JPH09106066A - ペリクルライナーの剥離方法 - Google Patents
ペリクルライナーの剥離方法Info
- Publication number
- JPH09106066A JPH09106066A JP26113395A JP26113395A JPH09106066A JP H09106066 A JPH09106066 A JP H09106066A JP 26113395 A JP26113395 A JP 26113395A JP 26113395 A JP26113395 A JP 26113395A JP H09106066 A JPH09106066 A JP H09106066A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- frame
- liner
- peeling
- tray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ペリクルライナーの剥離工程において、剥離
作業時間の短縮及びロボットの剥離動作制御プログラム
の簡略化を図る。 【解決手段】ペリクルライナーの突出し部（ライナー
耳）５を、ペリクル付フレーム１を収納するフレームケ
ースのトレイ６ａに予め固定しておくことにより、ペリ
クル付フレーム１をフレームケース６から取り出すと同
時にペリクルライナー４の剥離が進行する。
作業時間の短縮及びロボットの剥離動作制御プログラム
の簡略化を図る。 【解決手段】ペリクルライナーの突出し部（ライナー
耳）５を、ペリクル付フレーム１を収納するフレームケ
ースのトレイ６ａに予め固定しておくことにより、ペリ
クル付フレーム１をフレームケース６から取り出すと同
時にペリクルライナー４の剥離が進行する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子製造に
用いられるマスク又はレチクルに、防塵のためのぺリク
ル付フレームを貼付ける作業又は動作に関し、詳しく
は、ぺリクル付フレームの貼付け面を保護するペリクル
ライナーに関する。
用いられるマスク又はレチクルに、防塵のためのぺリク
ル付フレームを貼付ける作業又は動作に関し、詳しく
は、ぺリクル付フレームの貼付け面を保護するペリクル
ライナーに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子構造の微細化に伴い、半導体
素子製造のフォトリソグラフィ工程で用いられるマスク
又はレチクルの保管、管理も年々厳しさを増している。
マスク又はレチクル（以下、両者を合わせて基板と称
す）のパターン領域にゴミやダストが付着するのを防止
するために、従来から、基板表面から５〜７mm程度の間
隔をとって、ぺリクルを設ける手法、すなわち、ペリク
ル付フレームを基板に貼付ける方法が採用されていた。
素子製造のフォトリソグラフィ工程で用いられるマスク
又はレチクルの保管、管理も年々厳しさを増している。
マスク又はレチクル（以下、両者を合わせて基板と称
す）のパターン領域にゴミやダストが付着するのを防止
するために、従来から、基板表面から５〜７mm程度の間
隔をとって、ぺリクルを設ける手法、すなわち、ペリク
ル付フレームを基板に貼付ける方法が採用されていた。
【０００３】図３に示すように、ぺリクル付フレーム１
は、光学的に安定した透明高分子膜であるペリクル２
を、基板の形状、寸法に合わせた高さ５〜７mm程度のフ
レーム３の片方の面に張設し、もう一方の面に粘着層を
設けたものである。該粘着層を保護するために、ペリク
ル付フレームの貼付け面は、ペリクルライナー４と称す
るシートで覆われている。ペリクルライナー４は、フレ
ーム３の粘着面とほぼ同じ形状、寸法であるが、ペリク
ルライナー４を粘着面から剥がすときに掴むための突き
出し部分が設けられている。この突き出し部分をライナ
ー耳５と称する。
は、光学的に安定した透明高分子膜であるペリクル２
を、基板の形状、寸法に合わせた高さ５〜７mm程度のフ
レーム３の片方の面に張設し、もう一方の面に粘着層を
設けたものである。該粘着層を保護するために、ペリク
ル付フレームの貼付け面は、ペリクルライナー４と称す
るシートで覆われている。ペリクルライナー４は、フレ
ーム３の粘着面とほぼ同じ形状、寸法であるが、ペリク
ルライナー４を粘着面から剥がすときに掴むための突き
出し部分が設けられている。この突き出し部分をライナ
ー耳５と称する。
【０００４】ぺリクル付フレーム１は、図４に示すよう
に、使用前にはフレームケース６に収納されている。フ
レームケース６は、トレイ６ａと蓋６ｂから構成され
