JPH0771834A - 極低温冷凍機 - Google Patents
極低温冷凍機Info
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- JPH0771834A JPH0771834A JP21645193A JP21645193A JPH0771834A JP H0771834 A JPH0771834 A JP H0771834A JP 21645193 A JP21645193 A JP 21645193A JP 21645193 A JP21645193 A JP 21645193A JP H0771834 A JPH0771834 A JP H0771834A
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Landscapes
- Compressor (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 振動の少ない極低温冷凍機を得る。
【構成】 フランジ７の外周面に連続する環状凸部７１
を備えたクロスヘッド６をスコッチヨーク１の一端に取
着し、このフランジ７を環状凸部７１の両側に樹脂製の
オーリング８を装着して、第１ディスプレーサ１０６と
中央部が開口したエンドキャップ３とで形成した環状溝
４に嵌め込んだ。
を備えたクロスヘッド６をスコッチヨーク１の一端に取
着し、このフランジ７を環状凸部７１の両側に樹脂製の
オーリング８を装着して、第１ディスプレーサ１０６と
中央部が開口したエンドキャップ３とで形成した環状溝
４に嵌め込んだ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ギホード・マクマホン
サイクルやスターリングサイクルなどによって極低温冷
凍を行うための極低温冷凍機に関するものである。
サイクルやスターリングサイクルなどによって極低温冷
凍を行うための極低温冷凍機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の極低温冷凍機として、例えば図
４のような構成のものが周知である。図４の極低温冷凍
機において、電動機１０２はクランク機構１０３を駆動
し、クランク機構１０３は給気弁１０４・排気弁１１１
の開閉動作とスコッチヨーク１の往復動作を所要の行程
位相差をもって往復駆動する。
４のような構成のものが周知である。図４の極低温冷凍
機において、電動機１０２はクランク機構１０３を駆動
し、クランク機構１０３は給気弁１０４・排気弁１１１
の開閉動作とスコッチヨーク１の往復動作を所要の行程
位相差をもって往復駆動する。
【０００３】スコッチヨーク１には、第１ディスプレー
サ１０６と第２ディスプレーサ１０８とが連結してあ
り、第１ディスプレーサ１０６と第２ディスプレーサ１
０８とは、それぞれ、第１シリンダ１０５内と第２シリ
ンダ１０７内を同一の行程位相をもって往復移動する。
サ１０６と第２ディスプレーサ１０８とが連結してあ
り、第１ディスプレーサ１０６と第２ディスプレーサ１
０８とは、それぞれ、第１シリンダ１０５内と第２シリ
ンダ１０７内を同一の行程位相をもって往復移動する。
【０００４】第１ディスプレーサ１０６・第２ディスプ
レーサ１０８は、図の下方側に移動する行程の終点近く
から膨張冷却行程を行い、図の上方側に移動する行程に
おいて排気行程を行い、その終点近くから吸気行程を行
う。
レーサ１０８は、図の下方側に移動する行程の終点近く
から膨張冷却行程を行い、図の上方側に移動する行程に
おいて排気行程を行い、その終点近くから吸気行程を行
う。
【０００５】吸気行程では、冷媒圧縮部（図示せず）で
圧縮したヘリウムなどの加圧冷媒１０１が、吸気弁１０
４を介して、第１シリンダ１０５内に入り、第１ディス
プレーサ１０６の通気穴２０１から銅製網・通気性焼結
金属材などからなる蓄冷材２０２を通って通気穴２０３
を通り、第１膨張室２０５側に入る。第１膨張室２０５
の加圧冷媒は、膨張冷却行程において、上記の吸気圧縮
行程の冷媒の流れと逆に流れ、排気弁１１１を通って排
出されると同時に膨張し、蓄冷材２０２に冷熱を蓄積す
る。
圧縮したヘリウムなどの加圧冷媒１０１が、吸気弁１０
