JPH075983Y2 - 異形カップ型研削砥石 - Google Patents
異形カップ型研削砥石Info
- Publication number
- JPH075983Y2 JPH075983Y2 JP1988007931U JP793188U JPH075983Y2 JP H075983 Y2 JPH075983 Y2 JP H075983Y2 JP 1988007931 U JP1988007931 U JP 1988007931U JP 793188 U JP793188 U JP 793188U JP H075983 Y2 JPH075983 Y2 JP H075983Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cup
- center
- shaped base
- cutting edge
- peripheral wall
- Prior art date
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体基板等の被加工物を平坦に研削する異
形カップ型研削砥石に関するものである。
形カップ型研削砥石に関するものである。
半導体基板等の被加工物（以下、ウエーハという）を平
坦に研削する工具としてカップ型研削砥石が広く使用さ
れている。この種のカップ型研削砥石は第４図に示すよ
うに、真円状のカップ状基台１の端面にダイヤモンドや
CBN等の砥粒をボンド材で焼結形成した複数の切れ刃２
をロー付けあるいはボンド等の接着剤によって環状に配
設したものからなる。
坦に研削する工具としてカップ型研削砥石が広く使用さ
れている。この種のカップ型研削砥石は第４図に示すよ
うに、真円状のカップ状基台１の端面にダイヤモンドや
CBN等の砥粒をボンド材で焼結形成した複数の切れ刃２
をロー付けあるいはボンド等の接着剤によって環状に配
設したものからなる。
このカップ状研削砥石を用いてウエーハの研削を行う場
合は、同カップ状研削砥石を研削装置のスピンドルに装
着して回転駆動し、チャックテーブル３上に吸着固定さ
れて回転しているウエーハ４に切れ刃２を押し付けるこ
とによって行われる。
合は、同カップ状研削砥石を研削装置のスピンドルに装
着して回転駆動し、チャックテーブル３上に吸着固定さ
れて回転しているウエーハ４に切れ刃２を押し付けるこ
とによって行われる。
このウエーハ４の研削に際し、第５図に示すように、切
れ刃２をウエーハ４の回転中心Ｏよりも手前に退避させ
た状態で研削を行うと、ウエーハ４の中心部が非研削領
域Ｓとして残ってしまい妥当でない。そこで、一般的に
は、第４図に示すように、切れ刃２をウエーハ４の回転
中心Ｏまで進出させた状態で行い非研削領域Ｓの発生を
防止している。
れ刃２をウエーハ４の回転中心Ｏよりも手前に退避させ
た状態で研削を行うと、ウエーハ４の中心部が非研削領
域Ｓとして残ってしまい妥当でない。そこで、一般的に
は、第４図に示すように、切れ刃２をウエーハ４の回転
中心Ｏまで進出させた状態で行い非研削領域Ｓの発生を
防止している。
ところが、砥石使用の進行に伴い、円環状切れ刃２の内
周側よりも外周側の方が周速度が速い等のため、切れ刃
２の外周側が内周側よりも余分に摩耗し易く、このよう
に、切れ刃２の平坦度が少しでも狂うと第４図に示す如
く、ウエーハ４の中心部に突起部分4aが生じ、ウエーハ
４を平坦に研削することができないという問題が生じ
る。
周側よりも外周側の方が周速度が速い等のため、切れ刃
２の外周側が内周側よりも余分に摩耗し易く、このよう
に、切れ刃２の平坦度が少しでも狂うと第４図に示す如
く、ウエーハ４の中心部に突起部分4aが生じ、ウエーハ
４を平坦に研削することができないという問題が生じ
る。
そこで、近年においては、チャックテーブル３側又はカ
ップ状研削砥石１側に揺動装置を設け、切れ刃２をウエ
ーハ４に対して相対的に揺動しながら研削を行い、前記
ウエーハ４の中心部に突起が生じるのを防止している。
ップ状研削砥石１側に揺動装置を設け、切れ刃２をウエ
ーハ４に対して相対的に揺動しながら研削を行い、前記
