JPH0777559A - Tool structure for measuring electrical characteristics of ic memory module - Google Patents

Tool structure for measuring electrical characteristics of ic memory module

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JPH0777559A
JPH0777559A JP5246359A JP24635993A JPH0777559A JP H0777559 A JPH0777559 A JP H0777559A JP 5246359 A JP5246359 A JP 5246359A JP 24635993 A JP24635993 A JP 24635993A JP H0777559 A JPH0777559 A JP H0777559A
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JP
Japan
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memory module
measuring tool
contact
measuring
measured
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JP5246359A
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Shigeru Matsumura
茂 松村
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Advantest Corp
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Abstract

PURPOSE:To provide a measuring tool structure for enhancing the reliability and durability of contact at the contact point between a measuring tool and the connecting pad on an object to be measured while allowing mounting/ demounting of the measuring tool on/from the object to be smoothly performed in a short time. CONSTITUTION:A guide for mounting an object to be measured, i.e., an IC module, is provided on the base of a measuring tool. The measuring tool comprises a measuring system including a probe pin 8 and a coaxial wiring cable 9, and a guide pin 7, and a block 11 is mounted on a slide bearing 12. A lever is provided at the lower part of the base in order to bring the object close to the entire block 11 and to eventually bring into contact therewith. Positioning is effected by means of the guide pin 7 when the lever is pulled toward an operator and the connecting pad 2 on the IC module 1 comes into contact with a structural part of measuring tool, i.e., the probe pin 8.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、電子計測技術分野での
半導体IC試験装置によるICメモリモジュールの電気
的特性測定における測定用ツールの構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the structure of a measuring tool for measuring the electrical characteristics of an IC memory module by a semiconductor IC tester in the field of electronic measurement technology.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体ICメモリの測定は、従来より、
半導体IC試験装置によって行われている。これまで
も、その寸法形状や端子数及び配列に最適な測定ツール
と測定方法により対応してきた。ところが、現今にあっ
ては、半導体ICメモリ単体ではなく、複数の構成から
なる「ICメモリ群」によってある特定の機能を果たさ
せる「ICメモリモジュール」と呼ばれる製品が登場し
てきた。(例えば、SIMM=シングル・インライン・メモ
リ・モジュールと呼ばれるものに代表される製品であ
る。)それらは、実装効率を高めるために、メイン実装
基板上にソケットとなるコネクタを載置し、ICメモリ
が複数実装されたサブ基板の一辺に接続用パッドを設
け、その部分をメイン実装基板上のソケットにプラグイ
ンする方式で実装する方法が採られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, semiconductor IC memory has been measured by
It is performed by a semiconductor IC test apparatus. Until now, we have dealt with the optimum measurement tool and measurement method for the size, shape, number and arrangement of terminals. However, at present, a product called an "IC memory module" that has a certain function by an "IC memory group" having a plurality of configurations has appeared, not a single semiconductor IC memory. (For example, it is a product represented by what is called a SIMM = single in-line memory module.) In order to improve the mounting efficiency, they mount a connector that becomes a socket on the main mounting board, A method is adopted in which a connection pad is provided on one side of a sub-board on which a plurality of are mounted, and that part is mounted in a socket on the main mounting board.

