JPH076419A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH076419A
JPH076419A JP14812693A JP14812693A JPH076419A JP H076419 A JPH076419 A JP H076419A JP 14812693 A JP14812693 A JP 14812693A JP 14812693 A JP14812693 A JP 14812693A JP H076419 A JPH076419 A JP H076419A
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JP
Japan
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magneto
layer
memory layer
optical disk
concentration
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Withdrawn
Application number
JP14812693A
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English (en)
Inventor
Motonobu Mihara
基伸 三原
Yasuhiro Kitade
康博 北出
Koji Matsumoto
幸治 松本
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は光磁気ディスクに関し、オーバライ
ト可能な構造の光磁気ディスクにおいて、C/N比の向
上を実現することを目的とする。 【構成】 基板11上に、メモリ層21及び記録層14
を有する。メモリ層21は、層の厚さ方向上、Tb 濃度
が変化している。メモリ層21のうち基板11寄りの部
分は、Tb19 (Fe90 010 81の組成を有し、カ−回
転角が大きい。メモリ層21のうち記録層14寄りの部
分は、Tb22 (Fe90 010 78の組成を有し、記録層
14とメモリ層21との間の交換結合力は大きい構成で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光磁気記録媒体に係り、
特に、光変調オーバライトに適用される光磁気記録媒体
に関する。
【0002】光磁気ディスク装置を使用した情報処理装
置においては、データ転送速度の高速化が望まれてい
る。
【0003】このために、光磁気ディスク装置は、磁性
層が単一である第1世代のオーバライトができないタイ
プから、磁性層を複数有して、光変調オーバライトが可
能なタイプへと移りつつある。
【0004】この場合に、第1世代並の高い信号品質
(約55dBと高いC/N比)が得られることが必要と
される。
【0005】
【従来の技術】図13は光変調オーバライトが可能であ
る従来の光磁気ディスク10の構造を示す。
【0006】光磁気ディスク10は、グルーブつきの基
板11上に、Tb −SiO2 膜の下地保護層12、メモ
リ層13、Tb4y26 e35 o35 膜の記録層14、T
b −SiO2 膜の上地保護層15を有する構成である。
【0007】メモリ層13と記録層14とは交換結合力
によって交換結合している。
【0008】メモリ層13は、Tb20 (Fe90 o10
80膜よりなる。
【0009】このメモリ層13を構成する膜は、膜厚方
向上組成が均一である。
【0010】Tb の濃度は図14に、線Iで示すよう
に、膜厚方向上、一定であり、19.5at%である。
【0011】Tb 濃度を19.5at%としたのは、第
1世代の光磁気ディスクにおいて、磁性層のTb 濃度
と、C/N比とが図15中、線IIで示す関係にあること
に基づいている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】上記の光磁気ディスク
10は、光変調オーバライトを行い、この後再生したと
きのC/N比が約50dBにとどまり、第1世代の光磁
気ディスクで得られていたC/N比の約55dBより相
当に低く、実用化する上で問題があった。
【0013】また、本発明者は、Tb 濃度を増加したメ
モリ層を形成して、またTb 濃度を減らしたメモリ層を
形成して実験を行ったけれども、C/N比は50dB以
上には向上しなかった。
【0014】そこで、本発明は、C/N比の向上を図っ
た光磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、基板
上に、記録層に書き込まれた情報が転写されるメモリ層
及び情報が書き込まれる記録層を有する光磁気記録媒体
において、該メモリ層を、層の厚さ方向において組成の
所定の成分の濃度が変化しており、上記基板側は、カ−
回転角が最大である組成を有し、上記記録層側は、該記
録層との交換結合力が最良である組成を有する構成とし
たものである。
【0016】
【作用】請求項1のメモリ層のうち基板側の部分を、カ
−回転角が最大である組成とした構成は、キャリア
(C)を出し易くするように作用する。
【0017】メモリ層のうち記録層側の部分を、記録層
との交換結合力が最良である組成とした構成は、記録層
に書き込まれた情報をメモリ層に転写するときのノイズ
(N)を少なくするように作用する。
【0018】
【実施例】
〔第1実施例〕(図1乃至図6参照) 図1は本発明の第1実施例の光磁気ディスク20を示
す。
【0019】光磁気ディスク20は、メモリ層以外は、
図13の光磁気ディスク10の構成と同じであり、図1
