JPH0760659B2 - 電子顕微鏡用偏向装置 - Google Patents
電子顕微鏡用偏向装置Info
- Publication number
- JPH0760659B2 JPH0760659B2 JP1215386A JP21538689A JPH0760659B2 JP H0760659 B2 JPH0760659 B2 JP H0760659B2 JP 1215386 A JP1215386 A JP 1215386A JP 21538689 A JP21538689 A JP 21538689A JP H0760659 B2 JPH0760659 B2 JP H0760659B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deflection
- stage
- deflector
- mode
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、電子顕微鏡に組み込まれる電子線偏向装置の
改良に関する。
改良に関する。
［発明が解決しようとする問題点］ 透過型電子顕微鏡においては、電子銃から発散する電子
線を平行な電子線束として電子光学系の光軸に沿って試
料面に垂直に照射させる通常の試料照射モードの他に、
幾つかの試料照射モードがある。
線を平行な電子線束として電子光学系の光軸に沿って試
料面に垂直に照射させる通常の試料照射モードの他に、
幾つかの試料照射モードがある。
第４図は、傾斜モードにおける電子線束の中心経路を表
した略図で、傾斜モードにおいては、光軸１と角度α傾
けた方向から電子線２を試料３に照射するため、第１段
目の偏向子Ａと第２段目の偏向子Ｂによって電子線を夫
々逆方向に偏向する。第５図は、（視野）移動モードに
おける電子線束の中心経路を表した略図で、移動モード
においては、電子線を光軸１と平行を保ったまま移動さ
せて試料３の所望領域を照射するため、第１段目の偏向
子Ａと第２段目の偏向子Ｂによって電子線２を夫々逆方
向に偏向する。
した略図で、傾斜モードにおいては、光軸１と角度α傾
けた方向から電子線２を試料３に照射するため、第１段
目の偏向子Ａと第２段目の偏向子Ｂによって電子線を夫
々逆方向に偏向する。第５図は、（視野）移動モードに
おける電子線束の中心経路を表した略図で、移動モード
においては、電子線を光軸１と平行を保ったまま移動さ
せて試料３の所望領域を照射するため、第１段目の偏向
子Ａと第２段目の偏向子Ｂによって電子線２を夫々逆方
向に偏向する。
第４図及び第５図に示す電子線経路は、試料３と偏向子
Ａとの間に電子レンズ場がない場合のものであるが、実
際の装置においては第６図に示すように、試料３の近傍
に対物レンズ場の前磁場４やミニ対物レンズ磁場５の形
成されることが多い。このような光学系において、移動
モードの電子線照射を行うためには、光軸１上の定点Ｐ
を偏向支点として電子線を偏向する必要があり、傾斜モ
ードの電子線照射を行うためには、光軸１上の定点Ｑを
偏向支点として電子線を偏向する必要がある。これらの
偏向支点ＰおよびＱの位置は、対物レンズやミニ対物レ
ンズの励磁変化に応じて移動する。
Ａとの間に電子レンズ場がない場合のものであるが、実
際の装置においては第６図に示すように、試料３の近傍
に対物レンズ場の前磁場４やミニ対物レンズ磁場５の形
成されることが多い。このような光学系において、移動
モードの電子線照射を行うためには、光軸１上の定点Ｐ
を偏向支点として電子線を偏向する必要があり、傾斜モ
ードの電子線照射を行うためには、光軸１上の定点Ｑを
偏向支点として電子線を偏向する必要がある。これらの
偏向支点ＰおよびＱの位置は、対物レンズやミニ対物レ
ンズの励磁変化に応じて移動する。
所で、二段の偏向子A,Bを用いることにより、光軸に沿
って入射する電子線を光軸上の任意の点を偏向支点とし
て偏向することが可能である。第７図は、偏向子Ｂの下
方の位置６を偏向支点とする場合の光学図で、第１段目
の偏向子Ａによる偏向角βに対して、偏向子Ｂに対して
K1を定数としてKa・βの偏向角を与えるようにすれば
（偏向角βが小さい場合には）偏向支点を一定に保つこ
とができる。この場合、各偏向子によって偏向される電
子線の偏向角は、偏向子に供給される励磁電流または励
磁電圧等の信号強度に比例するので、第１段目の偏向子
Ａに供給する励磁信号強度Ｉに対して、定数Ka倍の励磁
信号を偏向子Ｂに供給すれば、目的とする偏向を行うこ
とができる。このような偏向を行うための偏向電源は、
二つの定電流電源を連動させ、一方の定電流電源の出力
を調整する制御手段と、二つの電源の出力比を調整する
制御手段を設けるのが普通である。
