JPH0775241B2 - ワイヤボンディング方法及びその装置 - Google Patents
ワイヤボンディング方法及びその装置Info
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- JPH0775241B2 JPH0775241B2 JP63052883A JP5288388A JPH0775241B2 JP H0775241 B2 JPH0775241 B2 JP H0775241B2 JP 63052883 A JP63052883 A JP 63052883A JP 5288388 A JP5288388 A JP 5288388A JP H0775241 B2 JPH0775241 B2 JP H0775241B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体製造工程において利用されるワイヤボン
ディング方法及びその装置に関する。
ディング方法及びその装置に関する。
従来の技術 一般にワイヤボンディング装置においては、第６図に示
すようにワイヤ21を挿通されるとともに先端部にてワイ
ヤ21を被ボンディング部に押し付けて両者を接合するキ
ャピラリ22と、ワイヤ21を挟持して固定するクランパ23
と、ワイヤ先端との間にスパークを生じさせてワイヤ先
端を溶融し、ボールを形成する電気トーチ25とを備えて
おり、第６図（ａ）に示すように、キャピラリ22が上昇
位置にあってワイヤ21の先端にボール21aが形成されか
つクランパ23が開いた状態から、キャピラリ22を矢印の
如く下降させて基板26上の半導体27に形成された電極に
ワイヤの先端をボンディングして第１ボンディング部28
を形成し、次にキャピラリ22を上昇させるとともに、基
板26を相対移動させた後、再びキャピラリ22を下降さ
せ、第６図（ｂ）に示すように、基板26上の電極にワイ
ヤ21をボンディングして第２ボンディング部29を形成
し、その後第６図（ｃ）に示す如くキャピラリ22を適当
距離上昇させた後、ワイヤ21をクランパ23で挟み、その
後キャピラリ22とクランパ23をともに上昇させてワイヤ
21を第２ボンディング部29で切断し、次に第６図（ｄ）
に示す如くキャピラリ22を上昇位置まで上昇させ、側方
に待機していた電気トーチ25をキャピラリ22の下方位置
に移動させ、突出したワイヤ21の先端と電気トーチ25と
の間でスパークを生じさせてワイヤ先端にボール21aを
形成するという一連の動作を繰り返すことによって順次
ワイヤボンディングを行っている。
すようにワイヤ21を挿通されるとともに先端部にてワイ
ヤ21を被ボンディング部に押し付けて両者を接合するキ
ャピラリ22と、ワイヤ21を挟持して固定するクランパ23
と、ワイヤ先端との間にスパークを生じさせてワイヤ先
端を溶融し、ボールを形成する電気トーチ25とを備えて
おり、第６図（ａ）に示すように、キャピラリ22が上昇
位置にあってワイヤ21の先端にボール21aが形成されか
つクランパ23が開いた状態から、キャピラリ22を矢印の
如く下降させて基板26上の半導体27に形成された電極に
ワイヤの先端をボンディングして第１ボンディング部28
を形成し、次にキャピラリ22を上昇させるとともに、基
板26を相対移動させた後、再びキャピラリ22を下降さ
せ、第６図（ｂ）に示すように、基板26上の電極にワイ
ヤ21をボンディングして第２ボンディング部29を形成
し、その後第６図（ｃ）に示す如くキャピラリ22を適当
距離上昇させた後、ワイヤ21をクランパ23で挟み、その
後キャピラリ22とクランパ23をともに上昇させてワイヤ
21を第２ボンディング部29で切断し、次に第６図（ｄ）
に示す如くキャピラリ22を上昇位置まで上昇させ、側方
に待機していた電気トーチ25をキャピラリ22の下方位置
に移動させ、突出したワイヤ21の先端と電気トーチ25と
の間でスパークを生じさせてワイヤ先端にボール21aを
形成するという一連の動作を繰り返すことによって順次
ワイヤボンディングを行っている。
ところで、上記第２ボンディング部29を形成したときに
ワイヤ21が切れてしまうことがあり、その場合は、第７
図（ａ）に示すように、キャピラリ22を適当距離上昇さ
えてもワイヤ21が一緒に上昇してその先端がキャピラリ
22の先端から突出しない。そのため、第７図（ｂ）に示
すように、キャピラリ22をそのまま上昇位置まで上昇さ
せてもワイヤ21の先端と電気トーチ25との間でスパーク
が生じず、ボール21aは形成されず、その状態で装置は
停止する。
ワイヤ21が切れてしまうことがあり、その場合は、第７
図（ａ）に示すように、キャピラリ22を適当距離上昇さ
えてもワイヤ21が一緒に上昇してその先端がキャピラリ
22の先端から突出しない。そのため、第７図（ｂ）に示
すように、キャピラリ22をそのまま上昇位置まで上昇さ
せてもワイヤ21の先端と電気トーチ25との間でスパーク
が生じず、ボール21aは形成されず、その状態で装置は
停止する。
このようにボール21aが形成されずに装置が停止し場
合、正常動作に復帰させるには、作業者がワイヤ21をピ
ンセット等で挟んでキャピラリ22に押し込むことによ
り、第８図（ａ）に示すように、キャピラリ22の先端か
らワイヤ21を突出させてその先端21bを折り曲げ、次に
キャピラリ22を下降させて基板26の空き空間に、第８図
（ｂ）に示すように、第２ボンディング部29に対応する
捨てボンディング部30を形成し、その後キャピラリ22を
適当距離上昇させてワイヤ21を切断した後、キャピラリ
22を上昇位置まで上昇させ、ワイヤ21の先端と電気トー
チ25との間にスパークを生じさせてボール21aを形成し
ていた。
合、正常動作に復帰させるには、作業者がワイヤ21をピ
ンセット等で挟んでキャピラリ22に押し込むことによ
り、第８図（ａ）に示すように、キャピラリ22の先端か
らワイヤ21を突出させてその先端21bを折り曲げ、次に
キャピラリ22を下降させて基板26の空き空間に、第８図
（ｂ）に示すように、第２ボンディング部29に対応する
捨てボンディング部30を形成し、その後キャピラリ22を
適当距離上昇させてワイヤ21を切断した後、キャピラリ
22を上昇位置まで上昇させ、ワイヤ21の先端と電気トー
チ25との間にスパークを生じさせてボール21aを形成し
ていた。
発明が解決しようとする課題 ところで、上記のように正常動作に復帰する時には、ワ
イヤ21をキャピラリ22に押し込む必要があるが、その際
数10μｍ程度の細さのワイヤ21をピンセットでつまんで
作業を行うために、第９図に示すように、ワイヤ21の曲
がり21cを生じ易く、曲がり21cによってワイヤ21がキャ
ピラリ22の通孔22aに引っ掛かることがある等、作業が
難しく、時間を要するという問題があった。また、この
ような微妙な作業を必要とするため、正常動作への自動
復帰ができず、人手を要するとともに復帰まで時間がか
かって能率が悪く、また夜間に無人作業を行っている場
合にはワイヤボンディング装置は停止したままになる等
の問題があった。
イヤ21をキャピラリ22に押し込む必要があるが、その際
数10μｍ程度の細さのワイヤ21をピンセットでつまんで
作業を行うために、第９図に示すように、ワイヤ21の曲
がり21cを生じ易く、曲がり21cによってワイヤ21がキャ
ピラリ22の通孔22aに引っ掛かることがある等、作業が
難しく、時間を要するという問題があった。また、この
ような微妙な作業を必要とするため、正常動作への自動
復帰ができず、人手を要するとともに復帰まで時間がか
かって能率が悪く、また夜間に無人作業を行っている場
合にはワイヤボンディング装置は停止したままになる等
の問題があった。
また、新たにワイヤ21をキャピラリ22に通す場合には、
極細のワイヤをピンセットで延ばしてキャピラリ22の細
い通孔22aに通さねばならないため、一層困難な手作業
を要するという問題があった。
極細のワイヤをピンセットで延ばしてキャピラリ22の細
い通孔22aに通さねばならないため、一層困難な手作業
を要するという問題があった。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、キャピラリにワイヤ
を簡単に通すことができ、またワイヤ切れによりボール
形成エラーが生じた場合にも自動復帰できるワイヤボン
ディング方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
を簡単に通すことができ、またワイヤ切れによりボール
形成エラーが生じた場合にも自動復帰できるワイヤボン
ディング方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するため、キャピラリからワイ
ヤを導出する際に、キャピラリの先端開口から吸引する
ことを特徴とする。その際好ましくは、キャピラリに超
音波を印加する。
ヤを導出する際に、キャピラリの先端開口から吸引する
ことを特徴とする。その際好ましくは、キャピラリに超
音波を印加する。
また、キャピラリ内にワイヤを残してワイヤ切れが発生
したときには、吸引手段をキャピラリの先端に対向位置
させて吸引することによってキャピラリの先端からワイ
ヤ先端を突出させた後、吸引手段をキャピラリの軸心方
向に対して交差する方向に移動させてワイヤ先端を折り
曲げ、その後捨てボンディングを行うことによって正常
動作に復帰する。ワイヤ先端を折り曲げる代わりに、突
出したワイヤ先端にスパークを発生させてボールを形成
してもよい。
したときには、吸引手段をキャピラリの先端に対向位置
させて吸引することによってキャピラリの先端からワイ
ヤ先端を突出させた後、吸引手段をキャピラリの軸心方
向に対して交差する方向に移動させてワイヤ先端を折り
曲げ、その後捨てボンディングを行うことによって正常
動作に復帰する。ワイヤ先端を折り曲げる代わりに、突
出したワイヤ先端にスパークを発生させてボールを形成
してもよい。
また、キャピラリにワイヤを通してワイヤボンディング
動作を開始する場合にも、キャピラリの基端開口にワイ
ヤ先端を位置させ、上記と同様に吸引してワイヤを通
し、動作を開始する。
動作を開始する場合にも、キャピラリの基端開口にワイ
ヤ先端を位置させ、上記と同様に吸引してワイヤを通
し、動作を開始する。
さらに、本発明のワイヤボンディング装置は、ワイヤの
供給手段と、ワイヤを固定するクランパと、ワイヤを挿
通するキャピラリと、キャピラリ先端を被ボンディング
部に押し付けるようにキャピラリを移動する手段と、キ
ャピラリに超音波を印加する手段と、キャピラリ先端か
ら突出したワイヤ先端と間隔をあけて対向する位置と退
避した位置との間で移動可能な電気トーチと、キャピラ
リの先端に対向する位置と退避した位置との間で移動可
能な吸引手段とを備えたことを特徴とする。
供給手段と、ワイヤを固定するクランパと、ワイヤを挿
通するキャピラリと、キャピラリ先端を被ボンディング
部に押し付けるようにキャピラリを移動する手段と、キ
ャピラリに超音波を印加する手段と、キャピラリ先端か
ら突出したワイヤ先端と間隔をあけて対向する位置と退
避した位置との間で移動可能な電気トーチと、キャピラ
リの先端に対向する位置と退避した位置との間で移動可
能な吸引手段とを備えたことを特徴とする。
前記吸引手段は、好ましくはキャピラリの先端に対向す
る端部から軸心方向に適当長さ沿った後略直交方向に屈
曲する吸引通路を備えている。
る端部から軸心方向に適当長さ沿った後略直交方向に屈
曲する吸引通路を備えている。
作用 本発明は上記構成を有するので、キャピラリからワイヤ
を導出するときにキャピラリの先端開口から吸引する
と、吸引気流とともにワイヤが引き出されることによっ
て極めて容易にワイヤをキャピラリ先端から突出させる
ことができ、そのときキャピラリに超音波を印加する
と、キャピラリとワイヤとの間に作用する摩擦力が著し
く軽減され、ワイヤを極めて容易に引き出すことができ
る。
を導出するときにキャピラリの先端開口から吸引する
と、吸引気流とともにワイヤが引き出されることによっ
て極めて容易にワイヤをキャピラリ先端から突出させる
ことができ、そのときキャピラリに超音波を印加する
と、キャピラリとワイヤとの間に作用する摩擦力が著し
く軽減され、ワイヤを極めて容易に引き出すことができ
る。
また、吸引手段でキャピラリ先端からワイヤ先端を突出
