JPH0769612A - カーボン基板の製造方法 - Google Patents
カーボン基板の製造方法Info
- Publication number
- JPH0769612A JPH0769612A JP5242038A JP24203893A JPH0769612A JP H0769612 A JPH0769612 A JP H0769612A JP 5242038 A JP5242038 A JP 5242038A JP 24203893 A JP24203893 A JP 24203893A JP H0769612 A JPH0769612 A JP H0769612A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphite
- spacer
- less
- substrate
- carbon substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 51
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 40
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 40
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 24
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 14
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 14
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 7
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 7
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010000 carbonizing Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 238000005087 graphitization Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板欠陥が少ないと共に、反りの発生が抑制
され、高密度記録用磁気ディスク等の平坦度が優れてい
ることが要求される基板として利用することができるカ
ーボン基板の製造方法を提供する。 【構成】 円板状の樹脂成形体を、その１又は複数枚毎
に、黒鉛製スペーサを間に挟んで積層し、この積層体を
黒鉛製筒体内に充填する。積層体の最上部上にタングス
テンカーバイド製の重しを載置する。この黒鉛製スペー
サは、熱伝導度が１００ｋｃａｌ／ｍ・ｈｒ・℃以下、
かさ密度が１．７０〜１．８５、平坦度が１０μｍ以下
である。また、前記黒鉛製筒体及び黒鉛製スペーサは、
灰分が１００ｐｐｍ以下、Ｆｅが１０ｐｐｍ以下、Ｔｉ
が５ｐｐｍ以下、Ｖが５ｐｐｍ以下である。そして、黒
鉛製筒体の外部から加熱して樹脂成形体を炭化焼成し、
カーボン基板を製造する。
され、高密度記録用磁気ディスク等の平坦度が優れてい
ることが要求される基板として利用することができるカ
ーボン基板の製造方法を提供する。 【構成】 円板状の樹脂成形体を、その１又は複数枚毎
に、黒鉛製スペーサを間に挟んで積層し、この積層体を
黒鉛製筒体内に充填する。積層体の最上部上にタングス
テンカーバイド製の重しを載置する。この黒鉛製スペー
サは、熱伝導度が１００ｋｃａｌ／ｍ・ｈｒ・℃以下、
かさ密度が１．７０〜１．８５、平坦度が１０μｍ以下
である。また、前記黒鉛製筒体及び黒鉛製スペーサは、
灰分が１００ｐｐｍ以下、Ｆｅが１０ｐｐｍ以下、Ｔｉ
が５ｐｐｍ以下、Ｖが５ｐｐｍ以下である。そして、黒
鉛製筒体の外部から加熱して樹脂成形体を炭化焼成し、
カーボン基板を製造する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク、磁気ヘッ
ド、感光ドラム、光学用反射板及び光学レンズ鋳型等に
使用するのに好適のカーボン基板を炭化焼成により製造
するカーボン基板の製造方法に関する。
ド、感光ドラム、光学用反射板及び光学レンズ鋳型等に
使用するのに好適のカーボン基板を炭化焼成により製造
するカーボン基板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の用途に使用可能のカーボ
ン基板は、ドーナッツ状に成形した熱硬化性樹脂を不活