って入射する電子線を光軸上の任意の点を偏向支点とし
て偏向することが可能である。第７図は、偏向子Ｂの下
方の位置６を偏向支点とする場合の光学図で、第１段目
の偏向子Ａによる偏向角βに対して、偏向子Ｂに対して
K1を定数としてKa・βの偏向角を与えるようにすれば
（偏向角βが小さい場合には）偏向支点を一定に保つこ
とができる。この場合、各偏向子によって偏向される電
子線の偏向角は、偏向子に供給される励磁電流または励
磁電圧等の信号強度に比例するので、第１段目の偏向子
Ａに供給する励磁信号強度Ｉに対して、定数Ka倍の励磁
信号を偏向子Ｂに供給すれば、目的とする偏向を行うこ
とができる。このような偏向を行うための偏向電源は、
二つの定電流電源を連動させ、一方の定電流電源の出力
を調整する制御手段と、二つの電源の出力比を調整する
制御手段を設けるのが普通である。
第８図は、偏向子Ａの上方の定点７を偏向支点とする場
合の光学図で、第１段目の偏向子Ａによる偏向角γに対
して、偏向子Ｂに対してKbを定数としてKb・γの偏向角
を与えるようにすればよく、第１段目の偏向子Ａに供給
する励磁信号強度Ｉに対して、定数Kb倍の励磁信号を偏
向子Ｂに供給すれば、目的とする偏向を行うことができ
る。
合の光学図で、第１段目の偏向子Ａによる偏向角γに対
して、偏向子Ｂに対してKbを定数としてKb・γの偏向角
を与えるようにすればよく、第１段目の偏向子Ａに供給
する励磁信号強度Ｉに対して、定数Kb倍の励磁信号を偏
向子Ｂに供給すれば、目的とする偏向を行うことができ
る。
第９図は、偏向支点の位置（座標）と二段の偏向子に供
給する偏向信号強度比の関係を表す略図であり、横軸は
偏向支点の座標を、縦軸は偏向信号強度の比（係数）を
表している。曲線ａは、第１段目の偏向子Ａに供給する
偏向信号Iaに対して一定の定数Kaを乗じた励磁信号Ibを
第２段目の偏向子Ｂに供給する第１段主導モードに使用
される定数Ka（＝Ib/Ia）の変化を表しており、曲線ｂ
は、第２段目の偏向子Ｂに供給する偏向信号Ibに対して
一定の定数Kbを乗じた励磁信号Iaを第１段目の偏向子Ａ
に供給する第２段主導モードに使用される定数Kb（＝Ia
/Ib）の変化を表している。
給する偏向信号強度比の関係を表す略図であり、横軸は
偏向支点の座標を、縦軸は偏向信号強度の比（係数）を
表している。曲線ａは、第１段目の偏向子Ａに供給する
偏向信号Iaに対して一定の定数Kaを乗じた励磁信号Ibを
第２段目の偏向子Ｂに供給する第１段主導モードに使用
される定数Ka（＝Ib/Ia）の変化を表しており、曲線ｂ
は、第２段目の偏向子Ｂに供給する偏向信号Ibに対して
一定の定数Kbを乗じた励磁信号Iaを第１段目の偏向子Ａ
に供給する第２段主導モードに使用される定数Kb（＝Ia
/Ib）の変化を表している。
第９図から明らかなように、偏向支点が偏向子Ａの近傍
にくるとKbの値が著しく大きな値となり、その様な係数
を演算することが困難となる。同様に、偏向支点が偏向
子Ｂの近傍に達するとKaの値が著しく大きな値となり、
その様な係数を演算することが困難となる。従って、第
１段主導モードのみ又は第２段主導モードのみでしか作
動しない偏向電源では、任意の点を偏向支点とする電子
線偏向が困難となるので、第１段主導モードと第２段主
導モードのいずれでも作動できるように構成する必要が
ある。しかしながら、最適偏向支点の座標は、前述した
ように電子レンズの使用条件によって変化するため、定
数KaやKbが余り大きな値を取らないようにするために
は、第１段主導モードと第２段主導モードのいずれを使
用すべきかの判断が困難で、オペレーターの試行錯誤に
よって選択されるため、電子顕微鏡の操作性を難しくす
る一因となっていた。
にくるとKbの値が著しく大きな値となり、その様な係数
を演算することが困難となる。同様に、偏向支点が偏向
子Ｂの近傍に達するとKaの値が著しく大きな値となり、
その様な係数を演算することが困難となる。従って、第
１段主導モードのみ又は第２段主導モードのみでしか作
動しない偏向電源では、任意の点を偏向支点とする電子
線偏向が困難となるので、第１段主導モードと第２段主
導モードのいずれでも作動できるように構成する必要が
ある。しかしながら、最適偏向支点の座標は、前述した
ように電子レンズの使用条件によって変化するため、定
数KaやKbが余り大きな値を取らないようにするために
は、第１段主導モードと第２段主導モードのいずれを使
用すべきかの判断が困難で、オペレーターの試行錯誤に
よって選択されるため、電子顕微鏡の操作性を難しくす
る一因となっていた。
［発明が解決しようとする課題］ 本発明は、透過型電子顕微鏡における試料照射系の電子
線偏向操作をより簡便に行うことを目的とする。
