JPH02253111A - Ｉｃリード曲り検査装置 - Google Patents
Ｉｃリード曲り検査装置Info
- Publication number
- JPH02253111A JPH02253111A JP7538689A JP7538689A JPH02253111A JP H02253111 A JPH02253111 A JP H02253111A JP 7538689 A JP7538689 A JP 7538689A JP 7538689 A JP7538689 A JP 7538689A JP H02253111 A JPH02253111 A JP H02253111A
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- JP
- Japan
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- stage
- lead
- displacement meter
- laser displacement
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- Granted
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 20
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 16
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ変位計を用いたＩＣリード曲り検査装置
に関する。
に関する。
従来、ＩＣのリード面り検査には、リード面にレーザ光
を所定の入射角度で照射して、その反射角度よりリード
面より反射する光量を測定することによって、照射面の
曲り状態を測定するレーザ変位計を用いて検査していた
。また、この装置の検査速度を早めるために、周辺機器
及び装置に関して種々の工夫及び改善が試みられてきた
。
を所定の入射角度で照射して、その反射角度よりリード
面より反射する光量を測定することによって、照射面の
曲り状態を測定するレーザ変位計を用いて検査していた
。また、この装置の検査速度を早めるために、周辺機器
及び装置に関して種々の工夫及び改善が試みられてきた
。
第２図は従来の一例を示すＩＣリード曲り検査装置の平
面図である。このＩＣリード曲り検査装置は、中央にＩ
Ｃ６を載置し、四等分にインデクスがし得るステージ５
と、このステージ５の左右に配置されているとともにＩ
Ｃ６を供給部１がらステージ５に移載したり、あるいは
、ステージ５よりＩＣ６を移送し収納箱３に収納したり
する搬送装置４と、ＩＣ６のリードの曲りを測定するし
−ザ変位計２とから構成される。
面図である。このＩＣリード曲り検査装置は、中央にＩ
Ｃ６を載置し、四等分にインデクスがし得るステージ５
と、このステージ５の左右に配置されているとともにＩ
Ｃ６を供給部１がらステージ５に移載したり、あるいは
、ステージ５よりＩＣ６を移送し収納箱３に収納したり
する搬送装置４と、ＩＣ６のリードの曲りを測定するし
−ザ変位計２とから構成される。
次に、このＩＣリード曲り検査装置の動作を説明する。
まず、供給部１よりＩＣ６を搬送装置４によりステージ
５に載置する。次に、ＩＣ６の上に配置されたレーザ変
位計２によりレーザ光をＩＣ６の一側面のリート面に照
射し、リートの歪みを測定する。次に、ステージ５が９
０度回転させて、レーザ変位計２の真下にＩＣ６の別の
側面のり−１・が来るようにする。次に、レーザ変位計
２てそのり−トの歪みを検査する。このようにＩＣ６の
各側面のり−１〜かレーザ変位計２の真下に来るように
ステージ５を割り出しリードの検査を行なう。全ての側
面のリードが検査完了したら、搬送装置４によりＩＣ６
を移送し、収納箱３に収納する。
５に載置する。次に、ＩＣ６の上に配置されたレーザ変
位計２によりレーザ光をＩＣ６の一側面のリート面に照
射し、リートの歪みを測定する。次に、ステージ５が９
０度回転させて、レーザ変位計２の真下にＩＣ６の別の
側面のり−１・が来るようにする。次に、レーザ変位計
２てそのり−トの歪みを検査する。このようにＩＣ６の
各側面のり−１〜かレーザ変位計２の真下に来るように
ステージ５を割り出しリードの検査を行なう。全ての側
面のリードが検査完了したら、搬送装置４によりＩＣ６
を移送し、収納箱３に収納する。
」二連した従来のＩＣリード曲り検査装置では、ＩＣの
側面リートを検査するのに、一つのレーザ変位計に対し
てステージにより各側面を割り出し−・側面のリート面
を検査している。従って、能率が悪いばかりか、ステー
ジのインデクス精度すなわちステージの割り出し精度及
び平坦度かＩＣのリード面に加味され、正確な検査か出
来ないという欠点がある。
側面リートを検査するのに、一つのレーザ変位計に対し
てステージにより各側面を割り出し−・側面のリート面
を検査している。従って、能率が悪いばかりか、ステー
ジのインデクス精度すなわちステージの割り出し精度及
び平坦度かＩＣのリード面に加味され、正確な検査か出
来ないという欠点がある。
本発明の目的は、より早く正確な検査か出来るＩＣリー
ド曲り検査装置を提供することである。
ド曲り検査装置を提供することである。
本発明のＩＣリード曲り検査装置は、四側面より突出す
るリードを有するＩＣの前記り一１〜面にレーザ光を照
射しこのリート面より反射するレーザ光を検知すること
により前記リート面の歪みを測定するレーザ変位計と、
前記ＩＣを載置し四等分に割り出しするステージと、こ
のステージに前記ＩＣを移載したり他の収納箱に移送し
たりする搬送装置とを有するＩＣリード曲り検査装置に
おいて、前記ＩＣの各前記リード面に対向する位置のそ