４を介して、第１シリンダ１０５内に入り、第１ディス
プレーサ１０６の通気穴２０１から銅製網・通気性焼結
金属材などからなる蓄冷材２０２を通って通気穴２０３
を通り、第１膨張室２０５側に入る。第１膨張室２０５
の加圧冷媒は、膨張冷却行程において、上記の吸気圧縮
行程の冷媒の流れと逆に流れ、排気弁１１１を通って排
出されると同時に膨張し、蓄冷材２０２に冷熱を蓄積す
る。
【０００６】この第１膨張冷却の行程と同行程中に、第
１膨張室２０５の冷媒は、第２ディスプレーサ１０８の
通気穴２０６から粒状鉛などの蓄冷材２０７を通って第
２膨張室２０９に入り、その後、逆に流れて排気弁１１
１より排出されると同時に膨張して、第２膨張冷却を行
い、蓄冷材２０７に冷熱を蓄積する。
１膨張室２０５の冷媒は、第２ディスプレーサ１０８の
通気穴２０６から粒状鉛などの蓄冷材２０７を通って第
２膨張室２０９に入り、その後、逆に流れて排気弁１１
１より排出されると同時に膨張して、第２膨張冷却を行
い、蓄冷材２０７に冷熱を蓄積する。
【０００７】排気行程では、第２膨張室２０９内と第１
膨張室２０５内の膨張冷却を終えて降圧した冷媒は、上
記の膨張冷却動作時とは逆の経路を経て第２ディスプレ
ーサ１０８内と第１ディスプレーサ１０６内とを通り、
排気弁１１１を介して、クランク機構１０３の室内を通
り、降圧冷媒１１２として排出され、冷媒圧縮部（図示
せず）に戻り、再び圧縮して加圧冷媒１０１にすると云
う循環を繰り返すように動作する。
膨張室２０５内の膨張冷却を終えて降圧した冷媒は、上
記の膨張冷却動作時とは逆の経路を経て第２ディスプレ
ーサ１０８内と第１ディスプレーサ１０６内とを通り、
排気弁１１１を介して、クランク機構１０３の室内を通
り、降圧冷媒１１２として排出され、冷媒圧縮部（図示
せず）に戻り、再び圧縮して加圧冷媒１０１にすると云
う循環を繰り返すように動作する。
【０００８】以下、第１シリンダ１０５と第２シリンダ
１０７との行程位置において、図の上方側に向かう行程
の終点であって図の下方側に向かう行程の始点に相当す
る位置点を上死点といい、図の下方側に向かう行程の終
点であって図の上方側に向かう行程の始点に相当する位
置点を下死点と云う。内側遮蔽覆１１６は、第１シリン
ダ１０５の上死点側に設けた第１ステージ１１５の部分
から第２シリンダ１０７全体に至る間を覆って冷却室１
１７を形成しており、この冷却室１１７の開口端側か
ら、冷却負荷４００となる装置からの冷却対象流体３０
０を導入する。
１０７との行程位置において、図の上方側に向かう行程
の終点であって図の下方側に向かう行程の始点に相当す
る位置点を上死点といい、図の下方側に向かう行程の終
点であって図の上方側に向かう行程の始点に相当する位
置点を下死点と云う。内側遮蔽覆１１６は、第１シリン
ダ１０５の上死点側に設けた第１ステージ１１５の部分
から第２シリンダ１０７全体に至る間を覆って冷却室１
１７を形成しており、この冷却室１１７の開口端側か
ら、冷却負荷４００となる装置からの冷却対象流体３０
０を導入する。
【０００９】冷却室１１７の開口端側には、鎧戸状の通
気路をもつ第１吸熱フィン１２０を配置し、第２シリン
ダ１０７の上死点側に設けた第２ステージ１１８の部分
には鎧戸状の通気路をもつ第２吸熱フィン１１９を配置
してあり、第１ステージ１１５と第２ステージ１１８と
で生ずる冷熱を、第１吸熱フィン１２０の各表面、第２
吸熱フィン１１９の各表面などを介して、冷却対象流体
３００に与えることにより所要の冷却を行うようにして
いる。
気路をもつ第１吸熱フィン１２０を配置し、第２シリン
ダ１０７の上死点側に設けた第２ステージ１１８の部分
には鎧戸状の通気路をもつ第２吸熱フィン１１９を配置
してあり、第１ステージ１１５と第２ステージ１１８と
で生ずる冷熱を、第１吸熱フィン１２０の各表面、第２
吸熱フィン１１９の各表面などを介して、冷却対象流体
３００に与えることにより所要の冷却を行うようにして
いる。
【００１０】外側遮蔽覆１１３は、第１シリンダ１０５
の下死点側から冷却室１１７の開口端側までの外側を覆
って真空室１１４を形成し、この真空室１１４により、
第１シリンダ１０５の外面と冷却室１１７の外面とを外
部環境から遮断して、冷熱の熱損失を防いでいる。
の下死点側から冷却室１１７の開口端側までの外側を覆
