JPH0763707B2 - 廃液の連続的処理方法 - Google Patents
廃液の連続的処理方法Info
- Publication number
- JPH0763707B2 JPH0763707B2 JP62100845A JP10084587A JPH0763707B2 JP H0763707 B2 JPH0763707 B2 JP H0763707B2 JP 62100845 A JP62100845 A JP 62100845A JP 10084587 A JP10084587 A JP 10084587A JP H0763707 B2 JPH0763707 B2 JP H0763707B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aeration
- tank
- stock solution
- tmah
- waste liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 25
- 239000002699 waste material Substances 0.000 title claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 21
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 58
- 238000005273 aeration Methods 0.000 claims description 56
- 239000010802 sludge Substances 0.000 claims description 31
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 29
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 claims description 22
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 13
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012136 culture method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000000813 microbial effect Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004254 Ammonium phosphate Substances 0.000 description 1
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000148 ammonium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019289 ammonium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- 230000001580 bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 238000010612 desalination reaction Methods 0.000 description 1
- MNNHAPBLZZVQHP-UHFFFAOYSA-N diammonium hydrogen phosphate Chemical compound [NH4+].[NH4+].OP([O-])([O-])=O MNNHAPBLZZVQHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZPWVASYFFYYZEW-UHFFFAOYSA-L dipotassium hydrogen phosphate Chemical compound [K+].[K+].OP([O-])([O-])=O ZPWVASYFFYYZEW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000396 dipotassium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019797 dipotassium phosphate Nutrition 0.000 description 1
- LMPDLIQFRXLCMO-UHFFFAOYSA-L dipotassium;hydrogen phosphate;phosphoric acid Chemical compound [K+].[K+].OP(O)(O)=O.OP([O-])([O-])=O LMPDLIQFRXLCMO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000010840 domestic wastewater Substances 0.000 description 1
- 235000020774 essential nutrients Nutrition 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000001546 nitrifying effect Effects 0.000 description 1