ウエーハ４の中心部に突起が生じるのを防止している。
しかしながら、前記揺動装置を設けることは、装置構成
が複雑となり、装置コストも高価になるという問題があ
る。
が複雑となり、装置コストも高価になるという問題があ
る。
本考案は上記従来の事情に鑑みなされたものであり、そ
の目的は揺動装置を設けることなくウエーハの表面を平
坦に研削できる異形カップ型研削砥石を提供することに
ある。
の目的は揺動装置を設けることなくウエーハの表面を平
坦に研削できる異形カップ型研削砥石を提供することに
ある。
本考案は上記目的を達成するため、次のように構成され
ている。すなわち、本考案は、カップ状基台の周壁端面
部に切れ刃が環状に取り付けられているカップ型研削砥
石において、カップ状基台の周壁は該カップ状基台の中
心を挟んで対向する少なくとも一対の部位が該カップ状
基台の中心に対して非点対称となる環状に形成し、この
非点対称の環状周壁端面の中心線に沿って切れ刃が同様
にカップ状基台の中心に対して非点対称に設けられてい
ることを特徴として構成されている。
ている。すなわち、本考案は、カップ状基台の周壁端面
部に切れ刃が環状に取り付けられているカップ型研削砥
石において、カップ状基台の周壁は該カップ状基台の中
心を挟んで対向する少なくとも一対の部位が該カップ状
基台の中心に対して非点対称となる環状に形成し、この
非点対称の環状周壁端面の中心線に沿って切れ刃が同様
にカップ状基台の中心に対して非点対称に設けられてい
ることを特徴として構成されている。
上記のように構成されている本考案において、例えば、
第２図に示すように、カップ状基台の中心Ｃを挟んで、
該中心Ｃに対して非点対称位置に設けられている一対の
切れ刃部分2a,2bに着目し、中心Ｃからそれぞれの切れ
刃部分2a,2bまでの距離R1,R2を半径とする円をＣを中心
として描くと、この両円Q1,Q2で囲まれた斜線の部分が
切れ刃による揺動作用を受ける部分となる。
第２図に示すように、カップ状基台の中心Ｃを挟んで、
該中心Ｃに対して非点対称位置に設けられている一対の
切れ刃部分2a,2bに着目し、中心Ｃからそれぞれの切れ
刃部分2a,2bまでの距離R1,R2を半径とする円をＣを中心
として描くと、この両円Q1,Q2で囲まれた斜線の部分が
切れ刃による揺動作用を受ける部分となる。
したがって、この斜線の部分にウエーハの中心部を位置
させれば、該ウエーハの中心部分は切れ刃の揺動作用に
より、突起部分を生じることなく平坦に研削されること
になる。
させれば、該ウエーハの中心部分は切れ刃の揺動作用に
より、突起部分を生じることなく平坦に研削されること
になる。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図には本考案に係る異形カップ型研削砥石の第１の
実施例が示されている。同図において、カップ状基台１
は頂壁５の端縁部から周壁６を直角に突設することによ
り形成されており、この周壁６の端面に複数の切れ刃２
が微小間隙７を介して環状に取り付けられている。この
切れ刃２は従来例と同様に、ダイヤモンドあるいはCBN
等の砥粒を、レジンボンドやメタルボンド等のボンド材
を用い、焼結することにより形成されている。
実施例が示されている。同図において、カップ状基台１
は頂壁５の端縁部から周壁６を直角に突設することによ
り形成されており、この周壁６の端面に複数の切れ刃２
が微小間隙７を介して環状に取り付けられている。この
切れ刃２は従来例と同様に、ダイヤモンドあるいはCBN
等の砥粒を、レジンボンドやメタルボンド等のボンド材
を用い、焼結することにより形成されている。
切れ刃２のカップ状基台１への取り付けは、切れ刃２を
周壁６の平端面に直接ロー付けやボンド接着により固着
してもよいが、本実施例では、周壁６の平端面に環状の
溝を設け、この溝に切れ刃２の根元を埋め込んだ状態で
切れ刃２を周壁６の端面にロー付けやボンド接着で固着
している。
周壁６の平端面に直接ロー付けやボンド接着により固着
してもよいが、本実施例では、周壁６の平端面に環状の
