JPH077189A - ジョセフソン接合素子 - Google Patents
ジョセフソン接合素子Info
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- JPH077189A JPH077189A JP5147310A JP14731093A JPH077189A JP H077189 A JPH077189 A JP H077189A JP 5147310 A JP5147310 A JP 5147310A JP 14731093 A JP14731093 A JP 14731093A JP H077189 A JPH077189 A JP H077189A
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- Japan
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- film
- josephson junction
- lower electrode
- niobium
- junction element
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Abstract
(57)【要約】
【構成】ジョセフソン接合素子の基板１と下部電極５の
間の、表面の粗い金属膜または窒素を含む金属膜の上
に、アルミニウムの平滑化被覆膜を設ける。 【効果】基板と下部電極の間に、表面の粗い金属膜また
は窒素を含む金属膜を有するようなジョセフソン接合素
子において、下部電極表面を平滑化し、リーク電流の少
ない電流−電圧特性を得ることができる。
間の、表面の粗い金属膜または窒素を含む金属膜の上
に、アルミニウムの平滑化被覆膜を設ける。 【効果】基板と下部電極の間に、表面の粗い金属膜また
は窒素を含む金属膜を有するようなジョセフソン接合素
子において、下部電極表面を平滑化し、リーク電流の少
ない電流−電圧特性を得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超電導素子に係り、リー
ク電流の少ない電圧−電流特性を得るのに適したジョセ
フソン接合素子の構造に関する。
ク電流の少ない電圧−電流特性を得るのに適したジョセ
フソン接合素子の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ジョセフソン接合素子の構造につ
いては、アイ イー イー イー トランザクションズ
オン マグネティックス、２５巻、第２号、１９８９
年３月、１１３１頁から１１３４頁（IEEE Transaction
s on Magnetics，Vol.25，No.2，March，1989，pp.1131
−1134)に記載のように、ＳｉＯ2膜上に下部電極を形成
していた。
いては、アイ イー イー イー トランザクションズ
オン マグネティックス、２５巻、第２号、１９８９
年３月、１１３１頁から１１３４頁（IEEE Transaction
s on Magnetics，Vol.25，No.2，March，1989，pp.1131
−1134)に記載のように、ＳｉＯ2膜上に下部電極を形成
していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に、ジョセフソン
接合素子のトンネル障壁層は膜厚数ｎｍの超薄膜であ
る。従って、リーク電流の少ない素子を作製するために
は、下部電極上にトンネル障壁層を成膜する場合に下部
電極表面が平滑であることが必要である。従来の技術で
は、ジョセフソン接合の下部電極の下地となるのはＳｉ
Ｏ2 膜である。SiO2膜の下にグランドプレーンを設けた
場合、グランドプレーンと下部電極の間に挟まれている
のはＳｉＯ2 膜のみであるため、グランドプレーンの表
面粗さはSiO2の表面に反映され、さらにＳｉＯ2の表面
粗さは下部電極膜表面に反映される。従って、グランド
プレーン表面の凹凸が激しく粗い状態であった場合、下
部電極の表面も同様に凹凸が激しく粗い状態になる。例
えば、Ｎｂ下部電極上に酸化アルミニウム膜を形成して
トンネル障壁層としさらにＮｂ上部電極を形成してＮｂ
