JPH0755561A - 光検知装置 - Google Patents
光検知装置Info
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- JPH0755561A JPH0755561A JP20074393A JP20074393A JPH0755561A JP H0755561 A JPH0755561 A JP H0755561A JP 20074393 A JP20074393 A JP 20074393A JP 20074393 A JP20074393 A JP 20074393A JP H0755561 A JPH0755561 A JP H0755561A
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- Japan
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- light
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- filter
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 狭帯域の光を移動しつつ検出する光検知装置
に関し、簡単な構成でＳ／Ｎ比を向上させることができ
る光検知装置を提供することを目的とする。 【構成】 集光レンズ２と光検出器５との間に不要な帯
域の光をカットするために設けられた干渉フィルタ３を
光検出器５に対して固定されたフレーム６に回転自在に
保持し、フレーム６と干渉フィルタ３との間に設けられ
た圧電素子７を駆動回路８からの駆動信号により駆動す
ることにより干渉フィルタ３を回動させ、光検出器５に
対して角度をもたせ、入射光を屈折させることにより光
検出器５の検出位置を制御する。
に関し、簡単な構成でＳ／Ｎ比を向上させることができ
る光検知装置を提供することを目的とする。 【構成】 集光レンズ２と光検出器５との間に不要な帯
域の光をカットするために設けられた干渉フィルタ３を
光検出器５に対して固定されたフレーム６に回転自在に
保持し、フレーム６と干渉フィルタ３との間に設けられ
た圧電素子７を駆動回路８からの駆動信号により駆動す
ることにより干渉フィルタ３を回動させ、光検出器５に
対して角度をもたせ、入射光を屈折させることにより光
検出器５の検出位置を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光検知装置に係り、特に
狭帯域の光を移動しつつ検出する光検知装置に関する。
狭帯域の光を移動しつつ検出する光検知装置に関する。
【０００２】近年、可視域、近赤外域、遠赤外域あるい
はマイクロ波域などの光の反射・輻射の現象を利用し
て、人工衛星などによって高空からの超高域探査を行な
うリモートセンシングが行なわれている。
はマイクロ波域などの光の反射・輻射の現象を利用し
て、人工衛星などによって高空からの超高域探査を行な
うリモートセンシングが行なわれている。
【０００３】このようなリモートセンシングで用いられ
る光検出器にはＳＮ（シグナル・ノイズ）比の劣化なし
に狭帯域の光バンドの検出及び高空間分解能が要求され
ている。
る光検出器にはＳＮ（シグナル・ノイズ）比の劣化なし
に狭帯域の光バンドの検出及び高空間分解能が要求され
ている。
【０００４】
【従来の技術】図５に人工衛星によるリモートセンシン
グを説明するための図を示す。同図中、３１は人工衛星
を示す。人工衛星３１は光検知装置等を搭載し、例えば
約８００〔ｋｍ〕の上空を地上３２に対して約１８Km/s
の速度で飛翔しつつ、地上３２の画像をその飛翔方向
（矢印Ｃ2 方向）に平行な帯状の領域３３として獲え、
地上に送信する。
グを説明するための図を示す。同図中、３１は人工衛星
を示す。人工衛星３１は光検知装置等を搭載し、例えば
約８００〔ｋｍ〕の上空を地上３２に対して約１８Km/s
の速度で飛翔しつつ、地上３２の画像をその飛翔方向
（矢印Ｃ2 方向）に平行な帯状の領域３３として獲え、
地上に送信する。
【０００５】人工衛星等に搭載され移動しつつ光検知を
行なう光検知装置では信号積分時間をｔint ，受光素子
