凹
部３７ｂ及び取付け穴１４間に貫通形成され、本体３１
の側面３１ｃ側の、このねじ穴１６と対向する部分には
大径の穴３８が貫通形成され、ねじ１７の取付け及びね
じ締めが可能とされている。
【００１４】キャリア３２はスライダ３９、ストッパ４
１及びねじ４２が組立てられて構成される。スライダ３
９は板状体３９ａの一板面の長手方向の一端部に凸部３
９ｂ、他端部に凸部３９ｃがそれぞれ一体に突設されて
なり、板状体３９ａには接触子１２取付け用の２つのね
じ穴４３が長手方向に配列されて形成されている。凸部
３９ｂの先端は内側に折曲げられており、板状体３９ａ
の一板面を本体３１の底面３１ａと対接させた状態で、
本体３１の凹部３５の底面３１ａ側の内側斜面の一部と
対接可能とされる。
１及びねじ４２が組立てられて構成される。スライダ３
９は板状体３９ａの一板面の長手方向の一端部に凸部３
９ｂ、他端部に凸部３９ｃがそれぞれ一体に突設されて
なり、板状体３９ａには接触子１２取付け用の２つのね
じ穴４３が長手方向に配列されて形成されている。凸部
３９ｂの先端は内側に折曲げられており、板状体３９ａ
の一板面を本体３１の底面３１ａと対接させた状態で、
本体３１の凹部３５の底面３１ａ側の内側斜面の一部と
対接可能とされる。
【００１５】ストッパ４１は略コ字状とされ、そのコ字
の一方の脚部の外側面の両端部にはＣ面取りによる斜面
がそれぞれ形成されており、これら斜面部４１ａが本体
３１の凹部３６の底面３１ａ側の内側斜面の一部及び凹
部３６の上面３１ｄ側の角部とそれぞれ対接可能とされ
る。ストッパ４１のコ字の他方の脚部にはねじ穴４４が
形成されており、ストッパ４１のコ字の開口側からスラ
イダ３９の凸部３９ｃが挿入された状態で、ねじ４２が
ストッパ４１の外側からこのねじ穴４４に螺合され、ね
じ穴４４を挿通したねじ４２の先端が凸部３９ｃに回転
自在に係止されてキャリア３２が組立てられる。
の一方の脚部の外側面の両端部にはＣ面取りによる斜面
がそれぞれ形成されており、これら斜面部４１ａが本体
３１の凹部３６の底面３１ａ側の内側斜面の一部及び凹
部３６の上面３１ｄ側の角部とそれぞれ対接可能とされ
る。ストッパ４１のコ字の他方の脚部にはねじ穴４４が
形成されており、ストッパ４１のコ字の開口側からスラ
イダ３９の凸部３９ｃが挿入された状態で、ねじ４２が
ストッパ４１の外側からこのねじ穴４４に螺合され、ね
じ穴４４を挿通したねじ４２の先端が凸部３９ｃに回転
自在に係止されてキャリア３２が組立てられる。
【００１６】キャリア３３はスライダ４５、ストッパ４
１及びねじ４２がキャリア３２と同様に組立てられて構
成される。スライダ４５は接触子１２取付け用のねじ穴
４３が１つとされている点でのみスライダ３９と異な
り、その他の形状についてはスライダ３９と同一とされ
る。スライダ３９の２つのねじ穴４３及びスライダ４５
のねじ穴４３にそれぞれ接触子１２が凸部３９ｂ，４５
ｂと反対側から螺合されて取付けられる。
１及びねじ４２がキャリア３２と同様に組立てられて構
成される。スライダ４５は接触子１２取付け用のねじ穴
４３が１つとされている点でのみスライダ３９と異な
り、その他の形状についてはスライダ３９と同一とされ
る。スライダ３９の２つのねじ穴４３及びスライダ４５
のねじ穴４３にそれぞれ接触子１２が凸部３９ｂ，４５
ｂと反対側から螺合されて取付けられる。
【００１７】キャリア３２，３３はそれぞれスライダ３
９，４５の凸部３９ｂ，４５ｂとストッパ４１とによっ
て本体３１をその両側面３１ｂ，３１ｃ側から挾持する
ようにして本体３１に取付けられる。この際、ねじ４２
の螺合を進めて凸部３９ｂ，４５ｂとストッパ４１との
間隔をそれぞれ狭めることにより、凸部３９ｂ，４５ｂ
が本体３１の側面３１ｂ及び凹部３５に圧接し、ストッ
パ４１の斜面部４１ａが凹部３６に圧接し、かつスライ
ダ３９，４５の板状体３９ａ，４５ａが本体３１の底面
３１ａにそれぞれ圧接される。本体３１にキャリア３
２，３３がそれぞれ取付けられた状態でキャリア３２の
両接触子１２の中点、測定子１３ｂ及びキャリア３３の
接触子１２はほぼ同一直線上に位置されている。ねじ４
２をゆるめることによってキャリア３２，３３は本体３
