JPH0760630A - 平面研削盤 - Google Patents
平面研削盤Info
- Publication number
- JPH0760630A JPH0760630A JP5212499A JP21249993A JPH0760630A JP H0760630 A JPH0760630 A JP H0760630A JP 5212499 A JP5212499 A JP 5212499A JP 21249993 A JP21249993 A JP 21249993A JP H0760630 A JPH0760630 A JP H0760630A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- curved surface
- grinding
- grindstone
- grinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気ヘッドの媒体摺動面のＲ曲線形成機械加
工を行う平面研削盤を提供する。 【構成】 磁気ヘッド１５の媒体摺動面のＲ曲面形成手
段と、Ｒ曲面研削時の磁気ヘッド１５における各トラッ
ク毎のギャップ深さのバラツキ、すなわち両端トラック
での両ギャップ深さの差を計測する計測手段と、該計測
手段で計測された値を基にＲ研削加工中にギャップ深さ
の差に相当する傾き角の角度補正を行う角度補正テーブ
ル１０とを有し、前記Ｒ曲面形成手段は、研削対象とす
る磁気ヘッド１５と接触する面がＲ曲面形状をした砥石
８を用い、該Ｒ形状砥石８の設定位置は磁気ヘッド１５
の媒体摺動方向に垂直方向に位置している平面研削盤。 【効果】 上記構成を有することにより、研削工程の自
動化が容易に行えるようになる。
工を行う平面研削盤を提供する。 【構成】 磁気ヘッド１５の媒体摺動面のＲ曲面形成手
段と、Ｒ曲面研削時の磁気ヘッド１５における各トラッ
ク毎のギャップ深さのバラツキ、すなわち両端トラック
での両ギャップ深さの差を計測する計測手段と、該計測
手段で計測された値を基にＲ研削加工中にギャップ深さ
の差に相当する傾き角の角度補正を行う角度補正テーブ
ル１０とを有し、前記Ｒ曲面形成手段は、研削対象とす
る磁気ヘッド１５と接触する面がＲ曲面形状をした砥石
８を用い、該Ｒ形状砥石８の設定位置は磁気ヘッド１５
の媒体摺動方向に垂直方向に位置している平面研削盤。 【効果】 上記構成を有することにより、研削工程の自
動化が容易に行えるようになる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッド等のＲ研削を
行う研磨装置に関するものである。
行う研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に磁気ヘッドの製造工程においては
特開昭６０−１４１４６５号公報記載内容のいわゆる円
筒研削盤が知られている。磁気テープ等の磁気記録媒体
と接触する磁気ヘッドの媒体摺動面のＲ曲面形成機械加
工は図５の模式図に示すように磁気ヘッドの媒体摺動方
向と同軸方向に回転する砥石によりＲ曲面の形成を行う
研削加工が行われている。
特開昭６０−１４１４６５号公報記載内容のいわゆる円
筒研削盤が知られている。磁気テープ等の磁気記録媒体
と接触する磁気ヘッドの媒体摺動面のＲ曲面形成機械加
工は図５の模式図に示すように磁気ヘッドの媒体摺動方
向と同軸方向に回転する砥石によりＲ曲面の形成を行う
研削加工が行われている。
【０００３】ところで、研削盤における研削量の制御
は、研削砥石の摩耗による寸法変動、研削時の発熱によ
る被加工物の熱膨張等の不安定要素を除去する為、自動
定寸装置を付加したものや、ＣＮＣ（コンピュータ数値
制御）化されたものが見られ、又、磁気ヘッドのギャッ
プ深さを所定の寸法まで研削加工あるいはラッピング加
工する為の寸法管理方法として、光学顕微鏡による視覚
認識法や磁気ヘッドのギャップ部に形成された抵抗体の
抵抗値の変化を検出する方法が知られている。
は、研削砥石の摩耗による寸法変動、研削時の発熱によ
る被加工物の熱膨張等の不安定要素を除去する為、自動
定寸装置を付加したものや、ＣＮＣ（コンピュータ数値
制御）化されたものが見られ、又、磁気ヘッドのギャッ