- 235000015097 nutrients Nutrition 0.000 description 1
- 235000011007 phosphoric acid Nutrition 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
- 238000004065 wastewater treatment Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C5/00—Photographic processes or agents therefor; Regeneration of such processing agents
- G03C5/18—Diazo-type processes, e.g. thermal development, or agents therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Activated Sludge Processes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイ
ド（以下TMAHと略す。）を含有する溶液の連続的処理方
法に関する。
ド（以下TMAHと略す。）を含有する溶液の連続的処理方
法に関する。
TMAHは、フォトレジストの現象工程の洗浄剤として大量
に使用されているが、これらの工程から排出される、TM
AHを含む溶液を、通常の活性汚泥法により分解処理する
方法、あるいは特殊な培養方法により馴養した菌体を、
特殊な条件で使用することにより分解処理する方法が知
られている〔例えば、造水技術、12（２）、p.65〜67
（1986）〕。
に使用されているが、これらの工程から排出される、TM
AHを含む溶液を、通常の活性汚泥法により分解処理する
方法、あるいは特殊な培養方法により馴養した菌体を、
特殊な条件で使用することにより分解処理する方法が知
られている〔例えば、造水技術、12（２）、p.65〜67
（1986）〕。
TMAHを含有する溶液に通常の活性汚泥処理法を適用する
上記方法では、処理の初期段階では、安定であるが、30
日頃より次第に不安定となり、ついには、実施不能とな
る。
上記方法では、処理の初期段階では、安定であるが、30
日頃より次第に不安定となり、ついには、実施不能とな
る。
一方、特殊な培養方法により馴養した菌体を特殊な条件
で使用することによりTMAH含有溶液を分解処理する上記
方法は、特殊な菌体を使用し、そして特殊な汚泥処理方
法を採用しなければならないという欠点を有している。
で使用することによりTMAH含有溶液を分解処理する上記
方法は、特殊な菌体を使用し、そして特殊な汚泥処理方
法を採用しなければならないという欠点を有している。
本発明は、TMAHを含有するる溶液の分解処理に当り、通
常の活性汚泥法により、安定的に処理する方法の提供を
目的とする。
常の活性汚泥法により、安定的に処理する方法の提供を
目的とする。
すなわち、本発明は、テトラメチルアンモニウムハイド
ロオキサイドを含有する廃液を連続的に分解処理するに
当り、 ａ）該廃液と後曝気槽排出液とを原液供給槽Ｃに供給
し、混合して原液を得、これを排出する工程、 ｂ）原液供給槽Ｃから排出される原液を曝気濾過槽Ａに
供給し、該曝気濾過槽Ａにおいて曝気処理する工程、 ｃ）曝気濾過槽Ａにおいて曝気された曝気液の一部を後
曝気槽Ｂに供給するとともに、濾過槽の上部から余剰汚
泥を、濾過層の下部から処理水をそれぞれ排出する工
程、 ｄ）後曝気槽Ｂに供給された曝気液を曝気処理したのち
原液供給槽Ｃに排出する工程、 の各工程を含むことを特徴とする廃液の連続的処理方法
をその要旨とする。
ロオキサイドを含有する廃液を連続的に分解処理するに
当り、 ａ）該廃液と後曝気槽排出液とを原液供給槽Ｃに供給
し、混合して原液を得、これを排出する工程、 ｂ）原液供給槽Ｃから排出される原液を曝気濾過槽Ａに
供給し、該曝気濾過槽Ａにおいて曝気処理する工程、 ｃ）曝気濾過槽Ａにおいて曝気された曝気液の一部を後
曝気槽Ｂに供給するとともに、濾過槽の上部から余剰汚
泥を、濾過層の下部から処理水をそれぞれ排出する工
程、 ｄ）後曝気槽Ｂに供給された曝気液を曝気処理したのち
原液供給槽Ｃに排出する工程、 の各工程を含むことを特徴とする廃液の連続的処理方法
をその要旨とする。
本発明は、TMAHを含有する溶液を対象とし、特に、レジ
ストの現象工程から排出される、TMAHを含有する廃液に
好適に適用される。
ストの現象工程から排出される、TMAHを含有する廃液に
好適に適用される。
本発明の処理方法はａ）〜ｄ）の工程から構成される。
ａ）工程は、原液供給槽Ｃで後曝気槽Ｂからスラリー状
態で抜き出された汚泥と、TMAHを含む廃液と混合し、原
液とし、これを排出する工程である。
態で抜き出された汚泥と、TMAHを含む廃液と混合し、原
液とし、これを排出する工程である。
ｂ）工程は、TMAHを含む原液を受入れ、活性汚泥と共に
曝気濾過槽Ａで曝気処理し、TMAHを無害化処理する工程
である。
曝気濾過槽Ａで曝気処理し、TMAHを無害化処理する工程
である。
ｃ）工程は、曝気濾過槽Ａより曝気液の一部をスラリー
状態で抜き出し、後曝気槽Ｂに供給するとともに、濾過
槽により汚泥と分離して、処理水を得る工程である。
状態で抜き出し、後曝気槽Ｂに供給するとともに、濾過
槽により汚泥と分離して、処理水を得る工程である。
ｄ）工程は、後曝気槽Ｂへ導入された曝気液を再度曝気
