JPH075678A - 露光用マスクの製造方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、露光用マスク本体に防塵用の薄膜
体を貼着刷る際に、マスク本体のパターン層における異
物の検査においては、検査中に異物がパターン層に付着
するのを防止するとともに、薄膜体をマスク本体に取り
付ける際に、パターン層に異物が付着するのを防止で
き、しかも異物の混入のため一旦付着した薄膜体を剥が
す必要がなく作業が容易で、且つ迅速に行うことがで
き、しかも経済的な露光用マスクの製造方法及びその装
置を提供することを目的とする。 【構成】そして、その構成上の要旨は、マスク本体２を
支持し、その後に薄膜体７をその貼着部がマスク本体２
と隙間を有するように保持し、その状態でマスク本体２
の上面の異物の有無の検査を行い、異物が無い場合に、
薄膜体７をマスク本体２に貼着することにある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶・半導体等
用の露光用マスク製造方法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、パターン層の形成されたマスク本
体に防塵用の薄膜体を貼着する際には、先ずパターン層
が上方に向くようにマスク本体を支持した後にパターン
層全面を開口した状態でその一端側より順次検査し、塵
埃等の異物がマスク本体の上面に付着していればエアー
の噴射等で洗浄して取り除き、その後薄膜体を作業者に
よりマスク本体に貼着して取り付けられていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の露光マスク
の製造において、薄膜体をマスク本体に貼着する前に行
う異物の有無の検査は、マスク本体の上方を開放した状
態でパターン層の一方より順次検査するので検査中にす
でに検査済の部分に塵埃等の異物が付着したり、また薄
膜体を作業者がマスク本体に貼着する際にパターン層に
異物が付着するおそれがあり、これらの異物が薄膜体を
貼着した後に行う検査において発見された場合には、一
度貼着した薄膜を剥がして取り除き、パターン層を洗浄
し、その後再度薄膜を貼着しなければならない等の作業
が必要となり、作業が煩雑で作業能率の低下を招く等の
問題があった。

【０００４】また、上記のように異物が薄膜体を貼着し
た後に発見された場合には、薄膜体を剥がして、異物を
除去しなければならないことから、薄膜体の使用量が多
くなり不経済であるという問題点があった。

【０００５】本発明は上記問題点に鑑みて発明されたも
ので、パターン層における異物の検査においては、検査
中に異物がパターン層に付着するのを防止するととも
に、薄膜体をマスク本体に取り付ける際に、パターン層
に異物が付着するのを防止でき、しかも異物の混入のた
め一旦貼着した薄膜体を剥がす必要がなく作業が容易
で、且つ迅速に行うことができ、しかも経済的な露光用
マスクの製造方法及びその装置を提供することを課題と
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために露光用マスクの製造方法及びその装置とし
てなされるもので露光用マスクの製造方法としての特徴
は、リソグラフィ工程等によりパターン層２ａをマスク
本体２に形成した後に、パターン層２ａを塵埃等の異物
より保護するための薄膜体７をマスク本体２のパターン
層２ａ側に貼着する露光用マスクの製造方法において、
前記マスク本体２を支持し、その後に薄膜体７をその貼
着部がマスク本体２と隙間を有するように保持し、その
状態でマスク本体２の上面の異物の有無の検査を行い、
異物の無い場合に、薄膜体７をマスク本体２に貼着こと
にある。

【０００７】また、露光用マスク製造装置としての特徴
は、リソグラフィ工程等によりパターン層２ａの形成さ
れたマスク本体２を支持可能な支持部本体４と、該支持
部本体４のパターン層２ａ側に保護用の薄膜体７を貼着
すべく該薄膜体７を移動自在で且つその貼着部がマスク
本体２と隙間を有する対向位置で保持可能な保持体６と
を備えてなることにある。

【０００８】

【作用】すなわち、本発明の露光用マスクの製造方法及
びその装置において、マスク本体２を支持装置４で支持
し、薄膜体７をその貼着部と前記マスク本体２の貼着部
とが隙間を有する状態で保持体６により保持する。この
ように薄膜体７をマスク本体２の近傍でお互いに対向す
る状態に保持した状態でマスク本体２の上面を検査す
る。このとき、マスク本体２の上面は薄膜体７で被覆さ
れているため、異物がパターン層２ａ等に付着するおそ
れはない。また、仮にこの検査時に異物が発見された時
には薄膜体７を移動してマスク本体２を洗浄する。異物
の発見されない時には、薄膜体７を移動させて薄膜体７
をマスク本体２に貼着する。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面に従っ
て説明する。図１において、１は露光マスク製造装置を
示し、略矩形で内部にマスク本体２を収納可能な収納凹
部３を有する支持部本体４と、該支持部本体４の両側面
５に設けられた移動手段１０と、該移動手段１０の上端
に取り付けられ、フレーム８に薄膜体７を保持可能な略
矩形の保持体６とで構成されている。

【００１０】前記支持部本体４は図２に示すように、そ
の収納凹部３の底面の四隅には、軟質のラバー体１３が
敷設され、上面にはバネ１１ａにより突出方向に付勢さ
れた支持体１１がそれぞれ出退自在に設けられている。

【００１１】前記移動手段１０は、一対の板体を支軸１
０ａを中心にして交差して形成され、その下端が支持部
本体４に、上端を保持体６にそれぞれ回動自在に軸着さ
れている。支持部本体４の両側画５には、図３及び図４
に示すように、前記保持体６を上方位置で保持すべく移
動手段１０に係脱自在に係止する阻止体１２が、出退自
在に設けられている。尚、１２ａは阻止体１２と突出方
向に付着するバネである。