／ＡｌＯｘ（酸化アルミニウム）／Ｎｂ接合を作製する
場合、Ｎｂ下部電極の表面が粗い状態であると酸化アル
ミニウム膜が下部電極表面を均一に覆うことができずト
ンネル障壁層が均一に形成できないため、電圧−電流特
性におけるリーク電流の原因となる。
接合素子のトンネル障壁層は膜厚数ｎｍの超薄膜であ
る。従って、リーク電流の少ない素子を作製するために
は、下部電極上にトンネル障壁層を成膜する場合に下部
電極表面が平滑であることが必要である。従来の技術で
は、ジョセフソン接合の下部電極の下地となるのはＳｉ
Ｏ2 膜である。SiO2膜の下にグランドプレーンを設けた
場合、グランドプレーンと下部電極の間に挟まれている
のはＳｉＯ2 膜のみであるため、グランドプレーンの表
面粗さはSiO2の表面に反映され、さらにＳｉＯ2の表面
粗さは下部電極膜表面に反映される。従って、グランド
プレーン表面の凹凸が激しく粗い状態であった場合、下
部電極の表面も同様に凹凸が激しく粗い状態になる。例
えば、Ｎｂ下部電極上に酸化アルミニウム膜を形成して
トンネル障壁層としさらにＮｂ上部電極を形成してＮｂ
／ＡｌＯｘ（酸化アルミニウム）／Ｎｂ接合を作製する
場合、Ｎｂ下部電極の表面が粗い状態であると酸化アル
ミニウム膜が下部電極表面を均一に覆うことができずト
ンネル障壁層が均一に形成できないため、電圧−電流特
性におけるリーク電流の原因となる。
【０００４】また、モリブデン抵抗膜あるいは窒化モリ
ブデン抵抗膜上に直接Ｎｂ／AlOx／Ｎｂジョセフソン接
合を形成する場合、モリブデン抵抗膜あるいは窒化モリ
ブデン抵抗膜の表面の凹凸が激しく粗い状態であった場
合、下部電極の表面も同様に凹凸が激しく粗い状態にな
る。従ってトンネル障壁層が均一に形成できず、リーク
電流の原因となる。
ブデン抵抗膜上に直接Ｎｂ／AlOx／Ｎｂジョセフソン接
合を形成する場合、モリブデン抵抗膜あるいは窒化モリ
ブデン抵抗膜の表面の凹凸が激しく粗い状態であった場
合、下部電極の表面も同様に凹凸が激しく粗い状態にな
る。従ってトンネル障壁層が均一に形成できず、リーク
電流の原因となる。
【０００５】本発明の目的は、ジョセフソン接合素子、
特に基板と下部電極の間に、表面の粗い金属膜または窒
素を含む金属膜を有するような素子において、リーク電
流の少ない電圧−電流特性を得るのに適したジョセフソ
ン接合素子の構造を提供することにある。
特に基板と下部電極の間に、表面の粗い金属膜または窒
素を含む金属膜を有するような素子において、リーク電
流の少ない電圧−電流特性を得るのに適したジョセフソ
ン接合素子の構造を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、基板とジョ
セフソン接合素子の下部電極の間にある、金属膜または
窒素を含む金属膜の上にアルミニウム膜を形成すること
によって達成される。
セフソン接合素子の下部電極の間にある、金属膜または
窒素を含む金属膜の上にアルミニウム膜を形成すること
によって達成される。
【０００７】
【作用】基板とジョセフソン接合素子の下部電極の間に
ある、金属膜または窒素を含む金属膜の上にアルミニウ
ム膜を形成する。例えば、ニオブ膜、またはモリブデン
膜、または窒化モリブデン膜の上にアルミニウム膜を形
成する。
ある、金属膜または窒素を含む金属膜の上にアルミニウ
ム膜を形成する。例えば、ニオブ膜、またはモリブデン
膜、または窒化モリブデン膜の上にアルミニウム膜を形
成する。
【０００８】図４に、Ａｌ／Ｎｂ二層膜におけるＡｌ表
面の中心線平均粗さの、Ｎｂ表面の中心線平均粗さに対
する依存性を示した。また、図５に、Ａｌ／Ｍｏ二層膜
におけるＡｌ表面の中心線平均粗さの、Ｍｏ表面の中心
線平均粗さに対する依存性、図６に、Ａｌ／ＭｏＮｘ二
層膜におけるＡｌ表面の中心線平均粗さの、ＭｏＮｘ表
面の中心線平均粗さに対する依存性を示した。
面の中心線平均粗さの、Ｎｂ表面の中心線平均粗さに対
する依存性を示した。また、図５に、Ａｌ／Ｍｏ二層膜
におけるＡｌ表面の中心線平均粗さの、Ｍｏ表面の中心
線平均粗さに対する依存性、図６に、Ａｌ／ＭｏＮｘ二
層膜におけるＡｌ表面の中心線平均粗さの、ＭｏＮｘ表
面の中心線平均粗さに対する依存性を示した。