って真空室１１４を形成し、この真空室１１４により、
第１シリンダ１０５の外面と冷却室１１７の外面とを外
部環境から遮断して、冷熱の熱損失を防いでいる。
【００１１】そして、スコッチヨーク１と第１ディスプ
レーサ１０６とは、例えば図５に例示したように、すな
わち、第１ディスプレーサ１０６の一端面に形成した凹
陥部２に臨んで、第１ディスプレーサ１０６と中央部が
開口したエンドキャップ３とで形成した係止穴４Ａに、
スコッチヨーク１の一端に環装し、ピン５によって固定
した鋼製などのクロスヘッド６の側面膨出部７Ａを遊嵌
することで連結するように構成したものが多い。
レーサ１０６とは、例えば図５に例示したように、すな
わち、第１ディスプレーサ１０６の一端面に形成した凹
陥部２に臨んで、第１ディスプレーサ１０６と中央部が
開口したエンドキャップ３とで形成した係止穴４Ａに、
スコッチヨーク１の一端に環装し、ピン５によって固定
した鋼製などのクロスヘッド６の側面膨出部７Ａを遊嵌
することで連結するように構成したものが多い。
【００１２】なお、側面膨出部７Ａの厚さと係止穴４Ａ
とは、第１ディスプレーサ１０６の軸心が調整できるよ
うに、通常は略０．１〜０．２ｍｍ程度のクリアランス
をもって形成されている。
とは、第１ディスプレーサ１０６の軸心が調整できるよ
うに、通常は略０．１〜０．２ｍｍ程度のクリアランス
をもって形成されている。
【００１３】スコッチヨーク１と第１ディスプレーサ１
０６との間に緩衝材を備えていない上記構成の極低温冷
凍機においては、電動機１０２を起動し、スコッチヨー
ク１によって第１ディスプレーサ１０６・第２ディスプ
レーサ１０８を各シリンダー内で往復動作させると、 （１）電動機の振動が減衰することなくディスプレーサ
に伝達される。 （２）ディスプレーサの摺動によって引き起こされる振
動も減衰し難い。 （３）ディスプレーサの移動の向きが変わる度に、軸心
調整のために設けたクリアランスの分、クロスヘッドが
ディスプレーサ側を叩いたり、エンドキャップ側を叩く
ため、衝撃による振動と騒音が発生する。
０６との間に緩衝材を備えていない上記構成の極低温冷
凍機においては、電動機１０２を起動し、スコッチヨー
ク１によって第１ディスプレーサ１０６・第２ディスプ
レーサ１０８を各シリンダー内で往復動作させると、 （１）電動機の振動が減衰することなくディスプレーサ
に伝達される。 （２）ディスプレーサの摺動によって引き起こされる振
動も減衰し難い。 （３）ディスプレーサの移動の向きが変わる度に、軸心
調整のために設けたクリアランスの分、クロスヘッドが
ディスプレーサ側を叩いたり、エンドキャップ側を叩く
ため、衝撃による振動と騒音が発生する。
【００１４】と云った問題点があった。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】したがって、例えばサ
ブミクロンの線幅を実現しなければならない超ＬＳＩな
どを製造する半導体製造装置に搭載する冷凍機としては
使用し難いと云う問題点があった。また、上記の振動は
第２ディスプレーサのピストンリングのシール性を阻害
することから、冷却温度がふらつくと云う問題点もあ
り、これら問題点の解決が課題となっていた。
ブミクロンの線幅を実現しなければならない超ＬＳＩな
どを製造する半導体製造装置に搭載する冷凍機としては
使用し難いと云う問題点があった。また、上記の振動は
第２ディスプレーサのピストンリングのシール性を阻害
することから、冷却温度がふらつくと云う問題点もあ
り、これら問題点の解決が課題となっていた。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
蓄冷材を収納しているディスプレーサの一端面に形成し
た凹陥部と、ディスプレーサの前記一端面に取着する中
央部が開口したエンドキャップとによって前記凹陥部に
臨む係止穴を形成し、この係止穴にスコッチヨークの一
端に取着したクロスヘッドの側面膨出部を遊嵌し、電動
機の回転動作から前記スコッチヨークを介して前記ディ
スプレーサをシリンダ内で往復動作させる駆動力を得る
極低温冷凍機において、
蓄冷材を収納しているディスプレーサの一端面に形成し
た凹陥部と、ディスプレーサの前記一端面に取着する中
央部が開口したエンドキャップとによって前記凹陥部に
