JPH0769159B2 - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
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- JPH0769159B2 JPH0769159B2 JP1276578A JP27657889A JPH0769159B2 JP H0769159 B2 JPH0769159 B2 JP H0769159B2 JP 1276578 A JP1276578 A JP 1276578A JP 27657889 A JP27657889 A JP 27657889A JP H0769159 B2 JPH0769159 B2 JP H0769159B2
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 8
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- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体装置などの側面および下面に位置す
るリードなどの曲がり，浮き上がりなどを検査する検査
装置に関するものである。
るリードなどの曲がり，浮き上がりなどを検査する検査
装置に関するものである。
〔従来の技術〕 従来の検査装置の一例を第３図に基づいて説明する。
支持台21の中央部に側面にリード20を有する半導体装置
等よりなる被検査体22を載置する検査台23が設けられて
いる。この検査台23の両方の外側には、被検査体22の側
面とリード20を写し出す画像反射板24が保持台25に一体
的に設けられ、係止ピン26で回動自在に支持台21の一部
に取付けられている。また、画像反射板24の上方には、
ランプ27がその照射光を被検査体22に照射するようにし
たカバー28と共に配置されている。さらに、被検査体22
の上方には画像反射板24で反射した被検査体22の側面と
リード20の像を撮像するCCDカメラなどの撮像装置29が
設けられている。
等よりなる被検査体22を載置する検査台23が設けられて
いる。この検査台23の両方の外側には、被検査体22の側
面とリード20を写し出す画像反射板24が保持台25に一体
的に設けられ、係止ピン26で回動自在に支持台21の一部
に取付けられている。また、画像反射板24の上方には、
ランプ27がその照射光を被検査体22に照射するようにし
たカバー28と共に配置されている。さらに、被検査体22
の上方には画像反射板24で反射した被検査体22の側面と
リード20の像を撮像するCCDカメラなどの撮像装置29が
設けられている。
このような構成において、ランプ27の光を被検査体22の
側面とリード20に照射して、その画像を位置調整した画
像反射板24で被検査体22の上方に設けられた撮像装置29
に反射させて、リード20の画像をモニタ（図示ぜず）に
写し出してリード20の曲がりや浮き上がり，本数の欠け
を検査する。
側面とリード20に照射して、その画像を位置調整した画
像反射板24で被検査体22の上方に設けられた撮像装置29
に反射させて、リード20の画像をモニタ（図示ぜず）に
写し出してリード20の曲がりや浮き上がり，本数の欠け
を検査する。
しかしながら上記のような構造では、被検査体のリード
が内側に曲げられている場合、ランプからの照射光はリ
ードの表面の湾曲により均一な画像にはならず、検査台
とその上に載置した被検査体のリードの接面部付近が暗
部となり、そのままモニタに写し出されて、微細なリー
ドの浮き上がりなどの不良を正確に検査・判定すること
ができないという問題を有していた。また、光は被検査
体の外側に配置したランプより照射されるので、検査台
上に載置した被検査体周辺の不必要な部分まで照射して
しまい、余分な光が乱反射してしまうので、これもまた
不良を正確に検査・判定することができないという問題
を有していた。
が内側に曲げられている場合、ランプからの照射光はリ
ードの表面の湾曲により均一な画像にはならず、検査台
とその上に載置した被検査体のリードの接面部付近が暗
部となり、そのままモニタに写し出されて、微細なリー
ドの浮き上がりなどの不良を正確に検査・判定すること
ができないという問題を有していた。また、光は被検査
体の外側に配置したランプより照射されるので、検査台
上に載置した被検査体周辺の不必要な部分まで照射して
しまい、余分な光が乱反射してしまうので、これもまた
不良を正確に検査・判定することができないという問題
を有していた。
この発明の目的は、リードなどが内側に曲げられている
被検査体においても、そのリードなどと検査台との接面
部付近に暗部を生ずることなく、また不必要な部分に照
射された光による乱反射の発生をなくし、正確に検査・
判定できる検査装置を提供することである。
被検査体においても、そのリードなどと検査台との接面
部付近に暗部を生ずることなく、また不必要な部分に照
射された光による乱反射の発生をなくし、正確に検査・
判定できる検査装置を提供することである。
この発明の検査装置は、被検査体が載置される画像反射
板を設けた検査台と、前記検査台上の前記画像反射板の
下方に配設された光源と、前記画像反射板の被検査体が