線偏向操作をより簡便に行うことを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 本発明の透過型電子顕微鏡においては、電子銃と観察試
料位置との間に設けられた２段の偏向子と、試料位置と
偏向子との間に設けられた電子レンズと、第１段目の偏
向子に供給する励起信号に可変定数を乗じた励起信号を
第２段目の偏向子に供給する第１段主導モードと、第２
段目の偏向子に供給する励起信号に可変定数を乗じた励
起信号を第１段目の偏向子に供給する第２段主導モード
とを切り替える機能を有する偏向電源を具備した装置に
加えて、試料に入射する電子線を傾斜させる傾斜モード
又は試料に入射する電子線の照射位置を移動させる移動
モードを行うに必要な電子線偏向支点の位置を前記電子
レンズの強度から求める手段と、該手段の出力に基づい
て前記第１段主導モードと第２段主導モードのいずれを
選択すべきかを表示する手段を設ける事により、前述し
た課題を解決する。
料位置との間に設けられた２段の偏向子と、試料位置と
偏向子との間に設けられた電子レンズと、第１段目の偏
向子に供給する励起信号に可変定数を乗じた励起信号を
第２段目の偏向子に供給する第１段主導モードと、第２
段目の偏向子に供給する励起信号に可変定数を乗じた励
起信号を第１段目の偏向子に供給する第２段主導モード
とを切り替える機能を有する偏向電源を具備した装置に
加えて、試料に入射する電子線を傾斜させる傾斜モード
又は試料に入射する電子線の照射位置を移動させる移動
モードを行うに必要な電子線偏向支点の位置を前記電子
レンズの強度から求める手段と、該手段の出力に基づい
て前記第１段主導モードと第２段主導モードのいずれを
選択すべきかを表示する手段を設ける事により、前述し
た課題を解決する。
［作用］ 本発明においては、試料位置と偏向子との間に形成され
る電子レンズの強度から所望の偏向を行うための偏向支
点位置を求め、該結果により２段偏向子による最適偏向
モードを求めるようにしているので、透過型電子顕微鏡
における試料照射系の電子線偏向操作をより容易に行う
ことが出来る。
る電子レンズの強度から所望の偏向を行うための偏向支
点位置を求め、該結果により２段偏向子による最適偏向
モードを求めるようにしているので、透過型電子顕微鏡
における試料照射系の電子線偏向操作をより容易に行う
ことが出来る。
［実施例］ 第１図は、本発明の一実施例装置の構成を示す略図であ
る。透過型電子顕微鏡の真空筐体10の上部には、電子銃
11が設けられており、電子銃11より発散した電子線は、
集束レンズ12、ミニ対物レンズ13及び対物レンズ14の前
方磁場により順次集束されて、対物レンズ14の磁場中に
置かれた観察試料15を照射する。集束レンズ12とミニ対
物レンズ13の間には第１段目の偏向子Ａと第２段目の偏
向子Ｂが設けられている。偏向子Ａ、Ｂには切替手段16
を介して偏向電源17の出力端子ｓ又はｔに接続されてお
り、偏向電源17には、キーボード等の入力手段を経て偏
向強度指定手段18と係数指定手段19から制御信号が印加
されており、その出力端子ｓには偏向強度調整手段18よ
り指定される偏向信号Ioが出力され、出力端子ｔには係
数調整手段19より指定された係数Koを偏向信号Ioに乗じ
た偏向信号Ko×Ioが出力される。切替手段16を操作する
ことにより、第１段主導モードと第２段主導モードのい
ずれかが選択される。
る。透過型電子顕微鏡の真空筐体10の上部には、電子銃
11が設けられており、電子銃11より発散した電子線は、
集束レンズ12、ミニ対物レンズ13及び対物レンズ14の前
方磁場により順次集束されて、対物レンズ14の磁場中に
置かれた観察試料15を照射する。集束レンズ12とミニ対
物レンズ13の間には第１段目の偏向子Ａと第２段目の偏
向子Ｂが設けられている。偏向子Ａ、Ｂには切替手段16
を介して偏向電源17の出力端子ｓ又はｔに接続されてお
り、偏向電源17には、キーボード等の入力手段を経て偏
向強度指定手段18と係数指定手段19から制御信号が印加
されており、その出力端子ｓには偏向強度調整手段18よ
り指定される偏向信号Ioが出力され、出力端子ｔには係
数調整手段19より指定された係数Koを偏向信号Ioに乗じ
た偏向信号Ko×Ioが出力される。切替手段16を操作する
ことにより、第１段主導モードと第２段主導モードのい
ずれかが選択される。
ミニ対物レンズ13と対物レンズ14の各レンズ電源20,21
の出力の一部は、演算装置22に入力されており、移動モ
ード又は傾斜モードのモードを指定する照射モード指定
手段23からの入力信号と共に、予め記憶されたデータを
基にして偏向支点の座標を計算する。次に、この座標値