プ深さを所定の寸法まで研削加工あるいはラッピング加
工する為の寸法管理方法として、光学顕微鏡による視覚
認識法や磁気ヘッドのギャップ部に形成された抵抗体の
抵抗値の変化を検出する方法が知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の円筒研削盤によ
る研削加工は、（１）絶対加工量が多い、（２）研削加
工による加工面のチッピング、クラック、あるいは加工
変質層が発生しやすい、（３）加工面での研削による発
熱が生じやすい、（４）円筒研削盤はワークのローダ・
アンローダ等の点で自動化が難しい等の特徴が有り、被
加工物（磁気ヘッド）の研削加工条件は厳密に管理され
る必要があった。
る研削加工は、（１）絶対加工量が多い、（２）研削加
工による加工面のチッピング、クラック、あるいは加工
変質層が発生しやすい、（３）加工面での研削による発
熱が生じやすい、（４）円筒研削盤はワークのローダ・
アンローダ等の点で自動化が難しい等の特徴が有り、被
加工物（磁気ヘッド）の研削加工条件は厳密に管理され
る必要があった。
【０００５】研削盤における研削量の制御においては、
被加工物の研削面の表面粗度を向上させる為、研削砥石
にレジノイド系の結合剤を用いた弾性砥石を用いた場
合、その砥石の特性上、砥石の切込値と被加工物の研削
量とは必ずしも一致するものではなく、前述の自動定寸
装置やＣＮＣ装置を付加しても高精度に研削量を制御す
ることは困難であった。
被加工物の研削面の表面粗度を向上させる為、研削砥石
にレジノイド系の結合剤を用いた弾性砥石を用いた場
合、その砥石の特性上、砥石の切込値と被加工物の研削
量とは必ずしも一致するものではなく、前述の自動定寸
装置やＣＮＣ装置を付加しても高精度に研削量を制御す
ることは困難であった。
【０００６】中でも研削盤は磁気ヘッドのギャップ深さ
を所定の寸法まで研削加工する必要が有る為、高精度に
管理されることが必要となる。又、昨今、技術開発が著
しいデジタル方式の磁気記録再生装置に適用される磁気
ヘッドに比べ、トラック数が多く、高記録密度記録再生
が要求される為、各トラックのギャップ深さを高精度
で、尚かつ均一に形成する高精度の技術が必要とされて
いた。
を所定の寸法まで研削加工する必要が有る為、高精度に
管理されることが必要となる。又、昨今、技術開発が著
しいデジタル方式の磁気記録再生装置に適用される磁気
ヘッドに比べ、トラック数が多く、高記録密度記録再生
が要求される為、各トラックのギャップ深さを高精度
で、尚かつ均一に形成する高精度の技術が必要とされて
いた。
【０００７】本発明は磁気ヘッドのＲ曲面の研削加工を
高精度に行う平面研削盤に関するものである。
高精度に行う平面研削盤に関するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】磁気ヘッドの媒体摺動面
のＲ曲面形成機械加工を行う平面研削盤であって、磁気
ヘッドの媒体摺動面のＲ曲面形成手段と、Ｒ曲面研削時
の磁気ヘッドにおける各トラック毎のギャップ深さのバ
ラツキ、すなわち両端トラックでの両ギャップ深さの差
を計測する計測手段と、該計測手段で計測された値を基
にＲ研削加工中にギャップ深さの差に相当する傾き角の
角度補正を行う角度補正テーブルとを有し、前記Ｒ曲面
形成手段は、研削対象とする磁気ヘッドと接触する面が
Ｒ曲面形状をした砥石を用い、該Ｒ形状砥石の設定位置
は磁気ヘッドの媒体摺動方向に垂直方向に位置すること
を特徴とする。
のＲ曲面形成機械加工を行う平面研削盤であって、磁気
ヘッドの媒体摺動面のＲ曲面形成手段と、Ｒ曲面研削時
の磁気ヘッドにおける各トラック毎のギャップ深さのバ
ラツキ、すなわち両端トラックでの両ギャップ深さの差
を計測する計測手段と、該計測手段で計測された値を基
にＲ研削加工中にギャップ深さの差に相当する傾き角の
角度補正を行う角度補正テーブルとを有し、前記Ｒ曲面
形成手段は、研削対象とする磁気ヘッドと接触する面が
Ｒ曲面形状をした砥石を用い、該Ｒ形状砥石の設定位置
は磁気ヘッドの媒体摺動方向に垂直方向に位置すること
を特徴とする。
【０００９】また、上記計測手段は、磁気ヘッドのギャ
ップ部に形成された抵抗体により計測することを特徴と