【０００９】Ａｌの膜厚は全て１０ｎｍとした。中心線
平均粗さの測定は原子間力顕微鏡によるものである。Ｎ
ｂ、あるいはＭｏ、あるいはＭｏＮｘの表面の中心線平
均粗さが３〜５ｎｍである場合に、Ａｌを１０ｎｍ被覆
することにより表面の平滑性が増す。基板と下部電極の
間にあるニオブ膜、または、モリブデン膜、または窒化
モリブデン膜の表面の中心線平均粗さが３〜５ｎｍであ
る場合、上にアルミニウム膜を１０ｎｍ形成すると、ア
ルミニウム膜の表面は下のニオブ膜、またはモリブデン
膜、または窒化モリブデン膜の表面よりも平滑になる。
平均粗さの測定は原子間力顕微鏡によるものである。Ｎ
ｂ、あるいはＭｏ、あるいはＭｏＮｘの表面の中心線平
均粗さが３〜５ｎｍである場合に、Ａｌを１０ｎｍ被覆
することにより表面の平滑性が増す。基板と下部電極の
間にあるニオブ膜、または、モリブデン膜、または窒化
モリブデン膜の表面の中心線平均粗さが３〜５ｎｍであ
る場合、上にアルミニウム膜を１０ｎｍ形成すると、ア
ルミニウム膜の表面は下のニオブ膜、またはモリブデン
膜、または窒化モリブデン膜の表面よりも平滑になる。
【００１０】基板と下部電極の間にあるニオブ膜、また
はモリブデン膜、または窒化モリブデン膜の表面が平滑
になれば、下地の平滑性を反映する下部電極の表面も平
滑性を増す。下部電極表面の平滑性が増すことによって
障壁層の均一性が増し、リーク電流の少ない接合を作製
することが容易になる。
はモリブデン膜、または窒化モリブデン膜の表面が平滑
になれば、下地の平滑性を反映する下部電極の表面も平
滑性を増す。下部電極表面の平滑性が増すことによって
障壁層の均一性が増し、リーク電流の少ない接合を作製
することが容易になる。
【００１１】
【実施例】図１は、本発明の第一の実施例によるジョセ
フソン接合素子の一部を示す断面図である。シリコン基
板１上に、同一真空中で、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガ
スを用いた直流マグネトロンスパッタ法によってニオブ
を３００ｎｍ、アルミニウムを１０ｎｍ連続堆積する。
アルゴンガスを用いたイオンミリング法によって加工し
て、グランドプレーン２及び平滑化被覆膜３とする。圧
力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用いた高周波マグネトロ
ンスパッタ法によってＳｉＯ2 を３００ｎｍ堆積した
後、ＣＨＦ3 ガスを用いた反応性イオンエッチング法に
よって加工して、第一層間絶縁膜４とする。
フソン接合素子の一部を示す断面図である。シリコン基
板１上に、同一真空中で、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガ
スを用いた直流マグネトロンスパッタ法によってニオブ
を３００ｎｍ、アルミニウムを１０ｎｍ連続堆積する。
アルゴンガスを用いたイオンミリング法によって加工し
て、グランドプレーン２及び平滑化被覆膜３とする。圧
力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用いた高周波マグネトロ
ンスパッタ法によってＳｉＯ2 を３００ｎｍ堆積した
後、ＣＨＦ3 ガスを用いた反応性イオンエッチング法に
よって加工して、第一層間絶縁膜４とする。
【００１２】次に、下層ニオブ膜（膜厚２００ｎｍ），
酸化アルミニウム膜（膜厚１ｎｍ），上層ニオブ膜（膜
厚１００ｎｍ）の順に真空を破ることなく連続して堆積
して三層膜を形成する。下層ニオブ膜及び上層ニオブ膜
は、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用いた直流マグネ
トロンスパッタ法によって成膜する。酸化アルミニウム
膜は、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用いた直流マグ
ネトロンスパッタ法によってアルミニウムを堆積した
後、圧力９.３Ｐａ の酸素で１０分間酸化して作製す
る。三層膜上に下部電極加工用のレジストパターンを形
成する。アルゴンガスを用いたイオンミリング法及びＣ
Ｆ4 ガスを用いた反応性イオンエッチング法によって、