載置される領域内の一部を貫通し、前記画像反射板より
突出して設けられ、前記光源からの光を前記被検査体と
前記画像反射板との接面部分に照射する照射部と、前記
被検査体と前記画像反射板との接面部分を挟んで前記照
射部に対向する位置に配置した撮像装置とを備えたもの
である。
板を設けた検査台と、前記検査台上の前記画像反射板の
下方に配設された光源と、前記画像反射板の被検査体が
載置される領域内の一部を貫通し、前記画像反射板より
突出して設けられ、前記光源からの光を前記被検査体と
前記画像反射板との接面部分に照射する照射部と、前記
被検査体と前記画像反射板との接面部分を挟んで前記照
射部に対向する位置に配置した撮像装置とを備えたもの
である。
この発明の構成により、照射光が被検査体の外側からで
はなく、被検査体の直下、すなわち被検査体領域の内側
下方から照射されるので、被検査体が曲面を有していて
も、被検査体と画像反射板との接面部分で曲面による暗
部を生ずることなく、正確な像が得られ、また外側から
光を照射しないため、不必要な箇所が照射されることが
なくなり、乱反射の発生を防止し、正確な像が得られ
る。また、接面部分において、影の実像と画像反射板に
写った反射像とを同時に撮像できるので、特に被検査体
の微細なリードの曲がり、浮き上がりに関しては、精度
よく検査・判定を行うことができる。
はなく、被検査体の直下、すなわち被検査体領域の内側
下方から照射されるので、被検査体が曲面を有していて
も、被検査体と画像反射板との接面部分で曲面による暗
部を生ずることなく、正確な像が得られ、また外側から
光を照射しないため、不必要な箇所が照射されることが
なくなり、乱反射の発生を防止し、正確な像が得られ
る。また、接面部分において、影の実像と画像反射板に
写った反射像とを同時に撮像できるので、特に被検査体
の微細なリードの曲がり、浮き上がりに関しては、精度
よく検査・判定を行うことができる。
この発明の検査装置の一実施例を第１図および第２図に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
この検査装置は、第１図に示すように、リード３を有し
た半導体装置の被検査体２を載置して被検査体２の下側
面2aとリード３を裏面より写し出す低歪率の画像反射板
４が検査台１の上面に設けられている。その周囲には載
置される被検査体２の位置を規制する位置決め部５が台
座5aで検査台１の上面より隙間を開けて設けられてい
る。また、検査台１の内部には、光を照射する高周波点
灯型蛍光灯よりなる光源としてのランプ７と、検査台１
と画像反射板４の一部を貫通して被検査体２の下方に位
置する照射部６とからなる照明装置８が設けられてい
る。この照射部６は、ランプ７の照射光を透過散乱させ
る磨りガラスまたは高分子材料からなり、画像反射板４
と被検査体２の間の領域にその透過散乱光を照射するこ
とができる。
た半導体装置の被検査体２を載置して被検査体２の下側
面2aとリード３を裏面より写し出す低歪率の画像反射板
４が検査台１の上面に設けられている。その周囲には載
置される被検査体２の位置を規制する位置決め部５が台
座5aで検査台１の上面より隙間を開けて設けられてい
る。また、検査台１の内部には、光を照射する高周波点
灯型蛍光灯よりなる光源としてのランプ７と、検査台１
と画像反射板４の一部を貫通して被検査体２の下方に位
置する照射部６とからなる照明装置８が設けられてい
る。この照射部６は、ランプ７の照射光を透過散乱させ
る磨りガラスまたは高分子材料からなり、画像反射板４
と被検査体２の間の領域にその透過散乱光を照射するこ
とができる。
さらに、検査台１と位置決め部５との隙間から被検査体
２の下側面2aとリード３の像およびその反射像を撮像し
てモニタ（図示せず）に写し出すように、リード３と画
像反射板４との接面部分を挟んで照射部６に対向する位
置にCCDカメラよりなる撮像装置９が設けられている。
なお、この撮像装置９は被検査体２の四方の下側面2aと
リード３を一度に撮像できるように４台設置してもよい
し、１台または２台設置し４箇所または２箇所の移動よ
り被検査体２の四方の各下側面2aとリード３を撮像して
もよい。
２の下側面2aとリード３の像およびその反射像を撮像し
てモニタ（図示せず）に写し出すように、リード３と画
像反射板４との接面部分を挟んで照射部６に対向する位
置にCCDカメラよりなる撮像装置９が設けられている。
なお、この撮像装置９は被検査体２の四方の下側面2aと
リード３を一度に撮像できるように４台設置してもよい
し、１台または２台設置し４箇所または２箇所の移動よ
り被検査体２の四方の各下側面2aとリード３を撮像して
もよい。
上記の構成において、ランプ７より照射された光は、照
射部６により透過散乱され被検査体２とリード３の裏面
より照射される。この透過散乱された照射光は、第２図
に示すように、被検査体２の下側面2aとリード３による
影の実像10を作り出す。また、この影の実像10は画像反
射板４に写り被検査体２の下側面2aとリード３による影
の虚像11も同時に作り出す。そして、被検査体２の下側
面2aとリード３による影の実像10および反射像11は、撮
像装置９により撮像されてモニタに写し出され、正規の
被検査体と比べてリード３の状態が合格許容範囲内であ
るか否かの検査を行い合否の判定を行う。