【００１２】前記保持体６は、略矩形状の枠体よりな
り、その側面には図５に示すように一対の係止体１４が
挿通され、該係止体１４の先端部１４ｂをフレーム８の
側面の中央に周設された凹部８ａに嵌入させることでフ
レーム８を保持可能に形成されている。また、この係止
体１４はバネ１４ｃにより突出方向に付勢されている。

【００１３】次に、上記構成からなる装置を使用して露
光マスクを製造する場合について説明する。先ず、リソ
グラフィ工程により製造されたマスク本体２のパターン
層２ａを、エアーの噴射により洗浄し、その後前記パタ
ーン層２ａに異物の有無を検査する。そして、異物の付
着していないマスク本体２をパターン層２ａが上向とな
るように前記支持部本体４の収納凹部３に嵌入する。

【００１４】一方、パターン層２ａに異物が付着してい
れば、再度エアーの噴射によりパターン層を洗浄する。

【００１５】次に、薄膜体７のフレーム８を保持体６に
位置し且つフレーム８の外周凹部８ａに係止体１４の先
端部１４ｂを挿入する。 このとき保持体６は上方位置
にある（図２参照）。次に、保持体６を下方に押すと移
動手段１０が支軸１０ａを中心にして回動することによ
り、保持体６は下降し支持体１１の上端に当接する（図
６参照）。この際に、薄膜体７は、接着剤の塗布された
フレーム８の下端がマスク本体２の上面の貼着部と隙間
を有するように保持される。

【００１６】異物が無い場合は更に保持体６を支持体１
１の弾性に抗して押圧することでフレーム８の下面がマ
スク本体２の上面に当接し、これにより薄膜体７は接着
剤を介してマスク本体２に貼着される（図７参照）。

【００１７】一方、異物が検出された場合には、支持体
１１で支持された保持体６を押しあげマスク本体２を支
持部本体４より取り外し、エアー等の噴射で洗浄して異
物を取り除き、再度支持部本体４に嵌入して、さらに異
物の有無の検査を行う。

【００１８】このように、薄膜体７をマスク本体２の近
傍で対向状に設置して、薄膜７の上方より異物の検査を
行うことができるので、異物の付着を発見した場合で
も、貼着された薄膜体７をフレーム８から取り外す必要
がなく、このため高価な薄膜体７を無駄に使用すること
がないと言う利点がある。

【００１９】尚、上記実施例では移動手段１０として２
本の板体を用いて上下動可能にしたが、同様な上下動を
するもので有れば特にその形状は限定するものでなく、
例えば図８に示すように、案内棒２０を介して上下動自
在に取り付けられたフレーム６のアーム部２１をシリン
ダー２２のロット２２ａに連結することもできる。

【００２０】又、上記実施例ではマスク本体２をそのパ
ターン層２ａが上向きに位置するように支持したが、パ
ターン層２ａの向きは上向きに限定するものでなく、例
えば下向きに支持することで同様な効果を得ることがで
きる。

【００２１】尚、本考案は上記実施例に限定されるもの
でなく支持部本体４と保持体６の形状は特に問うもので
はなく、薄膜体７の形状に応じて適時に決定自在であ
る。

【発明の効果】叙上の様に、本発明は、マスク本体を支
持し、その後に薄膜体をその貼着部がマスク本体と隙間
を有するように保持し、その状態でマスク本体の上面の
異物の有無の検査を行い、異物の無い場合に、薄膜体を
マスク本体に貼着するので、マスク本体の上面を薄膜体
で覆うことができ、これによりパターン層の異物の検査
においては検査中に異物がパターン層に付着するのを容
易に防止するができ、且マスク本体に薄膜体を取り付け
る際にもパターン層に異物が付着するのを防止でき、し
かも従来のように異物混入のために一旦付着した薄膜体
を剥がすことがないので、作業が容易で且つ迅速に行う
ことができる。しかも何度も薄膜体を張り替える必要が
ないので、経済的であるという特別顕著な利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光用マスク製造装置を示す斜視図。

【図２】本発明の露光用マスク製造装置を示す断面図。

【図３】本発明の移動装置を示す正面図。

【図４】本発明の移動装置を示す基部側拡大断面図。

【図５】本発明の保持体の係止体を示す拡大断面図。

【図６】本発明の使用状態を示す断面図。

【図７】本発明の使用状態を示す断面図。

【図８】他実施例を示す断面図。

【符号の説明】

１・・収納装置 ２・・マスク本体 ２ａ・・パターン層 ４・・支持部本体 ６・・保持体 ７・・薄膜体 ８・・フレーム １０・・移動装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 リソグラフィ工程等によりパターン層２
   ａをマスク本体２に形成した後に、パターン層２ａを塵
   埃等の異物より保護するための薄膜体７をマスク本体２
   のパターン層２ａ側に貼着する露光用マスクの製造方法
   において、前記マスク本体２を支持し、その後に薄膜体
   ７をその貼着部がマスク本体２と隙間を有するように保
   持し、その状態でマスク本体２の上面の異物の有無の検
   査を行い、異物の無い場合に、薄膜体７をマスク本体２
   に貼着することを特徴とする露光用マスクの製造方法。
2. 【請求項２】リソグラフィ工程等によりパターン層２ａ
   の形成されたマスク本体２を支持可能な支持部本体４
   と、該支持部本体４のパターン層２ａ側に保護用の薄膜
   体７を貼着すべく該薄膜体７を移動自在で、且つその貼
   着部がマスク本体２と隙間を有する対向位置で保持可能
   な保持体６とを備えてなることを特徴とする露光用マス
   クの製造装置。