する。
ップ部に形成された抵抗体により計測することを特徴と
する。
【００１０】
【作用】上記構成を採用することにより、被加工物との
砥石の接触面をＲ曲面形状にしておくことにより、円筒
研削盤に較べてワークのローダ・アンローダ等において
自動化が容易に行えるようになる。また被加工物すなわ
ち磁気ヘッドに配設された抵抗体の抵抗値を基に磁気ヘ
ッドの加工の均一性を制御するため、研削砥石の摩耗に
よる寸法精度や研削時の発熱による被加工物の熱膨張に
よる被加工物の熱膨張による影響を受けず、極めて高精
度な磁気ヘッドの平面研削加工が可能となる。
砥石の接触面をＲ曲面形状にしておくことにより、円筒
研削盤に較べてワークのローダ・アンローダ等において
自動化が容易に行えるようになる。また被加工物すなわ
ち磁気ヘッドに配設された抵抗体の抵抗値を基に磁気ヘ
ッドの加工の均一性を制御するため、研削砥石の摩耗に
よる寸法精度や研削時の発熱による被加工物の熱膨張に
よる被加工物の熱膨張による影響を受けず、極めて高精
度な磁気ヘッドの平面研削加工が可能となる。
【００１１】
【実施例】本発明の一実施例について図面を用いて説明
する。
する。
【００１２】図５は磁気ヘッド１５の構成を示す。図５
に示すように磁気ヘッド１５は抵抗体１６、抵抗体導線
１７、トラック１８、保護板１９、基板２０からなる。
内部に研削量を計測するために抵抗体１６が配置されて
おり、研削することにより抵抗体１６が削られ、抵抗値
の測定により研削量を把握することができる。この抵抗
体１６は抵抗体導線１７により平面研削盤に接続されて
おり磁気ヘッド１５の研削量および傾きなどを補正しな
がら加工できる構造になっている。
に示すように磁気ヘッド１５は抵抗体１６、抵抗体導線
１７、トラック１８、保護板１９、基板２０からなる。
内部に研削量を計測するために抵抗体１６が配置されて
おり、研削することにより抵抗体１６が削られ、抵抗値
の測定により研削量を把握することができる。この抵抗
体１６は抵抗体導線１７により平面研削盤に接続されて
おり磁気ヘッド１５の研削量および傾きなどを補正しな
がら加工できる構造になっている。
【００１３】本発明の平面研削盤の動作を説明する模式
図を図１に示す。研削対象とする磁気ヘッド１５と接触
する面がＲ曲面形状をした砥石８を用い、該Ｒ形状の砥
石８の設定位置は磁気ヘッド１５の媒体摺動方向に垂直
方向に位置させ、回転する砥石８の研削面に磁気ヘッド
１５の媒体慴動面（Ｒ曲面形成面）を接触させ研磨を行
う。
図を図１に示す。研削対象とする磁気ヘッド１５と接触
する面がＲ曲面形状をした砥石８を用い、該Ｒ形状の砥
石８の設定位置は磁気ヘッド１５の媒体摺動方向に垂直
方向に位置させ、回転する砥石８の研削面に磁気ヘッド
１５の媒体慴動面（Ｒ曲面形成面）を接触させ研磨を行
う。
【００１４】図２に本発明の実施例における平面研削盤
の側面図（ａ）、正面図（ｂ）を示す。
の側面図（ａ）、正面図（ｂ）を示す。
【００１５】図２（ａ）において１はベッドで、モータ
４によりコラム３、砥石８などが前後に作動する。モー
タ７によりスピンドル６、砥石８が上下に作動して磁気
ヘッド１５を加工する。モータ９により砥石８が回転す
る。砥石８は磁気ヘッド１５をＲ形状に加工するため、
あらかじめＲ形状に整形されている。モータ５によりテ
ーブル２が左右に作動して磁気ヘッド１５を加工する。
４によりコラム３、砥石８などが前後に作動する。モー
タ７によりスピンドル６、砥石８が上下に作動して磁気
ヘッド１５を加工する。モータ９により砥石８が回転す
る。砥石８は磁気ヘッド１５をＲ形状に加工するため、
あらかじめＲ形状に整形されている。モータ５によりテ
ーブル２が左右に作動して磁気ヘッド１５を加工する。
【００１６】図２（ｂ）においてモータ１１によりθ補
正テーブル１０が支点１４を中心にθ補正テーブル押し
機構１２が上昇または下降して磁気ヘッド１５のθ補正
を行う。引張バネ１３により動作は安定する。
正テーブル１０が支点１４を中心にθ補正テーブル押し
機構１２が上昇または下降して磁気ヘッド１５のθ補正
を行う。引張バネ１３により動作は安定する。
【００１７】次に本発明の平面研削盤の動作を図３に示
すフローチャートに基づいて説明する。