面積をＡ，単位面積当たりに入射される光量をφとする
と、ＳＮ比Ｓ／Ｎの理論限界は一般に Ｓ／Ｎ＝√（φ・Ａ・ｔint ） ・・・ (1) で表わされる。
行なう光検知装置では信号積分時間をｔint ，受光素子
面積をＡ，単位面積当たりに入射される光量をφとする
と、ＳＮ比Ｓ／Ｎの理論限界は一般に Ｓ／Ｎ＝√（φ・Ａ・ｔint ） ・・・ (1) で表わされる。
【０００６】このとき、空間分解能の向上は信号積分時
間ｔint 及び受光素子面積Ａが小さくなることを意味
し、光バンドの狭帯域化はφが小さくなることを意味
し、従って、式（１）より空間分解能の向上及び光バン
ドの狭帯域化はＳ／Ｎの劣化につながる。
間ｔint 及び受光素子面積Ａが小さくなることを意味
し、光バンドの狭帯域化はφが小さくなることを意味
し、従って、式（１）より空間分解能の向上及び光バン
ドの狭帯域化はＳ／Ｎの劣化につながる。
【０００７】このため、このままでは、高空間分解能及
び光バンドの狭帯域化を計ろうとするとＳ／Ｎが劣化し
てしまうため人工衛星に搭載される光検知装置ではＳ／
Ｎの向上を計るべくＩＭＣ（Image Motion Compensatio
n ：画像動作補償）なる補正動作を行ない高空間分解能
化及び光バンドの狭帯域化を計っている。
び光バンドの狭帯域化を計ろうとするとＳ／Ｎが劣化し
てしまうため人工衛星に搭載される光検知装置ではＳ／
Ｎの向上を計るべくＩＭＣ（Image Motion Compensatio
n ：画像動作補償）なる補正動作を行ない高空間分解能
化及び光バンドの狭帯域化を計っている。
【０００８】図６にＩＭＣによる補正の動作説明図を示
す。人工衛星３１は矢印Ｃ2 方向に一定速度で移動しつ
つ、光の検知を行なう。このとき、時刻ｔ1 〜ｔ3 では
同一の位置Ｐ1 ，時刻ｔ4 〜ｔ6 では同一の位置Ｐ2 ，
時刻ｔ7 〜ｔ9 では同一位置Ｐ3 からの光が搭載された
光検出器の受光面に入射するように光検知装置を制御し
ていた。
す。人工衛星３１は矢印Ｃ2 方向に一定速度で移動しつ
つ、光の検知を行なう。このとき、時刻ｔ1 〜ｔ3 では
同一の位置Ｐ1 ，時刻ｔ4 〜ｔ6 では同一の位置Ｐ2 ，
時刻ｔ7 〜ｔ9 では同一位置Ｐ3 からの光が搭載された
光検出器の受光面に入射するように光検知装置を制御し
ていた。
【０００９】ＩＭＣ補正によれば、同一位置Ｐ1 ，
Ｐ2 ，Ｐ3 の光を長い時間検出できるため、式（１）に
おける信号積分時間ｔint を長くすることができ、従っ
て、Ｓ／Ｎを向上させることができる。
Ｐ2 ，Ｐ3 の光を長い時間検出できるため、式（１）に
おける信号積分時間ｔint を長くすることができ、従っ
て、Ｓ／Ｎを向上させることができる。
【００１０】図７に光検知装置の従来の一例の構成図を
示す。従来の光検知装置４１は光を電気信号に変換する
リニアイメージセンサ４２，必要とする帯域の光のみを
透過させ、リニアイメージセンサ４２に供給する干渉フ
ィルタ４３，Ｓ／Ｎの大きい信号を得るためのＩＭＣ
（Image Motion Compensation ）鏡４４，入射光を集光
するための集光レンズ４５、ＩＭＣ鏡４４を矢印Ｄ方向
に回動させ、ＩＭＣ動作を行なうための駆動装置４６等
より構成されていた。
示す。従来の光検知装置４１は光を電気信号に変換する
リニアイメージセンサ４２，必要とする帯域の光のみを
透過させ、リニアイメージセンサ４２に供給する干渉フ
ィルタ４３，Ｓ／Ｎの大きい信号を得るためのＩＭＣ
（Image Motion Compensation ）鏡４４，入射光を集光
するための集光レンズ４５、ＩＭＣ鏡４４を矢印Ｄ方向
に回動させ、ＩＭＣ動作を行なうための駆動装置４６等
より構成されていた。
【００１１】撮像対象４７からの光は集光レンズ４５で
集光された後、ＩＭＣ鏡４４に入射し、ＩＭＣ鏡４４で
反射された後、干渉フィルタ４３で不要な高域の光がカ
ットされリニアイメージセンサ４２に供給される。
集光された後、ＩＭＣ鏡４４に入射し、ＩＭＣ鏡４４で
反射された後、干渉フィルタ４３で不要な高域の光がカ
ットされリニアイメージセンサ４２に供給される。
【００１２】このように、従来の光検知装置４１では光
路上にＩＭＣ鏡４４を設け、ＩＭＣ鏡４４の角度を制御
することによりＩＭＣ補正動作を行っていた。
