JPH077068A - ウエハ載置台とチャックハンドの構造 - Google Patents
ウエハ載置台とチャックハンドの構造Info
- Publication number
- JPH077068A JPH077068A JP17216793A JP17216793A JPH077068A JP H077068 A JPH077068 A JP H077068A JP 17216793 A JP17216793 A JP 17216793A JP 17216793 A JP17216793 A JP 17216793A JP H077068 A JPH077068 A JP H077068A
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- mounting table
- chuck hand
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハに歪みを生ぜず、またウエハのサイズ
による部品交換を必要としないウエハ載置台と、これに
適合するチャックハンドを提供する。 【構成】 ウエハ載置台５は、適当な直径の中心孔５b
を有する外周シリンダ５a と、中心孔５b に緩く嵌挿さ
れた中心軸５c とよりなり、外周シリンダ５a の上端面
を載置面５aM、中心軸の上端面を中継面５cMとし、載置
面５aMには複数のエア吸着孔52を配設する。中継面５cM
には必要に応じてエア吸着孔52を設ける。また、外周シ
リンダ５a または中心軸５c は、図示しない昇降機構に
より相手に対してＺ昇降できるように構成する。次にチ
ャックハンド１は、先端に、内径が中心軸５c の直径よ
りやや大きい、図示のＵ字形の吸着部１a を取り付けて
構成される。Ｕ字形には上向きにエア吸着孔11を必要数
だけ設ける。 【効果】 目的が達成される。
による部品交換を必要としないウエハ載置台と、これに
適合するチャックハンドを提供する。 【構成】 ウエハ載置台５は、適当な直径の中心孔５b
を有する外周シリンダ５a と、中心孔５b に緩く嵌挿さ
れた中心軸５c とよりなり、外周シリンダ５a の上端面
を載置面５aM、中心軸の上端面を中継面５cMとし、載置
面５aMには複数のエア吸着孔52を配設する。中継面５cM
には必要に応じてエア吸着孔52を設ける。また、外周シ
リンダ５a または中心軸５c は、図示しない昇降機構に
より相手に対してＺ昇降できるように構成する。次にチ
ャックハンド１は、先端に、内径が中心軸５c の直径よ
りやや大きい、図示のＵ字形の吸着部１a を取り付けて
構成される。Ｕ字形には上向きにエア吸着孔11を必要数
だけ設ける。 【効果】 目的が達成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ウエハを載置する載
置台と、ウエハをチャックして載置台に載置するチャッ
クハンドの構造に関する。
置台と、ウエハをチャックして載置台に載置するチャッ
クハンドの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ＩＣの製造においては、素材のウ
エハはロボット機構のチャックハンドにチャックされて
載置台に搬送され、載置されて所定の加工または検査が
なされる。ウエハの加工または検査面は、異物などによ
り汚染されると、製品の品質が劣化する恐れがあるた
め、チャックハンドによるチャックは、ウエハの下面に
対してなされ、載置台では上面に対して加工または検査
がなされる。図２は、ウエハの下面に対する、従来のチ
ャックハンドと、これに対応した載置台の一例を示し、
以下その構造と動作を説明する。図２(a) において、チ
ャックハンド１は、単純な棒形状をなし、その先端部ま
で貫通したエア吸着孔11を設け、その右端よりのエアＡ
の吸引により、ウエハ２の下面を吸着してチャックす
る。これに対する載置台３は、ウエハ２より小さい適当
な直径を有する円柱をとり、その中心部を含む部分に、
チャックハンド１に対する、図示のＵ字形の切り欠き部
31を設ける。円柱の上端面が載置面とされ、載置面には
複数のエア吸着孔32が配設されている。ウエハ２をチャ
ックしたチャックハンド１は、矢印Ｂの方向に移動して
切り欠き部31に侵入し、ついで下降してウエハ２は載置
面に載置される。ここで、チャックハンド１はエア吸着
を解放し、ウエハ２は載置台３にエア吸着されて、チャ
ックハンド１は矢印Ｃのように元の位置に戻って図(b)
の状態となる。上記の載置台３は、切り欠き部31を有す
るため、ウエハ２に対するエア吸着力が不均一となり、
吸着されたウエハ２には載置面に倣って、不自然で不都
合な歪みを生ずる欠点がある。
エハはロボット機構のチャックハンドにチャックされて
載置台に搬送され、載置されて所定の加工または検査が
なされる。ウエハの加工または検査面は、異物などによ
り汚染されると、製品の品質が劣化する恐れがあるた
め、チャックハンドによるチャックは、ウエハの下面に
対してなされ、載置台では上面に対して加工または検査
がなされる。図２は、ウエハの下面に対する、従来のチ
ャックハンドと、これに対応した載置台の一例を示し、
以下その構造と動作を説明する。図２(a) において、チ
ャックハンド１は、単純な棒形状をなし、その先端部ま
で貫通したエア吸着孔11を設け、その右端よりのエアＡ
の吸引により、ウエハ２の下面を吸着してチャックす
る。これに対する載置台３は、ウエハ２より小さい適当
な直径を有する円柱をとり、その中心部を含む部分に、
チャックハンド１に対する、図示のＵ字形の切り欠き部
31を設ける。円柱の上端面が載置面とされ、載置面には
複数のエア吸着孔32が配設されている。ウエハ２をチャ
ックしたチャックハンド１は、矢印Ｂの方向に移動して
切り欠き部31に侵入し、ついで下降してウエハ２は載置
面に載置される。ここで、チャックハンド１はエア吸着
を解放し、ウエハ２は載置台３にエア吸着されて、チャ
ックハンド１は矢印Ｃのように元の位置に戻って図(b)
の状態となる。上記の載置台３は、切り欠き部31を有す
るため、ウエハ２に対するエア吸着力が不均一となり、
吸着されたウエハ２には載置面に倣って、不自然で不都
合な歪みを生ずる欠点がある。
【０００３】図３は、上記の各欠点を除くもので、図３
(a) において、載置台３の直径をさらに小さくして、そ
の上面の全面を吸着面とし、これに複数の吸着孔32を配
設する。載置台３の周辺に、外径がウエハ２の直径とほ
ぼ等しく、内径が載置台３の直径よりやや大きい、Ｚ昇
降可能な図示の形状の中継台４を設ける。チャックハン
ド１は図２の場合と同一とし、ウエハ２をチャックして
矢印Ｂの方向に搬送し、上昇した状態の中継台４に仮載
置して元の位置に戻る。ここで図(b) のように中継台４
がＺD 下降すると、ウエハ２は載置面に載置されてエア
吸着される。この場合の載置台３は、載置面が対称的な
円形であるので不都合な歪みは発生しない。しかし、載
置面がウエハ２より中継台４の分だけ小さくなり、ま
た、中継台４はウエハ２のサイズに対応して交換が必要
となることが欠点である。
(a) において、載置台３の直径をさらに小さくして、そ
の上面の全面を吸着面とし、これに複数の吸着孔32を配
設する。載置台３の周辺に、外径がウエハ２の直径とほ
ぼ等しく、内径が載置台３の直径よりやや大きい、Ｚ昇
降可能な図示の形状の中継台４を設ける。チャックハン
ド１は図２の場合と同一とし、ウエハ２をチャックして
矢印Ｂの方向に搬送し、上昇した状態の中継台４に仮載
置して元の位置に戻る。ここで図(b) のように中継台４
がＺD 下降すると、ウエハ２は載置面に載置されてエア
吸着される。この場合の載置台３は、載置面が対称的な
円形であるので不都合な歪みは発生しない。しかし、載
置面がウエハ２より中継台４の分だけ小さくなり、ま
た、中継台４はウエハ２のサイズに対応して交換が必要
となることが欠点である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の各載置台にはそ
れぞれ欠点があり、これに対して各欠点を有しない載置
台が望ましい。しかし載置台のみの改良では困難であ
り、チャックハンドを含めて改良すれば、上記の各欠点
を排除できるものと考えられる。この発明は、以上の考
えによりなされたもので、上記の各欠点を有しない、載
置台とチャックハンドの構造を提供することを目的とす
る。
れぞれ欠点があり、これに対して各欠点を有しない載置
台が望ましい。しかし載置台のみの改良では困難であ
り、チャックハンドを含めて改良すれば、上記の各欠点
を排除できるものと考えられる。この発明は、以上の考
えによりなされたもので、上記の各欠点を有しない、載
置台とチャックハンドの構造を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明はウエハ載置台
とチャックハンドの構造であって、ウエハ載置台は、上
端面をウエハの載置面とし、載置面にエア吸着孔が配設
された外周シリンダと、外周シリンダの中心孔に緩く嵌
挿され、上端面をウエハの中継面とする中心軸とにより
構成され、外周シリンダまたは中心軸の一方を他方に対
して昇降可能とする。また、チャックハンドは、エア吸
着孔を有し、中心軸の外周に沿ったＵ字形をなす吸着部
により構成したものである。
とチャックハンドの構造であって、ウエハ載置台は、上
端面をウエハの載置面とし、載置面にエア吸着孔が配設
された外周シリンダと、外周シリンダの中心孔に緩く嵌
挿され、上端面をウエハの中継面とする中心軸とにより
構成され、外周シリンダまたは中心軸の一方を他方に対
して昇降可能とする。また、チャックハンドは、エア吸
着孔を有し、中心軸の外周に沿ったＵ字形をなす吸着部
により構成したものである。
【０００６】
【作用】ウエハのハンドリングにおいては、まず、ウエ
ハ載置台の中心軸を上昇するか、または外周シリンダを
下降して、中心軸の中継面の高さを、外周シリンダの載
置面より高くする。この状態で、チャックハンドの吸着
部にウエハを吸着して水平移動すると、吸着部のＵ字形
に中心軸が嵌入する。ここで水平移動を停止して下降す
ると、ウエハは中心軸の上端面の中継面に仮載置され
る。ついで、吸着部のエア吸着を解放してチャックハン
ドを元の位置に移動した後、中心軸を下降するか、また
は外周シリンダを上昇すると、ウエハは外周シリンダの
上端面の載置面に移載されてエア吸着される。上記の外
周シリンダの載置面は、ドーナッツ形であるが、中心対
称形であるので、吸着されたウエハに不自然な歪みが発
生せず、またウエハのサイズが外周シリンダの直径より
大きければ、サイズにかかわらず適用できるので、部品
の交換などが不必要で好都合である。
ハ載置台の中心軸を上昇するか、または外周シリンダを
下降して、中心軸の中継面の高さを、外周シリンダの載
置面より高くする。この状態で、チャックハンドの吸着
部にウエハを吸着して水平移動すると、吸着部のＵ字形
に中心軸が嵌入する。ここで水平移動を停止して下降す
ると、ウエハは中心軸の上端面の中継面に仮載置され
る。ついで、吸着部のエア吸着を解放してチャックハン
ドを元の位置に移動した後、中心軸を下降するか、また
は外周シリンダを上昇すると、ウエハは外周シリンダの
上端面の載置面に移載されてエア吸着される。上記の外
周シリンダの載置面は、ドーナッツ形であるが、中心対
称形であるので、吸着されたウエハに不自然な歪みが発
生せず、またウエハのサイズが外周シリンダの直径より
大きければ、サイズにかかわらず適用できるので、部品
の交換などが不必要で好都合である。
【０００７】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す。図１(a)
において、ウエハ載置台５は、載置されるウエハ２の最
小のサイズに等しいか、またはやや小さい外径と、適当
な直径の中心孔５b を有する外周シリンダ５a と、中心
孔５b に緩く嵌挿された中心軸５c とにより構成され
る。外周シリンダ５a の上端面を載置面５aM、中心軸の
上端面を中継面５cMとし、載置面５aMに複数のエア吸着
孔52を配設し、中継面５cMには必要に応じてエア吸着孔
52を設ける。また、外周シリンダ５a または中心軸５c
は、図示しない昇降機構により相手に対してＺ昇降でき
るように構成する。次にチャックハンド１は、先端に、
内径が中心軸５c の直径よりやや大きい、図示のＵ字形
の吸着部１a を取り付けて構成される。Ｕ字形には上向
きにエア吸着孔11を必要数だけ設ける。
において、ウエハ載置台５は、載置されるウエハ２の最
小のサイズに等しいか、またはやや小さい外径と、適当
な直径の中心孔５b を有する外周シリンダ５a と、中心
孔５b に緩く嵌挿された中心軸５c とにより構成され
る。外周シリンダ５a の上端面を載置面５aM、中心軸の
上端面を中継面５cMとし、載置面５aMに複数のエア吸着
孔52を配設し、中継面５cMには必要に応じてエア吸着孔
52を設ける。また、外周シリンダ５a または中心軸５c
は、図示しない昇降機構により相手に対してＺ昇降でき
るように構成する。次にチャックハンド１は、先端に、
内径が中心軸５c の直径よりやや大きい、図示のＵ字形
の吸着部１a を取り付けて構成される。Ｕ字形には上向
きにエア吸着孔11を必要数だけ設ける。
【０００８】ウエハ２のハンドリングにおいては、チャ
ックハンド１の吸着部１a に、ウエハ２の下面を吸着し
て、図示しないロボット機構により水平移動する。これ
に対して、ウエハ載置台２の中心軸５c の中継面５c
Mは、予め昇降機構により外周シリンダ５a の載置面５c
Mより高い位置としておき、水平移動した吸着部１a の
Ｕ字形に中心軸５c が嵌入する。ここで水平移動を停止
して下降すると、ウエハ２は中心軸５c の中継面５cMに
仮載置される。この仮載置が不安定のときは、エア吸着
孔52よりエアＡ1 を吸引し、ウエハ２を吸着して安定と
する。ついで、吸着部１a のエア吸着を解放して、チャ
ックハンド１を右方に移動した後、昇降機構により中心
軸５c をＺD 下降するか、または外周シリンダ５a をＺ
U 上昇すると、図１(b) に示すように、ウエハ２は外周
シリンダ５a の載置面５aMに移載され、エアＡ2 により
吸着される。
ックハンド１の吸着部１a に、ウエハ２の下面を吸着し
て、図示しないロボット機構により水平移動する。これ
に対して、ウエハ載置台２の中心軸５c の中継面５c
Mは、予め昇降機構により外周シリンダ５a の載置面５c
Mより高い位置としておき、水平移動した吸着部１a の
Ｕ字形に中心軸５c が嵌入する。ここで水平移動を停止
して下降すると、ウエハ２は中心軸５c の中継面５cMに
仮載置される。この仮載置が不安定のときは、エア吸着
孔52よりエアＡ1 を吸引し、ウエハ２を吸着して安定と
する。ついで、吸着部１a のエア吸着を解放して、チャ
ックハンド１を右方に移動した後、昇降機構により中心
軸５c をＺD 下降するか、または外周シリンダ５a をＺ
U 上昇すると、図１(b) に示すように、ウエハ２は外周
シリンダ５a の載置面５aMに移載され、エアＡ2 により
吸着される。
【０００９】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明によるウ
エハ載置台の構造は、外周シリンダの載置面が中心対称
形であるので、吸着されたウエハに不自然な歪みが発生
せず、またウエハのサイズにかかわらず適用できるもの
で、従来の載置台の各欠点が排除されており、またチャ
ックハンドの構造はウエハ載置台の中心軸に適合した形
状の吸着部を有するもので、ウエハの下面を吸着する方
式のウエハハンドリングに寄与する効果には大きいもの
がある。
エハ載置台の構造は、外周シリンダの載置面が中心対称
形であるので、吸着されたウエハに不自然な歪みが発生
せず、またウエハのサイズにかかわらず適用できるもの
で、従来の載置台の各欠点が排除されており、またチャ
ックハンドの構造はウエハ載置台の中心軸に適合した形
状の吸着部を有するもので、ウエハの下面を吸着する方
式のウエハハンドリングに寄与する効果には大きいもの
がある。
【図１】 この発明の一実施例を示し、(a) はウエハ載
置台５とチャックハンド１の平面および断面図、(b) は
ウエハ載置台５にウエハ２が載置された状態を示す断面
図である。
置台５とチャックハンド１の平面および断面図、(b) は
ウエハ載置台５にウエハ２が載置された状態を示す断面
図である。
【図２】 従来のチャックハンドと載置台の一例を示す
平面および断面図である。
平面および断面図である。
【図３】 従来のチャックハンドと載置台の他の例を示
す平面および断面図である。
す平面および断面図である。
１…チャックハンド、１a …吸着部、 11 …エア吸着
孔、２…ウエハ、３…従来の載置台、31…切り込み部、
32…エア吸着孔、４…中継台、５…この発明のウエハ載
置台、５a …外周シリンダ、５aM…載置面、５b …中心
孔、５c …中心軸、５cM…中継面、52…エア吸着孔、
Ａ，Ａ1,Ａ2 …エア、Ｂ，Ｃ…移動方向、Ｚ…昇降、Ｚ
D …下降、ＺU …上昇。
孔、２…ウエハ、３…従来の載置台、31…切り込み部、
32…エア吸着孔、４…中継台、５…この発明のウエハ載
置台、５a …外周シリンダ、５aM…載置面、５b …中心
孔、５c …中心軸、５cM…中継面、52…エア吸着孔、
Ａ，Ａ1,Ａ2 …エア、Ｂ，Ｃ…移動方向、Ｚ…昇降、Ｚ
D …下降、ＺU …上昇。
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエハの下面をチャックハンドによりチ
ャックし、水平方向に搬送して垂直方向に下降し、ウエ
ハ載置台に載置するロボット機構のウエハハンドリング
において、該ウエハ載置台は、上端面を前記ウエハの載
置面とし、該載置面にエア吸着孔が配設された外周シリ
ンダと、該外周シリンダの中心孔に緩く嵌挿され、上端
面を前記ウエハの中継面とする貫通軸とにより構成さ
れ、該外周シリンダまたは該貫通軸の一方を他方に対し
て昇降可能とし、かつ、前記チャックハンドは、エア吸
着孔を有し、前記貫通軸の外周に沿ったＵ字形をなす吸
着部により構成されことを特徴とする、ウエハ載置台と
チャックハンドの構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17216793A JPH077068A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ウエハ載置台とチャックハンドの構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17216793A JPH077068A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ウエハ載置台とチャックハンドの構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH077068A true JPH077068A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15936821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17216793A Pending JPH077068A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ウエハ載置台とチャックハンドの構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077068A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100250798B1 (ko) * | 1997-07-14 | 2000-04-01 | 김창국 | 산업용 로봇의 암에 사용되는 팁의 구조 |
| KR100624466B1 (ko) * | 2005-04-14 | 2006-09-19 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 고정용 진공 척 |
| JP2020202324A (ja) * | 2019-06-12 | 2020-12-17 | 株式会社ディスコ | ロボットハンド |
| JP2022518017A (ja) * | 2019-01-18 | 2022-03-11 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ウエハ処理ツール及びその方法 |
-
1993
- 1993-06-18 JP JP17216793A patent/JPH077068A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100250798B1 (ko) * | 1997-07-14 | 2000-04-01 | 김창국 | 산업용 로봇의 암에 사용되는 팁의 구조 |
| KR100624466B1 (ko) * | 2005-04-14 | 2006-09-19 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 고정용 진공 척 |
| JP2022518017A (ja) * | 2019-01-18 | 2022-03-11 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ウエハ処理ツール及びその方法 |
| US12142513B2 (en) | 2019-01-18 | 2024-11-12 | Applied Materials, Inc. | Wafer processing tools and methods thereof |
| JP2020202324A (ja) * | 2019-06-12 | 2020-12-17 | 株式会社ディスコ | ロボットハンド |
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