【0003】従って、従来とは異なる半導体ICメモリ
の測定用ツールの構造と測定方式が求められ、半導体I
C試験装置を使う側も提供する側も、各種のアダプタや
アタッチメント及び配線方法等を工夫したツールや測定
方法とによって対応しているのが現状である。そこで、
従来の技術による測定用ツールと、測定方法の概念を図
5、図6によって説明する。まず、はじめにICメモリ
モジュール1をソケット部4(例えば、カードエッジコ
ネクタのようなもの)に挿し込むわけだが、ソケットの
ガイド部5に沿って接続用パッド2が設けられた一辺
を、ソケット部4のコンタクトピン6の間にストッパ18
に達するところまで挿入し、ICメモリモジュール1の
接続用パッド2とソケット部4の測定用端子であるコン
タクトピン6とを接触させる。そして、図には示してい
ない半導体IC試験装置との電気的接続を行い、電気的
特性の測定を行う方法が採られている。
Therefore, a structure and a measuring method of a semiconductor IC memory measuring tool different from the conventional one are required, and the semiconductor I
The current situation is that both the side that uses the C test device and the side that provides it are supported by tools and measurement methods that devise various adapters, attachments, and wiring methods. Therefore,
The concept of the conventional measuring tool and the measuring method will be described with reference to FIGS. First, the IC memory module 1 is first inserted into the socket portion 4 (such as a card edge connector), but one side where the connection pad 2 is provided along the guide portion 5 of the socket is attached to the socket portion 4. Between the contact pins 6 of the stopper 18
To the contact pin 6 which is a measuring terminal of the socket 4 and the connecting pad 2 of the IC memory module 1 is contacted. Then, a method of electrically connecting to a semiconductor IC test apparatus not shown in the figure and measuring the electrical characteristics is adopted.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前記従来の技術による
測定用ツールの構造と測定方法によれば、以下に述べる
ような問題点を有していた。つまり、それは、(1) I
Cメモリモジュールをソケットに挿入するため、その時
ICメモリモジュールの接続用パッドは、ソケット部の
コンタクトピンの間をこすって挿入・装填されるので、
コスリ傷がつき、外観的な商品価値を損なうばかりでな
く、その製品が実際に実装されるときの接触性能に悪影
響を与える。 (2) 従来の方式によれば、接続用パッドとの接触点が
ソケット部が持つコンタクトピンの構造上からシングル
コンタクト(=一点接触)になってしまい、接触機能が
損なわれ電気的接続の信頼性が低下し、測定確度を低下
させてしまう。 (3) ソケットのコンタクトピンの構造と、配線系の構
造上、ノイズがのることの影響や、高周波領域では波形
を歪めてしまうことが避けられず、測定確度が得にく
い。 (4) また、コンタクトピンの接触面とバネの耐久度が
低く、接触信頼性が保証できるのは10,000回前後の実績
しかなかった。 (5) 品種が変更になったときに、コンタクトピンとそ
れに連なる配線測定系の変更は、その都度対応せねばな
らぬが、そのツールの構造上改造では済まず、新たに製
作せねばならなかったので、品種変更のための対応コス
トが大きい。などであった。
The structure of the measuring tool and the measuring method according to the prior art described above have the following problems. In other words, it is (1) I
Since the C memory module is inserted into the socket, at that time, the connection pads of the IC memory module are inserted and loaded by rubbing between the contact pins of the socket portion.
Not only does it scratch and damage the appearance of the product, but it also adversely affects the contact performance when the product is actually mounted. (2) According to the conventional method, the contact point with the connection pad becomes a single contact (= one-point contact) due to the structure of the contact pin of the socket part, and the contact function is impaired, resulting in reliable electrical connection. Performance deteriorates and the measurement accuracy decreases. (3) Due to the structure of the contact pin of the socket and the structure of the wiring system, it is unavoidable that the waveform is distorted in the high frequency region due to the influence of noise, and it is difficult to obtain the measurement accuracy. (4) In addition, the durability of the contact surface of the contact pin and the spring was low, and contact reliability could only be guaranteed about 10,000 times. (5) When the product type was changed, the contact pin and the wiring measurement system connected to it had to be changed each time, but the structure of the tool did not need to be modified and a new one had to be produced. Therefore, the corresponding cost for changing the product type is large. And so on.