性ガス雰囲気中で１０００℃程度に焼成することにより
カーボン化して製造されている（特開昭６０−３５３３
３号、特開昭６２−２３４２３２号）。
ン基板は、ドーナッツ状に成形した熱硬化性樹脂を不活
性ガス雰囲気中で１０００℃程度に焼成することにより
カーボン化して製造されている（特開昭６０−３５３３
３号、特開昭６２−２３４２３２号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、熱硬化性樹脂
は炭化焼成により２０％程度収縮する。このため、この
焼成工程で成形体が変形し、大きな反りが発生する。こ
の反りは研磨によりある程度除去できるが、近年の高密
度記録磁気ディスクは極めて平坦度が高い表面が要求さ
れるため、従来方法により製造されたカーボン基板は高
密度記録用のカーボン基板としての実用化が困難であ
る。
は炭化焼成により２０％程度収縮する。このため、この
焼成工程で成形体が変形し、大きな反りが発生する。こ
の反りは研磨によりある程度除去できるが、近年の高密
度記録磁気ディスクは極めて平坦度が高い表面が要求さ
れるため、従来方法により製造されたカーボン基板は高
密度記録用のカーボン基板としての実用化が困難であ
る。
【０００４】また、焼成時に使用する治具に金属系の不
純物が存在すると、炭化焼成中にこれらの不純物元素が
材料中に拡散する。このようにして汚染された材料を表
面研磨すると、これらの汚染部がピッチングかけ等の基
板欠陥となる。
純物が存在すると、炭化焼成中にこれらの不純物元素が
材料中に拡散する。このようにして汚染された材料を表
面研磨すると、これらの汚染部がピッチングかけ等の基
板欠陥となる。
【０００５】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、反りの発生が抑制され、高密度記録用磁気
ディスク等の平坦度が優れていることが要求される基板
として利用することができるカーボン基板の製造方法を
提供することを目的とする。
のであって、反りの発生が抑制され、高密度記録用磁気
ディスク等の平坦度が優れていることが要求される基板
として利用することができるカーボン基板の製造方法を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るカーボン基
板の製造方法は、円板状の樹脂成形体を１又は複数枚毎
に、熱伝導度が１００ｋｃａｌ／ｍ・ｈｒ・℃以下、か
さ密度が１．７０〜１．８５、平坦度が１０μｍ以下の
黒鉛製スペーサを間に挟んで積層しこの樹脂成形体の最
上部にタングステンカーバイド製の重しを載置した状態
で黒鉛製筒体に充填し、外部から加熱して炭化焼成する
ことを特徴とする。
板の製造方法は、円板状の樹脂成形体を１又は複数枚毎
に、熱伝導度が１００ｋｃａｌ／ｍ・ｈｒ・℃以下、か
さ密度が１．７０〜１．８５、平坦度が１０μｍ以下の
黒鉛製スペーサを間に挟んで積層しこの樹脂成形体の最
上部にタングステンカーバイド製の重しを載置した状態
で黒鉛製筒体に充填し、外部から加熱して炭化焼成する
ことを特徴とする。
【０００７】
【作用】炭化焼成時に材料に反りが発生するのは、焼成
中に樹脂から多量のガス（Ｈ2Ｏ、ＣＯ、ＣＯ2、Ｃ
Ｈ4、Ｈ2）が発生し、約２０％の寸法収縮が生じるため
である。この収縮が材料中に均一に生じるのであれば反
りが発生しないが、実際には、焼成炉の温度ムラに起因
して、材料の径方向及び板厚方向に温度差が生じ、収縮
差が生じる。この収縮差が結果的に残留応力となり、反
りが発生する。特に、焼成炉内ではヒータからの直接加
熱の影響を受けるため、ヒータに近い部分で大きな反り
が発生する。
中に樹脂から多量のガス（Ｈ2Ｏ、ＣＯ、ＣＯ2、Ｃ
Ｈ4、Ｈ2）が発生し、約２０％の寸法収縮が生じるため
である。この収縮が材料中に均一に生じるのであれば反
りが発生しないが、実際には、焼成炉の温度ムラに起因
して、材料の径方向及び板厚方向に温度差が生じ、収縮
差が生じる。この収縮差が結果的に残留応力となり、反
りが発生する。特に、焼成炉内ではヒータからの直接加
熱の影響を受けるため、ヒータに近い部分で大きな反り
が発生する。
【０００８】本発明においては、樹脂成形体を黒鉛製筒
体内に収納し、その外部から加熱して内部の樹脂成形体
を加熱する。これにより、黒鉛製筒体の壁がヒータ等の
加熱手段による直接加熱を緩和し、ヒータの直接加熱の
影響を最小化することができる。特に、黒鉛は、その表
面に沿う方向については、熱伝導度が高く、逆に厚さ方
向については熱伝導度が低い。このため、ヒータ等の加
熱手段に存在する加熱むらを黒鉛製筒体の表面に沿う方