路上にＩＭＣ鏡４４を設け、ＩＭＣ鏡４４の角度を制御
することによりＩＭＣ補正動作を行っていた。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来のこの
種の光検知装置ではＩＭＣ鏡を介して光検出器に径る光
路を形成する必要があったため、光路が長くなってしま
い、小型化が困難であると共にＩＭＣ鏡の分コストが上
昇してしまう等の問題点があった。
種の光検知装置ではＩＭＣ鏡を介して光検出器に径る光
路を形成する必要があったため、光路が長くなってしま
い、小型化が困難であると共にＩＭＣ鏡の分コストが上
昇してしまう等の問題点があった。
【００１４】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、ＩＭＣ鏡なしにＩＭＣ補正が可能となる光検知装置
を提供することを目的とする。
で、ＩＭＣ鏡なしにＩＭＣ補正が可能となる光検知装置
を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は検知対象に対し
て相対的に移動しつつ、該検知対象からの光のうち所定
の帯域の光をフィルタを介して光検知手段に供給し、検
知対象からの光の検知を行なう光検知装置において、前
記フィルタの前記光検知手段に対する傾斜を制御して、
前記検知対象からの光の屈折を制御することにより前記
光検知手段の光検知位置を制御するフィルタ駆動制御手
段をしてなる。
て相対的に移動しつつ、該検知対象からの光のうち所定
の帯域の光をフィルタを介して光検知手段に供給し、検
知対象からの光の検知を行なう光検知装置において、前
記フィルタの前記光検知手段に対する傾斜を制御して、
前記検知対象からの光の屈折を制御することにより前記
光検知手段の光検知位置を制御するフィルタ駆動制御手
段をしてなる。
【００１６】
【作用】検知対象からの光のうち所定の帯域の光を光検
知手段に供給するフィルタの光検知手段に対する傾斜を
駆動制御することにより、検知対象からの光をフィルタ
により屈折させ、光検知手段の光検知位置を制御する。
このため、光検知手段の光検知位置を制御するための手
段を光路上に別途設ける必要がなくなる。したがって、
装置内の光路を短くできる。
知手段に供給するフィルタの光検知手段に対する傾斜を
駆動制御することにより、検知対象からの光をフィルタ
により屈折させ、光検知手段の光検知位置を制御する。
このため、光検知手段の光検知位置を制御するための手
段を光路上に別途設ける必要がなくなる。したがって、
装置内の光路を短くできる。
【００１７】
【実施例】図１に本発明の一実施例の構成図を示す。本
実施例の光検知装置１は例えば、人工衛星によるリモー
トセンシングに利用される。
実施例の光検知装置１は例えば、人工衛星によるリモー
トセンシングに利用される。
【００１８】光検知装置１は主に入射光を集光する集光
レンズ２，集光レンズ２で集光された光より必要とする
帯域の光を透過させる干渉フィルタ３，干渉フィルタ３
を駆動する駆動部４，干渉フィルタ３を透過した光をそ
の光量に応じた電気信号に変換する光検出器５とより構
成される。
レンズ２，集光レンズ２で集光された光より必要とする
帯域の光を透過させる干渉フィルタ３，干渉フィルタ３
を駆動する駆動部４，干渉フィルタ３を透過した光をそ
の光量に応じた電気信号に変換する光検出器５とより構
成される。
【００１９】集光レンズ２は撮像対象１０からの入射光
を光検出器５の受光面５ａ上に集光させる。干渉フィル
タ３は集光レンズ２と光検出器５との間に配設され、必
要とする帯域の光を透過し、他の帯域の光をカットす
る。このとき、透過する光の帯域は干渉フィルタ３を構
成する材料によって決定され、可視光を透過させるため
にはサファイヤガラス等が用いられ、赤外光を透過させ
るためにはシリコン（Ｓｉ）系やゲルマニウム（Ｇｅ）
系のガラス材が用いられる。
を光検出器５の受光面５ａ上に集光させる。干渉フィル
タ３は集光レンズ２と光検出器５との間に配設され、必
要とする帯域の光を透過し、他の帯域の光をカットす
る。このとき、透過する光の帯域は干渉フィルタ３を構
成する材料によって決定され、可視光を透過させるため
にはサファイヤガラス等が用いられ、赤外光を透過させ