射部６により透過散乱され被検査体２とリード３の裏面
より照射される。この透過散乱された照射光は、第２図
に示すように、被検査体２の下側面2aとリード３による
影の実像10を作り出す。また、この影の実像10は画像反
射板４に写り被検査体２の下側面2aとリード３による影
の虚像11も同時に作り出す。そして、被検査体２の下側
面2aとリード３による影の実像10および反射像11は、撮
像装置９により撮像されてモニタに写し出され、正規の
被検査体と比べてリード３の状態が合格許容範囲内であ
るか否かの検査を行い合否の判定を行う。
第２図（ａ）ないし（ｄ）に撮像装置９により撮像され
モニタに写し出された被検査体２の下側面2aとリード３
による影の実像10および反射像11の例を示して説明す
る。
モニタに写し出された被検査体２の下側面2aとリード３
による影の実像10および反射像11の例を示して説明す
る。
第２図（ａ）はリードの曲がりや浮き上がりのない正常
な状態を示す影の実像10および反射像11、第２図（ｂ）
はリードの１本が横に曲がった状態（Ａ部）の不良品を
示す影の実像10および反射像11、第２図（ｃ）はリード
の１本が曲がりすぎて他のリード３よりも浮き上がった
状態（Ｂ部）の不良品を示す影の実像10および反射像1
1、第２図（ｄ）はリードのうち１本の曲がりが少なく
他のリードが浮き上がった状態（Ｃ部）の不良品を示す
影の実像10および反射像11である。
な状態を示す影の実像10および反射像11、第２図（ｂ）
はリードの１本が横に曲がった状態（Ａ部）の不良品を
示す影の実像10および反射像11、第２図（ｃ）はリード
の１本が曲がりすぎて他のリード３よりも浮き上がった
状態（Ｂ部）の不良品を示す影の実像10および反射像1
1、第２図（ｄ）はリードのうち１本の曲がりが少なく
他のリードが浮き上がった状態（Ｃ部）の不良品を示す
影の実像10および反射像11である。
このように、被検査体２の下側面2aとリード３を撮像す
る撮像装置９が、被検査体２の下側面2aとリード３とを
影として撮像することができる。そして、照射光が被検
査体２の外側からではなく、被検査体２の直下、すなわ
ち被検査体領域の内側下方から照射されるので、被検査
体２が内側に曲げられたリード３を有していても、リー
ド３と画像反射板４との接面部分に暗部を生ずることが
なく、正確な像が得られ、また外側から光を照射しない
ため、不必要な箇所が照射されることがなくなり、乱反
射の発生を防止し、正確な像が得られ、正確な検査・判
定を行うことができる。また、被検査体２の下側面2aと
リード３による影の実像10と、画像反射板４に写る影の
実像10の反射像11とを同時に撮像して検査することがで
き、リード３の浮き上がり不良に関しては約２倍の精度
で合否の判定を行うことが可能となる。
る撮像装置９が、被検査体２の下側面2aとリード３とを
影として撮像することができる。そして、照射光が被検
査体２の外側からではなく、被検査体２の直下、すなわ
ち被検査体領域の内側下方から照射されるので、被検査
体２が内側に曲げられたリード３を有していても、リー
ド３と画像反射板４との接面部分に暗部を生ずることが
なく、正確な像が得られ、また外側から光を照射しない
ため、不必要な箇所が照射されることがなくなり、乱反
射の発生を防止し、正確な像が得られ、正確な検査・判
定を行うことができる。また、被検査体２の下側面2aと
リード３による影の実像10と、画像反射板４に写る影の
実像10の反射像11とを同時に撮像して検査することがで
き、リード３の浮き上がり不良に関しては約２倍の精度
で合否の判定を行うことが可能となる。
この発明の検査装置は、被検査体が載置される画像反射
板を設けた検査台と、検査台上の画像反射板の下方に配
設された光源と、画像反射板の被検査体が載置される領
域内の一部を貫通し、画像反射板より突出して設けら
れ、光源からの光を被検査体と画像反射板との接面部分
に照射する照射部と、被検査体と画像反射板との接面部
分を挟んで照射部に対向する位置に配置した撮像装置と
を備えたことにより、照射光が被検査体の外側からでは
なく、被検査体の直下、すなわち被検査体領域の内側下
方から照射されるので、被検査体が曲面を有していて
も、被検査体と画像反射板との接面部分で曲面による暗
部を生ずることなく、正確な像が得られ、また外側から
光を照射しないため、不必要な箇所が照射されることが
なくなり、乱反射の発生を防止し、正確な像が得られ、
正確な検査・判定を行うことができる。また、接面部分
において、影の実像と画像反射板に写った反射像とを同
時に撮像できるので、特に被検査体の微細なリードの曲
がり、浮き上がりに関しては、精度よく検査・判定を行
うことができる。
板を設けた検査台と、検査台上の画像反射板の下方に配
設された光源と、画像反射板の被検査体が載置される領
域内の一部を貫通し、画像反射板より突出して設けら
れ、光源からの光を被検査体と画像反射板との接面部分
に照射する照射部と、被検査体と画像反射板との接面部
分を挟んで照射部に対向する位置に配置した撮像装置と
を備えたことにより、照射光が被検査体の外側からでは
なく、被検査体の直下、すなわち被検査体領域の内側下
方から照射されるので、被検査体が曲面を有していて
も、被検査体と画像反射板との接面部分で曲面による暗