向に均一化することができる。
体内に収納し、その外部から加熱して内部の樹脂成形体
を加熱する。これにより、黒鉛製筒体の壁がヒータ等の
加熱手段による直接加熱を緩和し、ヒータの直接加熱の
影響を最小化することができる。特に、黒鉛は、その表
面に沿う方向については、熱伝導度が高く、逆に厚さ方
向については熱伝導度が低い。このため、ヒータ等の加
熱手段に存在する加熱むらを黒鉛製筒体の表面に沿う方
向に均一化することができる。
【０００９】また、反りの発生を更に抑制するために、
黒鉛製のスペーサを樹脂成形体の間に１又は複数枚毎に
挟んで交互に積層し、荷重をかけた状態で焼成する。更
に、積層体の最上部にタングステンカーバイド（ＷＣ）
製の重しを乗せ、荷重をかけた状態で焼成を行う。
黒鉛製のスペーサを樹脂成形体の間に１又は複数枚毎に
挟んで交互に積層し、荷重をかけた状態で焼成する。更
に、積層体の最上部にタングステンカーバイド（ＷＣ）
製の重しを乗せ、荷重をかけた状態で焼成を行う。
【００１０】前記黒鉛製スペーサは、熱伝導率が１００
ｋｃａｌ／ｍ・ｈｒ・℃以下、かさ密度が１．７０〜
１．８５である。熱伝導度が１００ｋｃａｌ／ｍ・ｈｒ
・℃を超えると、熱伝導率が高すぎるため、スペーサ表
面に接している材料表面の加熱が促進されるため、平坦
度が逆に悪化してしまう。
ｋｃａｌ／ｍ・ｈｒ・℃以下、かさ密度が１．７０〜
１．８５である。熱伝導度が１００ｋｃａｌ／ｍ・ｈｒ
・℃を超えると、熱伝導率が高すぎるため、スペーサ表
面に接している材料表面の加熱が促進されるため、平坦
度が逆に悪化してしまう。
【００１１】また、スペーサ自体の平坦度が悪いと、材
料にスペーサの反りが転写されてしまうので、黒鉛スペ
ーサはその外縁から外縁までの平坦度を１０μｍ以下に
する必要がある。この平坦度は黒鉛製スペーサの最高位
置と最低位置との間の高低差である。
料にスペーサの反りが転写されてしまうので、黒鉛スペ
ーサはその外縁から外縁までの平坦度を１０μｍ以下に
する必要がある。この平坦度は黒鉛製スペーサの最高位
置と最低位置との間の高低差である。
【００１２】黒鉛製のスペーサ及び黒鉛製筒体は成形す
べき材料と接触しているので、黒鉛製スペーサ及び黒鉛
製筒体に金属系の不純物が存在すると、炭化焼成中にこ
れらの金属元素が材料中に拡散し、基板欠陥の原因とな
る。このため、これらの部材を構成する黒鉛中の灰分
（Ａｓｈ）は１００ｐｐｍ以下、Ｆｅは１０ｐｐｍ以
下、Ｔｉは５ｐｐｍ以下、Ｖは５ｐｐｍ以下に高純度化
することが好ましい。これにより、基板欠陥の発生を著
しく低減することができる。
べき材料と接触しているので、黒鉛製スペーサ及び黒鉛
製筒体に金属系の不純物が存在すると、炭化焼成中にこ
れらの金属元素が材料中に拡散し、基板欠陥の原因とな
る。このため、これらの部材を構成する黒鉛中の灰分
（Ａｓｈ）は１００ｐｐｍ以下、Ｆｅは１０ｐｐｍ以
下、Ｔｉは５ｐｐｍ以下、Ｖは５ｐｐｍ以下に高純度化
することが好ましい。これにより、基板欠陥の発生を著
しく低減することができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について添付の図面を
参照して説明する。図１は本発明の実施例にて使用する
黒鉛製筒体を示す縦断面図、図２は同じくその黒鉛製ス
ペーサを示す断面図である。黒鉛製筒体１は有底の円筒
状をなし、底部には対流を向上するための孔３が設けら
れている。
参照して説明する。図１は本発明の実施例にて使用する
黒鉛製筒体を示す縦断面図、図２は同じくその黒鉛製ス
ペーサを示す断面図である。黒鉛製筒体１は有底の円筒
状をなし、底部には対流を向上するための孔３が設けら
れている。
【００１４】図３に筒体１の内部を模式的に示すよう
に、孔３が３個設けられており、各孔３を中心として円
輪状の樹脂成形体２が複数個積層されている。この樹脂
成形体２は円輪状をなし、その１枚毎に、又は複数枚毎
に図２に示すスペーサ２が挟まれている。また、この積
層体の最上部には、スペーサ２の上に更にタングステン
カーバイド製のスペーサ２と同様の形状の重し（図示せ
ず）が載置されている。
に、孔３が３個設けられており、各孔３を中心として円
輪状の樹脂成形体２が複数個積層されている。この樹脂
成形体２は円輪状をなし、その１枚毎に、又は複数枚毎
に図２に示すスペーサ２が挟まれている。また、この積
層体の最上部には、スペーサ２の上に更にタングステン
カーバイド製のスペーサ２と同様の形状の重し（図示せ
ず）が載置されている。
【００１５】このように熱硬化性樹脂成形体の積層体
は、黒鉛製筒体１内に収納されており、更にその積層体