【0005】そこで、本発明では、ICメモリモジュー
ルの電気的特性の測定用ツールの構造と測定方法におい
て、 (1) 接触信頼性が高く、かつノイズや波形の乱れなど
の影響を受けない測定確度の高い方式とすること。 (2) 測定ツールの接触ポイントの繰り返し接触耐久性
を向上させる構造とすること。 (3) 製品としてのICメモリモジュールの性能を損な
う恐れのある接続用パッドへの損傷を与えない構造とす
ること。 (4)品種変更に対応するツールの改造時間がすくなく
て済む構造とすること。 (5) 被測定物のツールへの装填と取り出しがスムーズ
で短時間に行える方式とすること。 を実現させて提供することを目的とした。
Therefore, according to the present invention, in the structure of the tool for measuring the electrical characteristics of the IC memory module and the measuring method, (1) the measurement accuracy is high in contact reliability and is not affected by noise or waveform distortion. High method. (2) Use a structure that improves the repeated contact durability of the contact points of the measurement tool. (3) The structure shall not damage the connection pads that may impair the performance of the IC memory module as a product. (4) Use a structure that saves the time required to remodel tools that support product type changes. (5) Use a method that allows loading and unloading of the DUT to the tool smoothly and in a short time. The purpose is to realize and provide.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】図面1〜4を参照して、
本発明の手段について説明する。本発明の測定用ツール
の基盤となる架台16上に下記のものを設ける。 (1) 被測定物であるICメモリモジュール1の左右と
下限の概略の位置を決めるコの字型のガイド13を設け
る。 (2) 配線基板10にプローブピン8を被測定物の接続用
パッド2の配置に合わせて配列しそのプローブピン8に
直結して同軸ケーブル9を配線した測定系を設ける。 (3) 該メモリモジュール1がもつ取り付け用貫通孔に
挿入することによって、最終的な位置決めの役割をする
ガイドピン7を設ける。 (4) また、上記プローブピン8他で構成する測定系と
ガイドピン7とを、被測定物の接続用パッド2及び取り
付け用貫通孔の位置に合わせて配置するブロック11を設
ける。 (5) 更に、上記ブロック全体を乗せて、前後にスライ
ドさせるためのスライドベアリング12を設ける。 (6) また、架台16下部に、被測定物とブロック全体と
を接近させ接触させるための動作をするレバー14を設け
る。
Means for Solving the Problems Referring to FIGS.
The means of the present invention will be described. The following is provided on the pedestal 16 which is the base of the measuring tool of the present invention. (1) A U-shaped guide 13 is provided for determining the left and right and the lower limit of the IC memory module 1 which is the object to be measured. (2) A measurement system is provided in which the probe pins 8 are arranged on the wiring board 10 in accordance with the arrangement of the connection pads 2 of the object to be measured and are directly connected to the probe pins 8 and the coaxial cable 9 is wired. (3) The guide pin 7 which plays the role of final positioning is provided by being inserted into the mounting through hole of the memory module 1. (4) Further, a block 11 is provided for arranging the measurement system composed of the probe pins 8 and the like and the guide pins 7 in accordance with the positions of the connection pads 2 and attachment through holes of the object to be measured. (5) Further, a slide bearing 12 for mounting the entire block and sliding it back and forth is provided. (6) Further, a lever 14 that operates to bring the object to be measured and the entire block into close contact with each other is provided below the pedestal 16.

【0007】そして、そのような構造となったツールを
用い、先ず、ICメモリモジュールを左右のガイド13に
合わせて下限点でストップするまで落とし込む。次に、
レバー14を手前に引くことによってカムが働き、縦方向
の運動を横方向の動きに変えてスライドベアリング12に
伝わり、左右のブロック11全体を被測定物であるICメ
モリモジュール1に接近させながら、同時にガイドピン
7の挿入が行われ、最終的な位置決めがなされる。最後
に、該ICメモリモジュール1の接続用パッド2とプロ
ーブピン8の接触が行われる。
Then, using the tool having such a structure, first, the IC memory module is aligned with the left and right guides 13 and dropped until it stops at the lower limit point. next,
By pulling the lever 14 toward you, a cam works, changes the vertical motion into a horizontal motion and transmits it to the slide bearing 12, and while bringing the entire left and right blocks 11 close to the IC memory module 1 as the DUT, At the same time, the guide pin 7 is inserted and final positioning is performed. Finally, the connection pad 2 of the IC memory module 1 and the probe pin 8 are brought into contact with each other.

【0008】そして、半導体IC試験装置に電気的接続
が可能となったところで、電気的特性試験を行い、終了
後レバー14を元に戻すと、被測定物であるICメモリモ
ジュール1は、前後のブロック11から離れるので、測定
ツールからはきわめて容易に取り出し得て測定は完了す
る。以上のように構成された構造による測定用ツールを
用いた測定方法によって、ICメモリモジュール1の電
気的特性試験が繰り返し行われる。
Then, when electrical connection is possible to the semiconductor IC tester, an electrical characteristic test is performed, and when the lever 14 is returned to its original position after completion, the IC memory module 1, which is the object to be measured, is moved back and forth. As it leaves block 11, it can be very easily removed from the measurement tool and the measurement is complete. The electrical characteristic test of the IC memory module 1 is repeatedly performed by the measuring method using the measuring tool having the structure configured as described above.

【0009】また、本発明の構成による該測定用ツール
は、被測定物であるICメモリモジュール1の仕様が片
面実装とか接続用パッド2が片面配列の場合、スライド
ベアリング12の上に乗って、プローブピン8とガイドピ
ン7によって構成されたブロック11のみとし、もう一方
の側のブロックは設けない構造とすることもできる。
The measuring tool according to the present invention is mounted on the slide bearing 12 when the IC memory module 1 as the object to be measured has a single-sided mounting or the connecting pad 2 has a single-sided arrangement. It is also possible to have a structure in which only the block 11 constituted by the probe pin 8 and the guide pin 7 is provided and the block on the other side is not provided.

【0010】[0010]

【作用】被測定物であるICメモリモジュールの接続用
パッドと測定用ツールとを接触させる構成をプローブピ
ンとそれに直結された同軸ケーブルとしたことで、 (1) 接触ポイントから最短距離で信号線と接地線が同
軸ケーブルによって接続され、ノイズの影響や高周波領
域での波形の乱れなどの防止が可能となった。 (2)また、ピン配列の変更及び配線の組み替えが容易
に可能となった。 (3)プローブピンの構造がもつ特性上、一定の接触圧
で接触する。 (4)プローブピンは直角に当てて接触させるので、コ
スレることがない。 (5)1つの接続用パッドに少なくとも2本のプローブ
ピンが配列されるので、2点接触が確実にできるように
なった。
[Operation] The probe pin and the coaxial cable directly connected to the probe for connecting the connection pad of the IC memory module, which is the object to be measured, and the measuring tool are configured to (1) connect the signal line at the shortest distance from the contact point. The ground wire is connected by a coaxial cable, which makes it possible to prevent the effects of noise and the disturbance of waveforms in the high frequency range. (2) In addition, it is possible to easily change the pin arrangement and change the wiring. (3) Due to the characteristics of the probe pin structure, the probe pin contacts with a constant contact pressure. (4) The probe pins are applied at right angles to be in contact with each other, so there is no chance of scratching. (5) Since at least two probe pins are arranged on one connection pad, two-point contact can be ensured.

【0011】[0011]

【実施例】本発明による実施例を図1〜図4によって説
明する。図1は、本発明による測定用ツールの構造と被
測定物であるICメモリモジュール1との位置関係及び
測定用ツールの動作を示す概念図である。レバー(図3
−14)を手前に引くと、スライドベアリング12に乗った
ブロック11は、ICメモリモジュール1の前後から矢印
1の方向に移動して寄ってくる。レバーを元に戻せば、
同じくブロック11は矢印2の方向に移動して離れ、ガイ
ドピン7も抜け、被測定物であるICメモリモジュール
1が容易に取り出せる構造となっている。
Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a conceptual diagram showing a structure of a measuring tool according to the present invention, a positional relationship between an IC memory module 1 as an object to be measured, and an operation of the measuring tool. Lever (Fig. 3
-14) is pulled toward you, the block 11 on the slide bearing 12 moves from the front and rear of the IC memory module 1 in the direction of the arrow 1 and approaches. If you return the lever,
Similarly, the block 11 is moved in the direction of the arrow 2 and separated, the guide pin 7 is also removed, and the IC memory module 1 as the object to be measured can be easily taken out.

【0012】図2は、本発明における測定用ツールの組
立図である。ガイド13が架台16両端取り付けられ、被測
定物であるICメモリモジュール1を受け、該被測定物
が装填される。図3は、レバー14が架台16に設けられた
支軸15を支点としてジョイントバー19を動作させ、カム
部17を横方向に移動させる部分を示す斜視図である。ま
た、図4は、図3の断面図であり、被測定物であるIC
メモリモジュール1が、ガイド13部分に収まり、それに
ブロック11全体が前後より接近し、ガイドピン7が貫通
孔に入り、プローブピン8が該被測定物の接続用パッド
2に接近し接触される状況を示す。
FIG. 2 is an assembly drawing of the measuring tool according to the present invention. The guides 13 are attached to both ends of the pedestal 16, receive the IC memory module 1 as the object to be measured, and load the object to be measured. FIG. 3 is a perspective view showing a portion where the lever 14 operates the joint bar 19 with the support shaft 15 provided on the mount 16 as a fulcrum to move the cam portion 17 in the lateral direction. 4 is a cross-sectional view of FIG. 3 showing an IC to be measured.
The memory module 1 is accommodated in the guide 13, the whole block 11 is closer to the front and rear, the guide pin 7 enters the through hole, and the probe pin 8 approaches and contacts the connection pad 2 of the object to be measured. Indicates.

【0013】なお、被測定物であるICメモリモジュー
ル1の仕様によっては、その前後から2つのブロック11
部を動作させる必要のない場合は、スライドベアリング
12の上に乗って、プローブピン8とガイドピン7によっ
て構成されたブロック11のみとし、もう一方の側のブロ
ックは設けない構造とする事が可能である。実施例とし
て図示はしていないが、それも実現済みである。
Depending on the specifications of the IC memory module 1 which is the object to be measured, two blocks 11 are provided before and after the IC memory module 1.
Slide bearings if the parts do not need to be operated
It is possible to have a structure in which only the block 11 constituted by the probe pin 8 and the guide pin 7 is mounted on the board 12 and the block on the other side is not provided. Although not shown as an example, it has already been realized.

【0014】[0014]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載するような効果を奏する。
Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects.

【0015】(A) 従来の技術とは異なり、バネの間に
コスりながら挿入されるのではなく、接続用パッドに直
角に、しかも一定圧で接触するので、接触パッドを損傷
することがない。そのために、出荷製品が実装使用され
る場合の障害の発生が防止できた。 (B) 少なくとも1つの接続用パッドに対し、2つ以上
のプローブピンにより、2点接触がとれたので、接触信
頼性が格段に向上した。 (C) 内部にバネを持ち、常に一定圧で接触するプロー
ブピンによった構成としたとで、繰り返しの接触耐久性
は、従来方法の10,000 回から、1,000,000回へと100倍
の向上がみられた。 (D) また、プローブピンと直結した同軸ケーブルとで
測定系の回路構成ができたので、ノイズによる影響や高
周波領域での波形への影響を排除することができた。 (E) 従来の技術では、カードエッヂコネクタのような
ソケット部とICメモリモジュールの接続用パッド部と
の挿入、取り出しに要する力は大きく、効率は上がらな
かったが、本発明の測定ツールの構造と測定方法によれ
ば、極めて少ない力で容易に可能となった。
(A) Unlike the conventional technique, the contact pad is not inserted while being squeezed between the springs but is contacted with the connection pad at a right angle and at a constant pressure, so that the contact pad is not damaged. . Therefore, it is possible to prevent the occurrence of failure when the shipped product is mounted and used. (B) Two or more probe pins were used to make two-point contact with at least one connection pad, so contact reliability was significantly improved. (C) With a structure that uses a probe pin that has a spring inside and is always in contact with a constant pressure, the repeated contact durability has been improved 100 times from 10,000 times in the conventional method to 1,000,000 times. Was given. (D) In addition, the circuit configuration of the measurement system was made up of the coaxial cable directly connected to the probe pin, so that the influence of noise and the influence on the waveform in the high frequency region could be eliminated. (E) In the prior art, the force required to insert and remove the socket portion such as a card edge connector and the connection pad portion of the IC memory module was large and the efficiency was not improved, but the structure of the measuring tool of the present invention According to the measurement method, it was possible with a very small force.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による測定用ツールの構造と被測定物で
あるメモリモジュールとの位置関係及び測定用ツールの
動作を示す概念図である。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing a positional relationship between a structure of a measuring tool according to the present invention, a memory module as an object to be measured, and an operation of the measuring tool.

【図2】本発明による測定用ツールの組立図である。FIG. 2 is an assembly drawing of a measuring tool according to the present invention.

【図3】本発明による測定用ツールの構造の一部を示す
斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a part of the structure of the measuring tool according to the present invention.

【図4】本発明による測定用ツールの構造の一部を示す
図3に対応する断面図である。
FIG. 4 is a sectional view corresponding to FIG. 3, showing a part of the structure of the measuring tool according to the present invention.

【図5】従来の技術による測定用ツールを示し、被測定
物であるICメモリモジュールの接続用パッド部がソケ
ット(カードエッヂコネクタのような構造のもの)に挿
入される概念図を示す。
FIG. 5 shows a measuring tool according to a conventional technique, and shows a conceptual diagram in which a connecting pad portion of an IC memory module, which is an object to be measured, is inserted into a socket (having a structure like a card edge connector).

【図6】従来の技術による測定用ツールにおいてICメ
モリモジュールの接続用パッドとソケット部のコンタク
トピンとが接触する状況を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which a connection pad of an IC memory module and a contact pin of a socket contact each other in a measuring tool according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ICメモリモジュール 2 接続用パッド 3 ガイド穴 4 ソケット部 5 ガイド部 6 コンタクトピン 7 ガイドピン 8 プローブピン 9 同軸ケーブル 10 配線基板 11 ブロック 12 スライドベアリング 13 ガイド 14 レバー 15 支軸 16 架台 17 カム部 18 ストッパ 19 ジョイントバー 1 IC memory module 2 Connection pad 3 Guide hole 4 Socket part 5 Guide part 6 Contact pin 7 Guide pin 8 Probe pin 9 Coaxial cable 10 Wiring board 11 Block 12 Slide bearing 13 Guide 14 Lever 15 Spindle 16 Stand 17 Cam part 18 Stopper 19 Joint bar

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ICメモリモジュールの電気的特性測定
における測定用ツールの構造において、測定用ツールの
基盤である架台(16)の上に、被測定物であるICメモ
リモジュール(1)の位置決めをするガイド(13)と、
前後にスライド可能なスライドベアリング(12)とを設
け、配線基板(10)にプローブピン(8)を配列し、同
軸ケーブル(9)を配線した測定系と、該ICメモリモ
ジュール(1)の最終的な位置決めをするガイドピン
(7)と、当該測定系と該ガイドピン(7)とによって
ブロック(11)を構成し、被測定物の前後に設けられた
該スライドベアリング(12)上に乗せて取り付け、当該
架台(16)に該被測定物と当該ブロック(11)全体とを
接近させ接触させる働きをするカム動作機能のあるレバ
ー(14)を設け、ICメモリモジュール(1)の電気的
特性を測定することを特徴とするICメモリモジュール
の電気的特性測定における測定用ツールの構造。
1. In the structure of a measuring tool for measuring the electrical characteristics of an IC memory module, the IC memory module (1) to be measured is positioned on a pedestal (16) which is the base of the measuring tool. Guide (13) to
A slide bearing (12) slidable back and forth is provided, probe pins (8) are arranged on a wiring board (10), a coaxial cable (9) is wired to the measurement system, and the final of the IC memory module (1). A block (11) is composed of a guide pin (7) for performing a proper positioning, the measurement system and the guide pin (7), and the block (11) is placed on the slide bearing (12) provided in front of and behind the object to be measured. And a lever (14) having a cam operation function to bring the object to be measured and the entire block (11) into close contact with each other on the gantry (16), and to electrically connect the IC memory module (1). A structure of a measuring tool for measuring an electric characteristic of an IC memory module, which is characterized by measuring a characteristic.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2025082243A (en) * 2023-11-16 2025-05-28 アテコ・インコーポレイテッド Test tray for semiconductor devices and test apparatus using test tray
JP2025082242A (en) * 2023-11-16 2025-05-28 アテコ・インコーポレイテッド Test tray for semiconductor devices and test apparatus using test tray

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JP2025082242A (en) * 2023-11-16 2025-05-28 アテコ・インコーポレイテッド Test tray for semiconductor devices and test apparatus using test tray

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