る。ペリクルライナー４を剥離するときには、通常は、
人手にてフレームケース６からペリクル付フレーム１を
取り出し、ライナー耳５を掴んでペリクルライナー４を
剥がし、ペリクルライナー４を回収用ボックスに投入し
ていた。
に、使用前にはフレームケース６に収納されている。フ
レームケース６は、トレイ６ａと蓋６ｂから構成され
る。ペリクルライナー４を剥離するときには、通常は、
人手にてフレームケース６からペリクル付フレーム１を
取り出し、ライナー耳５を掴んでペリクルライナー４を
剥がし、ペリクルライナー４を回収用ボックスに投入し
ていた。
【０００５】又、近年上記操作を自動で行う発明がなさ
れており、例えば、特開平1-97961に自動ペリクル貼付
装置が記載されている。この自動ペリクル貼付装置にお
いては、ペリクルライナー４を剥離するときには、ロボ
ットアームにてフレームケース６からペリクル付フレー
ム１を取り出して把持し、別のロボットアームの先でラ
イナー耳５を掴んで固定した後に、ペリクル付フレーム
１を把持したロボットアームを移動するという手法が採
られている。この場合も、ペリクルライナー４を回収用
ボックスに投入する。
れており、例えば、特開平1-97961に自動ペリクル貼付
装置が記載されている。この自動ペリクル貼付装置にお
いては、ペリクルライナー４を剥離するときには、ロボ
ットアームにてフレームケース６からペリクル付フレー
ム１を取り出して把持し、別のロボットアームの先でラ
イナー耳５を掴んで固定した後に、ペリクル付フレーム
１を把持したロボットアームを移動するという手法が採
られている。この場合も、ペリクルライナー４を回収用
ボックスに投入する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の方法にお
いて、人手にてペリクルライナーを剥がす場合は、ペリ
クル付フレームの取り出し、ペリクルライナーの剥離、
ペリクルライナーの投入、トレイの投入という４つの基
本作業があった。又、上記の自動ペリクル貼付装置を用
いてペリクルライナーを剥がす場合も同様に、ペリクル
付フレームの取り出し、ペリクルライナーの剥離、ペリ
クルライナーの投入、トレイの投入という４つの基本動
作が必要であった。
いて、人手にてペリクルライナーを剥がす場合は、ペリ
クル付フレームの取り出し、ペリクルライナーの剥離、
ペリクルライナーの投入、トレイの投入という４つの基
本作業があった。又、上記の自動ペリクル貼付装置を用
いてペリクルライナーを剥がす場合も同様に、ペリクル
付フレームの取り出し、ペリクルライナーの剥離、ペリ
クルライナーの投入、トレイの投入という４つの基本動
作が必要であった。
【０００７】人手による方法では、上記４つの動作をな
るべく軽減することが課題であり、自動ペリクル貼付装
置を用いる方法では、ロボットのシーケンス制御を簡略
化することが課題である。
るべく軽減することが課題であり、自動ペリクル貼付装
置を用いる方法では、ロボットのシーケンス制御を簡略
化することが課題である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、マスク又はレチクルに防塵のためのペリク
ル付フレームを貼付ける際に、前記ペリクル付フレーム
の粘着面を保護するためのペリクルライナーを剥離する
方法において、前記ペリクルライナーの突出し部を、前
記ぺリクル付フレームを収納するフレームケースのトレ
イに予め固定しておくことを特徴とする。
に本発明は、マスク又はレチクルに防塵のためのペリク
ル付フレームを貼付ける際に、前記ペリクル付フレーム
の粘着面を保護するためのペリクルライナーを剥離する
方法において、前記ペリクルライナーの突出し部を、前
記ぺリクル付フレームを収納するフレームケースのトレ
イに予め固定しておくことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施例に係るペ
リクルライナーの剥離方法を説明するために、ペリクル
付フレーム１とフレームケースのトレイ６ａとの位置関
係を示す斜視図である。図１において、ペリクル付フレ
ーム１の上面にはペリクル２が張設され、下面のフレー
ム部分には粘着層を保護するためのペリクルライナー４
が貼られている。ペリクルライナー４の、フレームの外
側に突き出している部分がライナー耳５である。ペリク
ル付フレーム１はフレームケース６のトレイ６ａの上に
設置されており、ライナー耳５はピン７によってトレイ
６ａの上面に固定されている。
リクルライナーの剥離方法を説明するために、ペリクル
付フレーム１とフレームケースのトレイ６ａとの位置関
係を示す斜視図である。図１において、ペリクル付フレ
ーム１の上面にはペリクル２が張設され、下面のフレー
ム部分には粘着層を保護するためのペリクルライナー４
が貼られている。ペリクルライナー４の、フレームの外
側に突き出している部分がライナー耳５である。ペリク
ル付フレーム１はフレームケース６のトレイ６ａの上に
設置されており、ライナー耳５はピン７によってトレイ
６ａの上面に固定されている。
【００１０】従って、ペリクル付フレーム１を把持して
上方に引き上げ、ペリクル付フレーム１をトレイ６ａか
ら緩やかに引き離してゆくと、それに応じてペリクルラ
イナー４の剥離が進行する。剥離が完了した時点で、ペ
リクルライナー４はトレイ６ａの上に残る。ペリクル付
フレーム１は、図２に示すように、使用前にはフレーム
ケース６の中に収納されている。フレームケース６は、
トレイ６ａと蓋６ｂから構成される。ペリクルライナー
４の突き出し部分、すなわちライナー耳５はピン７によ
ってトレイ６ａの上面に固定されている。
上方に引き上げ、ペリクル付フレーム１をトレイ６ａか
ら緩やかに引き離してゆくと、それに応じてペリクルラ
イナー４の剥離が進行する。剥離が完了した時点で、ペ
リクルライナー４はトレイ６ａの上に残る。ペリクル付
フレーム１は、図２に示すように、使用前にはフレーム
ケース６の中に収納されている。フレームケース６は、
トレイ６ａと蓋６ｂから構成される。ペリクルライナー
４の突き出し部分、すなわちライナー耳５はピン７によ
ってトレイ６ａの上面に固定されている。
【００１１】自動ペリクル貼付装置を用いた場合のペリ
クルライナー剥離動作を以下に説明する。ペリクル付フ
レーム１が収納されたフレームケース６がテーブル上に
搬送され、トレイ６ａの底面に設けられたリブ６ｃによ
り該テーブルに固定される。真空吸着パッドにより蓋６
ｂが取り外され、ロボットアームによりペリクル付フレ
ーム１の側面が挟持され、上方に引き上げられると同時
にペリクルライナー４の剥離が進行する。剥離完了後
に、ペリクルライナー４とトレイ６とを回収ボックスに
投入する。
クルライナー剥離動作を以下に説明する。ペリクル付フ
レーム１が収納されたフレームケース６がテーブル上に
搬送され、トレイ６ａの底面に設けられたリブ６ｃによ
り該テーブルに固定される。真空吸着パッドにより蓋６
ｂが取り外され、ロボットアームによりペリクル付フレ
ーム１の側面が挟持され、上方に引き上げられると同時
にペリクルライナー４の剥離が進行する。剥離完了後
に、ペリクルライナー４とトレイ６とを回収ボックスに
投入する。
【００１２】このような剥離動作は、前述した従来の動
作に比べ、別のロボットアームでライナー耳５を掴んで
固定するという動作の分だけ簡略化できる。
作に比べ、別のロボットアームでライナー耳５を掴んで
固定するという動作の分だけ簡略化できる。
【００１３】
【発明の効果】以上のとおり本発明によれば、第１に、
ペリクル付フレーム１の取り出しとペリクルライナー４
の剥離が同時に進行するので、従来は２つの工程であっ
たものが１つで済むことになる。第２に、ペリクルライ
ナー４とトレイ６ａが一体化した状態となるので、従来
はペリクルライナー４とトレイ６ａとを別々に回収して
いたものが１回で済むことになる。
ペリクル付フレーム１の取り出しとペリクルライナー４
の剥離が同時に進行するので、従来は２つの工程であっ
たものが１つで済むことになる。第２に、ペリクルライ
ナー４とトレイ６ａが一体化した状態となるので、従来
はペリクルライナー４とトレイ６ａとを別々に回収して
いたものが１回で済むことになる。
【００１４】結局、従来は４つの作業又は動作であった
ものを２つにまとめることができ、その結果、人手によ
る場合は、剥離作業の軽減と作業時間の短縮が図れる。
又、ペリクル貼付装置を用いる場合は、剥離動作のため
の複雑なシーケンス制御を省略できる。
ものを２つにまとめることができ、その結果、人手によ
る場合は、剥離作業の軽減と作業時間の短縮が図れる。
又、ペリクル貼付装置を用いる場合は、剥離動作のため
の複雑なシーケンス制御を省略できる。
【図１】本発明の実施例に係る剥離方法を説明するため
の、トレイ上のペリクル付フレームの斜視図。
の、トレイ上のペリクル付フレームの斜視図。
【図２】本発明の実施例に係る剥離方法を説明するため
の、ペリクルケース中のペリクル付フレームの断面図。
の、ペリクルケース中のペリクル付フレームの断面図。
【図３】従来の剥離方法を説明するための、ペリクル付
フレームの斜視図。
フレームの斜視図。
【図４】従来の剥離方法を説明するための、ペリクルケ
ース中のペリクル付フレームの断面図。