させた後、その吸引手段の退避移動にてワイヤの先端部
を曲げることによって、以降捨てボンディング等の従来
と同様の過程を経て正常動作に復帰することができ、正
常動作への自動復帰が可能である。
させた後、その吸引手段の退避移動にてワイヤの先端部
を曲げることによって、以降捨てボンディング等の従来
と同様の過程を経て正常動作に復帰することができ、正
常動作への自動復帰が可能である。
また、キャピラリから突出したワイヤ先端にスパークに
て直接ボールを形成することによっても正常動作に復帰
できる。
て直接ボールを形成することによっても正常動作に復帰
できる。
さらに、キャピラリにワイヤを通す場合にもワイヤ先端
をキャピラリの基端開口に位置させると、上記と同様に
自動的に正常動作に入ることができる。
をキャピラリの基端開口に位置させると、上記と同様に
自動的に正常動作に入ることができる。
又、上記構成の装置によれば、従来装置に移動可能な吸
引手段を設けただけの構成で、上記方法を実施してボー
ル形成エラー時の自動復帰やキャピラリに対するワイヤ
通しの容易化を図ることができる。また、吸引手段に屈
曲した吸引通路を形成することによってキャピラリから
のワイヤ先端の突出量を一定化でき、上記動作、特にボ
ール形成動作が安定する。
引手段を設けただけの構成で、上記方法を実施してボー
ル形成エラー時の自動復帰やキャピラリに対するワイヤ
通しの容易化を図ることができる。また、吸引手段に屈
曲した吸引通路を形成することによってキャピラリから
のワイヤ先端の突出量を一定化でき、上記動作、特にボ
ール形成動作が安定する。
実施例 以下、本発明の第１実施例を第１図及び第２図を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
第１図において、ワイヤ１はワイヤ供給手段２から供給
され、ガイド３、クランパ４を経てキャピラリ５に挿通
されている。キャピラリ５は超音波ホーン６の先端部に
固定されており、この超音波ホーン６は図示しない移動
手段にて上下移動可能に支持されている。キャピラリ５
が上昇位置にある状態で、このキャピラリ５から突出し
たワイヤ１先端の下方に適当間隔あけて対向する位置と
側方に退避した位置との間で移動可能な電気トーチ７が
設けられ、ワイヤリング終了後にワイヤ１の先端との間
にスパークを生じさせ、ワイヤ１の先端を溶融してボー
ル1aを形成できるように構成されている。また、図示し
ない真空源に接続された吸引管８が可動部材９に取付け
られ、吸引管８の一端開口8aがキャピラリ５の先端5aに
近接して対向する位置と側方に退避した位置との間で移
動可能に構成されている。10は可動部材を駆動するシリ
ンダ装置である。また、吸引管８は、その一端開口8aか
ら適当な長さだけキャピラリ５の軸心方向と同一方向に
沿った後垂直に屈曲されたＬ字状に形成されている。
され、ガイド３、クランパ４を経てキャピラリ５に挿通
されている。キャピラリ５は超音波ホーン６の先端部に
固定されており、この超音波ホーン６は図示しない移動
手段にて上下移動可能に支持されている。キャピラリ５
が上昇位置にある状態で、このキャピラリ５から突出し
たワイヤ１先端の下方に適当間隔あけて対向する位置と
側方に退避した位置との間で移動可能な電気トーチ７が
設けられ、ワイヤリング終了後にワイヤ１の先端との間
にスパークを生じさせ、ワイヤ１の先端を溶融してボー
ル1aを形成できるように構成されている。また、図示し
ない真空源に接続された吸引管８が可動部材９に取付け
られ、吸引管８の一端開口8aがキャピラリ５の先端5aに
近接して対向する位置と側方に退避した位置との間で移
動可能に構成されている。10は可動部材を駆動するシリ
ンダ装置である。また、吸引管８は、その一端開口8aか
ら適当な長さだけキャピラリ５の軸心方向と同一方向に
沿った後垂直に屈曲されたＬ字状に形成されている。
また、図示は省略したがキャピラリ５の下方には、水平
面上で互いに直交するＸ方向とＹ方向に位置決め可能な
Ｘ−Ｙテーブルが配設され、ワイヤボンディングすべき
半導体等を装着された基板が固定支持されている。
面上で互いに直交するＸ方向とＹ方向に位置決め可能な
Ｘ−Ｙテーブルが配設され、ワイヤボンディングすべき
半導体等を装着された基板が固定支持されている。
以上の構成のワイヤボンディング装置を用いた正常なワ
イヤボンディング工程は、従来例で第６図により説明し
た通りであり、説明は省略する。
イヤボンディング工程は、従来例で第６図により説明し
た通りであり、説明は省略する。
次に、第７図に示したように、第２ボンディング時にワ
イヤ切れを生じた場合の復帰工程を第２図を参照しなが
ら説明する。
イヤ切れを生じた場合の復帰工程を第２図を参照しなが
ら説明する。
第２ボンディング部の形成時にワイヤ切れを生じて、第
２図（ａ）に示すようにキャピラリ５からワイヤ１の先
端が突出しない状態でキャピラリ２が上昇位置に上昇し
た場合、第２図（ｂ）に示すように吸引管８の一端8aを
キャピラリ５の先端5aに対向させ、真空源を作動させて
クランパ４を開き、一定時間吸引する。また、そのとき
キャピラリ５に超音波を印加する。すると、第２図
（ｃ）に示すように、ワイヤ１はキャピラリ５の内壁と
の摩擦力が軽減され、吸引気流とともに吸引されて移動
し、ワイヤ１の先端部が吸引管８内に引き込まれる。こ
のとき、吸引管８はＬ字状に形成されているので、ワイ
ヤ１の先端はその屈曲部まで吸引されて停止する。その
後、第２図（ｄ）に示すように、吸引管８を側方に移動
させると、ワイヤ１の先端部が曲げられ、ワイヤの抜け
出しが防止される。その後は、第８図（ａ）、（ｂ）に
示したように従来例と同様に捨てボンディングを行っ
て、正常なボンディング動作に復帰することができる。
２図（ａ）に示すようにキャピラリ５からワイヤ１の先
端が突出しない状態でキャピラリ２が上昇位置に上昇し
た場合、第２図（ｂ）に示すように吸引管８の一端8aを
キャピラリ５の先端5aに対向させ、真空源を作動させて
クランパ４を開き、一定時間吸引する。また、そのとき
キャピラリ５に超音波を印加する。すると、第２図
（ｃ）に示すように、ワイヤ１はキャピラリ５の内壁と
の摩擦力が軽減され、吸引気流とともに吸引されて移動
し、ワイヤ１の先端部が吸引管８内に引き込まれる。こ
のとき、吸引管８はＬ字状に形成されているので、ワイ
ヤ１の先端はその屈曲部まで吸引されて停止する。その
後、第２図（ｄ）に示すように、吸引管８を側方に移動
させると、ワイヤ１の先端部が曲げられ、ワイヤの抜け
出しが防止される。その後は、第８図（ａ）、（ｂ）に
示したように従来例と同様に捨てボンディングを行っ
て、正常なボンディング動作に復帰することができる。
なお、以上の動作は人手による作業を必要としないの
で、ワイヤ切れによるボール形成エラーを検出すると、
以上の動作を自動的に行うように構成することによって
自動復帰が可能である。
で、ワイヤ切れによるボール形成エラーを検出すると、
以上の動作を自動的に行うように構成することによって
自動復帰が可能である。
上記実施例では、第２ボンディング時のワイヤ切れによ
ってボール形成エラーを発生した場合の復帰動作の例を
示したが、次に本発明をキャピラリ５にワイヤ１を新た
に挿通する場合に適用した第２実施例を第３図により説
明する。
ってボール形成エラーを発生した場合の復帰動作の例を
示したが、次に本発明をキャピラリ５にワイヤ１を新た
に挿通する場合に適用した第２実施例を第３図により説
明する。
この場合、第３図（ａ）に示すように、ワイヤ１の先端
部をピンセット11でつまみ、第３図（ｂ）に示すよう
に、ワイヤ１の先端をキャピラリ５の基端開口5bに位置
させるとともに、吸引管８の一端8aをキャピラリ５の先
端5aに対向させ、真空源を作動させて一定時間吸引し、
キャピラリ５に超音波を印加する。すると、第３図
（ｃ）に示すように、ワイヤ１はキャピラリ５の内壁と
の摩擦力が軽減され、吸引気流にてキャピラリ５内に吸
引され、さらにその先端部が吸引管８内に引き込まれ
る。以下、第３図（ｄ）に示すように、第２図の場合と
同様にワイヤ１の先端を屈曲させることによって、ワイ
ヤ１の挿通は完了する。
部をピンセット11でつまみ、第３図（ｂ）に示すよう
に、ワイヤ１の先端をキャピラリ５の基端開口5bに位置