内には、黒鉛製スペーサが介在し、最上部に重しが載置
されているので、各熱硬化性樹脂成形体は均一に加熱さ
れ、焼成時の反りの発生が防止される。
は、黒鉛製筒体１内に収納されており、更にその積層体
内には、黒鉛製スペーサが介在し、最上部に重しが載置
されているので、各熱硬化性樹脂成形体は均一に加熱さ
れ、焼成時の反りの発生が防止される。
【００１６】次に、実際に本発明の実施例方法によりカ
ーボン基板を製造し、その特性を評価した結果について
説明する。実施例１ 先ず、フェノールフォルムアルデヒド樹脂をホットプレ
ス成形し、外径が８５ｍｍ、内径が１５ｍｍ、板厚が
１．３ｍｍの樹脂成形体を作製した。この樹脂成形体を
カーボン製のスペーサと交互に積層し、この積層体を外
径が１０８ｍｍ、内径が８８ｍｍ、高さが６３０ｍｍの
カーボン製の筒体の中に収納した。最上部にはダングス
テンカーバイト製の重しを置き、一定の荷重をかけた。
カーボン製スペーサは平坦度が５μｍのものを使用し
た。
ーボン基板を製造し、その特性を評価した結果について
説明する。実施例１ 先ず、フェノールフォルムアルデヒド樹脂をホットプレ
ス成形し、外径が８５ｍｍ、内径が１５ｍｍ、板厚が
１．３ｍｍの樹脂成形体を作製した。この樹脂成形体を
カーボン製のスペーサと交互に積層し、この積層体を外
径が１０８ｍｍ、内径が８８ｍｍ、高さが６３０ｍｍの
カーボン製の筒体の中に収納した。最上部にはダングス
テンカーバイト製の重しを置き、一定の荷重をかけた。
カーボン製スペーサは平坦度が５μｍのものを使用し
た。
【００１７】次いで、熱処理炉内でＮ2ガスを流しなが
ら、１４００℃の温度まで加熱して熱処理を行い、カー
ボン基板を焼成した。その後、カーボン基板の表面を両
面研磨機にて研磨し、外縁、内縁及び端面の機械加工を
行い、外径が６５ｍｍ、内径が２０ｍｍ、板厚が０．８
８９ｍｍ、表面粗さＲａが８Åのカーボンサブストレー
トを作製した。
ら、１４００℃の温度まで加熱して熱処理を行い、カー
ボン基板を焼成した。その後、カーボン基板の表面を両
面研磨機にて研磨し、外縁、内縁及び端面の機械加工を
行い、外径が６５ｍｍ、内径が２０ｍｍ、板厚が０．８
８９ｍｍ、表面粗さＲａが８Åのカーボンサブストレー
トを作製した。
【００１８】比較のために、カーボン製筒体の有無、ス
ペーサの平坦度、熱伝導度、タングステンカーバイド製
重しの有無を変更し、得られたカーボン製基板の平坦度
不良率を求めた。その結果を下記表１に示す。
ペーサの平坦度、熱伝導度、タングステンカーバイド製
重しの有無を変更し、得られたカーボン製基板の平坦度
不良率を求めた。その結果を下記表１に示す。
【００１９】
【表１】
【００２０】但し、平坦度不良率とは、カーボン基板の
最終製品において、平坦度が１０μｍ以上のものの発生
率である。この平坦度は光学式の平坦度測定装置により
測定した。スペーサＡは熱伝導度が９５ｋｃａｌ／ｍ・
Ｈｒ・℃、スペーサＢは熱伝導度が１３２ｋｃａｌ／ｍ
・Ｈｒ・℃である。
最終製品において、平坦度が１０μｍ以上のものの発生
率である。この平坦度は光学式の平坦度測定装置により
測定した。スペーサＡは熱伝導度が９５ｋｃａｌ／ｍ・
Ｈｒ・℃、スペーサＢは熱伝導度が１３２ｋｃａｌ／ｍ
・Ｈｒ・℃である。
【００２１】この表１から明らかなように、カーボン製
筒体を使用しない比較例１の場合は、熱処理時にヒータ
の直接加熱の影響を受けるため、カーボン基板製品に著
しい反りが発生する。
筒体を使用しない比較例１の場合は、熱処理時にヒータ
の直接加熱の影響を受けるため、カーボン基板製品に著
しい反りが発生する。
【００２２】カーボン製スペーサの熱伝導度が１００ｋ
ｃａｌ／ｍ・Ｈｒ・℃よりも大きい比較例２の場合は、
樹脂成形体に比してカーボン製スペーサの温度がかなり
高くなるため、反りが大きくなる。
ｃａｌ／ｍ・Ｈｒ・℃よりも大きい比較例２の場合は、
樹脂成形体に比してカーボン製スペーサの温度がかなり
高くなるため、反りが大きくなる。
【００２３】カーボン製スペーサ自体の平坦度が悪い比
較例３の場合は、樹脂成形体にその反りが転写されてし
まう。
較例３の場合は、樹脂成形体にその反りが転写されてし
まう。
【００２４】タングステンカーバイトの重しは、反りの
発生を抑制する効果があり、これを使用しない比較例４
の場合は、平坦度不良率が悪化する。
発生を抑制する効果があり、これを使用しない比較例４
の場合は、平坦度不良率が悪化する。
【００２５】実施例２ 焼成中に使用するカーボン製筒体及びスペーサの組成を
種々変更し、実施例１と同様にしてカーボン基板を作成
した。カーボン筒体及びスペーサの組成がＡｓｈ：１０
０ｐｐｍ以下、Ｆｅ：１０ｐｐｍ以下、Ｔｉ：５ｐｐｍ
以下、Ｖ：５ｐｐｍ以下に高純度化した場合をＣ、これ
らの組成を外した場合をＤとした。そして、基板の表面
に存在する欠陥をレーザ式欠陥分析装置を使用して検査
した。
種々変更し、実施例１と同様にしてカーボン基板を作成
した。カーボン筒体及びスペーサの組成がＡｓｈ：１０
０ｐｐｍ以下、Ｆｅ：１０ｐｐｍ以下、Ｔｉ：５ｐｐｍ
以下、Ｖ：５ｐｐｍ以下に高純度化した場合をＣ、これ
らの組成を外した場合をＤとした。そして、基板の表面
に存在する欠陥をレーザ式欠陥分析装置を使用して検査
した。
【００２６】下記表２は得られた基板の一面当たりの欠
陥数を示し、下記表３にはカーボン製筒体及びカーボン
製スペーサの純度を示した。
陥数を示し、下記表３にはカーボン製筒体及びカーボン
製スペーサの純度を示した。
【００２７】
【表２】
【００２８】
【表３】
【００２９】この表２から明らかなように、カーボン製
筒体又はカーボン製スペーサの純度が悪いと、焼成中に
不純物元素が樹脂成形体中に拡散するため、欠陥数が増
大する。殆どの金属元素、特にＦｅ、Ｔｉ、Ｖは黒鉛化
触媒として作用するため、これらの成分が多いと、部分
的に黒鉛が発生し、これが基板欠陥となる。代表的な黒
鉛欠陥を示す金属顕微鏡写真を図４に示す。
筒体又はカーボン製スペーサの純度が悪いと、焼成中に
不純物元素が樹脂成形体中に拡散するため、欠陥数が増
大する。殆どの金属元素、特にＦｅ、Ｔｉ、Ｖは黒鉛化
触媒として作用するため、これらの成分が多いと、部分
的に黒鉛が発生し、これが基板欠陥となる。代表的な黒
鉛欠陥を示す金属顕微鏡写真を図４に示す。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
黒鉛製筒体内に、熱硬化製樹脂をその１枚又は複数枚毎
に間に黒鉛製スペーサを挟んで充填し、最上部にタング
ステンカーバイド製の重しを載置して、前記筒体の外部
から加熱することにより前記熱硬化性樹脂を炭化焼成す
るから、炭化焼成後の基板の反りを低減することがで
き、これにより、研磨時間を短縮することができて生産
性を著しく向上することができる。
黒鉛製筒体内に、熱硬化製樹脂をその１枚又は複数枚毎
に間に黒鉛製スペーサを挟んで充填し、最上部にタング
ステンカーバイド製の重しを載置して、前記筒体の外部
から加熱することにより前記熱硬化性樹脂を炭化焼成す
るから、炭化焼成後の基板の反りを低減することがで
き、これにより、研磨時間を短縮することができて生産
性を著しく向上することができる。
【００３１】また、請求項２に記載のように、黒鉛製筒
体及びスペーサを高純度化することにより、炭化焼成中
の材料への金属不純物の拡散が防止され、基板欠陥の発
生を著しく減少することができる。
体及びスペーサを高純度化することにより、炭化焼成中
の材料への金属不純物の拡散が防止され、基板欠陥の発
生を著しく減少することができる。
【図１】本発明の実施例において使用する黒鉛製筒体を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図２】本発明の実施例において使用する黒鉛製スペー
サを示す断面図である。
サを示す断面図である。
【図３】同じくその黒鉛製筒体の内部を示す模式図であ
る。
る。
【図４】代表的な黒鉛欠陥を示す金属顕微鏡写真であ
る。
る。
１；黒鉛製筒体 ２；黒鉛製スペーサ ３；孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ２７Ｄ 3/12 Ｓ 7141−4Ｋ
Claims (2)
- 【請求項１】 円板状の樹脂成形体を１又は複数枚毎
に、熱伝導度が１００ｋｃａｌ／ｍ・ｈｒ・℃以下、か
さ密度が１．７０〜１．８５、平坦度が１０μｍ以下の
黒鉛製スペーサを間に挟んで積層しこの樹脂成形体の最
上部にタングステンカーバイド製の重しを載置した状態
で黒鉛製筒体に充填し、外部から加熱して炭化焼成する
ことを特徴とするカーボン基板の製造方法。 - 【請求項２】 前記黒鉛製筒体及び黒鉛製スペーサは、
灰分が１００ｐｐｍ以下、Ｆｅが１０ｐｐｍ以下、Ｔｉ
が５ｐｐｍ以下、Ｖが５ｐｐｍ以下であることを特徴と
する請求項１に記載のカーボン基板の製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5242038A JPH0769612A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | カーボン基板の製造方法 |