溝を設け、この溝に切れ刃２の根元を埋め込んだ状態で
切れ刃２を周壁６の端面にロー付けやボンド接着で固着
している。
本第１の実施例で特徴的なことは、カップ状基台１の中
心Ｃ（本件明細書で、カップ状基台の中心Ｃとは、該カ
ップ状基台を第１図のように正面図で描くとき、その基
台の周壁、換言すれば環状に配置される砥石、の作図上
の中心をいい、この中心Ｃはカップ状基台の回転中心で
もある）を挟んで、切れ刃2aと同2bが非点対称位置に配
置され、同様に、切れ刃2cと同2dも中心Ｃに対して非点
対称位置に配置されていることである。第１図では、中
心Ｃと切れ刃2a,2cの中心までの距離、つまり短径距離R
1は98.75mmとなっており、中心Ｃと切れ刃2b,2dの中心
までの距離、つまり長径距離R2は101.25mmとなってい
る。そして、これら、切れ刃2a,2d,2b,2cの中心はイン
ボリュート、サイクロイド、その他適宜の曲線によって
なだらかに結ばれ、そのなだらかに結ばれた中心線Ｌに
沿って他の切れ刃２が微小間隙７を介して配列され、全
体的に環状の切れ刃が形成されている。この切れ刃の中
心を結ぶ中心線Ｌはカップ状基台１の環状周壁６の端面
の中心線でもあり、換言すれば、切れ刃2a,2d,2b,2cは
非点対称の環状周壁端面の中心線Ｌに沿って設けられて
いる。
心Ｃ（本件明細書で、カップ状基台の中心Ｃとは、該カ
ップ状基台を第１図のように正面図で描くとき、その基
台の周壁、換言すれば環状に配置される砥石、の作図上
の中心をいい、この中心Ｃはカップ状基台の回転中心で
もある）を挟んで、切れ刃2aと同2bが非点対称位置に配
置され、同様に、切れ刃2cと同2dも中心Ｃに対して非点
対称位置に配置されていることである。第１図では、中
心Ｃと切れ刃2a,2cの中心までの距離、つまり短径距離R
1は98.75mmとなっており、中心Ｃと切れ刃2b,2dの中心
までの距離、つまり長径距離R2は101.25mmとなってい
る。そして、これら、切れ刃2a,2d,2b,2cの中心はイン
ボリュート、サイクロイド、その他適宜の曲線によって
なだらかに結ばれ、そのなだらかに結ばれた中心線Ｌに
沿って他の切れ刃２が微小間隙７を介して配列され、全
体的に環状の切れ刃が形成されている。この切れ刃の中
心を結ぶ中心線Ｌはカップ状基台１の環状周壁６の端面
の中心線でもあり、換言すれば、切れ刃2a,2d,2b,2cは
非点対称の環状周壁端面の中心線Ｌに沿って設けられて
いる。
上記のように、本第１の実施例によれば、切れ刃2a,2c
と、これに対応する同2b,2dとが中心Ｃに対して非点対
称位置に配置されているから、第２図に示すように、中
心Ｃから切れ刃2a,2cまでの距離R1を半径とする円Q
1と、中心Ｃから切れ刃2b,2dまでの距離R2を半径とする
円Q2とによって囲まれた斜線の領域を切れ刃２が揺動し
て研削することになる。しかも、非点対称の位置に配置
された切れ刃が２対（2aと2b,および、2cと2d）在るか
ら、切れ刃２はカップ状基台１が１回転するごとに前記
斜線の領域を２回揺動することになり、研削効率をより
高めている。また、この斜線の領域にウエーハ４の中心
部を位置させることにより、該ウエーハ４の中心部は切
れ刃２の揺動によって研削されるから、その中心部に突
起部分を生じさせることなくウエーハ４の表面を均一
（平坦）に研削することができる。
と、これに対応する同2b,2dとが中心Ｃに対して非点対
称位置に配置されているから、第２図に示すように、中
心Ｃから切れ刃2a,2cまでの距離R1を半径とする円Q
1と、中心Ｃから切れ刃2b,2dまでの距離R2を半径とする
円Q2とによって囲まれた斜線の領域を切れ刃２が揺動し
て研削することになる。しかも、非点対称の位置に配置
された切れ刃が２対（2aと2b,および、2cと2d）在るか
ら、切れ刃２はカップ状基台１が１回転するごとに前記
斜線の領域を２回揺動することになり、研削効率をより
高めている。また、この斜線の領域にウエーハ４の中心
部を位置させることにより、該ウエーハ４の中心部は切
れ刃２の揺動によって研削されるから、その中心部に突