上層ニオブ膜，酸化アルミニウム膜，下層ニオブ膜の順
に加工を行い、下部電極５及びトンネル障壁層６を形成
する。上層ニオブ膜上に上部電極規定用のレジストパタ
ーンを形成し、ＣＦ4 ガスを用いた反応性イオンエッチ
ング法によって上層ニオブ膜を加工して上部電極７を形
成する。
酸化アルミニウム膜（膜厚１ｎｍ），上層ニオブ膜（膜
厚１００ｎｍ）の順に真空を破ることなく連続して堆積
して三層膜を形成する。下層ニオブ膜及び上層ニオブ膜
は、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用いた直流マグネ
トロンスパッタ法によって成膜する。酸化アルミニウム
膜は、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用いた直流マグ
ネトロンスパッタ法によってアルミニウムを堆積した
後、圧力９.３Ｐａ の酸素で１０分間酸化して作製す
る。三層膜上に下部電極加工用のレジストパターンを形
成する。アルゴンガスを用いたイオンミリング法及びＣ
Ｆ4 ガスを用いた反応性イオンエッチング法によって、
上層ニオブ膜，酸化アルミニウム膜，下層ニオブ膜の順
に加工を行い、下部電極５及びトンネル障壁層６を形成
する。上層ニオブ膜上に上部電極規定用のレジストパタ
ーンを形成し、ＣＦ4 ガスを用いた反応性イオンエッチ
ング法によって上層ニオブ膜を加工して上部電極７を形
成する。
【００１３】次に、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用
いた高周波マグネトロンスパッタ法によってＳｉＯ2を
４００ｎｍ堆積した後、ＣＨＦ3ガスを用いた反応性イ
オンエッチング法によって加工して、第二層間絶縁膜８
とする。
いた高周波マグネトロンスパッタ法によってＳｉＯ2を
４００ｎｍ堆積した後、ＣＨＦ3ガスを用いた反応性イ
オンエッチング法によって加工して、第二層間絶縁膜８
とする。
【００１４】最後に、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを
用いた直流マグネトロンスパッタ法によってニオブを５
００ｎｍ堆積した後、ＣＦ4 ガスを用いた反応性イオン
エッチング法によって加工して、超電導配線９とする。
用いた直流マグネトロンスパッタ法によってニオブを５
００ｎｍ堆積した後、ＣＦ4 ガスを用いた反応性イオン
エッチング法によって加工して、超電導配線９とする。
【００１５】以上の工程によって本発明の第一の実施例
であるジョセフソン接合素子を実現することができる。
本実施例の素子におけるグランドプレーン２及び平滑化
被覆膜３の表面の中心線平均粗さは、それぞれ約３.０
ｎｍ及び約２.２ｎｍであり、グランドプレーン２の表
面は平滑化被覆膜３によって平滑化される。
であるジョセフソン接合素子を実現することができる。
本実施例の素子におけるグランドプレーン２及び平滑化
被覆膜３の表面の中心線平均粗さは、それぞれ約３.０
ｎｍ及び約２.２ｎｍであり、グランドプレーン２の表
面は平滑化被覆膜３によって平滑化される。
【００１６】ジョセフソン接合素子は、４.２Ｋ の液体
ヘリウム中で、図７に示したようにリーク電流の少ない
典型的なトンネル型ジョセフソン接合素子の電圧−電流
特性を示し、ギャップ電圧以上の電圧における抵抗値
（Ｒnn）に対するギャップ以下の電圧における抵抗値
（Ｒj）の割合、Ｒj／Ｒnn値は１２〜１４が得られる。
この実施例に対して、図１における平滑化被覆膜３を用
いない素子のＲj ／Ｒnn値は６〜８であり、リーク電流
の多い特性を示す。
ヘリウム中で、図７に示したようにリーク電流の少ない
典型的なトンネル型ジョセフソン接合素子の電圧−電流
特性を示し、ギャップ電圧以上の電圧における抵抗値
（Ｒnn）に対するギャップ以下の電圧における抵抗値
（Ｒj）の割合、Ｒj／Ｒnn値は１２〜１４が得られる。
この実施例に対して、図１における平滑化被覆膜３を用
いない素子のＲj ／Ｒnn値は６〜８であり、リーク電流
の多い特性を示す。
【００１７】図２は、本発明の第二の実施例によるジョ
セフソン接合素子の一部を示す断面図である。シリコン