| DE4430570A DE4430570C2 (de) | 1993-08-30 | 1994-08-30 | Verfahren zum Herstellen eines Kohlenstoffsubstrates |
| US08/297,811 US5580500A (en) | 1993-08-30 | 1994-08-30 | Method of manufacturing carbon substrate |
| MYPI94002276A MY131767A (en) | 1993-08-30 | 1994-08-30 | Method of manufacturing carbon substrate |
| GB9417407A GB2281557B (en) | 1993-08-30 | 1994-08-30 | Method of manufacturing carbon substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5242038A JPH0769612A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | カーボン基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0769612A true JPH0769612A (ja) | 1995-03-14 |
Family
ID=17083355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5242038A Pending JPH0769612A (ja) | 1993-08-30 | 1993-09-02 | カーボン基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0769612A (ja) |
-
1993
- 1993-09-02 JP JP5242038A patent/JPH0769612A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0769612A (ja) | カーボン基板の製造方法 | |
| US5580500A (en) | Method of manufacturing carbon substrate | |
| JPH0769728A (ja) | カーボン基板の製造方法 | |
| CN218693873U (zh) | 金属粉末射出成型的控碳烧结装置 | |
| JP3069216B2 (ja) | 半導体用部材 | |
| JP2004224580A (ja) | 石英ガラス成形用型およびその製造方法 | |
| JPH0850720A (ja) | 記録媒体用ガラス状炭素基板の製造方法及び焼成用支持装置 | |
| JP3905205B2 (ja) | 連続熱処理炉に用いるサヤ支持構造及び連続熱処理方法 | |
| JPH06247730A (ja) | 板ガラスの徐冷法 | |
| JP2543159B2 (ja) | 炭素材及びそ製造方法 | |
| JPH06220625A (ja) | スパッターターゲット材及びその製造方法 | |
| JPH08133837A (ja) | 均質なガラス状炭素材の製造方法 | |
| JP2021141198A (ja) | 縦型ウエハボート及び縦型ウエハボートの製造方法 | |
| JP3599257B2 (ja) | 半導体熱処理用ダミーウエハ | |
| WO1996006202A1 (en) | Apparatus and method for making metal oxide sputtering targets | |
| JPH07296376A (ja) | 磁気記録用ディスク基板 | |
| KR20260018401A (ko) | 글래시 카본 제조를 위한 모재의 열처리용 지그 및 이를 이용한 열처리 방법 | |
| JPH03122007A (ja) | 炭素材の製造方法 | |
| JP4050891B2 (ja) | ガラス状炭素製パイプの製造方法およびガラス状炭素製パイプ製造用中子 | |
| JPH11278859A (ja) | 結晶化ガラスの製造方法 | |
| JPH07207304A (ja) | 希土類磁石焼結用セッター | |
| JPS59107980A (ja) | 薄板状セラミツクス焼結体の製造方法 | |
| JPH0629444B2 (ja) | 焼結方法 | |
| JPS6339636B2 (ja) | ||
| JPS60103123A (ja) | 傘歯車の焼入れ方法 |