JPH0760087B2 - Ｉｃリード曲り検査装置 - Google Patents
Ｉｃリード曲り検査装置Info
- Publication number
- JPH0760087B2 JPH0760087B2 JP7538689A JP7538689A JPH0760087B2 JP H0760087 B2 JPH0760087 B2 JP H0760087B2 JP 7538689 A JP7538689 A JP 7538689A JP 7538689 A JP7538689 A JP 7538689A JP H0760087 B2 JPH0760087 B2 JP H0760087B2
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- JP
- Japan
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- lead
- stage
- displacement meter
- bending inspection
- laser displacement
- Prior art date
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 21
- 238000005452 bending Methods 0.000 title claims description 19
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 17
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ変位計を用いたICリード曲り検査装置に
関する。
関する。
従来、ICのリード曲り検査には、リード面にレーザ光を
所定の入射角度で照射して、その反射角度よりリード面
より反射する光量を測定することによって、照射面の曲
り状態を測定するレーザ変位計を用いて検査していた。
また、この装置の検査速度を早めるために、周辺機器及
び装置に関して種々の工夫及び改善が試みられてきた。
所定の入射角度で照射して、その反射角度よりリード面
より反射する光量を測定することによって、照射面の曲
り状態を測定するレーザ変位計を用いて検査していた。
また、この装置の検査速度を早めるために、周辺機器及
び装置に関して種々の工夫及び改善が試みられてきた。
第２図は従来の一例を示すICリード曲り検査装置の平面
図である。このICリード曲り検査装置は、中央にIC6を
載置し、四等分にインデクスがし得るステージ５と、こ
のステージ５の左右に配置されているとともにIC6を供
給部１からステージ５に移載したり、あるいは、ステー
ジ５よりIC6を移送し収納箱３に収納したりする搬送装
置４と、IC6のリードの曲りを測定するレーザ変位計２
とから構成される。
図である。このICリード曲り検査装置は、中央にIC6を
載置し、四等分にインデクスがし得るステージ５と、こ
のステージ５の左右に配置されているとともにIC6を供
給部１からステージ５に移載したり、あるいは、ステー
ジ５よりIC6を移送し収納箱３に収納したりする搬送装
置４と、IC6のリードの曲りを測定するレーザ変位計２
とから構成される。
次に、このICリード曲り検査装置の動作を説明する。ま
ず、供給部１よりIC6を搬送装置４によりステージ５に
載置する。次に、IC6の上に配置されたレーザ変位計２
によりレーザ光をIC6の一側面のリード面に照射し、リ
ードの歪みを測定する。次に、ステージ５が90度回転さ
せて、レーザ変位計２の真下にIC6の別の側面のリード
が来るようにする。次に、レーザ変位計２でそのリード
の歪みを検査する。このようにIC6の各側面のリードが
レーザ変位計２の真下に来るようにステージ５を割り出
しリードの検査を行なう。全ての側面のリードが検査完
了したら、搬送装置４によりIC6を移送し、収納箱３に
収納する。
ず、供給部１よりIC6を搬送装置４によりステージ５に
載置する。次に、IC6の上に配置されたレーザ変位計２
によりレーザ光をIC6の一側面のリード面に照射し、リ
ードの歪みを測定する。次に、ステージ５が90度回転さ
せて、レーザ変位計２の真下にIC6の別の側面のリード
が来るようにする。次に、レーザ変位計２でそのリード
の歪みを検査する。このようにIC6の各側面のリードが
レーザ変位計２の真下に来るようにステージ５を割り出
しリードの検査を行なう。全ての側面のリードが検査完
了したら、搬送装置４によりIC6を移送し、収納箱３に
収納する。
上述した従来のICリード曲り検査装置では、ICの側面リ
ードを検査するのに、一つのレーザ変位計に対してステ
ージにより各側面を割り出し一側面のリード面を検査し
ている。従って、能率が悪いばかりか、ステージのイン
デクス精度すなわちステージの割り出し精度及び平坦度
がICのリード面に加味され、正確な検査が出来ないとい
う欠点がある。
ードを検査するのに、一つのレーザ変位計に対してステ
ージにより各側面を割り出し一側面のリード面を検査し
ている。従って、能率が悪いばかりか、ステージのイン
デクス精度すなわちステージの割り出し精度及び平坦度
がICのリード面に加味され、正確な検査が出来ないとい
う欠点がある。
本発明の目的は、より早く正確な検査が出来るICリード
曲り検査装置を提供することである。
曲り検査装置を提供することである。
本発明のICリード曲り検査装置は、四側面より突出する
リードを有するICの前記リード面にレーザ光を照射しこ
のリード面より反射するレーザ光を検知することにより
前記リード面の歪みを測定するレーザ変位計と、前記IC
を載置し四等分に割り出しするステージと、このステー
ジに前記ICを移載したり他の収納箱に移送したりする搬
送装置とを有するICリード曲り検査装置において、前記
ICの各前記リード面に対向する位置のそれぞれに配置さ
れる前記レーザ変位計を備え構成される。
リードを有するICの前記リード面にレーザ光を照射しこ
のリード面より反射するレーザ光を検知することにより
前記リード面の歪みを測定するレーザ変位計と、前記IC
