JPH0756927B2 - 弾性表面波素子の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、弾性表面波素子の製造方法に関し、特に、ウ
ェハ状態での特性の測定を容易とする工程を備えた方法
に関する。

〔従来の技術〕

周知のように、弾性表面波素子は、圧電性基板上にイン
ターデジタルトランスデューサや反射器等を構成するた
めの電極パターンを形成し、さらに表面波の伝搬する方
向の両側に吸音材を付加した構造を有する。実際の製造
に際しては、圧電性材料よりなるウェハを用意し、多数
の表面波素子を構成するための電極パターンをウェハ上
に形成し、吸音材を焼付け等により付加した後に、個々
の弾性表面波素子を得るように該ウェハを切断してい
る。

〔発明が解決しようとする技術的課題〕

しかしながら、吸音材を焼付けにより付加した場合に
は、焼付け時の熱により、圧電性基板に焦電現象による
電荷が発生する。その結果、該電荷に基づく放電によ
り、弾性表面波素子を構成するための電極パターンが破
壊したり、甚だしき場合には、ウェハに割れが生じたり
するという問題があった。

そこで、焦電効果により電荷をキャンセルするために、
第２図に示すように、ウェハ１上に形成された弾性表面
波素子を構成するための電極パターン２の全てを、ウェ
ハ１上に形成された接続電極３により電気的に接続する
方法が用いられている。

接続電極３により全ての電極パターン２が電気的に接続
されているので、その状態で吸音材を焼付けにより付加
したとしても、焼付けの際の熱による焦電効果に基づく
電荷の発生を効果的に防止することができる。

しかしながら、上記のような接続電極３を形成した場
合、ウェハ１の状態のままで各弾性表面波素子の特性を
測定し、チェックすることは非常に困難であった。すな
わち、測定を行うには、接続電極３を切断して、個々の
弾性表面波素子ごとに電極パターンを独立させる必要が
ある。このような切断は、ウェハをハーフカットするこ
とにより行われる。従って、ハーフカットを行った後に
各弾性表面波素子の特性を測定し、次にウェハを再度切
断して、個々の弾性表面波素子を得るという、煩雑な作
業が強いられていた。

のみならず、最後に個々の弾性表面波装置を得るための
切断に際し、電極パターンに傷が付くという問題もあっ
た。

よって、本発明の目的は、ウェハのままで特性測定がで
き、かつ焦電効果による電極破壊が効果的に防止され
る、弾性表面波素子の製造方法を提供することにある。

〔技術的課題を解決するための手段〕

本発明の弾性表面波素子の製造方法では、まず、圧電材
料よりなるウェハを用意する。このウェハの一方面に、
格子状の電極パターンと、該格子状の電極パターンに囲
まれた各領域内に少なくとも１の弾性表面波用電極パタ
ーンとを、弾性表面波素子用電極パターンの少なくとも
非接地側電極を前記格子状の電極パターンとは非接続の
状態となるように形成する。次に、ウェハの一方面にお
いて、上記格子状の電極パターンを接地した状態で、各
弾性表面波素子用電極パターン近傍に加熱を伴う方法で
吸音材を付加する。次に、上記ウェハ上において各弾性
表面波素子の特性を測定する。最後に、ウェハを個々の
弾性表面波素子単位に切断することにより、複数の弾性
表面波素子を製造するものである。

〔作用〕

インターデジタルトランスデューサや反射器を構成する
ための弾性表面波素子用電極パターンは、格子状電極パ
ターンに囲まれた各領域内に形成されている。すなわ
ち、弾性表面波素子用電極パターンは、格子状電極パタ
ーンとは電気的に接続されていない。従って、吸音材を
付加した後に、ウェハ状態のまま、何らの電極切断作業
を実施することなく、各弾性表面波素子部分の特性を測
定することができる。

また、弾性表面波素子用電極パターンを取り囲むように
格子状電極パターンが形成されているので、格子状電極
パターンを接地することにより、焼付け等の加熱を伴う
付加方法により吸音材を付加したとしても、格子状の電
極パターン全体の電位が全て接地電位となる。従って、
格子状電極パターンに電気的に接続されない弾性表面波
素子用電極パターンの電位は焦電効果によりある程度上
昇するが、その周囲が格子状電極パターンにより囲まれ
ており、かつ接地電位に固定されているため、弾性表面
波素子用電極パターンの電位の上昇が抑制される。従っ
て、焦電効果による放電現象を効果的に防止することが
できる。

〔実施例の説明〕

以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例の製造方法を
説明する。

まず、36°Y-LiTaO₃や128°Y-LiNbO₃のような圧電性材
料よりなるウェハ11を用意する。

次に、ウェハ11の一方面に、第１図に示すように、格子
状電極パターン12と、該格子状電極パターン12で囲まれ
た各領域内に、それぞれ、１の弾性表面波素子用の電極
パターンとして、インターデジタルトランスデューサ13
a,13bを形成する。格子状電極パターン12及び弾性表面
波素子用電極パターンの形成は、蒸着、焼付け等の任意
の薄膜形成法により行うことができ、また格子状電極パ
ターン12の形成及び弾性表面波素子用電極パターンの形
成を別個に行ってもよく、同時に行ってもよい。