臨む係止穴を形成し、この係止穴にスコッチヨークの一
端に取着したクロスヘッドの側面膨出部を遊嵌し、電動
機の回転動作から前記スコッチヨークを介して前記ディ
スプレーサをシリンダ内で往復動作させる駆動力を得る
極低温冷凍機において、
【００１７】前記係止穴を連続する環状溝に形成すると
共に、前記クロスヘッドの側面膨出部を連続するフラン
ジに形成し、且つ、このフランジの外周面に連続する環
状凸部を形成し、この環状凸部の両側にフランジと前記
環状溝形成面との接触を妨げる弾性部材を装着した構成
の第１の装置と、
共に、前記クロスヘッドの側面膨出部を連続するフラン
ジに形成し、且つ、このフランジの外周面に連続する環
状凸部を形成し、この環状凸部の両側にフランジと前記
環状溝形成面との接触を妨げる弾性部材を装着した構成
の第１の装置と、
【００１８】前記クロスヘッドの側面膨出部を連続する
フランジに形成し、且つ、前記環状溝と前記フランジの
少なくとも何れか一方の側の各面それぞれに連続する環
状凹部を形成し、これら各環状凹部にフランジと前記環
状溝形成面との接触を妨げる弾性部材を装着した構成の
第２の装置と、を提供することにより、上記従来技術の
課題を解決するものである。
フランジに形成し、且つ、前記環状溝と前記フランジの
少なくとも何れか一方の側の各面それぞれに連続する環
状凹部を形成し、これら各環状凹部にフランジと前記環
状溝形成面との接触を妨げる弾性部材を装着した構成の
第２の装置と、を提供することにより、上記従来技術の
課題を解決するものである。
【００１９】
【作用】スコッチヨークとディスプレーサとは弾性部材
を介して接しているため、電動機の振動はこの弾性部材
によって吸収され、ディスプレーサに伝わる振動が減少
し、騒音の減少も図られる。
を介して接しているため、電動機の振動はこの弾性部材
によって吸収され、ディスプレーサに伝わる振動が減少
し、騒音の減少も図られる。
【００２０】
（実施例１）以下、図１に基づいて本発明になる第１の
実施例を説明する。なお、図１において、図４・図５と
同じ符号で示す部分は、これらの図により説明した部分
と同一の機能を示す部分であり、本発明の理解を妨げな
い範囲で説明は省略した。
実施例を説明する。なお、図１において、図４・図５と
同じ符号で示す部分は、これらの図により説明した部分
と同一の機能を示す部分であり、本発明の理解を妨げな
い範囲で説明は省略した。
【００２１】図中４は、第１ディスプレーサ１０６とエ
ンドキャップ３とによって、凹陥部２に臨んで形成し
た、連続する環状溝である。そして、７はこの環状溝４
に遊嵌可能な厚さに形成したクロスヘッド６のフランジ
であり、このフランジ７の外周面には連続する環状凸部
７１が形成されている。
ンドキャップ３とによって、凹陥部２に臨んで形成し
た、連続する環状溝である。そして、７はこの環状溝４
に遊嵌可能な厚さに形成したクロスヘッド６のフランジ
であり、このフランジ７の外周面には連続する環状凸部
７１が形成されている。
【００２２】そして、環状凸部７１の両側に、弾性部材
である例えばテフロンなどからなるエラストマー製のオ
ーリング８を装着している。このオーリング８は、環状
溝４を形成する各壁面とクロスヘッド６との接触を妨げ
ることのできる太さ、例えばフランジ７の平行部の厚さ
をｔ１、環状凸部７１の平行部の厚さをｔ２、環状溝４
の幅をＷ、オーリング８の装着前の直径をφとしたと
き、例えば Ｗ−ｔ１＝０．２〜０．３（ｍｍ） ２φ＋ｔ２−Ｗ＝０．２〜０．５（ｍｍ） を満足する程度の太さに形成している。
である例えばテフロンなどからなるエラストマー製のオ
ーリング８を装着している。このオーリング８は、環状
溝４を形成する各壁面とクロスヘッド６との接触を妨げ
ることのできる太さ、例えばフランジ７の平行部の厚さ
をｔ１、環状凸部７１の平行部の厚さをｔ２、環状溝４
の幅をＷ、オーリング８の装着前の直径をφとしたと
き、例えば Ｗ−ｔ１＝０．２〜０．３（ｍｍ） ２φ＋ｔ２−Ｗ＝０．２〜０．５（ｍｍ） を満足する程度の太さに形成している。
【００２３】上記構成の本発明の極低温冷凍装置は、ス
コッチヨーク１と第１ディスプレーサ１０６とが前記の
ようにエラストマー製のオーリング８を介して連結され
ているので、電動機１０２の回転駆動力をスコッチヨー
ク１を介して直線往復移動に変える際に、電動機１０２
の振動が第１ディスプレーサ１０６の側に伝わり難い
し、第１ディスプレーサ１０６・第２ディスプレーサ１
０８の摺動によって引き起こされる振動も減衰し易い。
また、環状溝４とクロスヘッド６のフランジ７とのクリ
アランスは、エラストマー製のオーリング８によって埋
められているので、クロスヘッド６の第１ディスプレー
サ１０６およびエンドキャップ３との衝突が回避され、
これにより衝撃による振動と騒音の発生がなくなった。
コッチヨーク１と第１ディスプレーサ１０６とが前記の
ようにエラストマー製のオーリング８を介して連結され
ているので、電動機１０２の回転駆動力をスコッチヨー
ク１を介して直線往復移動に変える際に、電動機１０２
の振動が第１ディスプレーサ１０６の側に伝わり難い
し、第１ディスプレーサ１０６・第２ディスプレーサ１
０８の摺動によって引き起こされる振動も減衰し易い。
また、環状溝４とクロスヘッド６のフランジ７とのクリ
アランスは、エラストマー製のオーリング８によって埋
められているので、クロスヘッド６の第１ディスプレー
サ１０６およびエンドキャップ３との衝突が回避され、
これにより衝撃による振動と騒音の発生がなくなった。
【００２４】なお、二つの太目のオーリング８によっ
て、クロスヘッド６と第１ディスプレーサ１０６または
エンドキャップ３との接触を回避しているが、オーリン
グ８はエラストマー製であるから例えば８％程度の圧縮
は可能であり、軸心の調節は可能である。
て、クロスヘッド６と第１ディスプレーサ１０６または
エンドキャップ３との接触を回避しているが、オーリン
グ８はエラストマー製であるから例えば８％程度の圧縮
は可能であり、軸心の調節は可能である。
【００２５】（実施例２）以下、図２に基づいて本発明
の第２の実施例を説明する。なお、図２において図１・
図４・図５と同じ符号で示す部分は、これらの図により
説明した部分と同一の機能を示す部分であり、この場合
も本発明の理解を妨げない範囲で説明は省略した。
の第２の実施例を説明する。なお、図２において図１・
図４・図５と同じ符号で示す部分は、これらの図により
説明した部分と同一の機能を示す部分であり、この場合
も本発明の理解を妨げない範囲で説明は省略した。
【００２６】図中９Ａ・９Ｂ・９Ｃは、環状溝４に臨む
第１ディスプレーサ１０６とエンドキャップ３の各面に
形成した環状凹部であり、ここに環状凹部の深さより太
い直径を有するエラストマー製のオーリング８が装着さ
れ、このオーリング８によってクロスヘッド６と環状溝
４を形成する各壁面、すなわち第１ディスプレーサ１０
６およびエンドキャップ３との接触防止を図っている。
第１ディスプレーサ１０６とエンドキャップ３の各面に
形成した環状凹部であり、ここに環状凹部の深さより太
い直径を有するエラストマー製のオーリング８が装着さ
れ、このオーリング８によってクロスヘッド６と環状溝
４を形成する各壁面、すなわち第１ディスプレーサ１０
６およびエンドキャップ３との接触防止を図っている。
【００２７】したがって、この実施例２の場合において
も、前記第１の実施例の場合と同様の振動と騒音を低減
する作用効果が得られる。
も、前記第１の実施例の場合と同様の振動と騒音を低減
する作用効果が得られる。
【００２８】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではないので、特許請求の範囲に記載の趣旨から逸脱
しない範囲で各種の変形実施が可能である。例えば、環
状溝４を形成する面とフランジ７との接触を妨げるオー
リング８の素材としては、弾性を備えて防振効果のある
ものであれば良いので、ゴム、プラスチック、金属の類
から適宜選択して使用される。
のではないので、特許請求の範囲に記載の趣旨から逸脱
しない範囲で各種の変形実施が可能である。例えば、環
状溝４を形成する面とフランジ７との接触を妨げるオー
リング８の素材としては、弾性を備えて防振効果のある
ものであれば良いので、ゴム、プラスチック、金属の類
から適宜選択して使用される。
【００２９】また、環状凸部７１は、オーリング８の位
置決めに支障のない範囲で断続的に形成した凸条などに
よって代替することが可能であるし、環状溝４は周回状
段部をエンドキャップ３の側に設けて形成することも可
能である また、環状凹部９Ａ・９Ｂ・９Ｃの一部または全部をク
ロスヘッド６のフランジ７の側に形成することも可能で
ある。環状凹部９Ａ・９Ｂ・９Ｃをフランジ７の側に形
成する場合は、取り扱う部材が軽量小型になることと、
環状凹部を外面側に形成することになるため、作業が容
易になると云ったメリットがある。
置決めに支障のない範囲で断続的に形成した凸条などに
よって代替することが可能であるし、環状溝４は周回状
段部をエンドキャップ３の側に設けて形成することも可
能である また、環状凹部９Ａ・９Ｂ・９Ｃの一部または全部をク
ロスヘッド６のフランジ７の側に形成することも可能で
ある。環状凹部９Ａ・９Ｂ・９Ｃをフランジ７の側に形
成する場合は、取り扱う部材が軽量小型になることと、
環状凹部を外面側に形成することになるため、作業が容
易になると云ったメリットがある。
【００３０】さらに、図３に示したように実施すること
なども可能である。
なども可能である。
【００３１】
【発明の効果】上記したように本発明は、構造が簡単で
あるにも拘らず電動機からディスプレーサへの振動の伝
達を大きく減少させることが可能であると共に、ディス
プレーサのシリンダー内での摺動に伴って発生する振動
を減衰させる効果が大きい。また、ディスプレーサの移
動方向を逆転させる際の衝撃力の殆どを吸収することも
可能であるし、弾性部材を装着しているので、０．２ｍ
ｍ程度であればこの弾性部材を変形して軸心の調整を行
うことが可能である。さらに、振動が減少することによ
って第２ディスプレーサのピストンリングのシール性が
向上するので、温度特性が安定し、信頼性が向上すると
云った効果もある。
あるにも拘らず電動機からディスプレーサへの振動の伝
達を大きく減少させることが可能であると共に、ディス
プレーサのシリンダー内での摺動に伴って発生する振動
を減衰させる効果が大きい。また、ディスプレーサの移
動方向を逆転させる際の衝撃力の殆どを吸収することも
可能であるし、弾性部材を装着しているので、０．２ｍ
ｍ程度であればこの弾性部材を変形して軸心の調整を行
うことが可能である。さらに、振動が減少することによ
って第２ディスプレーサのピストンリングのシール性が
向上するので、温度特性が安定し、信頼性が向上すると
云った効果もある。
【図１】第１の実施例を示す説明図。
【図２】第２の実施例を示す説明図。
【図３】他の実施例を示す説明図。
【図４】従来技術の説明図
【図５】従来技術の要部の説明図。
１ スコッチヨーク ２ 凹陥部 ３ エンドキャップ ４ 環状溝 ４Ａ 係止穴 ５ ピン ６ クロスヘッド ７ フランジ ７Ａ 側面膨出部 ８ オーリング ９Ａ・９Ｂ・９Ｃ 環状凹部 ７１ 環状凸部 １０２ 電動機 １０６ 第１ディスプレーサ
Claims (2)
- 【請求項１】 蓄冷材を収納しているディスプレーサの
一端面に形成した凹陥部と、ディスプレーサの前記一端
面に取着する中央部が開口したエンドキャップとによっ
て前記凹陥部に臨む係止穴を形成し、この係止穴にスコ
ッチヨークの一端に取着したクロスヘッドの側面膨出部
を遊嵌し、電動機の回転動作から前記スコッチヨークを
介して前記ディスプレーサをシリンダ内で往復動作させ
る駆動力を得る極低温冷凍機において、前記係止穴を連
続する環状溝に形成すると共に、前記クロスヘッドの側
面膨出部を連続するフランジに形成し、且つ、このフラ
ンジの外周面に連続または断続する凸部を形成し、この
凸部の両側にフランジと前記環状溝形成面との接触を妨
げる弾性部材を装着したことを特徴とする極低温冷凍
機。 - 【請求項２】 蓄冷材を収納しているディスプレーサの
一端面に形成した凹陥部と、ディスプレーサの前記一端
面に取着する中央部が開口したエンドキャップとによっ
て前記凹陥部に臨む係止穴を形成し、この係止穴にスコ
ッチヨークの一端に取着したクロスヘッドの側面膨出部
を遊嵌し、電動機の回転動作から前記スコッチヨークを
介して前記ディスプレーサをシリンダ内で往復動作させ
る駆動力を得る極低温冷凍機において、前記係止穴を連
続する環状溝に形成すると共に、前記クロスヘッドの側
面膨出部を連続するフランジに形成し、且つ、前記環状
溝と前記フランジの少なくとも何れか一方の側の各面そ
れぞれに連続する環状凹部を形成し、これら各環状凹部
にフランジと前記環状溝形成面との接触を妨げる弾性部
材を装着したことを特徴とする極低温冷凍機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21645193A JP3357719B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 極低温冷凍機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21645193A JP3357719B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 極低温冷凍機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0771834A true JPH0771834A (ja) | 1995-03-17 |
| JP3357719B2 JP3357719B2 (ja) | 2002-12-16 |
Family
ID=16688728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21645193A Expired - Fee Related JP3357719B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 極低温冷凍機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3357719B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011521201A (ja) * | 2008-05-21 | 2011-07-21 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | リニア駆動を利用した極低温冷凍機 |
| CN108645069A (zh) * | 2018-06-04 | 2018-10-12 | 中船重工鹏力（南京）超低温技术有限公司 | 用于蓄冷器的隔断构件及采用该隔断构件的低温制冷机 |
| JP2022140969A (ja) * | 2021-03-15 | 2022-09-29 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP21645193A patent/JP3357719B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011521201A (ja) * | 2008-05-21 | 2011-07-21 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | リニア駆動を利用した極低温冷凍機 |
| JP2015004509A (ja) * | 2008-05-21 | 2015-01-08 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | リニア駆動を利用した極低温冷凍機 |
| KR101496666B1 (ko) * | 2008-05-21 | 2015-02-27 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 선형 구동 극저온 냉동기 |
| CN108645069A (zh) * | 2018-06-04 | 2018-10-12 | 中船重工鹏力（南京）超低温技术有限公司 | 用于蓄冷器的隔断构件及采用该隔断构件的低温制冷机 |
| JP2022140969A (ja) * | 2021-03-15 | 2022-09-29 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3357719B2 (ja) | 2002-12-16 |
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Legal Events
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