れぞれに配置される前記レーザ変位計を備え構成される
。
るリードを有するＩＣの前記り一１〜面にレーザ光を照
射しこのリート面より反射するレーザ光を検知すること
により前記リート面の歪みを測定するレーザ変位計と、
前記ＩＣを載置し四等分に割り出しするステージと、こ
のステージに前記ＩＣを移載したり他の収納箱に移送し
たりする搬送装置とを有するＩＣリード曲り検査装置に
おいて、前記ＩＣの各前記リード面に対向する位置のそ
れぞれに配置される前記レーザ変位計を備え構成される
。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１−図は本発明による一実施例を示すＩＣリード曲り
検査装置の平面図である。このＩＣリード曲り検査装置
は、ＩＣ６の各側面Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤのリート面に対向
する位置にレーザ変位計２を配置したことである。また
、図面には示していないが、従来例と同様の搬送装置か
ステージ５ａと供給部１及び収納箱３との間に配置され
ている。
検査装置の平面図である。このＩＣリード曲り検査装置
は、ＩＣ６の各側面Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤのリート面に対向
する位置にレーザ変位計２を配置したことである。また
、図面には示していないが、従来例と同様の搬送装置か
ステージ５ａと供給部１及び収納箱３との間に配置され
ている。
それ以外は従来例と同しである。
このように個々にレーザ変位計２を設けることにより、
割り出された位置でのＩＣ６とレーザ変位計との相対位
置精度を個々に調整あるいは補正が出来るので、ステー
ジ５ａを割り出し精度及び平坦度の影響を無視すること
か出来る。
割り出された位置でのＩＣ６とレーザ変位計との相対位
置精度を個々に調整あるいは補正が出来るので、ステー
ジ５ａを割り出し精度及び平坦度の影響を無視すること
か出来る。
なお、この実施例は円形のステージを設けて数個のＩＣ
を検査する装置で述べたが、横型にステージにし、順次
に横送りして検査する構造の装置でも本発明の目的を達
成出来る。
を検査する装置で述べたが、横型にステージにし、順次
に横送りして検査する構造の装置でも本発明の目的を達
成出来る。
以」二説明したように本発明は、ＩＣの各側面より突出
するり一ト面にそれぞれ対向してレーザ変位計を配置す
ることによって、複数のリートが同時に検査出来るとと
もに従来のステージの平坦度等の影響を無視し得るのて
、より正確なより早いＩＣリード曲り検査装置が得られ
るという効果かある。
するり一ト面にそれぞれ対向してレーザ変位計を配置す
ることによって、複数のリートが同時に検査出来るとと
もに従来のステージの平坦度等の影響を無視し得るのて
、より正確なより早いＩＣリード曲り検査装置が得られ
るという効果かある。
第１図は本発明による一実施例を示すＩＣリード曲り検
査装置の平面図、第２図は従来の一例を示すＩＣリード
曲り検査装置の平面図である。
査装置の平面図、第２図は従来の一例を示すＩＣリード
曲り検査装置の平面図である。
Claims (1)
- 四側面より突出するリードを有するＩＣの前記リード面
にレーザ光を照射しこのリード面より反射するレーザ光
を検知することにより前記リード面の歪みを測定するレ
ーザ変位計と、前記ＩＣを載置し四等分に割り出しする
ステージと、このステージに前記ＩＣを移載したり他の
収納箱に移送したりする搬送装置とを有するＩＣリード
曲り検査装置において、前記ＩＣの各前記リード面に対
向する位置のそれぞれに配置される前記レーザ変位計を
備えることを特徴とするＩＣリード曲り検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7538689A JPH0760087B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | Ｉｃリード曲り検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7538689A JPH0760087B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | Ｉｃリード曲り検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253111A true JPH02253111A (ja) | 1990-10-11 |
| JPH0760087B2 JPH0760087B2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=13574705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7538689A Expired - Fee Related JPH0760087B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | Ｉｃリード曲り検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760087B2 (ja) |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP7538689A patent/JPH0760087B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0760087B2 (ja) | 1995-06-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |