JPH0774090A - 回路の製造方法及び露光装置 - Google Patents
回路の製造方法及び露光装置Info
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- JPH0774090A JPH0774090A JP7000794A JP7000794A JPH0774090A JP H0774090 A JPH0774090 A JP H0774090A JP 7000794 A JP7000794 A JP 7000794A JP 7000794 A JP7000794 A JP 7000794A JP H0774090 A JPH0774090 A JP H0774090A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 微細な回路パターンの焼き付けが可能なＩ
Ｃ，ＬＳＩ等の製造に好適な回路の製造方法及び露光装
置を得ること。 【構成】 縮小結像光学系により回路パターンを被露光
体上に縮小して結像せしめる工程を含む回路の製造方法
において、前記縮小結像光学系の屈折光学部材を光透過
率の良い単一の硝材により構成し、前記屈折光学部材に
よりコマ収差を補正せしめること。
Ｃ，ＬＳＩ等の製造に好適な回路の製造方法及び露光装
置を得ること。 【構成】 縮小結像光学系により回路パターンを被露光
体上に縮小して結像せしめる工程を含む回路の製造方法
において、前記縮小結像光学系の屈折光学部材を光透過
率の良い単一の硝材により構成し、前記屈折光学部材に
よりコマ収差を補正せしめること。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＩＣ，ＬＳＩ等の回路の
製造方法及びＩＣ，ＬＳＩ等の回路を製造する際に用い
る露光装置に関する。
製造方法及びＩＣ，ＬＳＩ等の回路を製造する際に用い
る露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ，ＬＳＩ等の回路を製造する際、露
光装置を用い、その縮小結像光学系によりマスクの回路
パターンをウエハー上に縮小して結像して転写する工程
がある。
光装置を用い、その縮小結像光学系によりマスクの回路
パターンをウエハー上に縮小して結像して転写する工程
がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この露光装置の解像力
を上げるには露光光の波長を短くすると良いが、波長を
短くすると、縮小結像光学系を構成する互いに異なる硝
材より成る各レンズの光吸収のため、縮小結像光学系の
光学特性（ピント位置、倍率）が大きく変化する。
を上げるには露光光の波長を短くすると良いが、波長を
短くすると、縮小結像光学系を構成する互いに異なる硝
材より成る各レンズの光吸収のため、縮小結像光学系の
光学特性（ピント位置、倍率）が大きく変化する。
【０００４】このような光吸収を避けるには縮小結像光
学系にレンズを用いなければ良いが、このような構成で
はコマ収差等の重要な収差を補正することができず、ウ
エハー上に鮮明な像を形成できない。
学系にレンズを用いなければ良いが、このような構成で
はコマ収差等の重要な収差を補正することができず、ウ
エハー上に鮮明な像を形成できない。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、ウエハ
ー上に鮮明な像を形成することができる、回路の製造方
法と露光装置を提供することにある。
ー上に鮮明な像を形成することができる、回路の製造方
法と露光装置を提供することにある。
【０００６】本発明の回路の製造方法は、縮小結像光学
系により回路パターンを被露光体上に縮小して結像せし
める工程を含む回路の製造方法において、前記縮小結像
光学系の屈折光学部材を光透過率の良い単一の硝材によ
り構成し、前記屈折光学部材によりコマ収差を補正せし
めることを特徴としており、これにより縮小結像光学系
の光学特性の変化を小さくしつつ、鮮明な回路パターン
像を形成している。
系により回路パターンを被露光体上に縮小して結像せし
める工程を含む回路の製造方法において、前記縮小結像
光学系の屈折光学部材を光透過率の良い単一の硝材によ