処理し、汚泥の一部をスラリー状態で抜き出す工程であ
る。
処理し、汚泥の一部をスラリー状態で抜き出す工程であ
る。
以下、各工程について、更に詳しく説明する。
曝気濾過槽Ａには、原液と、原液と混合処理された返送
汚泥とが供給され、TMAHの分解反応を受ける。
汚泥とが供給され、TMAHの分解反応を受ける。
曝気濾過槽Ａにおける運転条件は、通常の活性汚泥処理
と略同様の条件で運転される。使用する汚泥には、特に
制限はなく、下水処理場等の汚泥を、予め該原液で馴養
処理して用いる。
と略同様の条件で運転される。使用する汚泥には、特に
制限はなく、下水処理場等の汚泥を、予め該原液で馴養
処理して用いる。
本発明の方法に於て、曝気濾過槽Ａに供給されるTMAH量
は分解速度の面から2g−TMAH/曝気濾過槽−・日以下
が好ましく、更に好適には0.2〜1.5g−TMAH/曝気濾過槽
−・日が採用される。この際汚泥濃度（MLSS）は２〜
10g/が好ましく、更に好適には３〜6g/が好まし
い。
は分解速度の面から2g−TMAH/曝気濾過槽−・日以下
が好ましく、更に好適には0.2〜1.5g−TMAH/曝気濾過槽
−・日が採用される。この際汚泥濃度（MLSS）は２〜
10g/が好ましく、更に好適には３〜6g/が好まし
い。
本発明の場合、曝気帯域と濾過帯域を１つの槽に一体化
した、いわゆる曝気濾過槽から処理水を得る方法が採用
される。
した、いわゆる曝気濾過槽から処理水を得る方法が採用
される。
曝気濾過槽Ａからスラリー状態で抜き出され、後曝気槽
Ｂに導入される汚泥量は、１日当り、曝気濾過槽Ａに存
在する汚泥量の1/20〜1/2倍量程度が好適である。抜出
し、循環量が余り多いと経済的に不利であり、少な過ぎ
ると、発明の効果が発現されない。
Ｂに導入される汚泥量は、１日当り、曝気濾過槽Ａに存
在する汚泥量の1/20〜1/2倍量程度が好適である。抜出
し、循環量が余り多いと経済的に不利であり、少な過ぎ
ると、発明の効果が発現されない。
後曝気槽Ｂの容積は曝気濾過槽Ａの容積の1/2〜1/20程
度で、その平均滞留時間を１〜10時間とするのが好まし
い。滞留時間が長すぎると、硝化菌の過剰な発生や、菌
体の自己消化を起こし、短すぎると、発明の効果を発現
しない。
度で、その平均滞留時間を１〜10時間とするのが好まし
い。滞留時間が長すぎると、硝化菌の過剰な発生や、菌
体の自己消化を起こし、短すぎると、発明の効果を発現
しない。
原液供給槽Ｃでは、汚泥はTMAHを含む廃液と接触混合さ
れる。この際、廃液と汚泥の平均接触時間は0.1〜30分
程度になるように、原液供給槽Ｃの大きさ、廃水供給水
量、及び循環汚泥含有水量が調整される。
れる。この際、廃液と汚泥の平均接触時間は0.1〜30分
程度になるように、原液供給槽Ｃの大きさ、廃水供給水
量、及び循環汚泥含有水量が調整される。
原液供給槽Ｃでの接触時間が長すぎるのは、経済的に好
ましくなく、かつ、TMAH由来の高pH雰囲気下で、汚泥が
死滅する可能性があり、一方接触時間が短かすぎると、
本発明の効果が十分に発現されない。
ましくなく、かつ、TMAH由来の高pH雰囲気下で、汚泥が
死滅する可能性があり、一方接触時間が短かすぎると、
本発明の効果が十分に発現されない。
活性汚泥処理は、通常曝気槽に、必須栄養源として、不
足分の窒素およびリン源を供給しながら運転されるが、
本発明の方法では、TMAHとして十分な窒素源が含まれて
いるので、これについては別途供給する必要はない。リ
ン源としては、公知の方法と同様に、例えば、リン酸、
リン酸アンモニウム、リン酸水素カリウム等が、必要に
応じて添加される。
足分の窒素およびリン源を供給しながら運転されるが、
本発明の方法では、TMAHとして十分な窒素源が含まれて
いるので、これについては別途供給する必要はない。リ
ン源としては、公知の方法と同様に、例えば、リン酸、
リン酸アンモニウム、リン酸水素カリウム等が、必要に
応じて添加される。
槽内のpHは、TMAHの分解速度の点からpH6〜7.5に保つの
が好ましく、必要に応じ、酸又はアルカリを添加して調
整される。
が好ましく、必要に応じ、酸又はアルカリを添加して調
整される。
次に実施例により本発明を説明するが、本発明はこれら
実施例に限定されるものではない。
実施例に限定されるものではない。
実施例１ 第１図に示す曝気濾過槽Ａ、後曝気槽Ｂ、原液供給槽Ｃ
からなる、活性汚泥処理装置により、本発明方法を実施
した。
からなる、活性汚泥処理装置により、本発明方法を実施
した。
曝気濾過槽Ａには、生活廃水処理系により採取した、汚
泥をMLSSとして20g添加し、曝気廃液Ａ、後曝気槽Ｂに
それぞれ所定量の水道水を注入した。
泥をMLSSとして20g添加し、曝気廃液Ａ、後曝気槽Ｂに
それぞれ所定量の水道水を注入した。
廃液は2.5／日で注入し、余剰汚泥の抜出しは曝気濾
過槽の濾過層の上部から2.5／日の流速で行い、曝気
濾過槽Ａと後曝気槽Ｂには圧空を導入し、それぞれ曝気
処理を施した。曝気濾過槽ＡのpHはHClを添加し6.4〜6.
8の間に保った。廃液のTMAH濃度は徐々に増加させ、運
転開始後５日後に、TMAHとして2400mg/全有機炭素（T
OC）として1200mg/とし、以後この濃度で供給を行い
定常運転を続けた。尚リン源としてリン酸１水素２カリ
ウムを200mg/の濃度となるよう廃液に添加した。曝気
槽（Ａ、Ｂ）内水温は20℃とした。
過槽の濾過層の上部から2.5／日の流速で行い、曝気
濾過槽Ａと後曝気槽Ｂには圧空を導入し、それぞれ曝気
処理を施した。曝気濾過槽ＡのpHはHClを添加し6.4〜6.
