JPH0775358A - サーボモータの制御装置 - Google Patents
サーボモータの制御装置Info
- Publication number
- JPH0775358A JPH0775358A JP5218305A JP21830593A JPH0775358A JP H0775358 A JPH0775358 A JP H0775358A JP 5218305 A JP5218305 A JP 5218305A JP 21830593 A JP21830593 A JP 21830593A JP H0775358 A JPH0775358 A JP H0775358A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- speed
- speed command
- pulse
- command input
- frequency
- Prior art date
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- Pending
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- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 加減速時の速度のオーバーシュートがなく、
かつ高い回転数精度を実現し、速度指令入力信号に対す
るモータの速度の応答の再現性を向上させたサーボモー
タの制御装置を提供する。 【構成】 速度指令入力パルスとエンコーダフィードバ
ックパルスをそれぞれＦ／Ｖ変換した信号を速度誤差ア
ンプに入力する速度ループと、速度指令入力パルスの周
波数が変化していることを検出する速度指令変化検出回
路１と、速度指令パルスとエンコーダフィードバックパ
ルスの差をカウントする偏差カウンタ２と、速度指令入
力パルスの周波数が変化していないときには偏差カウン
タ２の出力をＤ／Ａ変換して速度誤差アンプに入力し、
速度指令パルスの周波数が変化しているときには偏差カ
ウンタ２をクリアするように構成する。
かつ高い回転数精度を実現し、速度指令入力信号に対す
るモータの速度の応答の再現性を向上させたサーボモー
タの制御装置を提供する。 【構成】 速度指令入力パルスとエンコーダフィードバ
ックパルスをそれぞれＦ／Ｖ変換した信号を速度誤差ア
ンプに入力する速度ループと、速度指令入力パルスの周
波数が変化していることを検出する速度指令変化検出回
路１と、速度指令パルスとエンコーダフィードバックパ
ルスの差をカウントする偏差カウンタ２と、速度指令入
力パルスの周波数が変化していないときには偏差カウン
タ２の出力をＤ／Ａ変換して速度誤差アンプに入力し、
速度指令パルスの周波数が変化しているときには偏差カ
ウンタ２をクリアするように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置などに使
用されるサーボモータの制御装置に関する。
用されるサーボモータの制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置に使用されるサーボモー
タの一例として、ウエハーにホトレジストを塗布するス
ピンナー（回転式塗布機）駆動用サーボモータを説明す
る。
タの一例として、ウエハーにホトレジストを塗布するス
ピンナー（回転式塗布機）駆動用サーボモータを説明す
る。
【０００３】スピンナーは高い回転数精度が要求される
ので、サーボモータの制御装置への速度指令入力にはパ
ルス列が用いられる。また、スピンナーは速度指令入力
に対する高い応答性が要求されるので、速度のオーバー
シュートを防ぐために、駆動するサーボモータの制御装
置は位置ループを持たず、速度ループを備えたものが用
いられる。
ので、サーボモータの制御装置への速度指令入力にはパ
ルス列が用いられる。また、スピンナーは速度指令入力
に対する高い応答性が要求されるので、速度のオーバー
シュートを防ぐために、駆動するサーボモータの制御装
置は位置ループを持たず、速度ループを備えたものが用
いられる。
【０００４】制御装置の従来例を図２に示す。パルス列
入力の速度指令パルスをＦ／Ｖ変換した信号と、エンコ
ーダフィードバックパルスをＦ／Ｖ変換した信号の差が
速度誤差アンプに入力される。そして速度誤差アンプの
出力はトルク指令信号となってトルク制御回路に入力さ
れ、トルク制御回路の出力がサーボモータを駆動し、ス
ピンナーは回転してウエハーにはホトレジストがスピン
コートされる。
入力の速度指令パルスをＦ／Ｖ変換した信号と、エンコ
ーダフィードバックパルスをＦ／Ｖ変換した信号の差が
速度誤差アンプに入力される。そして速度誤差アンプの
出力はトルク指令信号となってトルク制御回路に入力さ
れ、トルク制御回路の出力がサーボモータを駆動し、ス
ピンナーは回転してウエハーにはホトレジストがスピン
コートされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、スピ
ンナーに用いられるサーボモータの制御装置は速度のオ
ーバーシュートを防ぐため位置ループを備えていない。
しかもスピンナーは１００００ｒｐｍ程度の高速でも使
用されるため回転数設定精度が良くない。これは、速度
指令パルスのＦ／Ｖ回路と、エンコーダフィードバック
信号のＦ／Ｖ回路と、速度誤差アンプがそれぞれに、速
度情報に対する誤差を含んでいるためである。アナログ
回路でたとえると、ＯＰアンプのオフセットやＦ／Ｖ回
路の非線形性等が速度情報に対する誤差となる。そして
１００００ｒｐｍ程度の高速回転になると、たとえこれ
らの誤差が小さくとも数ｒｐｍ以上の速度誤差が発生す
る。回転数精度が悪いことはすなわち半導体製造工程に
おいてモータの速度の応答の再現性が悪いことと等価で
あり、このため半導体製造の歩留まりが悪くなってしま
う。
ンナーに用いられるサーボモータの制御装置は速度のオ
ーバーシュートを防ぐため位置ループを備えていない。
しかもスピンナーは１００００ｒｐｍ程度の高速でも使
用されるため回転数設定精度が良くない。これは、速度
指令パルスのＦ／Ｖ回路と、エンコーダフィードバック
信号のＦ／Ｖ回路と、速度誤差アンプがそれぞれに、速
度情報に対する誤差を含んでいるためである。アナログ
回路でたとえると、ＯＰアンプのオフセットやＦ／Ｖ回
路の非線形性等が速度情報に対する誤差となる。そして
１００００ｒｐｍ程度の高速回転になると、たとえこれ
らの誤差が小さくとも数ｒｐｍ以上の速度誤差が発生す
る。回転数精度が悪いことはすなわち半導体製造工程に
おいてモータの速度の応答の再現性が悪いことと等価で
あり、このため半導体製造の歩留まりが悪くなってしま
う。
【０００６】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、加減速時に速度のオーバーシュートがなく、かつ低
速から高速まで回転数精度を向上させるようにしたサー
ボモータの制御装置を提供することを目的とする。
で、加減速時に速度のオーバーシュートがなく、かつ低
速から高速まで回転数精度を向上させるようにしたサー
ボモータの制御装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のサーボモータの制御装置は、速度指令入力パ
ルスとエンコーダフィードバックパルスをそれぞれＦ／
Ｖ変換した信号を速度誤差アンプに入力する速度ループ
と、速度指令入力パルスの周波数が変化していることを
検出する速度指令変化検出回路と、速度指令入力パルス
とエンコーダフィードバックパルスの差をカウントする
偏差カウンタと、速度指令入力パルスの周波数が変化し
ていないときには上記偏差カウンタの出力をＤ／Ａ変換
して上記速度誤差アンプに入力する手段とを備えてい
る。
に本発明のサーボモータの制御装置は、速度指令入力パ
ルスとエンコーダフィードバックパルスをそれぞれＦ／
Ｖ変換した信号を速度誤差アンプに入力する速度ループ
と、速度指令入力パルスの周波数が変化していることを
検出する速度指令変化検出回路と、速度指令入力パルス
とエンコーダフィードバックパルスの差をカウントする
偏差カウンタと、速度指令入力パルスの周波数が変化し
ていないときには上記偏差カウンタの出力をＤ／Ａ変換
して上記速度誤差アンプに入力する手段とを備えてい
る。
【０００８】
【作用】この構成によって、速度指令入力パルスの周波
数が変化していない場合のみ、すなわち加速あるいは減
速の指令がない場合のみ、位置偏差信号が速度誤差アン
プに入力されることとなって、加減速時の速度のオーバ
ーシュートがなく、かつ高い回転数精度を実現すること
ができ、半導体製造の歩留まりを向上させることができ
る。
数が変化していない場合のみ、すなわち加速あるいは減
速の指令がない場合のみ、位置偏差信号が速度誤差アン
プに入力されることとなって、加減速時の速度のオーバ
ーシュートがなく、かつ高い回転数精度を実現すること
ができ、半導体製造の歩留まりを向上させることができ
る。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
【００１０】図１は本発明のサーボモータの制御装置の
一例を示すブロック図で、従来の技術の項で説明した図
２のブロック図に速度指令変化検出回路１、偏差カウン
タ２、Ｄ／Ａ変換回路３を追加したものである。
一例を示すブロック図で、従来の技術の項で説明した図
２のブロック図に速度指令変化検出回路１、偏差カウン
タ２、Ｄ／Ａ変換回路３を追加したものである。
【００１１】すなわち本発明のサーボモータの制御装置
は、速度指令入力パルスとエンコーダフィードバックパ
ルスの各周波数信号を電圧信号にＦ／Ｖ変換して速度誤
差アンプに入力する速度ループと、速度指令入力パルス
の周波数が変化していることを検出する速度指令変化検
出回路１と、速度指令入力パルスとエンコーダフィード
バックパルスの差をカウントする偏差カウンタ２と、速
度指令入力パルスの周波数が変化していない場合にのみ
偏差カウンタ２の出力をＤ／Ａ変換回路３によりＤ／Ａ
変換して速度誤差アンプに入力する構成としている。
は、速度指令入力パルスとエンコーダフィードバックパ
ルスの各周波数信号を電圧信号にＦ／Ｖ変換して速度誤
差アンプに入力する速度ループと、速度指令入力パルス
の周波数が変化していることを検出する速度指令変化検
出回路１と、速度指令入力パルスとエンコーダフィード
バックパルスの差をカウントする偏差カウンタ２と、速
度指令入力パルスの周波数が変化していない場合にのみ
偏差カウンタ２の出力をＤ／Ａ変換回路３によりＤ／Ａ
変換して速度誤差アンプに入力する構成としている。
【００１２】以上のように構成されたサーボモータの制
御装置について、以下その動作を説明する。
御装置について、以下その動作を説明する。
【００１３】速度指令変化検出回路１は速度指令入力パ
ルスの周波数の変化を検出して、周波数が変化している
場合には加速または減速の指令であるとして偏差カウン
タ２をクリアし、Ｄ／Ａ変換回路３の出力を０にする。
これにより、加速または減速の指令が入力された時には
従来通り速度ループのみで速度を制御するので速度のオ
ーバーシュートが発生しない。また、速度一定の指令が
入力された時には速度指令入力パルスとエンコーダフィ
ードバックパルスの偏差をＤ／Ａ変換して速度誤差アン
プに入力するので、位置の制御を行うことになり回転数
精度が向上する。
ルスの周波数の変化を検出して、周波数が変化している
場合には加速または減速の指令であるとして偏差カウン
タ２をクリアし、Ｄ／Ａ変換回路３の出力を０にする。
これにより、加速または減速の指令が入力された時には
従来通り速度ループのみで速度を制御するので速度のオ
ーバーシュートが発生しない。また、速度一定の指令が
入力された時には速度指令入力パルスとエンコーダフィ
ードバックパルスの偏差をＤ／Ａ変換して速度誤差アン
プに入力するので、位置の制御を行うことになり回転数
精度が向上する。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
サーボモータの制御装置は速度指令変化検出回路が加
速、または減速の指令が入力されていると判断した場合
従来通り速度の制御を行い、速度一定の指令が入力され
ていると判断した場合位置の制御を行う。その結果、速
度のオーバーシュートを発生させることなく回転数精度
が向上し、スピンナーなどに使いやすいサーボモータの
制御装置を提供することができる。
サーボモータの制御装置は速度指令変化検出回路が加
速、または減速の指令が入力されていると判断した場合
従来通り速度の制御を行い、速度一定の指令が入力され
ていると判断した場合位置の制御を行う。その結果、速
度のオーバーシュートを発生させることなく回転数精度
が向上し、スピンナーなどに使いやすいサーボモータの
制御装置を提供することができる。
【図１】本発明の一実施例におけるサーボモータの制御
装置の構成を示すブロック図
装置の構成を示すブロック図
【図２】従来のサーボモータの制御装置の構成の一例を
示すブロック図
示すブロック図
１ 速度指令変化検出回路 ２ 偏差カウンタ ３ Ｄ／Ａ変換回路
Claims (1)
- 【請求項１】 速度指令入力パルスとエンコーダフィー
ドバックパルスをそれぞれＦ／Ｖ変換した信号を速度誤
差アンプに入力する速度ループと、前記速度指令入力パ
ルスの周波数が変化していることを検出する速度指令変
化検出回路と、前記速度指令入力パルスとエンコーダフ
ィードバックパルスの差をカウントする偏差カウンタ
と、前記速度指令入力パルスの周波数が変化していない
ときには前記偏差カウンタの出力をＤ／Ａ変換して前記
速度誤差アンプに入力する手段とを備えているサーボモ
ータの制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5218305A JPH0775358A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | サーボモータの制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5218305A JPH0775358A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | サーボモータの制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0775358A true JPH0775358A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16717762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5218305A Pending JPH0775358A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | サーボモータの制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0775358A (ja) |
-
1993
- 1993-09-02 JP JP5218305A patent/JPH0775358A/ja active Pending
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