るためにはシリコン（Ｓｉ）系やゲルマニウム（Ｇｅ）
系のガラス材が用いられる。
【００２０】干渉フィルタ３は駆動部４により矢印Ａ方
向に回動自在に保持される。駆動部４は干渉フィルタ３
を回動自在に保持するためのフレーム６，干渉フィルタ
３を矢印Ａ方向に所定の周波数で揺動させる圧電素子
７，圧電素子７に駆動信号を供給する駆動回路８より構
成される。フレーム６は光検出器４に対して固定して設
けられていて、干渉フィルタ３の端面に固着された回転
軸９を軸受けし、干渉フィルタ３を回転軸９を中心に矢
印Ａ方向に回動自在に保持する。
向に回動自在に保持される。駆動部４は干渉フィルタ３
を回動自在に保持するためのフレーム６，干渉フィルタ
３を矢印Ａ方向に所定の周波数で揺動させる圧電素子
７，圧電素子７に駆動信号を供給する駆動回路８より構
成される。フレーム６は光検出器４に対して固定して設
けられていて、干渉フィルタ３の端面に固着された回転
軸９を軸受けし、干渉フィルタ３を回転軸９を中心に矢
印Ａ方向に回動自在に保持する。
【００２１】圧電素子７はフレーム６と干渉フィルタ３
との間に設けられ、駆動回路８から供給される駆動信号
に応じて矢印Ｂ方向に振動し、干渉フィルタ３を矢印Ａ
方向に回動させる。干渉フィルタ３が回動することによ
り、干渉フィルタ３が光検出器５に対して傾斜し、入射
光Ｌを屈折させ、入射光Ｌの光検出器５の受光面積５ａ
への入射位置が変位する。
との間に設けられ、駆動回路８から供給される駆動信号
に応じて矢印Ｂ方向に振動し、干渉フィルタ３を矢印Ａ
方向に回動させる。干渉フィルタ３が回動することによ
り、干渉フィルタ３が光検出器５に対して傾斜し、入射
光Ｌを屈折させ、入射光Ｌの光検出器５の受光面積５ａ
への入射位置が変位する。
【００２２】駆動回路８は発振回路等より構成され、得
ようとする空間分解能及び人工衛星の移動速度に応じた
周波数の駆動信号を生成し、圧電素子７に供給する。
ようとする空間分解能及び人工衛星の移動速度に応じた
周波数の駆動信号を生成し、圧電素子７に供給する。
【００２３】光検出器５はラインイメージセンサ等で構
成され、複数の受光素子５ｂがライン状に配列されてお
り、撮像対象をライン毎に読み取り、その画像を形成す
るように構成されている。受光素子５ｂは干渉フィルタ
３を透過した帯域の光を電気信号に効率的に変換できる
材料で構成されており、赤外光を検知しようとする場合
には水銀−カドミウム−テルル（ＨｇＣｄＴｅ）等の化
合物半導体によりＰＮ接合を形成する構成とされてい
る。
成され、複数の受光素子５ｂがライン状に配列されてお
り、撮像対象をライン毎に読み取り、その画像を形成す
るように構成されている。受光素子５ｂは干渉フィルタ
３を透過した帯域の光を電気信号に効率的に変換できる
材料で構成されており、赤外光を検知しようとする場合
には水銀−カドミウム−テルル（ＨｇＣｄＴｅ）等の化
合物半導体によりＰＮ接合を形成する構成とされてい
る。
【００２４】以上の構成の光検知装置１は人工衛星３１
に搭載され、矢印Ｃ2 方向に移動しつつ、光検知を行な
う。
に搭載され、矢印Ｃ2 方向に移動しつつ、光検知を行な
う。
【００２５】図２，図３に本発明の一実施例の動作説明
図を示す。圧電素子７が矢印Ｂ1 方向に変移した場合に
は干渉フィルタ３が回転軸９を中心に矢印Ａ1 方向に回
動して、干渉フィルタ３は図２（Ａ）に示すように傾斜
し、図３（Ａ）に示すように、光軸ＬA が矢印Ｃ1 方向
にずれる。
図を示す。圧電素子７が矢印Ｂ1 方向に変移した場合に
は干渉フィルタ３が回転軸９を中心に矢印Ａ1 方向に回
動して、干渉フィルタ３は図２（Ａ）に示すように傾斜
し、図３（Ａ）に示すように、光軸ＬA が矢印Ｃ1 方向
にずれる。
【００２６】また、圧電素子７が変位しない場合には干
渉フィルタ３は図２（Ｂ）に示すように水平に保持さ
れ、図３（Ｂ）に示すように、光軸ＬB にずれは生じな
い。
渉フィルタ３は図２（Ｂ）に示すように水平に保持さ
れ、図３（Ｂ）に示すように、光軸ＬB にずれは生じな
い。
【００２７】また、圧電素子７が矢印Ｂ2 方向に変位し
た場合には干渉フィルタ３が回転軸９を中心に矢印Ａ2
方向に回動して、干渉フィルタ３は図２（Ｃ）に示すよ
うに傾斜し、光軸ＬC が矢印Ｃ2 方向にずれる。
た場合には干渉フィルタ３が回転軸９を中心に矢印Ａ2
方向に回動して、干渉フィルタ３は図２（Ｃ）に示すよ
うに傾斜し、光軸ＬC が矢印Ｃ2 方向にずれる。
【００２８】このとき、光軸Ｌのずれは干渉フィルタ３
の屈折率及び傾斜角により決定される。
の屈折率及び傾斜角により決定される。
【００２９】図４に干渉フィルタ３の動作説明図を示
す。干渉フィルタ３を図６に示す時刻ｔ1 〜ｔ9 に対応
させ図４に示すように傾斜させることにより、図６に示
すように時刻ｔ1 〜ｔ3 で同一位置Ｐ1 の光を光検出器
５の受光面５ａに入射させ、時刻ｔ4 〜ｔ6 で同一位置
Ｐ2 の光を光検出器５の受光面５ａに入射させ、時刻ｔ
7 〜ｔ9 で同一位置Ｐ3 の光を光検出器５の受光面５ａ
に入射させることができる。
す。干渉フィルタ３を図６に示す時刻ｔ1 〜ｔ9 に対応
させ図４に示すように傾斜させることにより、図６に示
すように時刻ｔ1 〜ｔ3 で同一位置Ｐ1 の光を光検出器
５の受光面５ａに入射させ、時刻ｔ4 〜ｔ6 で同一位置
Ｐ2 の光を光検出器５の受光面５ａに入射させ、時刻ｔ
7 〜ｔ9 で同一位置Ｐ3 の光を光検出器５の受光面５ａ
に入射させることができる。
【００３０】このように、本実施例では干渉フィルタ３
を傾斜させ、その屈折率により光を変位させることによ
りＩＭＣを行なう。このため、ＩＭＣ鏡等が不要とな
る。
を傾斜させ、その屈折率により光を変位させることによ
りＩＭＣを行なう。このため、ＩＭＣ鏡等が不要とな
る。
【００３１】以上のように本実施例によれば、ＩＭＣ鏡
等の不要な構成なしに図６に示すようなＩＭＣの動作を
行なうことができ、ＳＮ比Ｓ／Ｎを向上させることがで
きる。
等の不要な構成なしに図６に示すようなＩＭＣの動作を
行なうことができ、ＳＮ比Ｓ／Ｎを向上させることがで
きる。
【００３２】従って、簡単な構成でＳＮ比の向上が計
れ、故障や不良の要因の低減及びコストの低減が行なえ
ると共に、入射光の光路も短縮でき、全体として小型化
が計れる。
れ、故障や不良の要因の低減及びコストの低減が行なえ
ると共に、入射光の光路も短縮でき、全体として小型化
が計れる。
【００３３】なお、本実施例では人工衛星に搭載された
光検知装置について説明したが、これに限ることはな
く、要は検出対象に対して相対的に移動しつつ、光の検
知を行なうものであればよく、また、逆に検出対象側が
移動する構成のものであってもよい。
光検知装置について説明したが、これに限ることはな
く、要は検出対象に対して相対的に移動しつつ、光の検
知を行なうものであればよく、また、逆に検出対象側が
移動する構成のものであってもよい。
【００３４】また、本実施例では光検知器５としてリニ
アイメージセンサを用いたが、これに限ることはなく、
エリアアレイイメージセンサを用いた光検出器を用いる
構成も考えられる。
アイメージセンサを用いたが、これに限ることはなく、
エリアアレイイメージセンサを用いた光検出器を用いる
構成も考えられる。
【００３５】
【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、駆動手段
によりフィルタを傾斜させ、フィルタの持つ、屈折率に
より光軸をずらすことにより、ＩＭＣ動作を行なうこと
ができるため、ＩＭＣ鏡等の不要な構成なく、簡単な構
成でＩＭＣ動作を行なえ、故障や不良の発生要因を低減
できると共にコストを低減でき、また、入射光の光路を
短縮できるため、装置の大幅な小型化も計れる等の特長
を有する。
によりフィルタを傾斜させ、フィルタの持つ、屈折率に
より光軸をずらすことにより、ＩＭＣ動作を行なうこと
ができるため、ＩＭＣ鏡等の不要な構成なく、簡単な構
成でＩＭＣ動作を行なえ、故障や不良の発生要因を低減
できると共にコストを低減でき、また、入射光の光路を
短縮できるため、装置の大幅な小型化も計れる等の特長
を有する。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】本発明の一実施例の駆動回路の出力駆動信号波
形図である。
形図である。
【図３】本発明の一実施例の動作説明図である。
【図４】本発明の一実施例の動作説明図である。
【図５】人工衛星によるリモートセンシングを説明する