中図13に示す構成部分と対応する部分には同一符号を
付し、その説明は省略する。
【0020】メモリ層21は、Tbx(Fe90 o10
100-x 製の膜であって、Tb の濃度が基板11側から記
録層14側にかけて、図2中、線IIで示すように、連続
的に変化した組成分布を有する。
【0021】メモリ層21のうち、基板11側の面21
aの組成は、Tb19(Fe90 o10 81である。
【0022】メモリ層21のうち、記録層14側の面2
1bの組成は、Tb22(Fe90 o10) 78である。
【0023】この光磁気ディスク10においては、情報
をオーバライトで記録し、これを再生した時のC/N比
は54dBと高かった。C/N比54dBは第1世代の
光磁気ディスクのC/N比と略同等であった。
【0024】次に、上記の光磁気ディスク20が高いC
/N比を有する理由について説明する。
【0025】光磁気ディスク20へのオーバライトは、
情報を記録層14に記録し、記録層14に記録さた情報
をメモリ層21に転写することにより行われる。その後
記録層14は初期化される。
【0026】オーバライトされた光磁気ディスク20
は、レーザ光22を基板11側からメモリ層21に照射
し、レーザ光22の偏光面をカ−回転させ、このカ−回
転角の変化を検知することにより再生される。
【0027】上記の光磁気ディスク20が高いC/N比
を有するのは、次の二つの理由による。
【0028】第1には、記録層14からメモリ層13へ
情報を転写するときのノイズが小さいためである。
【0029】第2には、カ−回転角が大きいためであ
る。
【0030】転写の際のノイズが小さい。
【0031】発明者は、Tbx(Fe90 o10 100-x
組成において、Tb の濃度を種々に変えて、そのときの
膜とTb y e o 膜との交換結合力を調べた。
【0032】その結果、Tb の濃度が22%±1%の範
囲内にあるときが、交換結合力が強いことが分かった。
【0033】交換結合力が強いということは、記録層に
記録された情報がメモリ層に転写されるときに発生する
エラー、即ちノイズが少ないことを意味する。
【0034】情報の転写性の良否は、メモリ層のうち記
録層例の組成により決定される。
【0035】本実施例において、メモリ層21の記録層
14側の面21b側のTb 濃度は、22%である。
【0036】このため、記録層14に書き込まれた情報
は、ノイズを殆ど伴うことなく、メモリ層21に転写さ
れる。
【0037】これにより、Nのレベルが下がる。
【0038】カ−回転角が大きい。
【0039】Tbx(Fe90 o10 100-x のTb 濃度X
とカ−回転角θk とは、図3中、線Iで示す関係にある
ことが知られている。
【0040】Tb の濃度が約19at%の場合に、カ−
回転角θk は略最大となる。
【0041】再生時のレーザ光の偏光面のカ−回転角を
決めるのは、メモリ層のうち基板側の面である。
【0042】本実施例では、メモリ層21のうち基板1
1側の面21a側のTb の濃度は、18%である。
【0043】このため、再生時のレーザ光の偏光面のカ
−回転角は大きく、キャリアが出る。
【0044】これにより、Cのレベルが増す。次に、上
記光磁気ディスク20のメモリ層21の形成方法につい
て説明する。まず、発明者が行なった実験のデータにつ
いて説明する。
【0045】発明者はスパッタ装置のチャンバ内にTb
のターゲットとFe90 o10 のターゲットを並べて置い
て、Fe90 o10 のスパッタ電力を1.5kwに一定に
定め、Tb のスパッタ電力を適宜変えて、Tb e o
膜を形成し、形成された膜のTb の濃度を測定する実験
を行った。
【0046】この結果、Tb のスパッタ電力とTb e
o 膜のTb 濃度との間に図4中、線IVで示す関係があ
ることが分かった。
【0047】メモリ層21の形成は、上記の結果を利用
している。
【0048】メモリ層21及び記録層14は、図5に示
すスパッタ装置30を使用して形成した。
【0049】装置30は、チャンバ31の内部に、下面
に基板11を保持して、公転しながら自転する基板ホル
ダ32、三つのマグネトロンスパッタ用カソード3
-1,33-2,33-3、3つのシャッタ34-1,3
-2,34-3を有し、チャンバ31の外部に、三つのD
C電源35-1,35-2,35-3を有する構成である。
【0050】カソード33-1上にTb のターゲット3
6、カソード33-2上にFe90 o10のターゲット3
7、カソード33-3上にTb4y26 e35 o35 のター
ゲット38を載置する。
【0051】チャンバ31内のAr ガス圧は0.5Pa
とし一定に保つ。
【0052】シャッタ34-1と34-2とを開き、電源3
-2の出力を1.5kwの一定とし、電源35-1の電圧
を、図6中、線Vで示すように約0.2kwから約0.
3kwへと直線的に変化させる。これにより、図2に線
IIで示す組成分布を有するメモリ層21が形成される。
続いて、シャッタ34-1,34-2を閉じ、シャッタ34
-3を開き、電源35-3により0.5kwのスパッタ電力
を加える。
【0053】これによりメモリ層21上に記録層14が
形成される。
【0054】次に、本発明の別の実施例について説明す
る。
【0055】〔第2実施例〕(図7,図8参照) 光磁気ディスク40は、図7に示す構造を有し、メモリ
層41を有する。
【0056】メモリ層41の厚さ方向上のTb の濃度分
布は、図8中、線VIで示す如くである。Tb 濃度は、膜
厚の中心付近で変化している。メモリ層41のうち基板
11寄りの約半分の部分41aは、Tb 濃度が19at
%で一定であり、記録層14寄りの約半分の部分41b
は、Tb 濃度が22at%で一定である。
【0057】この光磁気ディスク40のC/N比は、5
4dBであった。
【0058】上記メモリ層41は、Tb スパッタ電力
を、図6中、線VII で示すように制御することによって
形成される。
【0059】〔第3実施例〕(図9,図10参照) 光磁気ディスク50は、メモリ層51を有する。
【0060】メモリ層51のTb の濃度分布は、図10
中、線VIIIで示す如くである。Tb濃度は、膜厚のうち
中心より基板11側寄りの部分で変化している。
【0061】メモリ層51のうち、基板11寄りの約1
/4の厚さの部分51aは、Tb 濃度が19at%で一
定であり、記録層14寄りの約3/4の厚さの部分51
bは、Tb 濃度が22at%で一定である。
【0062】この光磁気ディスク50のC/N比は、5
2dBであった。
【0063】〔第4実施例〕(図11,図12参照) 光磁気ディスク60は、メモリ層61を有する。
【0064】メモリ層61のTb の濃度分布は、図11
中、線IXで示す如くである。Tb 濃度は、膜厚のうち中
心より記録層14側寄りの部分で変化している。
【0065】メモリ層61のうち、基板11寄りの約3
/4の厚さの部分61aは、Tb 濃度が19at%で一
定であり、記録層14寄りの約1/4の厚さの部分61
bは、Tb 濃度が22at%で一定である。
【0066】この光磁気ディスク60のC/N比は、5
2dBであった。
【0067】上記のメモリ層51,61は、Tb スパッ
タ電力(DC電源35-1の出力電力)を、スパッタ中に
ステップ的に変化させることにより、形成できる。
【0068】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来に比べて、C/N比が高く、第1世代の光磁気ディ
スクによって得られた程度のC/N比を得ることが出来
る、オーバライトが可能な光磁気記録媒体を実現出来
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の光磁気ディスクの構造を
示す図である。
【図2】図1の光磁気ディスクのメモリ層の膜厚方向の
b 濃度分布を示す図である。
【図3】Tbx(Fe90 o10 100-x のTb 濃度Xとカ
−回転角θk との関係を示す図である。
【図4】Tb スパッタ電力と、形成されたTb e o
層のTb 濃度との関係を示す図である。
【図5】図1の光磁気ディスクの製造に使用したスパッ
タ装置を示す図である。
【図6】メモリ層形成時のTb スパッタ電力を加える態
様を示す図である。
【図7】本発明の第2実施例の光磁気ディスクの構造を
示す図である。
【図8】図7の光磁気ディスクのメモリ層の膜厚方向の
b 濃度分布を示す図である。
【図9】本発明の第3実施例の光磁気ディスクの構造を
示す図である。
【図10】図9の光磁気ディスクのメモリ層の膜厚方向
のTb 濃度分布を示す図である。
【図11】本発明の第4実施例の光磁気ディスクの構造
を示す図である。
【図12】図11の光磁気ディスクのメモリ層の膜厚方
向のTb 濃度分布を示す図である。
【図13】従来の光磁気ディスクの1例の構造を示す図
である。
【図14】図13の光磁気ディスクのメモリ層の膜厚方
向のTb 濃度分布を示す図である。
【図15】図13の光磁気ディスクのメモリ層のTb
度を19.5at%としている根拠を説明する図であ
る。
【符号の説明】
11 基板 12 下地保護層 14 記録層 15 上地保護層 20,40,50,60 光磁気ディスク 21,41,51,61メモリ層

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に、記録層に書き込まれた情報が
    転写されるメモリ層及び情報が書き込まれる記録層を有
    する光磁気記録媒体において、 該メモリ層を、 層の厚さ方向において組成の所定の成分の濃度が変化し
    ており、 上記基板側は、カ−回転角が最大である組成を有し、 上記記録層側は、該記録層との交換結合力が最良である
    組成を有する構成としたことを特徴とする光磁気記録媒
    体。
  2. 【請求項2】 請求項1のメモリ層は、上記基板側がT
    b19 (Fe90 o1081の組成を有し、上記記録層側が
    b22 (Fe90 o10 78の組成を有する構成としたこ
    とを特徴とする光磁気記録媒体。
JP14812693A 1993-06-18 1993-06-18 光磁気記録媒体 Withdrawn JPH076419A (ja)

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JP14812693A JPH076419A (ja) 1993-06-18 1993-06-18 光磁気記録媒体

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JP14812693A JPH076419A (ja) 1993-06-18 1993-06-18 光磁気記録媒体

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JP (1) JPH076419A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8359712B2 (en) 2009-05-21 2013-01-29 Kabushiki Kaisha Honda Lock Vehicle door outer handle device

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