が第９図における偏向子Ａと偏向子Ｂの中間点Ｃよりも
上（図で右側）にある場合には第１段主導モードを、ま
た座標値が偏向子Ａと偏向子Ｂの中間点Ｃよりも下（図
で左側）にある場合には第２段主導モードを表示するよ
うに切替表示手段24に出力する。偏向系の操作者は、照
射モード指定手段23による指示を行った後、切替示手段
24の表示の観察しながら、切替手段16によって第１段主
導モード又は第２段主導モードを選択する。次に、偏向
強度調整手段18と係数調整手段19を操作して所望の電子
線偏向を行う。この様に、偏向支点の座標が偏向子Ａと
偏向子Ｂの中間点Ｃより上にあるか下にあるかによって
第１段主導モードと第２段主導モードの切替えを行う
と、係数の値が−１から＋１の間の範囲に収まるため、
偏向電源の設計が容易となる。
の出力の一部は、演算装置22に入力されており、移動モ
ード又は傾斜モードのモードを指定する照射モード指定
手段23からの入力信号と共に、予め記憶されたデータを
基にして偏向支点の座標を計算する。次に、この座標値
が第９図における偏向子Ａと偏向子Ｂの中間点Ｃよりも
上（図で右側）にある場合には第１段主導モードを、ま
た座標値が偏向子Ａと偏向子Ｂの中間点Ｃよりも下（図
で左側）にある場合には第２段主導モードを表示するよ
うに切替表示手段24に出力する。偏向系の操作者は、照
射モード指定手段23による指示を行った後、切替示手段
24の表示の観察しながら、切替手段16によって第１段主
導モード又は第２段主導モードを選択する。次に、偏向
強度調整手段18と係数調整手段19を操作して所望の電子
線偏向を行う。この様に、偏向支点の座標が偏向子Ａと
偏向子Ｂの中間点Ｃより上にあるか下にあるかによって
第１段主導モードと第２段主導モードの切替えを行う
と、係数の値が−１から＋１の間の範囲に収まるため、
偏向電源の設計が容易となる。
第２図は、本発明の他の実施例装置の要部を示す略図で
あり、第１図と同じ符号を付したものは同じ構成要素を
表している。第２図の装置においては、第１図の装置の
ように演算装置22によって得た結果を切替表示手段24に
表示する代わりに、直接切替手段16を制御して自動的に
第１段主導モードと第２段主導モードの切替えが行われ
るように構成している。
あり、第１図と同じ符号を付したものは同じ構成要素を
表している。第２図の装置においては、第１図の装置の
ように演算装置22によって得た結果を切替表示手段24に
表示する代わりに、直接切替手段16を制御して自動的に
第１段主導モードと第２段主導モードの切替えが行われ
るように構成している。
第３図は、本発明の更に他の実施例装置を示す略図であ
る。第３図の実施例装置においては、演算装置22から出
力される第１段主導モードまたは第２段主導モードの指
示信号が、偏向制御装置25に印加される。偏向制御装置
25は、偏向強度調整手段18と係数調整手段19からの入力
信号と演算装置22からの指示信号に基づいて第１偏向電
源26と第２偏向電源27に制御信号を送り、第１段主導モ
ードまたは第２段主導モードによる偏向が行われるよう
に制御する。
る。第３図の実施例装置においては、演算装置22から出
力される第１段主導モードまたは第２段主導モードの指
示信号が、偏向制御装置25に印加される。偏向制御装置
25は、偏向強度調整手段18と係数調整手段19からの入力
信号と演算装置22からの指示信号に基づいて第１偏向電
源26と第２偏向電源27に制御信号を送り、第１段主導モ
ードまたは第２段主導モードによる偏向が行われるよう
に制御する。
［発明の効果］ 第１の本発明により、第１段主導モードと第２段主導モ
ードのどちらを選択すればよいのかが直ちに分かり、任
意の点を電子線偏向支点とする電子線偏向の操作が容易
になる。また、第２の本発明により、第１段主導モード
と第２段主導モードの選択が自動的に行なわれ、任意の
点を電子線偏向支点とする電子線偏向の操作がより容易
になる。
ードのどちらを選択すればよいのかが直ちに分かり、任
意の点を電子線偏向支点とする電子線偏向の操作が容易
になる。また、第２の本発明により、第１段主導モード
と第２段主導モードの選択が自動的に行なわれ、任意の
点を電子線偏向支点とする電子線偏向の操作がより容易
になる。
第１図は本発明の一実施例装置の構成を示す略図、第２
図及び第３図は夫々本発明の他の実施例装置を示す略
図、第４図は試料に入射する電子線を傾斜させる傾斜モ
ードを説明するための略図、第５図は試料に入射する電
子線を移動させる移動モードを説明するための略図、第
６図は傾斜モードと移動モードを行うために必要な電子
線の偏向支点を説明するための略図、第７図及び第８図
は２段偏向子により電子線の偏向支点を任意に選定する