ための図である。
ための図である。
【図６】ＩＭＣの動作説明図である。
【図７】従来の一例の構成図である。
１ 光検知装置 ２ 集光レンズ ３ 干渉フィルタ ４ 光検出器 ５ 駆動部 ６ フレーム ７ 圧電素子 ８ 駆動回路
Claims (2)
- 【請求項１】 検知対象（１０）からの光のうち所定の
帯域の光をフィルタ（３）を介して光検知手段（５）に
供給し、該検知対象（１０）からの光の検知を行なう光
検知装置において、 前記フィルタ（３）を回転駆動し、前記フィルタ（３）
の前記光検知手段（５）に対する傾斜を制御して、前記
検知対象からの光の屈折を制御することにより前記光検
知手段（５）の光検知位置を制御するフィルタ駆動制御
手段（４）を有することを特徴とする光検知装置。 - 【請求項２】 前記光検知手段（５）は前記検知対象に
対して相対的に移動しつつ、光検知を行なう構成とされ
ており、前記フィルタ駆動制御手段（４）は前記光検知
手段（５）の光検知位置（Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 ）が所定の
時間（ｔ1 〜ｔ3 ，ｔ4 〜ｔ6 ，ｔ6 〜ｔ9 ）同一とな
るように前記フィルタ（３）の傾斜を制御することを特
徴とする請求項１記載の光検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20074393A JPH0755561A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | 光検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20074393A JPH0755561A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | 光検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755561A true JPH0755561A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16429438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20074393A Withdrawn JPH0755561A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | 光検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755561A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006292487A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ムラ検査装置およびムラ検査方法 |
| JP2011013630A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Ricoh Co Ltd | 撮像装置 |
| CN114353830A (zh) * | 2021-12-27 | 2022-04-15 | 北京遥感设备研究所 | 一种用于恒星标校的光路切换装置及切换方法 |
-
1993
- 1993-08-12 JP JP20074393A patent/JPH0755561A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006292487A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ムラ検査装置およびムラ検査方法 |
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| CN114353830A (zh) * | 2021-12-27 | 2022-04-15 | 北京遥感设备研究所 | 一种用于恒星标校的光路切换装置及切换方法 |
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