すフローチャートに基づいて説明する。
【００１８】・動作１：モータ４が作動して砥石８が磁
気ヘッド１５の前後方向に移動し、モータ７が作動して
砥石８が磁気ヘッド１５の上下方向に移動し、モータ５
が作動して砥石８が磁気ヘッド１５の左右方向に移動し
て、砥石８を磁気ヘッド１５に接触させる。
気ヘッド１５の前後方向に移動し、モータ７が作動して
砥石８が磁気ヘッド１５の上下方向に移動し、モータ５
が作動して砥石８が磁気ヘッド１５の左右方向に移動し
て、砥石８を磁気ヘッド１５に接触させる。
【００１９】・動作２：モータ７が作動して砥石８が一
定量下降して、砥石８が磁気ヘッド１５に一定量切込
む。
定量下降して、砥石８が磁気ヘッド１５に一定量切込
む。
【００２０】・動作３：モータ５が作動して磁気ヘッド
１５が左右に動作して、砥石８が磁気ヘッド１５を水平
に加工する。
１５が左右に動作して、砥石８が磁気ヘッド１５を水平
に加工する。
【００２１】・動作４：磁気ヘッド１５内の抵抗体１６
の抵抗値を抵抗体導線１７を通して制御盤内部で計測し
て左右の抵抗体１６の値が等しいか（磁気ヘッド１５が
正確に加工できているか）判定する。
の抵抗値を抵抗体導線１７を通して制御盤内部で計測し
て左右の抵抗体１６の値が等しいか（磁気ヘッド１５が
正確に加工できているか）判定する。
【００２２】・動作５：もし、動作４で磁気ヘッド１５
内の左右の抵抗体１６の値に差があれば、モータ１１が
作動してθ補正テーブル１０を動作して、磁気ヘッド１
５が左右均等に加工するように角度θを補正する。
内の左右の抵抗体１６の値に差があれば、モータ１１が
作動してθ補正テーブル１０を動作して、磁気ヘッド１
５が左右均等に加工するように角度θを補正する。
【００２３】・動作６：磁気ヘッド１５の抵抗体１６の
抵抗値を抵抗体導線１７を通して制御盤内部で計測して
左右の抵抗体１６の値が規定の値になったか（磁気ヘッ
ド１５が規定量に加工できたか）判定する。
抵抗値を抵抗体導線１７を通して制御盤内部で計測して
左右の抵抗体１６の値が規定の値になったか（磁気ヘッ
ド１５が規定量に加工できたか）判定する。
【００２４】もし規定値でなければ動作２に戻る。
【００２５】以上で動作を終了する。
【００２６】
【発明の効果】以上説明した様に本発明は被加工物との
砥石の接触面をＲ曲面形状にしておくことにより、円筒
研削盤に較べてワークのローダ・アンローダ等において
自動化が容易に行えるようになる。また被加工物すなわ
ち磁気ヘッドに配設された抵抗体の抵抗値を基に磁気ヘ
ッドの加工の均一性を制御するため、研削砥石の摩耗に
よる寸法精度や研削時の発熱による被加工物の熱膨張に
よる被加工物の熱膨張による影響を受けず、極めて高精
度な磁気ヘッドの平面研削加工が可能となる。
砥石の接触面をＲ曲面形状にしておくことにより、円筒
研削盤に較べてワークのローダ・アンローダ等において
自動化が容易に行えるようになる。また被加工物すなわ
ち磁気ヘッドに配設された抵抗体の抵抗値を基に磁気ヘ
ッドの加工の均一性を制御するため、研削砥石の摩耗に
よる寸法精度や研削時の発熱による被加工物の熱膨張に
よる被加工物の熱膨張による影響を受けず、極めて高精
度な磁気ヘッドの平面研削加工が可能となる。
【図１】本発明の平面研削盤の動作の模式図を示す。
【図２】本発明の平面研削盤の構成図の側面図（ａ），
正面図（ｂ）を示す。
正面図（ｂ）を示す。
【図３】本発明の平面研削盤の動作フロー図を示す。
【図４】磁気ヘッドの構成図を示す。
【図５】従来の円筒研削盤の動作の模式図を示す。
１ ベッド ２ テーブル ３ コラム ６ スピンドル ８ Ｒ形状砥石 １２ θ補正テーブル押し機構 １３ 引張バネ １４ θ補正テーブル支点 １５ 磁気ヘッド １６ 抵抗体 １７ 抵抗体導線
Claims (2)
- 【請求項１】 磁気ヘッドの媒体摺動面のＲ曲面形成機
械加工を行う平面研削盤であって、 磁気ヘッドの媒体摺動面のＲ曲面形成手段と、 Ｒ曲面研削時の磁気ヘッドにおける各トラック毎のギャ
ップ深さのバラツキ、すなわち両端トラックでの両ギャ
ップ深さの差を計測する計測手段と、 該計測手段で計測された値を基にＲ研削加工中にギャッ
プ深さの差に相当する傾き角の角度補正を行う角度補正