8の間に保った。廃液のTMAH濃度は徐々に増加させ、運
転開始後５日後に、TMAHとして2400mg/全有機炭素（T
OC）として1200mg/とし、以後この濃度で供給を行い
定常運転を続けた。尚リン源としてリン酸１水素２カリ
ウムを200mg/の濃度となるよう廃液に添加した。曝気
槽（Ａ、Ｂ）内水温は20℃とした。
曝気濾過槽Ａの濾過層の下部から、濾過水を処理水とし
て放出させ、この処理水中の全有機炭素（TOC）と、TMA
H濃度を間欠的に測定した。
て放出させ、この処理水中の全有機炭素（TOC）と、TMA
H濃度を間欠的に測定した。
処理結果を第２図に示す。処理水中のTMAH濃度は常に1p
pm以下であり、処理水中のTOC濃度も、定常運転後150日
間常に20mg/以下であり、その後も安定的に運転され
た。尚この際、定常運転時の曝気濾過槽Ａの容量当りの
TMAH負荷は1.2g/・dayであり、MLSS濃度は4000〜5000
mg/に保って運転された。
pm以下であり、処理水中のTOC濃度も、定常運転後150日
間常に20mg/以下であり、その後も安定的に運転され
た。尚この際、定常運転時の曝気濾過槽Ａの容量当りの
TMAH負荷は1.2g/・dayであり、MLSS濃度は4000〜5000
mg/に保って運転された。
比較例１ 実施例１に於て、定常運転を51日間行なった後、原液供
給槽Ｃを取り外して、返送汚泥と廃液は、それぞれ別々
に曝気濾過槽Ａに注入されるようにした外は、全て実施
例１と同様に運転した。
給槽Ｃを取り外して、返送汚泥と廃液は、それぞれ別々
に曝気濾過槽Ａに注入されるようにした外は、全て実施
例１と同様に運転した。
比較例１の運転開始後、７日目から処理水のTOC濃度は
徐々に上昇し始め、10日後には80mg/以上に達し、以
降処理水水質は廃液とほぼ等しくなった。
徐々に上昇し始め、10日後には80mg/以上に達し、以
降処理水水質は廃液とほぼ等しくなった。
比較例２ 実施例１に於て後曝気槽Ｂを除去して、返送汚泥を原液
供給槽Ｃに直接戻した以外は実施例１と同様に運転し
た。
供給槽Ｃに直接戻した以外は実施例１と同様に運転し
た。
運転開始後５〜17日間は処理水のTOCは20mg/以下を保
ったが、18日目よりTOCは徐々に増加し始め、21日目に
は120ppm以上に達し、汚泥の沈降性も極めて悪化する現
象が見られ、以降、処理水質は廃液とほぼ等しくなっ
た。
ったが、18日目よりTOCは徐々に増加し始め、21日目に
は120ppm以上に達し、汚泥の沈降性も極めて悪化する現
象が見られ、以降、処理水質は廃液とほぼ等しくなっ
た。
本発明の方法によってTMAH含有廃液の活性汚泥による連
続処理が効率的かつ長期安定的に行える理由は、必ずし
も明確ではないが、汚泥が、原液供給槽Ｃでは、高濃度
TMAHと接触し、一方後曝気槽ＢではTMAHの非存在雰囲気
下におかれ、TMAHの濃度変化を周期的に与えることによ
り、活性化されるための考えられる。
続処理が効率的かつ長期安定的に行える理由は、必ずし
も明確ではないが、汚泥が、原液供給槽Ｃでは、高濃度
TMAHと接触し、一方後曝気槽ＢではTMAHの非存在雰囲気
下におかれ、TMAHの濃度変化を周期的に与えることによ
り、活性化されるための考えられる。
本発明の方法によれば、TMAHを含有する廃液を、特殊な
菌体や栄養源を必要とせずに、活性汚泥処理により、無
害化分解することができる。又長期安定的な連続運転処
理が可能となり、維持管理もきわめて容易である。
菌体や栄養源を必要とせずに、活性汚泥処理により、無
害化分解することができる。又長期安定的な連続運転処
理が可能となり、維持管理もきわめて容易である。
第１図は、実施例１に使用した処理装置の概念図であ
る。 Ａ……曝気濾過槽（内容積は5.0） Ｂ……後曝気槽（0.3） Ｃ……原液供給槽（0.02） 第２図は、実施例１における、処理水中の溶解TOC濃度
を示す図であり、縦軸は処理水中のTOC濃度横軸は定常
運転後の経過日数を示す。
る。 Ａ……曝気濾過槽（内容積は5.0） Ｂ……後曝気槽（0.3） Ｃ……原液供給槽（0.02） 第２図は、実施例１における、処理水中の溶解TOC濃度
を示す図であり、縦軸は処理水中のTOC濃度横軸は定常
運転後の経過日数を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】テトラメチルアンモニウムハイドロオキサ
イドを含有する廃液を連続的に分解処理するに当り、 ａ）該廃液と後曝気槽排出液とを原液供給槽Ｃに供給
し、混合して原液を得、これを排出する工程、 ｂ）原液供給槽Ｃから排出される原液を曝気濾過槽Ａに
供給し、該曝気濾過槽Ａにおいて曝気処理する工程、 ｃ）曝気濾過槽Ａにおいて曝気された曝気液の一部を後
曝気槽Ｂに供給するとともに、濾過層の上部から余剰汚
泥を、濾過層の下部から処理水をそれぞれ排出する工
程、 ｄ）後曝気槽Ｂに供給された曝気液を曝気処理したのち
原液供給槽Ｃに排出する工程、 の各工程を含むことを特徴とする廃液の連続的処理方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62100845A JPH0763707B2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 廃液の連続的処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62100845A JPH0763707B2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 廃液の連続的処理方法 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7005083A Division JP2636771B2 (ja) | 1995-01-17 | 1995-01-17 | 廃液の連続的処理方法 |
| JP7005084A Division JP2636772B2 (ja) | 1995-01-17 | 1995-01-17 | 廃液の連続的処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63267497A JPS63267497A (ja) | 1988-11-04 |
| JPH0763707B2 true JPH0763707B2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=14284654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62100845A Expired - Lifetime JPH0763707B2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 廃液の連続的処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0763707B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109160639A (zh) * | 2018-10-23 | 2019-01-08 | 南京元亨化工科技有限公司 | 一种四甲基氢氧化铵的废水处理装置 |
| CN113960897B (zh) * | 2021-11-03 | 2023-09-19 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种显影装置及方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2238621A1 (de) * | 1972-08-05 | 1974-02-14 | Stengelin Volker | Verfahren zur klaerung von abwasser |
-
1987
- 1987-04-23 JP JP62100845A patent/JPH0763707B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63267497A (ja) | 1988-11-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0428537B1 (en) | Process and plant for the biological purification of waste water | |
| CN101792244B (zh) | 亚硝酸型硝化反应污泥、其制造方法、其制造装置以及废水处理方法和废水处理装置 | |
| US20040206700A1 (en) | Sewage treatment apparatus using self-granulated activated sludge and sewage treatment method thereof | |
| JP2661093B2 (ja) | 活性汚泥法による廃水処理方法 | |
| JPH0376198B2 (ja) | ||
| JPH1157773A (ja) | 生物脱リン装置 | |
| JPH0763707B2 (ja) | 廃液の連続的処理方法 | |
| JP2636772B2 (ja) | 廃液の連続的処理方法 | |
| JP4101498B2 (ja) | 窒素及びリン含有汚水の処理方法並びに装置 | |
| JP2636771B2 (ja) | 廃液の連続的処理方法 | |
| JPH0975992A (ja) | 高濃度のリン及びアンモニア性窒素含有排水の処理方法 | |
| JP3355121B2 (ja) | 有機性汚水の処理方法 | |
| JP3380002B2 (ja) | 汚水処理方法 | |
| KR102694160B1 (ko) | 혐기성 미생물과 이온교환막을 이용한 고농도 질소 및 유기물 함유 폐수처리시스템 및 이를 이용한 처리방법 | |
| KR100513429B1 (ko) | 메디아 분리장치를 이용한 폐수의 영양염류 정화방법 및그 처리장치 | |
| JP2003010877A (ja) | 下水の活性汚泥処理方法および装置 | |
| JP3328139B2 (ja) | 活性汚泥の製造方法及び製造装置 | |
| JP2673488B2 (ja) | 有機性廃水の処理方法及びその装置 | |
| JP2002320992A (ja) | 有機性廃水の処理方法及び装置 | |
| JP3376904B2 (ja) | 生物脱窒方法 | |
| JP3919999B2 (ja) | 有機性廃水の処理方法および装置 | |
| JP2003047989A (ja) | 脱窒方法および装置 | |
| JP2001205295A (ja) | 有機性廃水の処理方法 | |
| JP3359851B2 (ja) | 廃水処理方法 | |
| JPH05261390A (ja) | 廃水の生物処理方法及び装置 |