部を生ずることなく、正確な像が得られ、また外側から
光を照射しないため、不必要な箇所が照射されることが
なくなり、乱反射の発生を防止し、正確な像が得られ、
正確な検査・判定を行うことができる。また、接面部分
において、影の実像と画像反射板に写った反射像とを同
時に撮像できるので、特に被検査体の微細なリードの曲
がり、浮き上がりに関しては、精度よく検査・判定を行
うことができる。
第１図（ａ）はこの発明の検査装置の一実施例の平面
図、第１図（ｂ）はその側断面図、第２図（ａ）ないし
（ｄ）はそれにより得られる撮像図、第３図は従来の検
査装置の側面図である。 ４……画像反射板、６……照射部、７……ランプ、８…
…照明装置、９……撮像装置、10……実像、11……反射
像
図、第１図（ｂ）はその側断面図、第２図（ａ）ないし
（ｄ）はそれにより得られる撮像図、第３図は従来の検
査装置の側面図である。 ４……画像反射板、６……照射部、７……ランプ、８…
…照明装置、９……撮像装置、10……実像、11……反射
像
Claims (1)
- 【請求項１】被検査体が載置される画像反射板を設けた
検査台と、前記検査台上の前記画像反射板の下方に配設
された光源と、前記画像反射板の被検査体が載置される
領域内の一部を貫通し、前記画像反射板より突出して設
けられ、前記光源からの光を前記被検査体と前記画像反
射板との接面部分に照射する照射部と、前記被検査体と
前記画像反射板との接面部分を挟んで前記照射部に対向
する位置に配置した撮像装置とを備えた検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276578A JPH0769159B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276578A JPH0769159B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | 検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03137502A JPH03137502A (ja) | 1991-06-12 |
| JPH0769159B2 true JPH0769159B2 (ja) | 1995-07-26 |
Family
ID=17571422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1276578A Expired - Fee Related JPH0769159B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0769159B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190055546A (ko) * | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사 장치 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0739942B2 (ja) * | 1991-10-08 | 1995-05-01 | 正和産業株式会社 | 外観検査装置 |
| JP2006258433A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Susumu Nakatani | 平坦度等の測定装置および平坦度等の測定方法 |
| JP6786593B2 (ja) | 2015-08-26 | 2020-11-18 | アーベーベー・シュバイツ・アーゲーＡＢＢ Ｓｃｈｗｅｉｚ ＡＧ | 多視点による対象検査装置及び方法 |
| CN115684015A (zh) * | 2022-11-01 | 2023-02-03 | 江苏芯缘半导体有限公司 | 一种芯片外观检测机构 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62194403A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-08-26 | Matsushita Electronics Corp | 外観検査装置 |
| JPS62274205A (ja) * | 1986-05-23 | 1987-11-28 | Hitachi Tokyo Electron Co Ltd | リ−ド平坦度検査方法および装置 |
-
1989
- 1989-10-23 JP JP1276578A patent/JPH0769159B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190055546A (ko) * | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사 장치 |
| WO2019098686A1 (ko) * | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03137502A (ja) | 1991-06-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |