JPH0765741A - Ｘ線撮像管 - Google Patents
Ｘ線撮像管Info
- Publication number
- JPH0765741A JPH0765741A JP21561093A JP21561093A JPH0765741A JP H0765741 A JPH0765741 A JP H0765741A JP 21561093 A JP21561093 A JP 21561093A JP 21561093 A JP21561093 A JP 21561093A JP H0765741 A JPH0765741 A JP H0765741A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- ray
- amorphous selenium
- image pickup
- ray image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐振性のターゲットを備えたＸ線撮像管を提
供する。 【構成】 ターゲット３を構成するガラス薄板32をカマ
ボコ状の支持枠９に接合し、この支持枠９をブラケット
ＫＢを介して真空バルブ２に取り付けた。
供する。 【構成】 ターゲット３を構成するガラス薄板32をカマ
ボコ状の支持枠９に接合し、この支持枠９をブラケット
ＫＢを介して真空バルブ２に取り付けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、医療の診断あるいは
非破壊材料検査などに用いられるＸ線テレビジョンシス
テムにおいてＸ線画像を電気信号に変換するＸ線撮像管
に関する。
非破壊材料検査などに用いられるＸ線テレビジョンシス
テムにおいてＸ線画像を電気信号に変換するＸ線撮像管
に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のＸ線撮像管として、近年、平坦
な透光板の両面に、Ｘ線を可視光線に変換する蛍光面と
アモルファスセレンよりなる光電変換面とを密着して形
成されたターゲットを備え、光電変換面に形成された電
荷を電子ビームの走査によって読み出すように構成され
た装置が提案されている。
な透光板の両面に、Ｘ線を可視光線に変換する蛍光面と
アモルファスセレンよりなる光電変換面とを密着して形
成されたターゲットを備え、光電変換面に形成された電
荷を電子ビームの走査によって読み出すように構成され
た装置が提案されている。
【０００３】この装置の構成を図５、図６を参照して説
明する。図５に示すように、このＸ線撮像管１は、真空
バルブ２内部に、ブラケットＫＢを介してターゲット
３′が取り付けられているとともに、電子銃４が収めら
れて構成されている。真空バルブ２のＸ線入射面にはア
ルミニウム製等の窓５が設けられ、被検体Ｍを透過した
Ｘ線ＸＲは、その窓５を経てターゲット３′に入射され
る。
明する。図５に示すように、このＸ線撮像管１は、真空
バルブ２内部に、ブラケットＫＢを介してターゲット
３′が取り付けられているとともに、電子銃４が収めら
れて構成されている。真空バルブ２のＸ線入射面にはア
ルミニウム製等の窓５が設けられ、被検体Ｍを透過した
Ｘ線ＸＲは、その窓５を経てターゲット３′に入射され
る。
【０００４】ターゲット３′は、図６に示すように、Ｘ
線ＸＲの入射側から順に、ＣｓＩ等の蛍光面31、平板状
のガラス薄板32、ＩＴＯ膜等の透明な導電膜33、アモル
ファスセレン膜34を密着させて形成されている。すなわ
ち、ガラス薄板32を設けずに、蛍光面31（通常、Ｃｓ
Ｉ）に直接、導電膜33、アモルファスセレン膜34を形成
した場合、ＣｓＩは針状結晶構造であるので、その上の
導電膜33、アモルファスセレン膜34は平坦にならず、そ
の結果、アモルファスセレン膜34の中で局所高電界が発
生し、スパークなどを起こして画素を破壊してしまうお
それがあるからである。
線ＸＲの入射側から順に、ＣｓＩ等の蛍光面31、平板状
のガラス薄板32、ＩＴＯ膜等の透明な導電膜33、アモル
ファスセレン膜34を密着させて形成されている。すなわ
ち、ガラス薄板32を設けずに、蛍光面31（通常、Ｃｓ
Ｉ）に直接、導電膜33、アモルファスセレン膜34を形成
した場合、ＣｓＩは針状結晶構造であるので、その上の
導電膜33、アモルファスセレン膜34は平坦にならず、そ
の結果、アモルファスセレン膜34の中で局所高電界が発
生し、スパークなどを起こして画素を破壊してしまうお
それがあるからである。
【０００５】被検体Ｍを透過したＸ線ＸＲが窓５を介し
てターゲット３に入射すると、Ｘ線ＸＲが入射した部分
の蛍光面31が発光し、その光がガラス薄板32、導電膜33
を通ってアモルファスセレン膜34に入射する。このアモ
ルファスセレン膜34に光が達するとその中で電荷が発生
し、その部分の導電率が高くなる。従って、このアモル
ファスセレン膜34上には、入射したＸ線透過像に対応し
た導電率の分布が得られる。ターゲット３′の導電膜33
と電子銃４との間には高電圧がかけられ高電界が形成さ
れる。そこで、アモルファスセレン膜34には高電界がか
けられることになるため、アバランシェ効果が引き起こ
されて、アモルファスセレン膜34上に形成された電荷は
指数関数的に増加し、導電率が増幅される。
てターゲット３に入射すると、Ｘ線ＸＲが入射した部分
の蛍光面31が発光し、その光がガラス薄板32、導電膜33
を通ってアモルファスセレン膜34に入射する。このアモ
ルファスセレン膜34に光が達するとその中で電荷が発生
し、その部分の導電率が高くなる。従って、このアモル
ファスセレン膜34上には、入射したＸ線透過像に対応し
た導電率の分布が得られる。ターゲット３′の導電膜33
と電子銃４との間には高電圧がかけられ高電界が形成さ
れる。そこで、アモルファスセレン膜34には高電界がか
けられることになるため、アバランシェ効果が引き起こ
されて、アモルファスセレン膜34上に形成された電荷は
指数関数的に増加し、導電率が増幅される。
【０００６】こうして形成されたアモルファスセレン膜
34上の導電率の２次元的分布は電子ビームｅにより読み
出される。すなわち、電子銃４からターゲット３′に向
けて電子ビームｅが発射させられ、その電子ビームｅが
当たったアモルファスセレン膜34の部分における導電率
に比例した電流がターゲット３′と電子銃４との間に流
れるので、抵抗Ｒの両端において電圧信号が得られる。
電子ビームｅは、コイル６等により集束、偏向されてタ
ーゲット３′上を２次元的に走査させられるため、アモ
ルファスセレン膜34上の導電率の分布が電気的な画像信
号として読み出される。 この電気信号はカメラコント
ロールユニット７を経てビデオ信号となり、テレビジョ
ンモニタ装置８に送られ、その画面上に、被検体ＭのＸ
線透過像が表示される。
34上の導電率の２次元的分布は電子ビームｅにより読み
出される。すなわち、電子銃４からターゲット３′に向
けて電子ビームｅが発射させられ、その電子ビームｅが
当たったアモルファスセレン膜34の部分における導電率
に比例した電流がターゲット３′と電子銃４との間に流
れるので、抵抗Ｒの両端において電圧信号が得られる。
電子ビームｅは、コイル６等により集束、偏向されてタ
ーゲット３′上を２次元的に走査させられるため、アモ
ルファスセレン膜34上の導電率の分布が電気的な画像信
号として読み出される。 この電気信号はカメラコント
ロールユニット７を経てビデオ信号となり、テレビジョ
ンモニタ装置８に送られ、その画面上に、被検体ＭのＸ
線透過像が表示される。
【０００７】このようなＸ線撮像管１によれば、Ｘ線か
ら電気信号に到るまでの変換工程が、従来一般に用いら
れているＸ線イメージインテンシファイア装置とテレビ
ジョン撮像管からなるＸ線テレビジョンシステムにおけ
る変換工程よりも少なくて済み、その結果、変換途中に
発生するノイズを減少させることができるので、テレビ
ジョンモニタ装置８に表示されたＸ線透過像はＳ／Ｎ比
の大きなものとなる。また、アバランシェ効果により、
ターゲット３′に入射したＸ線に応じたアモルファスセ
レン膜34上の導電率が増幅されるので、少ないＸ線入射
量でも大きな電気信号が得られるとともに、ダイナミッ
クレンジも大きなものとなる。さらに、蛍光体31やアモ
ルファスセレン膜34を大きな面積で形成することも可能
であるので、大口径のＸ線撮像管１を作製することもで
きる。
ら電気信号に到るまでの変換工程が、従来一般に用いら
れているＸ線イメージインテンシファイア装置とテレビ
ジョン撮像管からなるＸ線テレビジョンシステムにおけ
る変換工程よりも少なくて済み、その結果、変換途中に
発生するノイズを減少させることができるので、テレビ
ジョンモニタ装置８に表示されたＸ線透過像はＳ／Ｎ比
の大きなものとなる。また、アバランシェ効果により、
ターゲット３′に入射したＸ線に応じたアモルファスセ
レン膜34上の導電率が増幅されるので、少ないＸ線入射
量でも大きな電気信号が得られるとともに、ダイナミッ
クレンジも大きなものとなる。さらに、蛍光体31やアモ
ルファスセレン膜34を大きな面積で形成することも可能
であるので、大口径のＸ線撮像管１を作製することもで
きる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。蛍光面31と導電膜33との間に介在し、蛍光体31な
らびに導電膜33、アモルファスセレン膜34の支持体（基
板）となる平板状のガラス薄板32は、蛍光面31からの光
を厚さ方向に伝達するとともに面方向にも拡散するの
で、その厚みを厚くすると解像度の低下を招く。
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。蛍光面31と導電膜33との間に介在し、蛍光体31な
らびに導電膜33、アモルファスセレン膜34の支持体（基
板）となる平板状のガラス薄板32は、蛍光面31からの光
を厚さ方向に伝達するとともに面方向にも拡散するの
で、その厚みを厚くすると解像度の低下を招く。
【０００９】したがって、解像度の面からガラス薄板32
の厚さを５０μｍ以下にする必要がある。このような薄
いガラス薄板は機械的振動に弱く、脆弱であるために、
取り扱いがやっかいであるという問題がある。
の厚さを５０μｍ以下にする必要がある。このような薄
いガラス薄板は機械的振動に弱く、脆弱であるために、
取り扱いがやっかいであるという問題がある。
【００１０】この発明は、上記の事情に鑑み、機械的振
動に強いターゲットを備えたＸ線撮像管を提供すること
を目的とする。
動に強いターゲットを備えたＸ線撮像管を提供すること
を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成するために、次のような構成をとる。すなわち、
この発明は、平板状のガラス薄板のＸ線入射面に、Ｘ線
を可視光線に変換する蛍光面が、前記ガラス薄板の他方
面にアモルファスセレンよりなる光電変換面が、それぞ
れ密着して形成されたターゲットと、電子ビームを走査
することにより前記光電変換面に形成された電荷を読み
出す手段とを備えたＸ線撮像管において、前記ターゲッ
トのガラス薄板を湾曲させて支持する支持手段を介して
ターゲットを収容する真空バルブに取り付けたものであ
る。
を達成するために、次のような構成をとる。すなわち、
この発明は、平板状のガラス薄板のＸ線入射面に、Ｘ線
を可視光線に変換する蛍光面が、前記ガラス薄板の他方
面にアモルファスセレンよりなる光電変換面が、それぞ
れ密着して形成されたターゲットと、電子ビームを走査
することにより前記光電変換面に形成された電荷を読み
出す手段とを備えたＸ線撮像管において、前記ターゲッ
トのガラス薄板を湾曲させて支持する支持手段を介して
ターゲットを収容する真空バルブに取り付けたものであ
る。
【００１２】
【作用】この発明の作用は次のとおりである。ガラス薄
板は支持手段で湾曲されて支持され、それによりターゲ
ットは湾曲面となるので、機械的強度が大きくなり、耐
振性が向上する。また、ガラス薄板は、支持手段に支持
されているので、その取り扱いも容易となる。
板は支持手段で湾曲されて支持され、それによりターゲ
ットは湾曲面となるので、機械的強度が大きくなり、耐
振性が向上する。また、ガラス薄板は、支持手段に支持
されているので、その取り扱いも容易となる。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の一実施例を
説明する。図１は、この発明の一実施例に係るＸ線撮像
管の構成を示す断面図であり、図２は図１においてガラ
ス薄板を湾曲支持する支持枠（支持手段）の斜視図であ
る。なお、図中、図５、図６と同一符号で示す部分は、
従来例と同一構成であるのでここでは詳述は省略する。
説明する。図１は、この発明の一実施例に係るＸ線撮像
管の構成を示す断面図であり、図２は図１においてガラ
ス薄板を湾曲支持する支持枠（支持手段）の斜視図であ
る。なお、図中、図５、図６と同一符号で示す部分は、
従来例と同一構成であるのでここでは詳述は省略する。
【００１４】この実施例の特徴は、図２に示すように開
口９′を形成した断面がカマボコ状の支持枠９にガラス
薄板32を接着剤等で支持枠９の図中斜線で示す部分に接
合して、Ｘ線入射方向に対し凹状に湾曲させ、Ｘ線入射
面には蛍光面31を、他方の面には順次導電膜33、アモル
ファスセレン膜34を蒸着等で密着形成したものである。
このように構成されたターゲットはブラケットＫＢを介
して真空バルブ２に取り付けられる。
口９′を形成した断面がカマボコ状の支持枠９にガラス
薄板32を接着剤等で支持枠９の図中斜線で示す部分に接
合して、Ｘ線入射方向に対し凹状に湾曲させ、Ｘ線入射
面には蛍光面31を、他方の面には順次導電膜33、アモル
ファスセレン膜34を蒸着等で密着形成したものである。
このように構成されたターゲットはブラケットＫＢを介
して真空バルブ２に取り付けられる。
【００１５】なお、上記の説明ではガラス薄板32を支持
枠９に接合して後、ガラス薄板の一方面に蛍光面を、他
方面に導電膜、アモルファスセレン膜を密着させてター
ゲット３を作成するようにしたが、ガラス薄板の周囲に
支持枠への接合しろを設け、蛍光面、導電膜、アモルフ
ァスセレン膜を形成して後、ガラス薄板を支持枠に接合
し、湾曲ターゲットを作成するようにしてもよい。
枠９に接合して後、ガラス薄板の一方面に蛍光面を、他
方面に導電膜、アモルファスセレン膜を密着させてター
ゲット３を作成するようにしたが、ガラス薄板の周囲に
支持枠への接合しろを設け、蛍光面、導電膜、アモルフ
ァスセレン膜を形成して後、ガラス薄板を支持枠に接合
し、湾曲ターゲットを作成するようにしてもよい。
【００１６】
【変形例】上記の実施例では、ガラス薄板を断面カマボ
コ状の支持枠に接合し、Ｘ線入射方向に対し凹状に湾曲
させたが、逆に凸状に湾曲させてもよい。
コ状の支持枠に接合し、Ｘ線入射方向に対し凹状に湾曲
させたが、逆に凸状に湾曲させてもよい。
【００１７】また、湾曲形状も単純な凹状ないし凸状に
するのではなく、図３、図４のように波板状に湾曲させ
ることも可能である。
するのではなく、図３、図４のように波板状に湾曲させ
ることも可能である。
【００１８】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、ガラス薄板を支持手段により湾曲させて支持させる
ようにした。その結果ターゲットは湾曲面となるので、
機械的強度が大きくなり、耐振性に優れたターゲットが
得られることから、機械的振動に強いＸ線撮像管が得ら
れる。
ば、ガラス薄板を支持手段により湾曲させて支持させる
ようにした。その結果ターゲットは湾曲面となるので、
機械的強度が大きくなり、耐振性に優れたターゲットが
得られることから、機械的振動に強いＸ線撮像管が得ら
れる。
【００１９】したがって、この発明のＸ線撮像管を用い
ることにより、振動による像ブレのないＸ線透過像を得
て、それをモニタ装置に表示できる。
ることにより、振動による像ブレのないＸ線透過像を得
て、それをモニタ装置に表示できる。
【００２０】また、ガラス薄板は支持手段に固定されて
いるので、ターゲットの作成、Ｘ線撮像管の組み立て時
の取り扱いが容易となる。
いるので、ターゲットの作成、Ｘ線撮像管の組み立て時
の取り扱いが容易となる。
【図１】この発明の一実施例に係るＸ線撮像管の構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】図１のガラス薄板を湾曲支持する支持枠の斜視
図である。
図である。
【図３】変形実施例の模式図である。
【図４】さらに他の変形実施例の模式図である。
【図５】従来例に係るＸ線撮像管の構成を示す断面図で
ある。
ある。
【図６】Ｘ線撮像管のターゲットの構成を模式的に示す
図である。
図である。
１…Ｘ線撮像管 ２…真空バ
ルブ ３…ターゲット ４…電子銃 ６…電子ビームの集束、偏向用コイル ９…支持枠（支持手段） 31…蛍光体
（蛍光面） 32…ガラス薄板 33…導電膜 34…アモルファスセレン膜（光電変換面） ｅ…電子ビ
ーム
ルブ ３…ターゲット ４…電子銃 ６…電子ビームの集束、偏向用コイル ９…支持枠（支持手段） 31…蛍光体
（蛍光面） 32…ガラス薄板 33…導電膜 34…アモルファスセレン膜（光電変換面） ｅ…電子ビ
ーム
Claims (1)
- 【請求項１】 平板状のガラス薄板のＸ線入射面に、Ｘ
線を可視光線に変換する蛍光面が、前記ガラス薄板の他
方面にアモルファスセレンよりなる光電変換面が、それ
ぞれ密着して形成されたターゲットを、前記光電変換面
を内側にして真空バルブに収めるとともに、電子ビーム
をコイルにより集束、偏向させて前記光電変換面に形成
された電荷を走査して読み出す手段を備えたＸ線撮像管
において、前記ターゲットのガラス薄板を湾曲させて支
持する支持手段を介して前記真空バルブに取り付けたこ
とを特徴とするＸ線撮像管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21561093A JPH0765741A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｘ線撮像管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21561093A JPH0765741A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｘ線撮像管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0765741A true JPH0765741A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=16675278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21561093A Pending JPH0765741A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｘ線撮像管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0765741A (ja) |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP21561093A patent/JPH0765741A/ja active Pending
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