起部分を生じさせることなくウエーハ４の表面を均一
（平坦）に研削することができる。
また、各切れ刃２を微小間隙７を介して配設されている
から、ウエーハ４の研削加工中に、研削くずが該ウエー
ハ４に掛けられる研削液と共に微小間隙７を通って流出
することとなり、研削加工精度をより高めることができ
る。
から、ウエーハ４の研削加工中に、研削くずが該ウエー
ハ４に掛けられる研削液と共に微小間隙７を通って流出
することとなり、研削加工精度をより高めることができ
る。
さらに、短径距離の切れ刃2a,2cの位置と長径距離の切
れ刃2b,2dの位置とはインボリュートやサイクロイドの
なめらかな曲線によって結ばれ、その曲線上に他の切れ
刃が位置されるものであるから、砥石（カップ状基台
１）の回転に際し、中心Ｃから各切れ刃２の距離は急変
することなく徐々に増減する。したがって、切れ刃２の
揺動も滑らかに行われ、研削抵抗が急変して砥石が振動
することもないから、安定した状態で高精度の精密研削
を行うことができる。ところで、研削精度を高めるため
に前記切れ刃２の揺動範囲を大きくする場合には第２図
から明らかな如く、カップ状基台１の中心から最短位置
に在る切れ刃2aの距離R1と最長位置に在る切れ刃2bの距
離R2の差を大きくとる必要があり、カップ状基台の周壁
を真円周壁とした場合には距離R1とR2の差を大きくする
と必然的に周壁の厚みが厚くなり過ぎ、カップ状基台の
重量が増大し、材料費もかさんでコストアップとなる
が、本実施例ではカップ状基台の周壁自体を非点対称の
環状周壁としているので、切れ刃２の揺動範囲を大きく
してもカップ状基台１の周壁を厚肉化する必要がなく、
カップ状基台の周壁を真円周壁とする場合に生じる前記
不具合を効果的に解消することができる。
れ刃2b,2dの位置とはインボリュートやサイクロイドの
なめらかな曲線によって結ばれ、その曲線上に他の切れ
刃が位置されるものであるから、砥石（カップ状基台
１）の回転に際し、中心Ｃから各切れ刃２の距離は急変
することなく徐々に増減する。したがって、切れ刃２の
揺動も滑らかに行われ、研削抵抗が急変して砥石が振動
することもないから、安定した状態で高精度の精密研削
を行うことができる。ところで、研削精度を高めるため
に前記切れ刃２の揺動範囲を大きくする場合には第２図
から明らかな如く、カップ状基台１の中心から最短位置
に在る切れ刃2aの距離R1と最長位置に在る切れ刃2bの距
離R2の差を大きくとる必要があり、カップ状基台の周壁
を真円周壁とした場合には距離R1とR2の差を大きくする
と必然的に周壁の厚みが厚くなり過ぎ、カップ状基台の
重量が増大し、材料費もかさんでコストアップとなる
が、本実施例ではカップ状基台の周壁自体を非点対称の
環状周壁としているので、切れ刃２の揺動範囲を大きく
してもカップ状基台１の周壁を厚肉化する必要がなく、
カップ状基台の周壁を真円周壁とする場合に生じる前記
不具合を効果的に解消することができる。
第３図には本考案に係る異形カップ型研削砥石の第２の
実施例が前記第１の実施例と同一部分には同一符号を付
して示されている。
実施例が前記第１の実施例と同一部分には同一符号を付
して示されている。
この第２の実施例が前記第１の実施例と異なるところ
は、周壁６の環状形をカム型に周設したことである。つ
まり、第３図に示すように、環の半分側a,b,cを半径R1
＝98.75mmの円周壁によって形成し、他の半分側の環の
中心ｄとカップ状基台１の中心Ｃまでの距離R2を101.25
mmに形成し、c,d,aの各点をインボリュートあるいはサ
イクロイド等の適宜のなめらかな曲線によって結び、こ
の曲線に沿って複数の切れ刃２を微小間隙７を介して配
設している。
は、周壁６の環状形をカム型に周設したことである。つ
まり、第３図に示すように、環の半分側a,b,cを半径R1
＝98.75mmの円周壁によって形成し、他の半分側の環の
中心ｄとカップ状基台１の中心Ｃまでの距離R2を101.25
mmに形成し、c,d,aの各点をインボリュートあるいはサ
イクロイド等の適宜のなめらかな曲線によって結び、こ