ース中のペリクル付フレームの断面図。
１・・・ペリクル付フレーム ２・・・ペリクル ３・・・フレーム ４・・・ペリクルライナー ５・・・ライナー耳 ６・・・ペリクルケース ６ａ・・・トレイ ６ｂ・・・蓋 ６ｃ・・・リブ ７・・・ピン
Claims (1)
- 【請求項１】 マスク又はレチクルに防塵のためのぺリ
クル付フレームを貼付ける際に、前記ペリクル付フレー
ムの粘着面を保護するためのペリクルライナーを剥離す
る方法において、 前記ペリクルライナーの突出し部を、前記ぺリクル付フ
レームを収納するフレームケースのトレイに予め固定し
ておくことを特徴とする、ペリクルライナーの剥離方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26113395A JPH09106066A (ja) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | ペリクルライナーの剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26113395A JPH09106066A (ja) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | ペリクルライナーの剥離方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09106066A true JPH09106066A (ja) | 1997-04-22 |
Family
ID=17357558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26113395A Pending JPH09106066A (ja) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | ペリクルライナーの剥離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09106066A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002156744A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | ペリクル収納容器 |
| JP2007017811A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Lasertec Corp | ペリクルライナー又はペリクルの剥離装置、剥離方法及びパターン基板の製造方法 |
| JP2014098913A (ja) * | 2007-07-06 | 2014-05-29 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 大型ペリクルの収納容器からの取り出し方法 |
| JP2014167627A (ja) * | 2014-03-20 | 2014-09-11 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 収納容器からの大型ペリクルの取出し方法 |
-
1995
- 1995-10-09 JP JP26113395A patent/JPH09106066A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002156744A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | ペリクル収納容器 |
| JP2007017811A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Lasertec Corp | ペリクルライナー又はペリクルの剥離装置、剥離方法及びパターン基板の製造方法 |
| JP2014098913A (ja) * | 2007-07-06 | 2014-05-29 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 大型ペリクルの収納容器からの取り出し方法 |
| JP2014167627A (ja) * | 2014-03-20 | 2014-09-11 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 収納容器からの大型ペリクルの取出し方法 |
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