なお、各インターデジタルトランスデューサ13a,13bの
電気的な取出し部は略図的に図示してあることを指摘し
ておく。

次に、インターデジタルトランスデューサ13a,13bの両
側に、第３図に示すように、吸音材14,15を付加する。
この吸音材14,15は、例えばシリコンゴムやブチルゴム
等の吸音性材料をウェハ11に焼付けることにより付加さ
れる。この場合、焼付けによりウェハ11が加熱される。
しかしながら、格子状の電極パターン12を接地しておけ
ば、ウェハ11が加熱されることにより生じる焦電現象を
抑制することができる。従って、焦電効果により、イン
ターデジタルトラスデューサ13a,13bの電極パターンの
破壊が効果的に防止される。

次に、第３図の状態のまま、各弾性表面波素子部分の電
気的な特性を測定する。この場合、弾性表面波素子用電
極パターンすなわちインターデジタルトランスジューサ
13a,13bは、格子状電極パターン12に接続されていない
ので、何らの電極切断作業を行わずとも、容易に各弾性
表面波素子部分の特性を測定することができる。

測定を行った後に、ウェハ11を格子状電極パターン12に
沿って切断し、第４図に示す個々の弾性表面波素子17を
得る。この切断に際しては、格子状電極パターン12の幅
を、ダイサによる切断幅よりも細くしておけば、切断と
同時に格子状電極パターン12を除去することができる。

もっとも、格子状電極パターン12は、個々の弾性表面波
素子単位にウェハ11を切断した後に残存していてもよ
く、その場合には残存した格子状電極パターン12を接地
電位に接続される電極に接続しておけばよい。

また、上述した実施例では、格子状電極パターン12は、
該格子状電極パターン12に囲まれた各領域に１の弾性表
面波素子が構成されるように形成されていたが、２以上
の弾性表面波素子が格子状電極パターンで囲まれた各領
域に形成されるように、格子状電極パターンを形成して
もよい。例えば、第５図に示すように、格子状電極パタ
ーン12で囲まれた各領域内に２個の弾性表面波素子が形
成されるように、各弾性表面波素子用電極パターンを形
成してもよい。この場合においても、吸音材14,15の付
加に際しウェハ11が加熱されたとしても、該加熱による
焦電現象に基づく放電を効果的に防止することができ
る。

また、切断前の測定に支障のない範囲でインターデジタ
ルトランスデューサ13a,13bの一部が格子状電極パター
ン12と電気的に接続されていてもよい。例えば、第１図
でインターデジタルトランスデューサ13aの片側の電位
に接続されるくし歯電極のみが格子状電極パターン12に
接続されていても、測定時にその側を接地電位として測
定すれば支障なく測定できる。

なお、個々の弾性表面波素子を構成するための電極パタ
ーンは、上述したインターデジタルトラスデューサ13a,
13bに限定されるものではなく、所望とする弾性表面波
素子に合わせて適宜変更され得るものであることを指摘
しておく。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明によれば、格子状電極パターンで
囲まれた各領域内に、少なくとも１の弾性表面波素子用
電極パターンが形成されるので、ウェハの状態のまま、
各弾性表面波素子の電気的特性を何らの電極切断作業を
も行わずとも測定することができる。従って、従来例の
ように、測定のためにハーフカットを行い、さらに再度
ウェハを切断するという煩雑な加工工程を省略すること
ができるので、弾性表面波素子の製造コストを低減する
ことができる。のみならず、煩雑な切断工程に伴う電極
の損傷等も生じ難い。

しかも、格子状電極パターンで各弾性表面波素子用電極
パターンが囲まれているので、吸音材の付加に際しウェ
ハが加熱された場合の焦電効果による弾性表面波素子用
電極パターンの電位の上昇が、上記格子状電極パターン
が接地電位に固定されていることにより抑制される。従
って、該熱に基づく焦電現象による電極破壊やウェハの
割れも確実に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の製造方法の一実施例において格子状電
極パターン及び弾性表面波素子用電極パターンを形成し
た状態を示す部分切欠平面図、第２図は従来例における
ウェハに弾性表面波素子用電極パターン及び接続電極を
形成した状態を示す平面図、第３図は本発明の一実施例
において吸音材を付加した状態を示す部分切欠平面図、
第４図は本発明の一実施例により得られた弾性表面波素
子の平面図、第５図は本発明の他の実施例を説明するた
めの部分切欠平面図である。 図において、11はウェハ、12は格子状電極パターン、13
a,13bは弾性表面波素子用電極パターンとしてのインタ
ーデジタルトランスデューサ、14は吸音材を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】圧電材料によりなるウェハを用意する工程
   と、 前記ウェハの一方面に、格子状の電極パターン及び該格
   子状電極パターンに囲まれた各領域内に少なくとも１の
   弾性表面波素子用電極パターンを、弾性表面波素子用電
   極パターンの少なくとも非接地側電極を前記格子状の電
   極パターンとは非接続の状態となるように、形成する工
   程と、 前記ウェハの一方面において、前記格子状の電極パター
   ンを接地した状態で、各弾性表面波素子用電極パターン
   近傍に加熱を伴う方法で吸音材を付加する工程と、 前記ウェハ上で各弾性表面波素子の特性を測定する工程
   と、 前記ウェハを個々の弾性表面波素子単位に切断する工程
   とを備えることを特徴とする、弾性表面波素子の製造方
   法。