の曲線に沿って複数の切れ刃２を微小間隙７を介して配
設している。
この第２の実施例では切れ刃2bと同2dが中心Ｃに対して
非点対称となる。したがって、第２図に示す斜線の領域
を切れ刃２が揺動して研削することとなり、ウエーハ４
の表面を均一に研削でき、前記第１の実施例の場合と同
様な効果を得ることができる。
非点対称となる。したがって、第２図に示す斜線の領域
を切れ刃２が揺動して研削することとなり、ウエーハ４
の表面を均一に研削でき、前記第１の実施例の場合と同
様な効果を得ることができる。
なお、本考案は上記各実施例に限定されることはなく、
様々な実施の態様を採り得る。例えば、上記各実施例で
は切れ刃２を微小間隙７を介して配設しているが、この
微小間隙７を設けずに切れ刃２を隙間なく並べて取り付
けることもできる。
様々な実施の態様を採り得る。例えば、上記各実施例で
は切れ刃２を微小間隙７を介して配設しているが、この
微小間隙７を設けずに切れ刃２を隙間なく並べて取り付
けることもできる。
また、上記各実施例では、切れ刃２をロー付けや接着剤
によってカップ状基台１に取り付けているが、これと異
なり、周壁６の端面の全周に渡って砥粒を電鋳等のメッ
キ手法によって形成してもよい。この場合、必要に応
じ、周壁６にスリットや穴を設け、研削液の流出路（上
記各実施例の微小間隙７に対応する）を形成すれば研削
くずの排出をより効果的に行い得る。
によってカップ状基台１に取り付けているが、これと異
なり、周壁６の端面の全周に渡って砥粒を電鋳等のメッ
キ手法によって形成してもよい。この場合、必要に応
じ、周壁６にスリットや穴を設け、研削液の流出路（上
記各実施例の微小間隙７に対応する）を形成すれば研削
くずの排出をより効果的に行い得る。
本考案は以上説明したように構成したものであるから、
揺動装置を別途設けることなしに、切れ刃を揺動させて
ウエーハの表面を、研削することができ、ウエーハの中
心部に突起部分を生じさせることなく、ウエーハの全表
面を平坦に研削することが可能となる。
揺動装置を別途設けることなしに、切れ刃を揺動させて
ウエーハの表面を、研削することができ、ウエーハの中
心部に突起部分を生じさせることなく、ウエーハの全表
面を平坦に研削することが可能となる。
また、前記の如く、揺動装置を別途設ける必要がないか
ら、装置構成も簡易となり、これに伴い、研削装置のコ
スト低減を図ることができる。さらに、本考案ではカッ
プ状基台の環状周壁を非点対称に形成し、この非点対称
環状周壁端面の中心線に沿って切れ刃部分を形成して、
切れ刃を非点対称に形成する構成としたので、カップ状
基台の中心から最短距離の切れ刃と最長距離の切れ刃と
の距離差を大きくしてカップ状基台が回転したときの切
れ刃の揺動範囲を大きくするように形成しても、カップ
状基台の環状周壁の厚みは揺動範囲の大小にかかわらず
最適な一定の厚さに維持することができ、真円状の周壁
端面に切れ刃を非点対称に形成するときに問題となる周
壁の過剰厚肉化およびこれに起因する重量増大、材料費
アップによるコスト高等の諸問題を効果的に解消するこ
とができる。
ら、装置構成も簡易となり、これに伴い、研削装置のコ
スト低減を図ることができる。さらに、本考案ではカッ
プ状基台の環状周壁を非点対称に形成し、この非点対称
環状周壁端面の中心線に沿って切れ刃部分を形成して、
切れ刃を非点対称に形成する構成としたので、カップ状
基台の中心から最短距離の切れ刃と最長距離の切れ刃と
の距離差を大きくしてカップ状基台が回転したときの切
れ刃の揺動範囲を大きくするように形成しても、カップ
状基台の環状周壁の厚みは揺動範囲の大小にかかわらず
最適な一定の厚さに維持することができ、真円状の周壁
端面に切れ刃を非点対称に形成するときに問題となる周
壁の過剰厚肉化およびこれに起因する重量増大、材料費
アップによるコスト高等の諸問題を効果的に解消するこ
とができる。
第１図は本考案に係る異形カップ型研削砥石の第１の実
施例を示す正面図、第２図は同異形カップ型研削砥石の
揺動作用の説明図、第３図は本考案に係る異形カップ型
研削砥石の第２の実施例を示す正面図、第４図は従来の