１上を測定子１３ｂ及び接触子１２の配列方向にそれぞ
れ移動自在とされる。
９，４５の凸部３９ｂ，４５ｂとストッパ４１とによっ
て本体３１をその両側面３１ｂ，３１ｃ側から挾持する
ようにして本体３１に取付けられる。この際、ねじ４２
の螺合を進めて凸部３９ｂ，４５ｂとストッパ４１との
間隔をそれぞれ狭めることにより、凸部３９ｂ，４５ｂ
が本体３１の側面３１ｂ及び凹部３５に圧接し、ストッ
パ４１の斜面部４１ａが凹部３６に圧接し、かつスライ
ダ３９，４５の板状体３９ａ，４５ａが本体３１の底面
３１ａにそれぞれ圧接される。本体３１にキャリア３
２，３３がそれぞれ取付けられた状態でキャリア３２の
両接触子１２の中点、測定子１３ｂ及びキャリア３３の
接触子１２はほぼ同一直線上に位置されている。ねじ４
２をゆるめることによってキャリア３２，３３は本体３
１上を測定子１３ｂ及び接触子１２の配列方向にそれぞ
れ移動自在とされる。
【００１８】上述のように構成された平面度測定器４６
による平面度の測定は、キャリア３２，３３を移動させ
て被測定面の大きさに対応した測定スパンとなるように
各接触子１２を移動させた後、前述した従来の平面度測
定器２２と同様に行われる。なお、例えば本体３１の側
面３１ｃの上面３１ｄ側にキャリア３２，３３の移動方
向に伸長するスケールを設けておけば、スケールの目盛
を基準にしてキャリア３２，３３の位置を設定すること
ができるため、以前の測定状態を簡便かつ正確に再現す
ることができ、他の被測定物の測定を行った後、ある被
測定物を再度測定する場合などに極めて便利である。ス
ケールはスケール板の貼付けあるいは側面３１ｃに刻印
形成するなどして設けることができる。
による平面度の測定は、キャリア３２，３３を移動させ
て被測定面の大きさに対応した測定スパンとなるように
各接触子１２を移動させた後、前述した従来の平面度測
定器２２と同様に行われる。なお、例えば本体３１の側
面３１ｃの上面３１ｄ側にキャリア３２，３３の移動方
向に伸長するスケールを設けておけば、スケールの目盛
を基準にしてキャリア３２，３３の位置を設定すること
ができるため、以前の測定状態を簡便かつ正確に再現す
ることができ、他の被測定物の測定を行った後、ある被
測定物を再度測定する場合などに極めて便利である。ス
ケールはスケール板の貼付けあるいは側面３１ｃに刻印
形成するなどして設けることができる。
【００１９】上述した実施例では測定子１３ｂの両側の
２つの接触子１２及び１つの接触子１２をそれぞれキャ
リア３２，３３に取付けた構成としたが、例えば一方の
接触子１２のみをキャリアに取付け、他方の接触子１２
は本体３１に直接取付け、固定して、一方の接触子１２
のみを移動させる構成とすることもできる。
２つの接触子１２及び１つの接触子１２をそれぞれキャ
リア３２，３３に取付けた構成としたが、例えば一方の
接触子１２のみをキャリアに取付け、他方の接触子１２
は本体３１に直接取付け、固定して、一方の接触子１２
のみを移動させる構成とすることもできる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
接触子は本体に移動自在に取付けられたキャリアに取付
けられているため、接触子の位置、即ち測定スパンを連
続的に変更することができ、かつキャリアの移動はねじ
を若干ゆるめれば行うことができるため、平面度あるい
は球面度の測定を最適な測定スパンで簡易に行うことが
できる。
接触子は本体に移動自在に取付けられたキャリアに取付
けられているため、接触子の位置、即ち測定スパンを連
続的に変更することができ、かつキャリアの移動はねじ
を若干ゆるめれば行うことができるため、平面度あるい
は球面度の測定を最適な測定スパンで簡易に行うことが
できる。
【００２１】また、本体はその各面に凹部が形成されて
剛性を損うことなく、軽量化が図られているため、強度
や硬度の小さい被測定物であっても変形させたり、ある
いは傷つけたりすることなく、平面度を正確に測定する
ことができる。
剛性を損うことなく、軽量化が図られているため、強度
や硬度の小さい被測定物であっても変形させたり、ある
いは傷つけたりすることなく、平面度を正確に測定する
ことができる。
【図１】（Ａ）はこの発明による平面度測定器の一実施
例を示す正面図、（Ｂ），（Ｃ）はそれぞれその底面図
及び断面図。
例を示す正面図、（Ｂ），（Ｃ）はそれぞれその底面図
及び断面図。
【図２】（Ａ）は従来の平面度測定器を示す正面図、
（Ｂ），（Ｃ）はそれぞれその底面図及び一部を省略し
た断面図。
（Ｂ），（Ｃ）はそれぞれその底面図及び一部を省略し
た断面図。
１１ 本体 １２ 接触子 １３ｂ 測定子 １３ｃ ダイヤルインジケータ ３１ 本体 ３２，３３ キャリア ３４，３５，３６，３７ａ，３７ｂ 凹部
フロントページの続き (72)発明者 清水 清三 東京都渋谷区道玄坂１丁目21番６号 日本 航空電子工業株式会社内 (72)発明者 渡邉 昌彦 東京都渋谷区道玄坂１丁目21番６号 日本 航空電子工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 本体に被測定面に対して前後自在に測定
子を取付け、その測定子の一方側において上記本体の底
面から２つの接触子を突出させ、上記測定子の他方側に
おいて上記本体の底面から１つの接触子を突出させ、こ
れら接触子の先端を上記被測定面上に接触させて上記本
体を配し、上記測定子の変位がダイヤルインジケータで
示される平面度測定器において、 上記測定子及び接触子の配列方向に移動自在にキャリア
が上記本体に取付けられ、そのキャリアに上記２つの接
触子と１つの接触子との一方が取付けられ、 上記本体の上記配列方向と平行する各面の中央部に、上
記配列方向に沿って凹部が形成されてなる平面度測定
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20518393A JPH0755406A (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 平面度測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20518393A JPH0755406A (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 平面度測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755406A true JPH0755406A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16502790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20518393A Withdrawn JPH0755406A (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 平面度測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755406A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009139311A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Nippon Steel & Sumikin Metal Products Co Ltd | 平坦度測定装置 |
| JP2017138206A (ja) * | 2016-02-03 | 2017-08-10 | 損害保険ジャパン日本興亜株式会社 | 測定装置および測定システム |
| CN118548827A (zh) * | 2024-05-06 | 2024-08-27 | 江苏高越高新科技有限公司 | 一种氮化硅陶瓷材料覆铜质量检测装置 |
-
1993
- 1993-08-19 JP JP20518393A patent/JPH0755406A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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