り構成し、前記屈折光学部材によりコマ収差を補正せし
めることを特徴としており、これにより縮小結像光学系
の光学特性の変化を小さくしつつ、鮮明な回路パターン
像を形成している。
【０００７】本発明の露光装置は、縮小結像光学系によ
りマスクパターンを被露光体上に縮小して結像せしめる
露光装置において、前記結像光学系は光透過率の良い単
一の硝材により構成した屈折光学部材を備え、前記屈折
光学部材によりコマ収差を補正することを特徴としてお
り、これにより縮小結像光学系の光学特性の変化を小さ
くしつつ鮮明なマスクパターン像を形成している。
りマスクパターンを被露光体上に縮小して結像せしめる
露光装置において、前記結像光学系は光透過率の良い単
一の硝材により構成した屈折光学部材を備え、前記屈折
光学部材によりコマ収差を補正することを特徴としてお
り、これにより縮小結像光学系の光学特性の変化を小さ
くしつつ鮮明なマスクパターン像を形成している。
【０００８】短波長域の露光光を用いる場合の硝材とし
ては、ＳｉＯ2 ，ＣａＦ2 が好ましい。
ては、ＳｉＯ2 ，ＣａＦ2 が好ましい。
【０００９】また縮小結像光学系の視野をスリット状に
制限して良像域を取り出して露光することにより、より
鮮明なマスクパターン像を形成することができる。
制限して良像域を取り出して露光することにより、より
鮮明なマスクパターン像を形成することができる。
【００１０】
【実施例】第１図は本発明の縮小結像光学系により回路
パターンを被露光体上に結像せしめる工程の為の露光装
置の一実施例の光学系の概略図である。同図の縮小結像
光学系は物体側より順に同一方向に曲率中心を有し、か
つ同一光軸上に位置するように凹面鏡Ｍ11 、凸面鏡Ｍ
12そして凹面鏡Ｍ13の３つの反射鏡とメニスカス形状の
レンズＬ11で第１結像系を構成し、２つのメニスカス形
状のレンズＬ21 ，Ｌ22 、凹面鏡Ｍ21そして２つのメニ
スカス形状のレンズＬ22′，Ｌ21′で第２結像系を構成
している。
パターンを被露光体上に結像せしめる工程の為の露光装
置の一実施例の光学系の概略図である。同図の縮小結像
光学系は物体側より順に同一方向に曲率中心を有し、か
つ同一光軸上に位置するように凹面鏡Ｍ11 、凸面鏡Ｍ
12そして凹面鏡Ｍ13の３つの反射鏡とメニスカス形状の
レンズＬ11で第１結像系を構成し、２つのメニスカス形
状のレンズＬ21 ，Ｌ22 、凹面鏡Ｍ21そして２つのメニ
スカス形状のレンズＬ22′，Ｌ21′で第２結像系を構成
している。
【００１１】そして図中、光軸上方の所定領域内の軸外
物点、即ち後述する数値実施例で示す所定のスリット幅
を有する軸外物点Ｐ1 からの光束を反射鏡Ｍ11 ，
Ｍ12 ，Ｍ13の順で反射させ、レンズＬ11を経た後、第
１像点Ｐ1 ′に結像させている。又第１像点Ｐ1 ′は第
２結像系の物点Ｐ2となり、物点Ｐ2からの光束が２つの
レンズＬ21 ，Ｌ22 、凹面鏡Ｍ21そして２つのレンズＬ
22′，Ｌ21′を経て第２像点Ｐ2 ′に結像するように構
成している。
物点、即ち後述する数値実施例で示す所定のスリット幅
を有する軸外物点Ｐ1 からの光束を反射鏡Ｍ11 ，
Ｍ12 ，Ｍ13の順で反射させ、レンズＬ11を経た後、第
１像点Ｐ1 ′に結像させている。又第１像点Ｐ1 ′は第
２結像系の物点Ｐ2となり、物点Ｐ2からの光束が２つの
レンズＬ21 ，Ｌ22 、凹面鏡Ｍ21そして２つのレンズＬ
22′，Ｌ21′を経て第２像点Ｐ2 ′に結像するように構
成している。
【００１２】本実施例では第１結像系を物点Ｐ1 からの
光束が凹面鏡Ｍ11 、凸面鏡Ｍ12そして凹面鏡Ｍ13の所
謂、正，負，正の屈折力の３つの反射鏡とメニスカス形
状のレンズＬ11を通過した後に第１像点Ｐ1 ′に結像す
るように構成し、各反射鏡より発生する収差をバランス
良く補正している。
光束が凹面鏡Ｍ11 、凸面鏡Ｍ12そして凹面鏡Ｍ13の所
謂、正，負，正の屈折力の３つの反射鏡とメニスカス形
状のレンズＬ11を通過した後に第１像点Ｐ1 ′に結像す
るように構成し、各反射鏡より発生する収差をバランス
良く補正している。
【００１３】特にメニスカス形状のレンズＬ11を凹面鏡
Ｍ13で反射した光束のみが透過するように配置すること
により縮小系を構成する場合に多く発生する軸外収差と
コマ収差（非対称性収差）を良好に補正している。又レ
ンズＬ11で第２結像系に配置した屈折系より生じる色収
差を互いに打ち消し、第２結像系の収差補正を容易にし
ている。
Ｍ13で反射した光束のみが透過するように配置すること
により縮小系を構成する場合に多く発生する軸外収差と
コマ収差（非対称性収差）を良好に補正している。又レ
ンズＬ11で第２結像系に配置した屈折系より生じる色収
差を互いに打ち消し、第２結像系の収差補正を容易にし
ている。
【００１４】第２結像系を物点Ｐ2 からの光束が、まず
２つのメニスカス形状のレンズＬ21，Ｌ22を通過し、凹
面鏡Ｍ21そして２つのメニスカス形状のレンズＬ22′，
Ｌ21′を通過した後、第２像点Ｐ2 ′に結像するよう構
成し、第１結像系での残存収差の補正、及び色収差の補
正を良好に行っている。
２つのメニスカス形状のレンズＬ21，Ｌ22を通過し、凹
面鏡Ｍ21そして２つのメニスカス形状のレンズＬ22′，
Ｌ21′を通過した後、第２像点Ｐ2 ′に結像するよう構
成し、第１結像系での残存収差の補正、及び色収差の補
正を良好に行っている。
【００１５】特に各々のレンズの硝材を短波長（波長２
３０〜４００ｎｍ）側の透過率が良い石英ガラスのみで
構成したにもかかわらず、前述の如くレンズ形状を特定
することにより後述する収差図に示す如く良好なる色収
差の補正を達成している。
３０〜４００ｎｍ）側の透過率が良い石英ガラスのみで
構成したにもかかわらず、前述の如くレンズ形状を特定
することにより後述する収差図に示す如く良好なる色収
差の補正を達成している。
【００１６】特に物点Ｐ2 からの光束を２つのレンズＬ
21 ，Ｌ22そして同じく２つのレンズＬ22′，Ｌ21′を
介することにより口径比の拡大を図りつつ、全体的にコ
マ収差や軸外ハロー等の収差の発生量を少なくすると共
に第１結像系のレンズＬ11と共に色収差の補正を良好に
行っている。そして反射系を採用したにもかかわらず、
光束のケラレを極力少なくしている。
21 ，Ｌ22そして同じく２つのレンズＬ22′，Ｌ21′を
介することにより口径比の拡大を図りつつ、全体的にコ
マ収差や軸外ハロー等の収差の発生量を少なくすると共
に第１結像系のレンズＬ11と共に色収差の補正を良好に
行っている。そして反射系を採用したにもかかわらず、
光束のケラレを極力少なくしている。
【００１７】本実施例では第１結像系の結像倍率を０．
１１倍、第２結像系の結像倍率を２．２６倍として全体
として０．２５倍の縮小系の縮小結像光学系を構成して
いる。
１１倍、第２結像系の結像倍率を２．２６倍として全体
として０．２５倍の縮小系の縮小結像光学系を構成して
いる。
【００１８】このように一方の結像系を拡大系、他方の
結像系を縮小系とし、全体的に縮小系となるように構成
することにより、各々の結像系で発生する軸外球面収
差、コマ収差、歪曲収差等の諸収差の補正を良好に行
い、簡易な構成にもかかわらず、大口径比の縮小結像光
学系を容易に達成している。
結像系を縮小系とし、全体的に縮小系となるように構成
することにより、各々の結像系で発生する軸外球面収
差、コマ収差、歪曲収差等の諸収差の補正を良好に行
い、簡易な構成にもかかわらず、大口径比の縮小結像光
学系を容易に達成している。
【００１９】尚本実施例において軸外球面収差、コマ収
差そして色収差の補正を更に良好に行い、より高解像力
の縮小系を達成するにはレンズＬ11を凹面鏡Ｍ13側に凹
面を向けたメニスカス形状のレンズで、又レンズ
Ｌ21 ，Ｌ22 ，Ｌ21′，Ｌ22′をいずれも凹面鏡Ｍ21側
に凸面を向けたメニスカス形状のレンズで構成するのが
好ましい。
差そして色収差の補正を更に良好に行い、より高解像力
の縮小系を達成するにはレンズＬ11を凹面鏡Ｍ13側に凹
面を向けたメニスカス形状のレンズで、又レンズ
Ｌ21 ，Ｌ22 ，Ｌ21′，Ｌ22′をいずれも凹面鏡Ｍ21側
に凸面を向けたメニスカス形状のレンズで構成するのが
好ましい。
【００２０】又レンズＬ11とレンズＬ21 、レンズ
Ｌ21′を正の屈折力、レンズＬ22 、レンズＬ22′を負
の屈折力のレンズで構成するのが良好なる収差補正を達
成するのに好ましい。
Ｌ21′を正の屈折力、レンズＬ22 、レンズＬ22′を負
の屈折力のレンズで構成するのが良好なる収差補正を達
成するのに好ましい。
【００２１】本実施例ではレンズＬ21とレンズＬ21′を
同一のレンズで、又レンズＬ22とレンズＬ22′を同一の
レンズで各々構成した場合を示したが、各レンズを別々
のレンズで構成しても良く、これによれば自由度が増
し、より良好に収差補正を達成することができる。又レ
ンズＬ11を２枚以上のメニスカス形状のレンズで構成し
ても本発明の目的を達成することができる。
同一のレンズで、又レンズＬ22とレンズＬ22′を同一の
レンズで各々構成した場合を示したが、各レンズを別々
のレンズで構成しても良く、これによれば自由度が増
し、より良好に収差補正を達成することができる。又レ
ンズＬ11を２枚以上のメニスカス形状のレンズで構成し
ても本発明の目的を達成することができる。
【００２２】又本実施例においては物点Ｐ1 からの主光
線が凸面鏡Ｍ12と凹面鏡Ｍ13との間及び凹面鏡Ｍ21とレ
ンズＬ22′との間で各々光軸と交わるように構成し、光
学系全体を小型にし、しかも光束のケラレを少なくしつ
つ高性能な縮小結像光学系を達成している。
線が凸面鏡Ｍ12と凹面鏡Ｍ13との間及び凹面鏡Ｍ21とレ
ンズＬ22′との間で各々光軸と交わるように構成し、光
学系全体を小型にし、しかも光束のケラレを少なくしつ
つ高性能な縮小結像光学系を達成している。
【００２３】本実施例では後述するように各レンズをＳ
ｉＯ2 より構成する場合を示すが、短波長側で透過率の
良いＣａＦ2 等を用いても良い。
ｉＯ2 より構成する場合を示すが、短波長側で透過率の
良いＣａＦ2 等を用いても良い。
【００２４】次に第１図に示す実施例の数値実施例を示
す。Ｒｉは物点Ｐ1 から光の進行順に数えて第ｉ番目の
反射鏡及びレンズ面の曲率半径、Ｄｉは物点Ｐ1 から光
の進行順に数えて第ｉ番目と第ｉ＋１番目のレンズ厚及
び空気間隔、ＳｉＯ2 は石英ガラスである。空気間隔及
び屈折率は光の進行方向左方から右方に測ったときを
正、その逆を負として示している。
す。Ｒｉは物点Ｐ1 から光の進行順に数えて第ｉ番目の
反射鏡及びレンズ面の曲率半径、Ｄｉは物点Ｐ1 から光
の進行順に数えて第ｉ番目と第ｉ＋１番目のレンズ厚及
び空気間隔、ＳｉＯ2 は石英ガラスである。空気間隔及
び屈折率は光の進行方向左方から右方に測ったときを
正、その逆を負として示している。
【００２５】数値実施例 ＮＡ＝０．２５ スリット幅 １．５ｍｍ 倍率
１／４
１／４
【００２６】
【表１】
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、縮小結像光学系の屈折
光学部材を光透過率の良い単一の硝材により構成し、前
記屈折光学部材によりコマ収差を補正せしめることを特
徴としており、これにより縮小結像光学系の光学特性の
変化を小さくしつつ鮮明なパターン像を形成している。
光学部材を光透過率の良い単一の硝材により構成し、前
記屈折光学部材によりコマ収差を補正せしめることを特
徴としており、これにより縮小結像光学系の光学特性の
変化を小さくしつつ鮮明なパターン像を形成している。
【図１】 本発明の数値実施例の光学断面図
【図２】 本発明の数値実施例の収差図
Ａ サジタル像面 Ｂ メリディオナル像面 Ｙ0 物高 Ｐ1 第１物点 Ｐ2 第２物点 Ｐ1 ′ 第１像点 Ｐ2 ′ 第２像点
Claims (10)
- 【請求項１】 縮小結像光学系により回路パターンを被
露光体上に縮小して結像せしめる工程を含む回路の製造
方法において、前記縮小結像光学系の屈折光学部材を光
透過率の良い単一の硝材により構成し、前記屈折光学部
材によりコマ収差を補正せしめることを特徴とする回路
の製造方法。 - 【請求項２】 前記縮小結像光学系は凹面鏡を備えるこ
とを特徴とする請求項１の回路の製造方法。 - 【請求項３】 前記縮小結像光学系の視野をスリット状
に制限することを特徴とする請求項１又は２の回路の製
造方法。 - 【請求項４】 前記硝材がＳｉＯ2 を備えることを特徴
とする請求項１，２又は３の回路の製造方法。 - 【請求項５】 前記硝材がＣａＦ2 を備えることを特徴
とする請求項１，２又は３の回路の製造方法。 - 【請求項６】 縮小結像光学系によりマスクパターンを
被露光体上に縮小して結像せしめる露光装置において、
前記縮小結像光学系は光透過率の良い単一の硝材により
構成した屈折光学部材を備え、前記屈折光学部材により
コマ収差を補正することを特徴とする露光装置。 - 【請求項７】 前記縮小結像光学系は凹面鏡を備えるこ
とを特徴とする請求項６の露光装置。 - 【請求項８】 前記縮小結像光学系の視野をスリット状
に制限することを特徴とする請求項６又は７の露光装
置。 - 【請求項９】 前記硝材がＳｉＯ2 を備えることを特徴
とする請求項６，７又は８の露光装置。 - 【請求項１０】 前記硝材がＣａＦ2 を備えることを特
徴とする請求項６，７又は８の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7000794A JPH07109820B2 (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 回路の製造方法及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7000794A JPH07109820B2 (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 回路の製造方法及び露光装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59280573A Division JPS61156737A (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 回路の製造方法及び露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0774090A true JPH0774090A (ja) | 1995-03-17 |
| JPH07109820B2 JPH07109820B2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=13419124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7000794A Expired - Lifetime JPH07109820B2 (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 回路の製造方法及び露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07109820B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001011425A1 (en) * | 1999-08-04 | 2001-02-15 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Rear surface projection type display device |
-
1994
- 1994-03-14 JP JP7000794A patent/JPH07109820B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001011425A1 (en) * | 1999-08-04 | 2001-02-15 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Rear surface projection type display device |
| US6752500B1 (en) | 1999-08-04 | 2004-06-22 | Sanyo Electric Co., Ltd | Rear surface projection type display device |
| KR100726921B1 (ko) * | 1999-08-04 | 2007-06-14 | 산요덴키가부시키가이샤 | 배면 투사형 표시 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07109820B2 (ja) | 1995-11-22 |
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