を載置し四等分に割り出しするステージと、このステー
ジに前記ICを移載したり他の収納箱に移送したりする搬
送装置とを有するICリード曲り検査装置において、前記
ICの各前記リード面に対向する位置のそれぞれに配置さ
れる前記レーザ変位計を備え構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明による一実施例を示すICリード曲り検査
装置の平面図である。このICリード曲り検査装置は、IC
6の各側面Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤのリード面に対向する位置
にレーザ変位計２を配置したことである。また、図面に
は示していないが、従来例と同様の搬送装置がステージ
5aと供給部１及び収納箱３との間に配置されている。そ
れ以外は従来例と同じである。
装置の平面図である。このICリード曲り検査装置は、IC
6の各側面Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤのリード面に対向する位置
にレーザ変位計２を配置したことである。また、図面に
は示していないが、従来例と同様の搬送装置がステージ
5aと供給部１及び収納箱３との間に配置されている。そ
れ以外は従来例と同じである。
このように個々にレーザ変位計２を設けることにより、
割り出された位置でのIC6とレーザ変位計との相対位置
精度を個々に調整あるいは補正が出来るので、ステージ
5aを割り出し精度及び平坦度の影響を無視することが出
来る。
割り出された位置でのIC6とレーザ変位計との相対位置
精度を個々に調整あるいは補正が出来るので、ステージ
5aを割り出し精度及び平坦度の影響を無視することが出
来る。
なお、この実施例は円形のステージを設けて数個のICを
検査する装置で述べたが、横型にステージにし、順次に
横送りして検査する構造の装置でも本発明の目的を達成
出来る。
検査する装置で述べたが、横型にステージにし、順次に
横送りして検査する構造の装置でも本発明の目的を達成
出来る。
以上説明したように本発明は、ICの各側面より突出する
リード面にそれぞれ対向してレーザ変位計を配置するこ
とによって、複数のリードが同時に検査出来るとともに
従来のステージの平坦度等の影響を無視し得るので、よ
り正確なより早いICリード曲り検査装置が得られるとい
う効果がある。
リード面にそれぞれ対向してレーザ変位計を配置するこ
とによって、複数のリードが同時に検査出来るとともに
従来のステージの平坦度等の影響を無視し得るので、よ
り正確なより早いICリード曲り検査装置が得られるとい
う効果がある。
第１図は本発明による一実施例を示すICリード曲り検査
装置の平面図、第２図は従来の一例を示すICリード曲り
検査装置の平面図である。 １……供給部、２……レーザ変位計、３……収納箱、４
……搬送装置、５……ステージ、６……IC、７……架
台。
装置の平面図、第２図は従来の一例を示すICリード曲り
検査装置の平面図である。 １……供給部、２……レーザ変位計、３……収納箱、４
……搬送装置、５……ステージ、６……IC、７……架
台。
Claims (1)
- 【請求項１】A,B,CおよびＤの四側面より突出するリー
ドを有するICの前記リード面にレーザ光を照射しこのリ
ード面より反射するレーザ光を検知することにより前記
リード面の歪みを測定するレーザ変位計と、前記ICを載
置しA,B,CおよびＤの各面の前記リード面に前記レーザ
変位計を対向させるために前記ICを90度毎に回転させる
回転手段と、この回転手段に前記ICを移載したり他の収
納箱に移送したりする搬送装置とを有するICリード曲り
検査装置において、前記回転手段に載置される前記ICを
90度毎に配置し90度毎に回転するステージと、前記ICの
A,B,CおよびＤの各面の前記リード面に対向する位置の
それぞれに配置される前記レーザ変位計を備えることを
特徴とするICリード曲り検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7538689A JPH0760087B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | Ｉｃリード曲り検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7538689A JPH0760087B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | Ｉｃリード曲り検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253111A JPH02253111A (ja) | 1990-10-11 |
| JPH0760087B2 true JPH0760087B2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=13574705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7538689A Expired - Fee Related JPH0760087B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | Ｉｃリード曲り検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760087B2 (ja) |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP7538689A patent/JPH0760087B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02253111A (ja) | 1990-10-11 |
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Legal Events
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