させるとともに、吸引管８の一端8aをキャピラリ５の先
端5aに対向させ、真空源を作動させて一定時間吸引し、
キャピラリ５に超音波を印加する。すると、第３図
（ｃ）に示すように、ワイヤ１はキャピラリ５の内壁と
の摩擦力が軽減され、吸引気流にてキャピラリ５内に吸
引され、さらにその先端部が吸引管８内に引き込まれ
る。以下、第３図（ｄ）に示すように、第２図の場合と
同様にワイヤ１の先端を屈曲させることによって、ワイ
ヤ１の挿通は完了する。
さらに、以上の実施例ではキャピラリ５から突出させた
ワイヤ１の先端部を折り曲げて捨てボンディングを行う
例を示したが、電気トーチ７にてボール1aを形成するこ
ともできる。
ワイヤ１の先端部を折り曲げて捨てボンディングを行う
例を示したが、電気トーチ７にてボール1aを形成するこ
ともできる。
即ち、第２図の実施例に対応する第４図において、第４
図（ｃ）に示すように、吸引管８内にワイヤ１の先端部
を引き込んだ状態から、クランパ４を矢印の如く閉じて
ワイヤ１を固定するとともに、吸引管８を一旦下方に移
動させた後側方に移動させることによって、ワイヤ１の
先端部を曲げずに退避させ、その後第４図（ｄ）に示す
ようにワイヤ１の先端に電気トーチ７を対向させてスパ
ークを発生させ、ボール1aを形成する。
図（ｃ）に示すように、吸引管８内にワイヤ１の先端部
を引き込んだ状態から、クランパ４を矢印の如く閉じて
ワイヤ１を固定するとともに、吸引管８を一旦下方に移
動させた後側方に移動させることによって、ワイヤ１の
先端部を曲げずに退避させ、その後第４図（ｄ）に示す
ようにワイヤ１の先端に電気トーチ７を対向させてスパ
ークを発生させ、ボール1aを形成する。
この方法は、キャピラリ５にワイヤ１を新たに挿通する
場合も同様に適用できる。即ち、第３図の実施例に対応
する第５図に示すように、第４図の場合と同様にボール
1aを形成することができる。
場合も同様に適用できる。即ち、第３図の実施例に対応
する第５図に示すように、第４図の場合と同様にボール
1aを形成することができる。
発明の効果 本発明のワイヤボンディング方法によれば、以上のよう
にキャピラリからワイヤを導出するときにキャピラリの
先端開口から吸引することによって、吸引気流とともに
ワイヤを引き出して極めて容易にワイヤをキャピラリ先
端から突出させることができる。
にキャピラリからワイヤを導出するときにキャピラリの
先端開口から吸引することによって、吸引気流とともに
ワイヤを引き出して極めて容易にワイヤをキャピラリ先
端から突出させることができる。
また、そのときキャピラリに超音波を印加すると、キャ
ピラリとワイヤとの間に作用する摩擦力が著しく軽減さ
れ、ワイヤを極めて容易に引き出すことができる。
ピラリとワイヤとの間に作用する摩擦力が著しく軽減さ
れ、ワイヤを極めて容易に引き出すことができる。
また、吸引手段でキャピラリ先端からワイヤ先端を突出
させた後、その吸引手段の退避移動にてワイヤの先端部
を曲げることによって、以降捨てボンディング等の従来
と同様の過程を経て正常動作に復帰することができ、正
常動作への自動復帰が可能となる。
させた後、その吸引手段の退避移動にてワイヤの先端部
を曲げることによって、以降捨てボンディング等の従来
と同様の過程を経て正常動作に復帰することができ、正
常動作への自動復帰が可能となる。
また、キャピラリから突出したワイヤ先端にスパークに
て直接ボールを形成することによって正常動作に復帰で
き、さらに簡単な工程で自動復帰が可能となる。
て直接ボールを形成することによって正常動作に復帰で
き、さらに簡単な工程で自動復帰が可能となる。
さらに、キャピラリにワイヤを通す場合にもワイヤ先端
をキャピラリの基端開口に位置させることによって、上
記と同様に自動的に正常動作に入ることができる。
をキャピラリの基端開口に位置させることによって、上
記と同様に自動的に正常動作に入ることができる。
又、本発明のワイヤボンディング装置によれば、従来装
置に移動可能な吸引手段を設けただけの構成で、上記方
法を実施してボール形成エラー時の自動復帰やキャピラ
リに対するワイヤ通しの容易化を図ることができる。
置に移動可能な吸引手段を設けただけの構成で、上記方
法を実施してボール形成エラー時の自動復帰やキャピラ
リに対するワイヤ通しの容易化を図ることができる。
また、吸引手段に屈曲した吸引通路を形成したことによ
って、キャピラリからのワイヤ先端の突出量を一定化で
き、上記動作、特にボール形成動作を安定化できる等、
大なる効果を発揮する。
って、キャピラリからのワイヤ先端の突出量を一定化で
き、上記動作、特にボール形成動作を安定化できる等、
大なる効果を発揮する。
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示し、第１図は
要部の概略構成図、第２図（ａ）〜（ｄ）は動作説明
図、第３図（ａ）〜（ｄ）は第２実施例の動作説明図、
第４図（ａ）〜（ｄ）は第３実施例の動作説明図、第５
図（ａ）〜（ｄ）は第４実施例の動作説明図、第６図
（ａ）〜（ｄ）は正常なボンディング工程の動作説明
図、第７図（ａ）、（ｂ）はワイヤ切れを生じた状態の
説明図、第８図（ａ）、（ｂ）は正常動作への復帰動作
説明図、第９図は従来例の問題点を説明するキャピラリ
の縦断面図である。 １……ワイヤ 1a……ボール ２……ワイヤ供給手段 ４……クランパ ５……キャピラリ ６……超音波ホーン ７……電気トーチ ８……吸引管。
要部の概略構成図、第２図（ａ）〜（ｄ）は動作説明
図、第３図（ａ）〜（ｄ）は第２実施例の動作説明図、
第４図（ａ）〜（ｄ）は第３実施例の動作説明図、第５
図（ａ）〜（ｄ）は第４実施例の動作説明図、第６図
（ａ）〜（ｄ）は正常なボンディング工程の動作説明
図、第７図（ａ）、（ｂ）はワイヤ切れを生じた状態の
説明図、第８図（ａ）、（ｂ）は正常動作への復帰動作
説明図、第９図は従来例の問題点を説明するキャピラリ
の縦断面図である。 １……ワイヤ 1a……ボール ２……ワイヤ供給手段 ４……クランパ ５……キャピラリ ６……超音波ホーン ７……電気トーチ ８……吸引管。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 甲斐野 真次 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 佃 猛郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】ワイヤを挿通したキャピラリの先端部に
て、このキャピラリから導出されたワイヤを被ボンディ
ング部に押し付けるとともに超音波を印加してボンディ
ングするワイヤボンディング方法において、キャピラリ
からワイヤを導出する際に、キャピラリの先端開口から
吸引することを特徴とするワイヤボンディング方法。 - 【請求項２】キャピラリからワイヤを導出する際に、キ
ャピラリに超音波を印加する請求項１記載のワイヤボン
ディング方法。 - 【請求項３】キャピラリ内にワイヤを残してワイヤ切れ
が発生したとき、吸引手段をキャピラリの先端に対向位
置させて吸引することによってキャピラリの先端からワ
イヤ先端を突出させ、吸引手段をキャピラリの軸心方向
に対して交差する方向に移動させてワイヤ先端を折り曲
げ、その後捨てボンディングを行って正常動作に復帰す
る請求項１又は２記載のワイヤボンディング方法。 - 【請求項４】キャピラリ内にワイヤを残してワイヤ切れ
が発生したとき、吸引手段をキャピラリの先端に対向位
置させて吸引することによってキャピラリの先端からワ
イヤ先端を突出させ、吸引手段をキャピラリの軸心方向
に移動させて退避させ、ワイヤ先端との間にスパークを
発生させてボールを形成し、正常動作に復帰する請求項
１又は２記載のワイヤボンディング方法。 - 【請求項５】キャピラリの基端開口にワイヤ先端を位置
させ、吸引手段をキャピラリの先端に対向位置させて吸
引することによってワイヤをキャピラリに通すとともに
キャピラリの先端からワイヤ先端を突出させ、吸引手段
をキャピラリの軸心方向に対して交差する方向に移動さ
せてワイヤ先端を折り曲げ、その後捨てボンディングを
行って動作を開始する請求項１又は２記載のワイヤボン
ディング方法。 - 【請求項６】キャピラリの基端開口にワイヤ先端を位置
させ、吸引手段をキャピラリの先端に対向位置させて吸
引することによってワイヤをキャピラリに通すとともに
キャピラリの先端からワイヤ先端を突出させ、吸引手段
をキャピラリの軸心方向に移動させて退避させ、ワイヤ
先端との間にスパークを発生させてボールを形成し、動
作を開始する請求項１又は２記載のワイヤボンディング
方法。 - 【請求項７】ワイヤの供給手段と、ワイヤを固定するク
ランパと、ワイヤを挿通するキャピラリと、キャピラリ
先端を被ボンディング部に押し付けるようにキャピラリ
を移動する手段と、キャピラリに超音波に印加する手段
と、キャピラリ先端から突出したワイヤ先端と間隔をあ
けて対向する位置と退避した位置との間で移動可能な電
気トーチと、キャピラリの先端に対向する位置と退避し
た位置との間で移動可能な吸引手段とを備えたことを特
徴とするワイヤボンディング装置。 - 【請求項８】吸引手段は、キャピラリの先端に対向する
端部から軸心方向に適当長さ沿った後略直交方向に屈曲
する吸引通路を備えている請求項７記載のワイヤボンデ
ィング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63052883A JPH0775241B2 (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | ワイヤボンディング方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63052883A JPH0775241B2 (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | ワイヤボンディング方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01226163A JPH01226163A (ja) | 1989-09-08 |
| JPH0775241B2 true JPH0775241B2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=12927278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63052883A Expired - Fee Related JPH0775241B2 (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | ワイヤボンディング方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0775241B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6270920B2 (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-31 | アオイ電子株式会社 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤ繰り出し機構 |
| CN113702202B (zh) * | 2021-07-29 | 2022-09-16 | 贵研铂业股份有限公司 | 一种测试键合丝热影响区拉伸性能的方法及装置 |
| CN117293049B (zh) * | 2022-06-17 | 2026-02-10 | 广东中科半导体微纳制造技术研究院 | 穿引装置、引线键合仪及其使用方法 |
-
1988
- 1988-03-07 JP JP63052883A patent/JPH0775241B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01226163A (ja) | 1989-09-08 |
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|---|---|---|---|
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