テーブルとを有し、 前記Ｒ曲面形成手段は、研削対象とする磁気ヘッドと接
触する面がＲ曲面形状をした砥石を用い、該Ｒ形状砥石
の設定位置は磁気ヘッドの媒体摺動方向に垂直方向に位
置することを特徴とする平面研削盤。 - 【請求項２】 上記計測手段は、磁気ヘッドのギャップ
部に形成された抵抗体により計測することを特徴とする
請求項１記載の平面研削盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5212499A JPH0760630A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 平面研削盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5212499A JPH0760630A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 平面研削盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0760630A true JPH0760630A (ja) | 1995-03-07 |
Family
ID=16623680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5212499A Pending JPH0760630A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 平面研削盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760630A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19815837B4 (de) * | 1997-08-06 | 2006-11-02 | Fujitsu Ltd., Kawasaki | Läpp-Aufspannvorrichtung |
| JP2007245260A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | チップの成形装置 |
| JP2018202601A (ja) * | 2017-11-30 | 2018-12-27 | 株式会社日立プラントコンストラクション | ラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置 |
| JP2018202510A (ja) * | 2017-05-31 | 2018-12-27 | 株式会社日立プラントコンストラクション | ラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置 |
-
1993
- 1993-08-27 JP JP5212499A patent/JPH0760630A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19815837B4 (de) * | 1997-08-06 | 2006-11-02 | Fujitsu Ltd., Kawasaki | Läpp-Aufspannvorrichtung |
| JP2007245260A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | チップの成形装置 |
| JP2018202510A (ja) * | 2017-05-31 | 2018-12-27 | 株式会社日立プラントコンストラクション | ラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置 |
| JP2018202601A (ja) * | 2017-11-30 | 2018-12-27 | 株式会社日立プラントコンストラクション | ラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置 |
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