際の光学系を説明するための略図、第９図は二段偏向系
における偏向信号強度化と偏向支点の関係を説明するた
めの略図である。 １……光軸 ２……電子線 ３……試料 ４……対物レンズの前磁場 ５……ミニ対物レンズ磁場 6,7……偏向支点 10……真空筐体 11……電子銃 12……集束レンズ 13……ミニ対物レンズ 14……対物レンズ 15……試料 16……切替手段 17……偏向電源 18……偏向強度調整手段 19……係数調整手段 20……ミニ対物レンズ電源 21……対物レンズ電源 22……演算装置 23……照射モード指定手段 24……切替表示手段 25……偏向制御装置 26……第１偏向電源 27……第２偏向電源
図及び第３図は夫々本発明の他の実施例装置を示す略
図、第４図は試料に入射する電子線を傾斜させる傾斜モ
ードを説明するための略図、第５図は試料に入射する電
子線を移動させる移動モードを説明するための略図、第
６図は傾斜モードと移動モードを行うために必要な電子
線の偏向支点を説明するための略図、第７図及び第８図
は２段偏向子により電子線の偏向支点を任意に選定する
際の光学系を説明するための略図、第９図は二段偏向系
における偏向信号強度化と偏向支点の関係を説明するた
めの略図である。 １……光軸 ２……電子線 ３……試料 ４……対物レンズの前磁場 ５……ミニ対物レンズ磁場 6,7……偏向支点 10……真空筐体 11……電子銃 12……集束レンズ 13……ミニ対物レンズ 14……対物レンズ 15……試料 16……切替手段 17……偏向電源 18……偏向強度調整手段 19……係数調整手段 20……ミニ対物レンズ電源 21……対物レンズ電源 22……演算装置 23……照射モード指定手段 24……切替表示手段 25……偏向制御装置 26……第１偏向電源 27……第２偏向電源
Claims (2)
- 【請求項１】電子銃と観察試料位置との間に設けられた
２段の偏向子と、試料位置と偏向子との間に設けられた
電子レンズと、第１段目の偏向子に供給する励起信号に
可変定数を乗じた励起信号を第２段目の偏向子に供給す
る第１段主導モードと第２段目の偏向子に供給する励起
信号に可変定数を乗じた励起信号を第１段目の偏向子に
供給する第２段主導モードとを切り替える機能を有する
偏向電源を具備した装置において、試料に入射する電子
線を傾斜させる傾斜モード又は試料に入射する電子線の
照射位置を移動させる移動モードを行うに必要な電子線
偏向支点の位置を前記電子レンズの強度から求める手段
と、該手段の出力に基づいて前記第１段主導モードと第
２段主導モードのいずれを選択すべきかを表示する手段
を設けた事を特徴とする電子顕微鏡用偏向装置。 - 【請求項２】電子銃と観察試料位置との間に設けられた
２段の偏向子と、試料位置と偏向子との間に設けられた
電子レンズと、一方の偏向子に供給する励起信号に所望
の可変定数を乗じた励起信号を他方の偏向子に供給する
偏向電源を具備した装置において、試料に入射する電子
線を傾斜させる傾斜モード又は試料に入射する電子線の
位置を移動させる移動モードを行うに必要な電子線偏向
支点の位置を前記電子レンズの強度から求める手段と、
該手段の結果に基づいて偏向電源から第１段目の偏向子
と第２段目の偏向子に供給する二つの偏向信号の切り替
えを制御する手段を設けた事を特徴とする電子顕微鏡用
偏向装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1215386A JPH0760659B2 (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 | 電子顕微鏡用偏向装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1215386A JPH0760659B2 (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 | 電子顕微鏡用偏向装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0378950A JPH0378950A (ja) | 1991-04-04 |
| JPH0760659B2 true JPH0760659B2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=16671446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1215386A Expired - Fee Related JPH0760659B2 (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 | 電子顕微鏡用偏向装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760659B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6213656A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-01-22 | 富士物産株式会社 | コンクリ−ト吹付機 |
