JPH0771796A - 圧力調整ダンパ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】クリーンルームの壁面から外部に突出しない構
造を有するので、クリーンルーム壁の低い位置に設置し
ても邪魔にならない圧力調整ダンパを提供する。 【構成】廊下１４に面するクリーンルーム壁１６の通気
孔を仕切る仕切板２２に、クリーンルーム１０内と廊下
１４との圧力差で生じるエア流で回転する回転翼３０を
回動自在に設け、仕切板２２に形成された連通孔Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄを、回転翼３０の羽根２８で開放・閉鎖する
と共に、ヒゲゼンマイ４４で回転翼３０を閉鎖方向に付
勢する構造にした。そして、クリーンルーム１０内の圧
力が廊下１４の圧力に対して所定圧力以上の圧力差にな
った時にヒゲゼンマイ４４の付勢力に抗して連通孔を
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ開放する向きに回転翼３０が回転するよ
うにした。これにより、連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄが開放さ
れてクリーンルーム１０内の空気が廊下１４に放出され
る。本発明の圧力調整ダンパは、上記構造としたので、
従来の圧力調整ダンパようにフラップがクリーンルーム
壁１６外に突出することがない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は圧力調整ダンパに係り、
特に、クリーンルーム等の室内圧力を一定の陽圧に保持
する圧力調整ダンパに関する。

【０００２】

【従来の技術】清浄エアを循環させて清浄環境を維持す
る必要のあるクリーンルーム等においては、外部の汚れ
た空気がクリーンルーム内に流入しないように、室内の
圧力が室外よりも常に数ｍｍＡｑ程度の陽圧になるよう
に室内と室外を連通する通気孔に圧力調整ダンパを設け
ている。

【０００３】従来の圧力調整ダンパは、室内と室外との
圧力差で前記通気孔を開閉するフラップと、圧力差がな
い時に通気孔を閉じる方向にフラップを押しつける錘部
材とから構成されていた。また、このように構成された
圧力調整ダンパの設置位置は、主として廊下側に面する
クリーンルーム壁の通気孔に設けられる。このような構
成及び設置位置においては、圧力調整ダンパのフラップ
が開いた時には、フラップがクリーンルーム壁の壁面よ
り廊下側に突出するため、廊下等を歩いている人に邪魔
になると共に、危険であるという不具合がある。このこ
とから、従来の圧力調整ダンパの場合、廊下を通る人の
身長より高い位置に設置しなくてはならず、通常、床面
から２ｍ以上の位置に設置される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、クリー
ンルームは、天井面から吹き出した清浄空気を床面に向
けて一定の層流状態で流して床面から吸気するすダウン
ブロータイプのクリーンルームが大多数である為、従来
の圧力調整ダンパのようにクリーンルーム壁の高い位置
に設置せざるをえない場合、前記層流状態の清浄空気の
気流に乱れが生じ、クリーンルーム内の清浄度が低下す
るという欠点がある。

【０００５】このことから、クリーンルームの壁面から
突出することがなく、設置位置が限定されない構造の圧
力調整ダンパが要望されていた。本発明はこのような事
情に鑑みてなされたもので、室内圧力を精度良く調整で
きると共に、室壁面から突出しない構造を有するので、
室壁の低い位置に設置しても邪魔にならない圧力調整ダ
ンパを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、室内と室外とを連通する通気孔に設けら
れ、複数の連通孔を有する仕切板と、前記仕切板に回動
自在に設けられ、回動することにより前記連通孔を開放
・閉鎖すると共に、前記室内と前記室外の圧力差によっ
て生じるエア流で回転する回転羽根と、前記回転羽根を
前記連通孔が閉鎖される回転方向に付勢する付勢手段
と、から成り、前記室内の圧力が室外の圧力に対して所
定圧力以上の圧力差になった時、前記エア流により前記
付勢手段の付勢力に抗して前記連通孔を開放する向きに
回転羽根が回転することを特徴とする。

【０００７】

【作用】本発明の圧力調整ダンパは、室内と室外とを連
通する通気孔に設けられた仕切板に形成された連通孔
を、室内と室外の圧力差によって生ずるエア流で回転す
る回転羽根で開放・閉鎖すると共に、前記回転羽根は、
付勢手段で前記連通孔が遮断される回転方向に付勢され
た構造を有している。そして、前記室内の圧力が室外の
圧力に対して所定圧力以上の圧力差になった時に、エア
流により前記付勢手段の付勢力に抗して前記連通孔を開
放する向きに回転羽根が回転するようにした。これによ
り、室内の圧力が室外の圧力に対して所定圧力以上の圧
力差になった時は、前記連通孔が開放されて室内の空気
を室外に放出される。また、前記圧力差がない時は、付
勢手段の付勢力により回転羽根が連通孔を閉じる方向に
回転して連通孔を閉鎖し、室外の汚れた空気が室内に流
入しないようにする。

【０００８】また、前記通気孔の室内側に、前記室内の
空気を通気孔より広い範囲から取り込む取込口を有する
チャンバを設けると共に、前記取込口に所定圧力差にな
った時の静圧で開く開閉フラップを設けた。これによ
り、前記室内の空気を通気孔より広い範囲から取り込む
ことができるので、室内の空気を室外に放出する時に、
室内の気流を乱すことがない。また、室内の圧力が室外
の圧力に対して所定圧力以上の圧力差になった時に開
く、開閉フラップを設けたので、室内から室外に流れる
エア流による動圧が回転羽根に一気に加わり、前記回転
羽根をシャープに回転させるので、室内の圧力を精度良
く調整することができる。

【０００９】このように、本発明の圧力調整ダンパは、
上記構造を有しているので、室内の圧力を精度良く調整
できると共に、従来の圧力調整ダンパようにフラップが
室外に突出することがない。

【００１０】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る圧力調整
ダンパの好ましい実施例を詳述する。クリーンルーム１
０に本発明の圧力調整ダンパ１２を用いた例で第１実施
例を説明する。図１は、廊下１４に面するクリーンルー
ム壁１６の通気孔に装着された本発明の圧力調整ダンパ
１２で、図２はその分解斜視図である。図１及び図２に
示すように、圧力調整ダンパ１２の枠組を形成する四角
筒状のフレーム１８内の中央縦方向には、４個の連通孔
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄが形成された仕切板２２が設けられてい
る。これにより、フレーム１８内は、クリーンルーム１
０側と廊下１４側に仕切られると共に、連通孔Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄによりクリーンルーム１０と廊下１４とが連通さ
れている。また、仕切板２２の廊下側中心部にはピン２
４が突出し、このピン２４に軸受２６を介して４枚の羽
根２８、２８…を有する回転翼３０の回転軸３２が回動
自在に嵌装されている。そして、前記回転翼３０の羽根
２８は、仕切板２２面に対して所定の捻れ角度を有して
形成され、回転翼３０の前後に圧力差が生じると、回転
翼３０に回転力が発生する。この回転力の発生は、圧力
の高い側から低い側に空気が流れようとする空気圧の直
線的な力が、捻じれた羽根により回転方向の力に変換さ
れるためである。

【００１１】また、フレーム１８のクリーンルーム側開
口面には複数の吸込口３４、３４…が形成された吸込板
３６が止めネジ３７で取付けられると共に、フレーム１
８の廊下側開口面には複数の吐出口３８が形成された吐
出板４０が止めネジ３７で取付けられる。これにより、
回転翼３０の回転により人に危害を与えないように、且
つ回転翼３０が破損しないように保護している。

【００１２】また、図３及び図４に示すように、前記４
個の連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは、前記羽根２８と略同形状
に形成され、夫々の連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは４枚の羽根
２８に対応するようになっている。また、４個の連通孔
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄのうちの連通孔Ｄを代表として図４に説
明するように、連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの開口周囲には、
羽根２８が連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを閉鎖した時に隙間が
生じないように、羽根２８の捻れ角度と同じ傾斜を有す
るゴム等の弾性材で形成されたスロープ片４２が固着さ
れている。そして、回転翼３０が回動して羽根２８が連
通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄに重なると連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを
閉鎖し、前記重なりがズレると連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄが
開放されるようになっている。

【００１３】また、前記回転翼３０は、クリーンルーム
１０内の圧力が廊下１４側の圧力より大きくなると図３
の反時計回り（図中の実線矢印方向）に回転し、逆に小
さくなると時計回り（図中の破線矢印方向）に回転する
ように羽根２８の捻り角度が形成されている。また、図
４に示すように、回転翼３０の回転軸３２を嵌装するピ
ン２４の先端部周囲にはヒゲゼンマイ４４が巻回され、
ヒゲゼンマイ４４の一端はピン２４に固着されると共
に、他端は回転軸３２に固着されている。また、このヒ
ゲゼンマイ４４は回転翼３０を時計回り（図中の破線矢
印方向）に回転させる方向、即ち、連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、
Ｄを閉鎖する方向に付勢力を与えるようになっている。
そして、羽根２８と通気孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄとが完全に重
なった時には、回転翼３０は前記スロープ片４２により
回転を停止させる方向の力を受ける。これにより、回転
翼３０の時計回りの回転は、羽根２８が連通孔Ａ、Ｂ、
Ｃ、Ｄを隙間なく閉鎖した状態で停止する。

【００１４】次に、上記の如く構成された圧力調整ダン
パ１２の動作について以下に説明する。クリーンルーム
１０内の圧力が廊下１４側の圧力よりも高くなって、そ
の圧力差により発生する回転翼３０の回転力がヒゲゼン
マイ４４の付勢力より大きくなると、回転翼３０はヒゲ
ゼンマイ４４の付勢力に抗して図３の反時計回りに回転
して連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを開放する。これにより、ク
リーンルーム１０内の空気は、吸込板３６の吸込口３
４、仕切板２２の連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、吐出板４０の
吐出口３８を通って廊下１４にに放出される。そして、
この空気の放出によりクリーンルーム内の圧力が下がっ
て回転翼３０の回転力がヒゲゼンマイ４４の付勢力より
小さくなると、回転翼３０はヒゲゼンマイ４４の付勢力
に負けて図３の時計回りに回転して羽根２８が連通孔
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを閉鎖する。この開放・閉鎖の動作を繰
り返すことにより、クリーンルーム１０内は一定の陽圧
に維持される。この時、ヒゲゼンマイ４４の付勢力を調
節することによりクリーンルーム１０内の保持圧力を変
えることができる。

【００１５】また、クリーンルーム１０内より廊下１４
側の圧力が高くなって、回転翼３０に図３の時計回りの
回転力が与えられる場合には、羽根２８が連通孔Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄを閉鎖した状態から更に、回転翼３０の回転
力によりスロープ片４２を押しつけるので、羽根２８と
連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄとの閉鎖は一層密閉化される。こ
れにより、廊下１４側の汚れた空気がクリーンルーム１
０内に流入するのを防止できる。

【００１６】このように、本発明の圧力調整ダンパ１２
は、仕切板２２に形成された連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの開
放・閉鎖を、回動する回転翼３０の羽根２８で行うこと
により、圧力リリーフダンパ１２の厚みを薄くできると
共に、従来の圧力調整ダンパのようにフラップが廊下１
４側に突出することなく、クリーンルーム１０内の空気
を廊下１４に放出できる。

【００１７】これにより、本発明の圧力調整ダンパ１２
は、クリーンルーム壁１６の低い位置に設置しても廊下
１４を通る人の邪魔にならない。また、設置位置が限定
されないので、クリーンルーム壁１６の底部近傍に設置
できる。従って、クリーンルーム１０の図示しない天井
から吹き出される層流状の清浄空気の気流を乱すことが
ないので、クリーンルーム１０内の清浄度を向上させる
ことができる。

【００１８】次に、図５に従って、本発明の圧力調整ダ
ンパの第２実施例を説明する。図５に示すように、第２
実施例は、仕切板２２に形成された４個の連通孔Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄの開口面積を夫々変えるようにした。即ち、
連通孔Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄに設けられた４個のスロープ片４
２のうち、３個のスロープ片４２には、連通孔Ｂ、Ｃ、
Ｄの順に面積の大きな蓋板４６を取付けて、各連通孔
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの開口面積が異なるようにした。その他
の構成は実施例１と同様である。これにより、クリーン
ルーム１０内の圧力が廊下１４側の圧力よりも高くなっ
て、回転翼３０が図５の反時計回りに回転すると、先ず
連通孔Ａが開放され、続いて連通孔Ｂ、連通孔Ｃ、連通
孔Ｄの順に開放される。

【００１９】これにより、第２実施例も第１実施例と同
様の効果を得ることができると共に、４個の連通孔Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄを時間的なズレを生じさせて順次開口させる
ことにより、クリーンルーム１０内の圧力変動幅が小さ
い時にもクリーンルーム１０内の圧力を精度良くコント
ロールすることができる。次に、図６及び図７に従っ
て、本発明の圧力調整ダンパ１２の第３実施例について
説明する。

【００２０】図６に示すように、第３実施例は、回転軸
３２に２個の回転翼３０、４８を並設した。そして、ク
リーンルーム１０側の回転翼３０の羽根２８の捻じり角
度を廊下１４側の回転翼４８の羽根５０の捻じり角度よ
り大きくした。これにより、クリーンルーム１０内の圧
力が廊下１４側の圧力よりも高くなって、回転翼３０、
４８が図６の反時計回りに回転すると、図７に示すよう
に、先ず、クリーンルーム１０側の回転翼３０回転し
て、遅れて廊下１４側の回転翼４８が回転する。

【００２１】これにより、第３実施例の場合も第２実施
例と同様の効果を得ることができる。次に、図８及び図
９に従って、本発明の圧力調整ダンパ１２の第４実施例
を説明する。第４実施例は図８及び図９に示すように、
クリーンルーム壁１６の床５２面近傍の開口部に圧力調
整ダンパ１２を装着すると共に、クリーンルーム壁１６
と床５２の境界線５４に沿って、圧力調整ダンパ１２と
連通する中空な三角柱状のチヤンバ５６を形成した。ま
た、チヤンバ５６の斜辺５８長手方向には、クリーンル
ーム１０内の空気を取り込む複数の取込口６０、６０…
を形成すると共に、取込口６０を開閉する蓋板６４をバ
ネ付きヒンジ６２で取付け、所定の静圧になるとバネの
付勢力に抗して蓋板６４が開くようにした。

【００２２】これにより、第４実施例の場合も第１実施
例と同様の効果を得ることができると共に、圧力調整ダ
ンパ１２を中心として横方向にクリーンルーム１０内の
空気を取り込む取込口６０が拡がっているので、クリー
ンルーム１０内の空気を廊下１４側に放出する際に、ク
リーンルーム１０の天井から吹き出される清浄空気の気
流を一か所に集中させることがない。従って、クリーン
ルーム１０内の圧力調整によりクリーンルーム１０内の
清浄空気の気流に乱れが生じないので、クリーンルーム
１０内の清浄度を向上させることができる。

【００２３】また、取込口６０の内側に静圧で開く蓋板
６４を設けたことにより、クリーンルーム１０内から廊
下１４に流れるエア流による動圧が回転翼３０に一気に
加わるので、回転翼３０をシャープに且つ確実に回転さ
せることができる。また、蓋板６４に感熱封鎖桿（図示
せず）を設けてクリーンルーム内が火災事故等の場合
に、自動的に取込口６０が閉鎖されるようにすると、ク
リーンルーム内外の空気の流れを遮断できるので、火災
の延焼を防止できる。

【００２４】尚、本実施例では、本発明の圧力調整ダン
パをクリーンルームに適用した例で説明したが、これに
限定されるものではなく、室内の圧力を調整する必要が
ある場合の全てに適用できる。また、圧力調整ダンパを
廊下側のクリーンルーム壁に設置したが、廊下側に限定
されるものではない。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る圧力調
整ダンパによれば、仕切板に形成された連通孔を、仕切
板に回動自在に設けられた回転羽根で開放・閉鎖する構
造としたので、室内の空気を室外に放出できると共に、
従来の圧力調整ダンパのようにダンパが室外側に突出す
ることがない。

【００２６】これにより、本発明の圧力調整ダンパは、
室内の圧力調整を精度良く行うことができると共に、室
壁の低い位置に設置しても廊下を通る人の邪魔にならな
い。また、設置位置が限定されないので、室壁の底部近
傍に設置できる。従って、クリーンルームのように清浄
環境が要求される場合、天井から吹き出される層流状の
清浄空気の気流を乱すことがないので、クリーンルーム
内の清浄度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明に係る圧力調整ダンパをクリーン
ルーム壁に装着した断面図

【図２】図２は本発明の圧力調整ダンパの分解斜視図

【図３】図３は本発明の圧力調整ダンパの第１実施例を
説明する説明図

【図４】図４は回転翼と通気孔の関係を説明する要部斜
視図

【図５】図５は本発明の圧力調整ダンパの第２実施例を
説明する説明図

【図６】図６は本発明の圧力調整ダンパの第３実施例を
説明する説明図

【図７】図７は第３実施例の動作を説明する説明図

【図８】図８は本発明の圧力調整ダンパの第４実施例を
説明する斜視図

【図９】図９は第４実施例の断面図

【符号の説明】

１０…クリーンルーム内 １２…圧力調整ダンパ １４…廊下 １６…クリーンルーム壁 ２２…仕切板 Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ…仕切板の連通孔 ２４…ピン ２６…軸受 ２８…羽根 ３０…回転翼 ３２…回転軸 ４４…ヒゲゼンマイ ５６…チャンバ ６０…取込口 ６４…蓋板

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】室内と室外とを連通する通気孔に設けら
   れ、複数の連通孔を有する仕切板と、 前記仕切板に回動自在に設けられ、回動することにより
   前記連通孔を開放・閉鎖すると共に、前記室内と前記室
   外の圧力差によって生じるエア流で回転する回転羽根
   と、 前記回転羽根を前記連通孔が閉鎖される回転方向に付勢
   する付勢手段と、から成り、 前記室内の圧力が室外の圧力に対して所定圧力以上の圧
   力差になった時、前記エア流により前記付勢手段の付勢
   力に抗して前記連通孔を開放する向きに回転羽根が回転
   することを特徴とする圧力調整ダンパ。
2. 【請求項２】前記通気孔の室内側に、前記室内の空気を
   通気孔より広い範囲から取り込む取込口を有するチャン
   バを設けると共に、前記取込口に所定圧力差になった時
   の静圧で開く開閉フラップを設けたことを特徴とする請
   求項１の圧力調整ダンパ。