JPH0354858B2 - - Google Patents
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- JPH0354858B2 JPH0354858B2 JP60238196A JP23819685A JPH0354858B2 JP H0354858 B2 JPH0354858 B2 JP H0354858B2 JP 60238196 A JP60238196 A JP 60238196A JP 23819685 A JP23819685 A JP 23819685A JP H0354858 B2 JPH0354858 B2 JP H0354858B2
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- Japan
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- push
- die
- needle
- suction nozzle
- suction
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/74—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H10P72/7412—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support
- H10P72/7414—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the selective separation of some of a plurality of devices from the auxiliary support
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ウエハーシートを吸着体で吸着して
いる状態でウエハーシート上のダイを中心突き上
げ針で突き上げ、この突き上げられたダイを吸着
ノズルで吸着して移送するダイボンデイング装置
に関する。
いる状態でウエハーシート上のダイを中心突き上
げ針で突き上げ、この突き上げられたダイを吸着
ノズルで吸着して移送するダイボンデイング装置
に関する。
従来、かかるダイボンデイング装置として、吸
着ノズルの吸着面が、第４図に示すように平型の
もの（例えば特開昭54−58356号公報参照）と、
第５図に示すように角錐型のものが知られてい
る。
着ノズルの吸着面が、第４図に示すように平型の
もの（例えば特開昭54−58356号公報参照）と、
第５図に示すように角錐型のものが知られてい
る。
第４図及び第５図において、ダイ１が粘着され
たウエハーシート２はXY方向に移動する図示し
ない枠体に固定されている。ウエハーシート２の
下方には真空孔３ａが形成された吸着体３が配設
されており、この吸着体３の中央部にダイ１を突
き上げる中心突き上げ針４が配設されている。前
記中心突き上げ針４の上方には突き上げられたダ
イ１を真空によつて吸着する吸着面が平型の吸着
ノズル５または角錐型の吸着ノズル６が上下動及
びXY方向移動可能に配設されており、吸着ノズ
ル５，６は図示しないスプリングで下方に付勢さ
れている。
たウエハーシート２はXY方向に移動する図示し
ない枠体に固定されている。ウエハーシート２の
下方には真空孔３ａが形成された吸着体３が配設
されており、この吸着体３の中央部にダイ１を突
き上げる中心突き上げ針４が配設されている。前
記中心突き上げ針４の上方には突き上げられたダ
イ１を真空によつて吸着する吸着面が平型の吸着
ノズル５または角錐型の吸着ノズル６が上下動及
びXY方向移動可能に配設されており、吸着ノズ
ル５，６は図示しないスプリングで下方に付勢さ
れている。
次にかかる装置の作動を簡単に説明する。ここ
で、第５図は吸着ミスの場合を示す。まず第４図
ａ及び第５図ａに示すように、ウエハーシート２
を吸着体３で吸着し、また吸着ノズル５，６の先
端とダイ１の表面がわずかな隙間S1（約0.01〜0.1
mm）（第４図の場合）、吸着ノズル６の角錐内面と
吸着されるダイ１とのS2（約0.3〜0.5mm）（第５図
の場合）を有するように吸着ノズル５，６が下降
する。前記隙間S1，S2は吸着ノズル６が下降して
ダイ１に衝撃荷重を加えないために設けられてい
る。次に第４図ｂ，ｃ及び第５図ｂ，ｃに示すよ
うに、中心突き上げ針４が上昇してダイ１を突き
上げ、ダイ１は吸着ノズル５，６に吸着される。
この時、吸着ノズル５，６は吸着ノズル５を下方
に付勢しているスプリングに抗してダイ１と共に
上昇させられる。その後第４図ｄ及び第５図ｄに
示すように中心突き上げ針４が下降する。
で、第５図は吸着ミスの場合を示す。まず第４図
ａ及び第５図ａに示すように、ウエハーシート２
を吸着体３で吸着し、また吸着ノズル５，６の先
端とダイ１の表面がわずかな隙間S1（約0.01〜0.1
mm）（第４図の場合）、吸着ノズル６の角錐内面と
吸着されるダイ１とのS2（約0.3〜0.5mm）（第５図
の場合）を有するように吸着ノズル５，６が下降
する。前記隙間S1，S2は吸着ノズル６が下降して
ダイ１に衝撃荷重を加えないために設けられてい
る。次に第４図ｂ，ｃ及び第５図ｂ，ｃに示すよ
うに、中心突き上げ針４が上昇してダイ１を突き
上げ、ダイ１は吸着ノズル５，６に吸着される。
この時、吸着ノズル５，６は吸着ノズル５を下方
に付勢しているスプリングに抗してダイ１と共に
上昇させられる。その後第４図ｄ及び第５図ｄに
示すように中心突き上げ針４が下降する。
第４図に示す平型の吸着ノズル５は、その吸着
面がフラツトに形成されていること及び吸着ノズ
ル５とダイ１との隙間S1が約0.01〜0.1mmと非常
に小さいことにより、中心突き上げ針４で突き上
げられたダイ１は水平状態で吸着ノズル５に当接
して吸着されるので、吸着ミスを起すことはな
い。
面がフラツトに形成されていること及び吸着ノズ
ル５とダイ１との隙間S1が約0.01〜0.1mmと非常
に小さいことにより、中心突き上げ針４で突き上
げられたダイ１は水平状態で吸着ノズル５に当接
して吸着されるので、吸着ミスを起すことはな
い。
しかし、この吸着ノズル５は、吸着面がフラツ
トであるので、吸着ノズル５に対するダイ１の位
置ずれが修正されない。またダイ１のパターン表
面に接触するので、ダイ１表面に傷が付き易い。
特に近来、ICパターンの微細化に伴い、ダイ１
表面の傷が問題になりつつある。これらのことよ
り、一般に第５図に示す角錐型の吸着ノズル６が
用いられている。
トであるので、吸着ノズル５に対するダイ１の位
置ずれが修正されない。またダイ１のパターン表
面に接触するので、ダイ１表面に傷が付き易い。
特に近来、ICパターンの微細化に伴い、ダイ１
表面の傷が問題になりつつある。これらのことよ
り、一般に第５図に示す角錐型の吸着ノズル６が
用いられている。
しかし、第５図に示す角錐型の吸着ノズル６の
場合は、中心突き上げ針４と吸着ノズル６とでダ
イ１をサンドイツチした状態で突き上げ分離する
ので、ダイ１のエツジに割れ、欠けが発生すると
いう問題点があつた。
場合は、中心突き上げ針４と吸着ノズル６とでダ
イ１をサンドイツチした状態で突き上げ分離する
ので、ダイ１のエツジに割れ、欠けが発生すると
いう問題点があつた。
また第５図ａより明らかなように、吸着ノズル
６の先端がダイ１の表面よりわずかな隙間を有す
るように下降した時、吸着ノズル６の角錐内面と
吸着されるダイ１との隙間S2が約0.3〜0.5mmと大
きくなるので、次に同図ｂ，ｃに示すように中心
突き上げ針４で突き上げられたダイ１が傾いて吸
着ノズル６に当接することが多い。このようにダ
イ１が傾いて吸着ノズル６に当接すると、ダイ１
の外周と吸着ノズル６との間にわずかな隙間が生
じ、この隙間より真空もれが生じるので、吸着ミ
スを起し、うまくウエハーシート２よりダイ１を
分離できなくなるという問題点があつた。
６の先端がダイ１の表面よりわずかな隙間を有す
るように下降した時、吸着ノズル６の角錐内面と
吸着されるダイ１との隙間S2が約0.3〜0.5mmと大
きくなるので、次に同図ｂ，ｃに示すように中心
突き上げ針４で突き上げられたダイ１が傾いて吸
着ノズル６に当接することが多い。このようにダ
イ１が傾いて吸着ノズル６に当接すると、ダイ１
の外周と吸着ノズル６との間にわずかな隙間が生
じ、この隙間より真空もれが生じるので、吸着ミ
スを起し、うまくウエハーシート２よりダイ１を
分離できなくなるという問題点があつた。
本発明の目的は、ダイの欠け、割れ及び吸着ミ
スが生じないので、ウエハーシートからダイを良
好に分離することができるダイボンデイング装置
を提供することにある。
スが生じないので、ウエハーシートからダイを良
好に分離することができるダイボンデイング装置
を提供することにある。
上記従来技術の問題点を解消するための本発明
の構成を実施例に対応する第１図及び第２図によ
つて説明する。吸着体３と中心突き上げ針４間に
は、中心突き上げ針４を中心とする筒状の突き上
げ筒体１０が上下動可能に配設されている。また
突き上げ筒体１０の外側にはダイ１の周辺部を突
き上げるように４本の周辺突き上げ針１１が上下
動可能に配設されている。
の構成を実施例に対応する第１図及び第２図によ
つて説明する。吸着体３と中心突き上げ針４間に
は、中心突き上げ針４を中心とする筒状の突き上
げ筒体１０が上下動可能に配設されている。また
突き上げ筒体１０の外側にはダイ１の周辺部を突
き上げるように４本の周辺突き上げ針１１が上下
動可能に配設されている。
第１図ｂに示すように先ず突き上げ筒体１０が
上昇する。これよつてダイ１の四隅はウエハーシ
ート２より既にはがされる。次に同図ｃのように
中心突き上げ針４及び周辺突き上げ針１１のみが
上昇しダイ１を突き上げる。これによりダイ１は
中心突き上げ針４及び周辺突き上げ針１１上に載
置される。この時吸着ノズル６は吸着されるダイ
１とわずかな隙間を保つている。このように、ダ
イ１は中心突き上げ針４及び周辺突き上げ針１１
上に載置されているので、同図ｄに示すように吸
着ノズル６の吸引力により吸着ノズル６に吸着さ
れる。
上昇する。これよつてダイ１の四隅はウエハーシ
ート２より既にはがされる。次に同図ｃのように
中心突き上げ針４及び周辺突き上げ針１１のみが
上昇しダイ１を突き上げる。これによりダイ１は
中心突き上げ針４及び周辺突き上げ針１１上に載
置される。この時吸着ノズル６は吸着されるダイ
１とわずかな隙間を保つている。このように、ダ
イ１は中心突き上げ針４及び周辺突き上げ針１１
上に載置されているので、同図ｄに示すように吸
着ノズル６の吸引力により吸着ノズル６に吸着さ
れる。
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に
より説明する。なお、第４図及び第５図と同じま
たは相当部材には同一符号を付し、その説明を省
略する。吸着体３と中心突き上げ針４間には、中
心突き上げ針４を中心とする筒状の突き上げ筒体
１０が上下動可能に配設されている。また突き上
げ筒体１０の外側にはダイ１の周辺部を突き上げ
るように４本の周辺突き上げ針１１が上下動可能
に配設されている。ここで、前記突き上げ筒体１
０によりダイ１を突き上げた後、中心突き上げ針
４及び周辺突き上げ針１１で更にダイ１を突き上
げるようになつている。
より説明する。なお、第４図及び第５図と同じま
たは相当部材には同一符号を付し、その説明を省
略する。吸着体３と中心突き上げ針４間には、中
心突き上げ針４を中心とする筒状の突き上げ筒体
１０が上下動可能に配設されている。また突き上
げ筒体１０の外側にはダイ１の周辺部を突き上げ
るように４本の周辺突き上げ針１１が上下動可能
に配設されている。ここで、前記突き上げ筒体１
０によりダイ１を突き上げた後、中心突き上げ針
４及び周辺突き上げ針１１で更にダイ１を突き上
げるようになつている。
次に作用について説明する。第１図ａに示すよ
うに、吸着体３でウエハーシート２をを吸着した
状態で、同図ｂに示すように突き上げ筒体１０、
周辺突き上げ針１１及び中心突き上げ針４がわず
かに上昇し、ピツクアツプされるダイ１を突き上
げ筒体１０でわずかに突き上げる。このように、
突き上げ筒体１０でダイ１をわずかに突き上げる
と、ダイ１の四隅はウエハーシート２からはがれ
る。この時、中心突き上げ針４及び周辺突き上げ
針１１の先端は突き上げ筒体１０の上面より突出
していない状態にある。前記動作と同時またはそ
の後もしくは前に、吸着ノズル６が下降し、吸着
ノズル６の角錐内面と吸着されるダイ１とは大き
な隙間S3を保つ。
うに、吸着体３でウエハーシート２をを吸着した
状態で、同図ｂに示すように突き上げ筒体１０、
周辺突き上げ針１１及び中心突き上げ針４がわず
かに上昇し、ピツクアツプされるダイ１を突き上
げ筒体１０でわずかに突き上げる。このように、
突き上げ筒体１０でダイ１をわずかに突き上げる
と、ダイ１の四隅はウエハーシート２からはがれ
る。この時、中心突き上げ針４及び周辺突き上げ
針１１の先端は突き上げ筒体１０の上面より突出
していない状態にある。前記動作と同時またはそ
の後もしくは前に、吸着ノズル６が下降し、吸着
ノズル６の角錐内面と吸着されるダイ１とは大き
な隙間S3を保つ。
次に同図ｃに示すように、中心突き上げ針４及
び周辺突き上げ針１１のみが更に上昇する。これ
により、ダイ１のみが上方に突き上げられ、ダイ
１はウエハーシート２より分離される。この場
合、吸着されるダイ１は中心突き上げ針４及び周
辺突き上げ針１１によつて隣接するダイ１より上
方に突き上げられているので、吸着ノズル６の下
面は隣接するダイ１に当らなく、吸着されるダイ
１と吸着ノズル６の角錐内面との隙間S4は0.01〜
0.1mm程度のわずかな隙間にすることができる。
び周辺突き上げ針１１のみが更に上昇する。これ
により、ダイ１のみが上方に突き上げられ、ダイ
１はウエハーシート２より分離される。この場
合、吸着されるダイ１は中心突き上げ針４及び周
辺突き上げ針１１によつて隣接するダイ１より上
方に突き上げられているので、吸着ノズル６の下
面は隣接するダイ１に当らなく、吸着されるダイ
１と吸着ノズル６の角錐内面との隙間S4は0.01〜
0.1mm程度のわずかな隙間にすることができる。
このように、吸着されるダイ１はウエハーシー
ト２より分離され、中心突き上げ針４及び周辺突
き上げ針１１上に載置された状態にあるので、吸
着ノズル６の吸引力により、同図ｄに示すように
吸着ノズル６に吸着される。その後、同図ｅに示
すように、突き上げ筒体１０、中心突き上げ針４
及び周辺突き上げ針１１はウエハーシート２の下
方に下降する。
ト２より分離され、中心突き上げ針４及び周辺突
き上げ針１１上に載置された状態にあるので、吸
着ノズル６の吸引力により、同図ｄに示すように
吸着ノズル６に吸着される。その後、同図ｅに示
すように、突き上げ筒体１０、中心突き上げ針４
及び周辺突き上げ針１１はウエハーシート２の下
方に下降する。
以上の説明から明らかなように、同図ｂの工程
によつてダイ１の四隅はウエハーシート２より既
にはがされているので、同図ｃのように中心突き
上げ針４及び周辺突き上げ針１１でダイ１を突き
上げる場合、ウエハーシート２よりダイ１は分離
し易い。また同図ｃに示すように、中心突き上げ
針４及び周辺突き上げ針１１上に載置されている
ダイ１を同図ｄに示すように吸着ノズル６の吸引
力により吸着するので、ダイ１の欠け、割れが生
じることがない。また同図ｃの状態においては、
ダイ１と吸着ノズル６の角錐内面との隙間を非常
に小さくできるので、ダイ１が傾くことがなく吸
着ノズル６に吸着され、吸着ミスが生じない。
によつてダイ１の四隅はウエハーシート２より既
にはがされているので、同図ｃのように中心突き
上げ針４及び周辺突き上げ針１１でダイ１を突き
上げる場合、ウエハーシート２よりダイ１は分離
し易い。また同図ｃに示すように、中心突き上げ
針４及び周辺突き上げ針１１上に載置されている
ダイ１を同図ｄに示すように吸着ノズル６の吸引
力により吸着するので、ダイ１の欠け、割れが生
じることがない。また同図ｃの状態においては、
ダイ１と吸着ノズル６の角錐内面との隙間を非常
に小さくできるので、ダイ１が傾くことがなく吸
着ノズル６に吸着され、吸着ミスが生じない。
第３図は本発明の他の実施例を示す。上記実施
例においては、周辺突き上げ針１１を４本配設し
た場合について説明したが、この周辺突き上げ針
１１の本数はダイを安定して支持できる本数であ
ればよく、その本数は特に限定されない。例えば
第３図ａに示すように３本でも、また同図ｂに示
すように８本でもよい。
例においては、周辺突き上げ針１１を４本配設し
た場合について説明したが、この周辺突き上げ針
１１の本数はダイを安定して支持できる本数であ
ればよく、その本数は特に限定されない。例えば
第３図ａに示すように３本でも、また同図ｂに示
すように８本でもよい。
なお、上記実施例においては、中心突き上げ針
４及び周辺突き上げ針１１は、同図ｂ，ｃの工程
を経て上昇したが、同図ｂの工程においては突き
上げ筒体１０のみが上昇し、その後同図ｃのよう
に中心突き上げ針４及び周辺突き上げ針１１のみ
が上昇してもよい。また本発明は吸着面が角錐を
なす吸着ノズル６の場合に効果が著しいが、第４
図に示すように吸着面がフラツトな吸着ノズル５
の場合も適用できることは勿論である。また図示
の実施例においては、突き上げ筒体１０を円筒状
に形成したが、角状でもよい。
４及び周辺突き上げ針１１は、同図ｂ，ｃの工程
を経て上昇したが、同図ｂの工程においては突き
上げ筒体１０のみが上昇し、その後同図ｃのよう
に中心突き上げ針４及び周辺突き上げ針１１のみ
が上昇してもよい。また本発明は吸着面が角錐を
なす吸着ノズル６の場合に効果が著しいが、第４
図に示すように吸着面がフラツトな吸着ノズル５
の場合も適用できることは勿論である。また図示
の実施例においては、突き上げ筒体１０を円筒状
に形成したが、角状でもよい。
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、中心突き上げ針を中心とする筒で吸着体と前
記中心突き上げ針の間に上下動可能に配設された
突き上げ筒体と、この突き上げ筒体の外側に上下
動可能に配設された複数本の周辺突き上げ針とを
備えているので、ダイの欠け、割れ及び吸着ミス
が生じないで、ウエハーシートからダイを良好に
分離することができる。
ば、中心突き上げ針を中心とする筒で吸着体と前
記中心突き上げ針の間に上下動可能に配設された
突き上げ筒体と、この突き上げ筒体の外側に上下
動可能に配設された複数本の周辺突き上げ針とを
備えているので、ダイの欠け、割れ及び吸着ミス
が生じないで、ウエハーシートからダイを良好に
分離することができる。
第１図ａ乃至ｅは本発明の一実施例を示す動作
説明図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３
図ａ，ｂは本発明の他の実施例を示す周辺突き上
げ針の配置図、第４図ａ乃至ｄ及び第５図ａ乃至
ｄはそれぞれ従来例の動作説明図である。 １：ダイ、２：ウエハーシート、３：吸着体、
４：中心突き上げ針、５，６：吸着ノズル、１
０：突き上げ筒体、１１：周辺突き上げ針。
説明図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３
図ａ，ｂは本発明の他の実施例を示す周辺突き上
げ針の配置図、第４図ａ乃至ｄ及び第５図ａ乃至
ｄはそれぞれ従来例の動作説明図である。 １：ダイ、２：ウエハーシート、３：吸着体、
４：中心突き上げ針、５，６：吸着ノズル、１
０：突き上げ筒体、１１：周辺突き上げ針。
Claims (1)
- １ ダイが粘着されたウエハーシートを吸着する
吸着体と、この吸着体の内部に配設され吸着体で
ウエハーシートを吸着している状態でウエハーシ
ート上のダイを突き上げる中心突き上げ針と、突
き上げられたダイを吸着して移送する吸着ノズル
とを備えたダイボンデイング装置において、前記
中心突き上げ針を中心とする筒で前記吸着体と前
記中心突き上げ針の間に上下動可能に配設された
突き上げ筒体と、この突き上げ筒体の外側に上下
動可能に配設された複数本の周辺突き上げ針とを
備えていることを特徴とするダイボンデイング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60238196A JPS6298638A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | ダイボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60238196A JPS6298638A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | ダイボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6298638A JPS6298638A (ja) | 1987-05-08 |
| JPH0354858B2 true JPH0354858B2 (ja) | 1991-08-21 |
Family
ID=17026585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60238196A Granted JPS6298638A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | ダイボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6298638A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01157548A (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-20 | Shinkawa Ltd | ペレット突き上げ装置 |
| JPH0625963Y2 (ja) * | 1988-07-29 | 1994-07-06 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品実装装置 |
| JPH0376139A (ja) * | 1989-08-18 | 1991-04-02 | Nec Corp | 半導体素子突上げ方法 |
| JPH04137043U (ja) * | 1991-06-12 | 1992-12-21 | 山形日本電気株式会社 | 半導体ダイボンデイング装置のダイ突き上げ機構 |
| JP4156460B2 (ja) * | 2003-07-09 | 2008-09-24 | Ｔｄｋ株式会社 | ワークのピックアップ方法及びその装置、実装機 |
| US7238258B2 (en) * | 2005-04-22 | 2007-07-03 | Stats Chippac Ltd. | System for peeling semiconductor chips from tape |
| WO2009056469A1 (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-07 | Oerlikon Assembly Equipment Ag, Steinhausen | Foil perforating needle for detaching a small die from a foil |
| JP5287276B2 (ja) * | 2009-01-15 | 2013-09-11 | Ｔｄｋ株式会社 | 電子部品のピックアップ方法及びピックアップ装置 |
-
1985
- 1985-10-24 JP JP60238196A patent/JPS6298638A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6298638A (ja) | 1987-05-08 |
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