基板１０１上に、同一真空中で、圧力１.３Ｐａ のアル
ゴンガスを用いた直流マグネトロンスパッタ法によって
ニオブを３００ｎｍ、アルミニウムを１０ｎｍ連続堆積
する。堆積したニオブ膜及びアルミニウム膜をアルゴン
ガスを用いたイオンミリング法によって加工して、グラ
ンドプレーン１０２及び平滑化被覆膜１０３とする。圧
力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用いた高周波マグネトロ
ンスパッタ法によってＳｉＯ2を３００ｎｍ堆積した
後、ＣＨＦ3とＯ2の混合ガスを用いた反応性イオンエッ
チング法によって加工して、第一層間絶縁膜１０４とす
る。
セフソン接合素子の一部を示す断面図である。シリコン
基板１０１上に、同一真空中で、圧力１.３Ｐａ のアル
ゴンガスを用いた直流マグネトロンスパッタ法によって
ニオブを３００ｎｍ、アルミニウムを１０ｎｍ連続堆積
する。堆積したニオブ膜及びアルミニウム膜をアルゴン
ガスを用いたイオンミリング法によって加工して、グラ
ンドプレーン１０２及び平滑化被覆膜１０３とする。圧
力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用いた高周波マグネトロ
ンスパッタ法によってＳｉＯ2を３００ｎｍ堆積した
後、ＣＨＦ3とＯ2の混合ガスを用いた反応性イオンエッ
チング法によって加工して、第一層間絶縁膜１０４とす
る。
【００１８】次に、平滑化被覆膜１０３の表面をアルゴ
ンガスのプラズマでスパッタクリーニングした後、下層
ニオブ膜（膜厚２００ｎｍ），酸化アルミニウム膜（膜
厚１ｎｍ）、上層ニオブ膜（膜厚１００ｎｍ）の順に真
空を破ることなく連続して堆積して三層膜を形成する。
下層ニオブ膜及び上層ニオブ膜は、圧力１.３Ｐａ のア
ルゴンガスを用いた直流マグネトロンスパッタ法によっ
て成膜する。酸化アルミニウム膜は、圧力１.３Ｐａ の
アルゴンガスを用いた直流マグネトロンスパッタ法によ
ってアルミニウムを堆積した後、圧力９.３Ｐａ の酸素
で１０分間酸化して作製する。三層膜上に下部電極加工
用のレジストパターンを形成する。CF4ガスを用いた反
応性イオンエッチング法及びアルゴンガスを用いたイオ
ンミリング法によって、上層ニオブ膜，酸化アルミニウ
ム膜，下層ニオブ膜の順に加工を行い、下部電極１０５
及びトンネル障壁層１０６を形成する。上層ニオブ膜上
に上部電極規定用のレジストパターンを形成し、ＣＦ4
ガスを用いた反応性イオンエッチング法によって上層ニ
オブ膜を加工して上部電極１０７を形成する。
ンガスのプラズマでスパッタクリーニングした後、下層
ニオブ膜（膜厚２００ｎｍ），酸化アルミニウム膜（膜
厚１ｎｍ）、上層ニオブ膜（膜厚１００ｎｍ）の順に真
空を破ることなく連続して堆積して三層膜を形成する。
下層ニオブ膜及び上層ニオブ膜は、圧力１.３Ｐａ のア
ルゴンガスを用いた直流マグネトロンスパッタ法によっ
て成膜する。酸化アルミニウム膜は、圧力１.３Ｐａ の
アルゴンガスを用いた直流マグネトロンスパッタ法によ
ってアルミニウムを堆積した後、圧力９.３Ｐａ の酸素
で１０分間酸化して作製する。三層膜上に下部電極加工
用のレジストパターンを形成する。CF4ガスを用いた反
応性イオンエッチング法及びアルゴンガスを用いたイオ
ンミリング法によって、上層ニオブ膜，酸化アルミニウ
ム膜，下層ニオブ膜の順に加工を行い、下部電極１０５
及びトンネル障壁層１０６を形成する。上層ニオブ膜上
に上部電極規定用のレジストパターンを形成し、ＣＦ4
ガスを用いた反応性イオンエッチング法によって上層ニ
オブ膜を加工して上部電極１０７を形成する。
【００１９】次に、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用
いた高周波マグネトロンスパッタ法によってＳｉＯ2を
４００ｎｍ堆積した後、ＣＨＦ3ガスを用いた反応性イ
オンエッチング法によって加工して、第二層間絶縁膜１
０８とする。
いた高周波マグネトロンスパッタ法によってＳｉＯ2を
４００ｎｍ堆積した後、ＣＨＦ3ガスを用いた反応性イ
オンエッチング法によって加工して、第二層間絶縁膜１
０８とする。
【００２０】最後に、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを
用いた直流マグネトロンスパッタ法によってニオブを５
００ｎｍ堆積した後、ＣＦ4 ガスを用いた反応性イオン
エッチング法によって加工して、超電導配線１０９とす
る。この工程によって本発明の第二の実施例であるジョ
セフソン接合素子を実現することができる。本実施例の
素子におけるグランドプレーン１０２及び平滑化被覆膜
１０３の表面の中心線平均粗さは、それぞれ約３.０ｎ
ｍ及び約２.２ｎｍであり、グランドプレーン１０２の
表面は平滑化被覆膜１０３によって平滑化される。
用いた直流マグネトロンスパッタ法によってニオブを５
００ｎｍ堆積した後、ＣＦ4 ガスを用いた反応性イオン
エッチング法によって加工して、超電導配線１０９とす
る。この工程によって本発明の第二の実施例であるジョ
セフソン接合素子を実現することができる。本実施例の
素子におけるグランドプレーン１０２及び平滑化被覆膜
１０３の表面の中心線平均粗さは、それぞれ約３.０ｎ
ｍ及び約２.２ｎｍであり、グランドプレーン１０２の
表面は平滑化被覆膜１０３によって平滑化される。
【００２１】ジョセフソン接合素子は、４.２Ｋ の液体
ヘリウム中で、図７に示したのと同様の、リーク電流の
少ない典型的なトンネル型ジョセフソン接合素子の電圧
−電流特性を示す。Ｒj／Ｒnn 値は１２〜１６が得られ
る。上記の実施例に対して、図２における平滑化被覆膜
１０３を用いない素子のＲj／Ｒnn 値は５〜６であり、
リーク電流の多い特性を示す。
ヘリウム中で、図７に示したのと同様の、リーク電流の
少ない典型的なトンネル型ジョセフソン接合素子の電圧
−電流特性を示す。Ｒj／Ｒnn 値は１２〜１６が得られ
る。上記の実施例に対して、図２における平滑化被覆膜
１０３を用いない素子のＲj／Ｒnn 値は５〜６であり、
リーク電流の多い特性を示す。
【００２２】図３は、本発明の第三の実施例によるジョ
セフソン接合素子の一部を示す断面図である。シリコン
基板２０１上に、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用い
た直流マグネトロンスパッタ法によってニオブを３００
ｎｍ堆積した後、ＣＦ4 ガスを用いた反応性イオンエッ
チング法によって加工して、グランドプレーン２０２と
する。圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用いた高周波マ
グネトロンスパッタ法によってＳｉＯ2を３００ｎｍ堆
積した後、ＣＨＦ3ガスを用いた反応性イオンエッチン
グ法によって加工して、第一層間絶縁膜２０３とする。
セフソン接合素子の一部を示す断面図である。シリコン
基板２０１上に、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用い
た直流マグネトロンスパッタ法によってニオブを３００
ｎｍ堆積した後、ＣＦ4 ガスを用いた反応性イオンエッ
チング法によって加工して、グランドプレーン２０２と
する。圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用いた高周波マ
グネトロンスパッタ法によってＳｉＯ2を３００ｎｍ堆
積した後、ＣＨＦ3ガスを用いた反応性イオンエッチン
グ法によって加工して、第一層間絶縁膜２０３とする。
【００２３】次に、窒化モリブデン膜を１００ｎｍ堆積
する。窒化モリブデン膜は、窒素２％のアルゴン＋窒素
混合ガスを圧力１.３Ｐａ で用いて、直流マグネトロン
スパッタ法によって成膜する。窒化モリブデン膜をＣＦ
4＋Ｏ2混合ガスを用いた反応性イオンエッチング法によ
って加工して抵抗２０４とする。圧力１.３Ｐａ のアル
ゴンガスを用いた高周波マグネトロンスパッタ法によっ
てＳｉＯ2 を３５０ｎｍ堆積した後、ＣＨＦ3 ガスを用
いた反応性イオンエッチング法によって加工して、第二
層間絶縁膜２０５とした。
する。窒化モリブデン膜は、窒素２％のアルゴン＋窒素
混合ガスを圧力１.３Ｐａ で用いて、直流マグネトロン
スパッタ法によって成膜する。窒化モリブデン膜をＣＦ
4＋Ｏ2混合ガスを用いた反応性イオンエッチング法によ
って加工して抵抗２０４とする。圧力１.３Ｐａ のアル
ゴンガスを用いた高周波マグネトロンスパッタ法によっ
てＳｉＯ2 を３５０ｎｍ堆積した後、ＣＨＦ3 ガスを用
いた反応性イオンエッチング法によって加工して、第二
層間絶縁膜２０５とした。
【００２４】次に、抵抗２０４の表面をアルゴンガスの
プラズマでスパッタクリーニングした後、アルミニウム
膜（膜厚１０ｎｍ），下層ニオブ膜（膜厚２００ｎ
ｍ），酸化アルミニウム膜（膜厚１ｎｍ），上層ニオブ
膜（膜厚１００ｎｍ）の順に真空を破ることなく連続し
て堆積して四層膜を形成する。アルミニウム膜，下層ニ
オブ膜、及び上層ニオブ膜は、圧力１.３Ｐａ のアルゴ
ンガスを用いた直流マグネトロンスパッタ法によって成
膜する。酸化アルミニウム膜は、圧力１.３Ｐａ のアル
ゴンガスを用いた直流マグネトロンスパッタ法によって
アルミニウムを堆積した後、圧力９.３Ｐａ の酸素で１
０分間酸化して作製する。四層膜上に下部電極加工用の
レジストパターンを形成する。ＣＦ4 ガスを用いた反応
性イオンエッチング法及びアルゴンガスを用いたイオン
ミリング法によって、上層ニオブ膜,酸化アルミニウム
膜，下層ニオブ膜，アルミニウム膜の順に加工を行い、
平滑化被覆膜２０６，下部電極２０７、及びトンネル障
壁層２０８を形成する。上層ニオブ膜上に上部電極規定
用のレジストパターンを形成し、ＣＦ4 ガスを用いた反
応性イオンエッチング法によって上層ニオブ膜を加工し
て上部電極２０９を形成する。
プラズマでスパッタクリーニングした後、アルミニウム
膜（膜厚１０ｎｍ），下層ニオブ膜（膜厚２００ｎ
ｍ），酸化アルミニウム膜（膜厚１ｎｍ），上層ニオブ
膜（膜厚１００ｎｍ）の順に真空を破ることなく連続し
て堆積して四層膜を形成する。アルミニウム膜，下層ニ
オブ膜、及び上層ニオブ膜は、圧力１.３Ｐａ のアルゴ
ンガスを用いた直流マグネトロンスパッタ法によって成
膜する。酸化アルミニウム膜は、圧力１.３Ｐａ のアル
ゴンガスを用いた直流マグネトロンスパッタ法によって
アルミニウムを堆積した後、圧力９.３Ｐａ の酸素で１
０分間酸化して作製する。四層膜上に下部電極加工用の
レジストパターンを形成する。ＣＦ4 ガスを用いた反応
性イオンエッチング法及びアルゴンガスを用いたイオン
ミリング法によって、上層ニオブ膜,酸化アルミニウム
膜，下層ニオブ膜，アルミニウム膜の順に加工を行い、
平滑化被覆膜２０６，下部電極２０７、及びトンネル障
壁層２０８を形成する。上層ニオブ膜上に上部電極規定
用のレジストパターンを形成し、ＣＦ4 ガスを用いた反
応性イオンエッチング法によって上層ニオブ膜を加工し
て上部電極２０９を形成する。
【００２５】次に、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを用
いた高周波マグネトロンスパッタ法によってＳｉＯ2を
４００ｎｍ堆積した後、ＣＨＦ3ガスを用いた反応性イ
オンエッチング法によって加工して、第三層間絶縁膜２
１０とする。
いた高周波マグネトロンスパッタ法によってＳｉＯ2を
４００ｎｍ堆積した後、ＣＨＦ3ガスを用いた反応性イ
オンエッチング法によって加工して、第三層間絶縁膜２
１０とする。
【００２６】最後に、圧力１.３Ｐａ のアルゴンガスを
用いた直流マグネトロンスパッタ法によってニオブを５
００ｎｍ堆積した後、ＣＦ4 ガスを用いた反応性イオン
エッチング法によって加工して、超電導配線２１１とす
る。以上の工程によって本発明の第三の実施例であるジ
ョセフソン接合素子を実現することができる。本実施例
の素子における抵抗２０４及び平滑化被覆膜２０６の表
面の中心線平均粗さは、それぞれ約４.０ｎｍ及び約３.
０ｎｍであり、グランドプレーン２０４の表面は平滑化
被覆膜２０６によって平滑化される。
用いた直流マグネトロンスパッタ法によってニオブを５
００ｎｍ堆積した後、ＣＦ4 ガスを用いた反応性イオン
エッチング法によって加工して、超電導配線２１１とす
る。以上の工程によって本発明の第三の実施例であるジ
ョセフソン接合素子を実現することができる。本実施例
の素子における抵抗２０４及び平滑化被覆膜２０６の表
面の中心線平均粗さは、それぞれ約４.０ｎｍ及び約３.
０ｎｍであり、グランドプレーン２０４の表面は平滑化
被覆膜２０６によって平滑化される。
【００２７】ジョセフソン接合素子は、４.２Ｋ の液体
ヘリウム中で、図７に示したのと同様の、リーク電流の
少ない典型的なトンネル型ジョセフソン接合素子の電圧
−電流特性を示す。Ｒj／Ｒnn の値は１１〜１６が得ら
れる。上記の実施例に対して、図３における平滑化被覆
膜２０６を用いなかった素子のＲj／Ｒnn 値は５〜９で
あり、リーク電流の多い特性を示した。
ヘリウム中で、図７に示したのと同様の、リーク電流の
少ない典型的なトンネル型ジョセフソン接合素子の電圧
−電流特性を示す。Ｒj／Ｒnn の値は１１〜１６が得ら
れる。上記の実施例に対して、図３における平滑化被覆
膜２０６を用いなかった素子のＲj／Ｒnn 値は５〜９で
あり、リーク電流の多い特性を示した。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、基板と下部電極の間に
表面の粗い金属膜または窒素を含む金属膜を有するジョ
セフソン接合素子において、リーク電流の少ない電流−
電圧特性を得ることができる。従って、超電導集積回路
を構成する素子としてジョセフソン接合素子を利用する
ことが容易になる。
表面の粗い金属膜または窒素を含む金属膜を有するジョ
セフソン接合素子において、リーク電流の少ない電流−
電圧特性を得ることができる。従って、超電導集積回路
を構成する素子としてジョセフソン接合素子を利用する
ことが容易になる。
【図１】本発明の第一の実施例によるジョセフソン接合
素子の一部を示す断面図。
素子の一部を示す断面図。
【図２】本発明の第二の実施例によるジョセフソン接合
素子の一部を示す断面図。
素子の一部を示す断面図。
【図３】本発明の第三の実施例によるジョセフソン接合
素子の一部を示す断面図。
素子の一部を示す断面図。
【図４】Ａｌ／Ｎｂ二層膜におけるＡｌ表面の中心線平
均粗さの、Ｎｂ表面の中心線平均粗さに対する依存性を
示す説明図。
均粗さの、Ｎｂ表面の中心線平均粗さに対する依存性を
示す説明図。
【図５】Ａｌ／Ｍｏ二層膜におけるＡｌ表面の中心線平
均粗さの、Ｍｏ表面の中心線平均粗さに対する依存性を
示す説明図。
均粗さの、Ｍｏ表面の中心線平均粗さに対する依存性を
示す説明図。
【図６】Ａｌ／ＭｏＮｘ二層膜におけるＡｌ表面の中心
線平均粗さの、ＭｏＮｘ表面の中心線平均粗さに対する
依存性を示す説明図。
線平均粗さの、ＭｏＮｘ表面の中心線平均粗さに対する
依存性を示す説明図。
【図７】本発明の第一の実施例によるジョセフソン接合
素子の温度４.２Ｋ における電圧−電流特性を示す説明
図。
素子の温度４.２Ｋ における電圧−電流特性を示す説明
図。
１…シリコン基板、２…グランドプレーン、３…平滑化
被覆膜、４…第一層間絶縁膜、５…下部電極、６…トン
ネル障壁層、７…上部電極、８…第二層間絶縁膜、９…
超電導配線。
被覆膜、４…第一層間絶縁膜、５…下部電極、６…トン
ネル障壁層、７…上部電極、８…第二層間絶縁膜、９…
超電導配線。
Claims (4)
- 【請求項１】基板と、前記基板よりも上層に形成されか
つ超電導体で成る下部電極と、前記下部電極上に形成さ
れたトンネル障壁層と、前記トンネル障壁層上に延長し
ており前記超電導体で成る上部電極とを有するジョセフ
ソン接合素子において、前記基板と前記下部電極の間に
挟まれた積層膜は、下層が金属膜または窒素を含む金属
膜で成り、上層がアルミニウム膜から成る二層膜を含む
ことを特徴とするジョセフソン接合素子。 - 【請求項２】請求項１において、前記金属膜または窒素
を含む金属膜は、ニオブ膜，ジルコニウム膜，モリブデ
ン膜、及び窒化モリブデン膜から選ばれた薄膜であるジ
ョセフソン接合素子。 - 【請求項３】請求項１または２において、前記アルミニ
ウム膜と前記下部電極の間に酸化シリコン膜を有するジ
ョセフソン接合素子。 - 【請求項４】請求項１または２において、前記アルミニ
ウム膜は、前記下部電極に直接接触しているジョセフソ
ン接合素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5147310A JPH077189A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ジョセフソン接合素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5147310A JPH077189A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ジョセフソン接合素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH077189A true JPH077189A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15427307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5147310A Pending JPH077189A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ジョセフソン接合素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077189A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115148890A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-10-04 | 南京大学 | 一种基于金属掩膜的铌铝约瑟夫森结的制备方法 |
| CN120731003A (zh) * | 2025-06-27 | 2025-09-30 | 北京集成电路装备创新中心有限公司 | 一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法及半导体工艺设备 |
-
1993
- 1993-06-18 JP JP5147310A patent/JPH077189A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115148890A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-10-04 | 南京大学 | 一种基于金属掩膜的铌铝约瑟夫森结的制备方法 |
| CN120731003A (zh) * | 2025-06-27 | 2025-09-30 | 北京集成电路装备创新中心有限公司 | 一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法及半导体工艺设备 |
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