カップ型研削砥石を用いたウエーハの研削例を示す断面
図、第５図はウエーハの中心部に非研削領域を生じせし
める研削例の説明図である。 １……カップ状基台、２……切れ刃２、３……チャック
テーブル、４……ウエーハ、4a……突起部分、５……頂
壁、６……周壁、７……微小間隙。
施例を示す正面図、第２図は同異形カップ型研削砥石の
揺動作用の説明図、第３図は本考案に係る異形カップ型
研削砥石の第２の実施例を示す正面図、第４図は従来の
カップ型研削砥石を用いたウエーハの研削例を示す断面
図、第５図はウエーハの中心部に非研削領域を生じせし
める研削例の説明図である。 １……カップ状基台、２……切れ刃２、３……チャック
テーブル、４……ウエーハ、4a……突起部分、５……頂
壁、６……周壁、７……微小間隙。
Claims (1)
- 【請求項１】カップ状基台の周壁端面部に切れ刃が環状
に取り付けられているカップ型研削砥石において、カッ
プ状基台の周壁は該カップ状基台の中心を挟んで対向す
る少なくとも一対の部位が該カップ状基台の中心に対し
て非点対称となる環状に形成し、この非点対称の環状周
壁端面の中心線に沿って切れ刃が同様にカップ状基台の
中心に対して非点対称に設けられていることを特徴とす
る異形カップ型研削砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988007931U JPH075983Y2 (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 異形カップ型研削砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988007931U JPH075983Y2 (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 異形カップ型研削砥石 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01114271U JPH01114271U (ja) | 1989-08-01 |
| JPH075983Y2 true JPH075983Y2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=31213366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988007931U Expired - Lifetime JPH075983Y2 (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 異形カップ型研削砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075983Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3795009B2 (ja) * | 2002-11-29 | 2006-07-12 | 日本特殊研砥株式会社 | グラビア製版ロール研磨用砥石及び該砥石を用いた研磨方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62181874A (ja) * | 1986-02-06 | 1987-08-10 | Shibayama Kikai Kk | カツプホイ−ル型ダイヤモンド砥石 |
| JPS62181875A (ja) * | 1986-02-06 | 1987-08-10 | Shibayama Kikai Kk | カツプホイ−ル型ダイヤモンド砥石 |
-
1988
- 1988-01-25 JP JP1988007931U patent/JPH075983Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01114271U (ja) | 1989-08-01 |
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