| JPH0636347B2 (ja) * | 1985-12-06 | 1994-05-11 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡 |
-
1989
- 1989-08-22 JP JP1215386A patent/JPH0760659B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0378950A (ja) | 1991-04-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4451737A (en) | Electron beam control device for electron microscopes | |
| US5894124A (en) | Scanning electron microscope and its analogous device | |
| JPH0233843A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| US4547669A (en) | Electron beam scanning device | |
| EP1128413A1 (en) | Method of observing image and scanning electron microscope | |
| JPH0760659B2 (ja) | 電子顕微鏡用偏向装置 | |
| US5831265A (en) | Scanning electron microscope | |
| JPH0654639B2 (ja) | 透過形電子顕微鏡における電子線制御装置 | |
| JP3992848B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JPH03134944A (ja) | 電子線装置 | |
| JP2000036276A5 (ja) | ||
| CN110364405A (zh) | 带电粒子束轴对准装置及方法、带电粒子束照射装置 | |
| JP2002098897A (ja) | 顕微鏡 | |
| JPH07335158A (ja) | 電子線光軸合わせ装置 | |
| US4439681A (en) | Charged particle beam scanning device | |
| JP3125297B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JP3156428B2 (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| JP4229610B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置、及びその制御方法 | |
| JP2985568B2 (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| JPH0238366Y2 (ja) | ||
| JPH0320942A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH0636347B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP3117783B2 (ja) | 電子顕微鏡等における偏向器の駆動装置 | |
| JPS5853468B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH09281403A (ja) | 顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080628 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090628 Year of fee payment: 14 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |