JPH077785U - 噴射方向を傾斜させた噴射ノズルを有する洗浄装置 - Google Patents
噴射方向を傾斜させた噴射ノズルを有する洗浄装置Info
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- JPH077785U JPH077785U JP4139593U JP4139593U JPH077785U JP H077785 U JPH077785 U JP H077785U JP 4139593 U JP4139593 U JP 4139593U JP 4139593 U JP4139593 U JP 4139593U JP H077785 U JPH077785 U JP H077785U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本考案は、制御部によって第1、第2開閉弁
を所定時間毎且つ交互に開閉動作させ、第1、第2液体
通路を切り換えて第1、第2噴射ノズルからの噴射状態
を制御し、洗浄作業効率を向上させることを目的として
いる。 【構成】 このため、非洗浄物を上下方向に搬送する縦
搬送機構を設けるとともに、洗浄装置の噴射ノズルを作
業槽の中心部位に指向すべく噴射方向を斜め下方に傾斜
させた上段用第1噴射ノズルと噴射方向を斜め上方に傾
斜させた下段用第2噴射ノズルとにより形成し、第1、
第2噴射ノズルに連絡する第1、第2液体通路を夫々設
け、第1、第2液体通路途中に第1、第2液体通路を開
閉する第1、第2開閉弁を設け、第1、第2開閉弁を所
定時間毎且つ交互に開閉動作させ第1、第2噴射ノズル
の噴射時期を切り換えるべく制御する制御部を設けてい
る。
を所定時間毎且つ交互に開閉動作させ、第1、第2液体
通路を切り換えて第1、第2噴射ノズルからの噴射状態
を制御し、洗浄作業効率を向上させることを目的として
いる。 【構成】 このため、非洗浄物を上下方向に搬送する縦
搬送機構を設けるとともに、洗浄装置の噴射ノズルを作
業槽の中心部位に指向すべく噴射方向を斜め下方に傾斜
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閉する第1、第2開閉弁を設け、第1、第2開閉弁を所
定時間毎且つ交互に開閉動作させ第1、第2噴射ノズル
の噴射時期を切り換えるべく制御する制御部を設けてい
る。
Description
【0001】
この考案は噴射方向を傾斜させた噴射ノズルを有する洗浄装置に係り、特に非 洗浄物、例えば金属部品やプリント基板等からなるワークを洗浄あるいはすすぎ をする際に、作業槽内の第1、第2噴射ノズルの噴射方向を傾斜させるとともに 、ワークの上下方向への移動と同時に洗浄を行い、洗浄効率あるいはすすぎ効率 を向上させる噴射方向を傾斜させた噴射ノズルを有する洗浄装置に関する。
【0002】
前記洗浄装置には、洗浄工程、液切り工程、リンス工程たるすすぎ工程、水切 り工程、乾燥工程の各工程を一連の動作にて自動的に行うものがある。
【0003】 つまり、上述の洗浄工程において、搬送される非洗浄物であるワークを洗浄槽 内に位置させ、所定の溶液にてワーク表裏両面を洗浄するものである。この洗浄 工程後には、高価な溶液の損失を防止するとともに、次工程にて使用される液体 への混入を防止すべくワークから溶液を排除する液切り工程が必要である。
【0004】 また、液切り工程後のすすぎ工程においては、例えば2段階の処理が施される 。すなわち、第1すすぎ工程、第2すすぎ工程たる仕上げすすぎ工程の2段階の 処理が順次行われ、効率の良いすすぎ作業を行っている。
【0005】 更に、すすぎ工程の後には、上述の洗浄工程後と同様に、ワークからすすぎ液 を排除する水切り工程が必要である。
【0006】 そして、水切り工程を行った後に、ワークの乾燥工程に移行し、乾燥作業が行 われるものである。
【0007】
【考案が解決しようとする課題】 ところで、従来の洗浄装置においては、例えば非洗浄物であるワーク中のプリ ント基板の洗浄工程の際に、プリント基板を洗浄槽まで搬送して洗浄槽内に入れ 、プリント基板の表裏両面且つ一方向に指向すべく溶液を噴射させている。
【0008】 この結果、プリント基板の洗浄作業の際に、プリント基板が1枚毎に洗浄され ることとなり、洗浄効率が悪いとともに、洗浄工程に大なる処理時間を要し、実 用上不利であるという不都合がある。
【0009】 また、プリント基板の表裏両面且つ一方向に指向すべく溶液を噴射させている ことにより、プリント基板に載置される部品がある場合には、この部品が溶液の 噴射方向を遮ることとなり、部品基部の洗浄が十分に行われず、洗浄作業の信頼 性が低下し、使い勝手が悪いという不都合がある。
【0010】 更に、非洗浄物を洗浄する際に、高圧の溶液を非洗浄物に噴射しても、噴射ノ ズルからの噴流が広範囲に噴射されず、溶液が非洗浄物に当たる面積も限定され ていることにより、特に複雑形状を有する非洗浄物の場合には洗浄時に洗いムラ が生ずることが間々あり、改善が望まれていた。
【0011】
そこで、この考案は、上述不都合を除去するために、非洗浄物を搬送しつつ少 なくとも洗浄、液切り、すすぎ、そして水切りの各工程を行うとともに作業槽内 に位置させた非洗浄物に溶液を噴射する噴射ノズルを有する洗浄装置において、 前記非洗浄物を上下方向に搬送する縦搬送機構を設け、前記噴射ノズルを前記作 業槽の中心部位に指向すべく噴射方向を斜め下方に傾斜させた上段用第1噴射ノ ズルと前記作業槽の中心部位に指向すべく噴射方向を斜め上方に傾斜させた下段 用第2噴射ノズルとにより形成し、これら第1、第2噴射ノズルに夫々連絡する 第1、第2液体通路を夫々設け、これら第1、第2液体通路途中には第1、第2 液体通路を開閉する第1、第2開閉弁を設け、前記縦搬送機構により非洗浄物を 上下方向に搬送すると同時にこれら第1、第2開閉弁を所定時間毎且つ交互に開 閉動作させ前記第1、第2噴射ノズルの噴射時期を切り換えるべく制御する制御 部を設けたことを特徴とする。
【0012】
上述の如く考案したことにより、制御部によって第1、第2開閉弁を所定時間 毎且つ交互に開閉動作させ、第1、第2液体通路を切り換えて第1、第2噴射ノ ズルからの噴射状態を制御し、洗浄作業効率を向上させている。
【0013】
以下図面に基づいてこの考案の実施例を詳細に説明する。
【0014】 図1〜図9はこの考案の第1実施例を示すものである。図3において、2は洗 浄装置である。
【0015】 この洗浄装置2は、図3に示す如く、一体的に形成されており、非洗浄物たる ワーク4aを収容するバスケット4の搬送方向(図3の左側から右側に向かう方 向)に沿って各工程に使用される器具が配設されている。このとき、バスケット 4内のワーク4aは、金属部品やプリント基板からなり、バスケット4の構成に より搬送方向に対して平行状態や垂直状態、あるいは少許傾斜させた状態等、種 々状態に収容されるものである。なお符号4bは、バスケット4の蓋部である。
【0016】 先ず、前記洗浄装置2の各工程について説明する。
【0017】 洗浄装置2の各工程は、図8に示す如く、洗浄工程A、液切り工程B、すすぎ 工程C、水切り工程D、そして乾燥工程Eからなり、例えばすすぎ工程Cにおい ては、第1すすぎ工程C−1、第2すすぎ工程たる仕上げすすぎ工程C−2の2 段階の処理が順次行われ、各すすぎ工程C−1、C−2毎に水切り工程Dの第1 、第2水切り工程D−1、D−2が行われる。
【0018】 また、前記洗浄装置2は、図3及び図4において左側から、洗浄工程Aに使用 される洗浄槽6、液切り工程Bに使用され且つ液切り機構8にて排除された溶液 を貯留する液切り槽10、すすぎ工程Cの第1すすぎ工程C−1に使用される第 1すすぎ槽12、水切り工程Dの第1水切り工程D−1に使用され且つ図示しな い水切り機構にて排除されたすずき液を貯留する第1水切り槽14、仕上げすす ぎ工程C−2に使用される第2すすぎ槽16、水切り工程Dの第2水切り工程D −2に使用され且つ図示しない水切り機構にて排除されたすずき液を貯留する第 2水切り槽18、そして乾燥工程Eに使用される乾燥部20とが順次配設される 。
【0019】 そして、各工程を行う所定部位上方において前記バスケット4を搬送する搬送 部22を設けるとともに、各槽内に、つまり縦方向にバスケット4を搬送する図 示しない縦搬送機構を設ける。
【0020】 前記搬送部22や図示しない縦搬送機構、そして洗浄工程A、液切り工程B、 すすぎ工程C、水切り工程D、乾燥工程Eの各工程は、コンピュータ等からなる 制御部24によって制御されている。
【0021】 そして、作業槽を、例えば洗浄工程Aに使用される洗浄槽6として説明する。 洗浄槽6内には、図2及び図4、図5に夫々示す如く、前記洗浄槽6の中心部位 に指向すべく噴射方向を斜め下方(図2において黒矢印方向)に傾斜させた上段 用第1噴射ノズル26を設けるとともに、前記洗浄6の中心部位に指向すべく噴 射方向を斜め上方(図2において白抜き矢印方向)に傾斜させた下段用第2噴射 ノズル28を設け、これら第1、第2噴射ノズル26、28に夫々連絡する第1 、第2液体通路30、32を夫々設け、これら第1、第2液体通路30、32途 中には第1、第2液体通路30、32を開閉する第1、第2開閉弁34、36を 設けるとともに、第1、第2開閉弁34、36を所定時間毎且つ交互に開閉動作 させ前記第1、第2噴射ノズル26、28の噴射時期を切り換えるべく制御する 機能を前記制御部24に付加して設ける。
【0022】 詳述すれば、前記洗浄槽6内に第1噴射ノズル26を配設する際に、図1に示 す如く、第1ノズル通路38をU字状に折曲し、この第1ノズル通路38の一側 第1ノズル通路38aに複数個、例えば4個の一側第1噴射ノズル26a−1、 26a−2、26a−3、26a−4を配設するとともに、前記第1ノズル通路 38の他側第1ノズル通路38bに複数個、例えば4個の他側第1噴射ノズル2 6b−1、26b−2、26b−3、26b−4を配設し、一側第1噴射ノズル 26a−1、26a−2、26a−3、26a−4と他側第1噴射ノズル26b −1、26b−2、26b−3、26b−4とにより前記第1噴射ノズル26を 構成する。
【0023】 そして、これら一側第1噴射ノズル26a−1、26a−2、26a−3、2 6a−4及び他側第1噴射ノズル26b−1、26b−2、26b−3、26b −4を洗浄槽6の上部の両隅位置、つまり図2及び図4、図5において左上部位 と右上部位とに夫々位置させ、洗浄槽6の中心部位たる中心軸線C部位に指向す べく噴射方向を斜め下方(図2において黒矢印方向)に、例えば45度傾斜させ る(図5参照)。
【0024】 また、第2噴射ノズル28を配設する際には、図1に示す如く、上述第1噴射 ノズル26と同様に、第2ノズル通路40をU字状に折曲し、この第2ノズル通 路40の一側第2ノズル通路40aに複数個、例えば4個の一側第2噴射ノズル 28a−1、28a−2、28a−3、28a−4を配設するとともに、前記第 2ノズル通路40の他側第2ノズル通路40bに複数個、例えば4個の他側第2 噴射ノズル28b−1、28b−2、28b−3、28b−4を配設し、一側第 2噴射ノズル28a−1、28a−2、28a−3、28a−4と他側第2噴射 ノズル28b−1、28b−2、28b−3、28b−4とにより前記第2噴射 ノズル28を構成する。
【0025】 そして、一側第2噴射ノズル28a−1、28a−2、28a−3、28a− 4及び他側第2噴射ノズル28b−1、28b−2、28b−3、28b−4を 洗浄槽6の下部の両隅位置、つまり図2及び図4、図5において左下部位と右下 部位とに夫々位置させ、洗浄槽6の中心部位たる中心軸線C部位に指向すべく噴 射方向を斜め上方(図2において白抜き矢印方向)に、例えば45度傾斜させる (図5参照)。
【0026】 前記第1噴射ノズル26側の第1ノズル通路38に一端が連絡するとともに、 他端がポンプ42に連絡する第1液体通路30を設けるとともに、第2噴射ノズ ル28側の第2ノズル通路40に一端が連絡するとともに、他端がポンプ42に 連絡する第2液体通路32を設け、このとき、第1、第2液体通路30、32の 他端側は、合流してポンプ42の吐出側通路44に連絡され、ポンプ42の吸入 側通路46は洗浄槽6の例えば底部に連絡されている。
【0027】 また、第1液体通路30途中にこの第1液体通路30を開閉する第1開閉弁3 4が設けられるとともに、第2液体通路32途中にはこの第2液体通路32を開 閉する第2開閉弁36が設けられ、これら第1、第2開閉弁34、36が前記制 御部24に接続されており、制御部24によって第1、第2開閉弁34、36が 開閉制御されるものである。
【0028】 そしてこのとき、制御部24は、第1、第2開閉弁34、36を所定時間、例 えば30秒毎且つ交互に開閉動作させるべく制御し、前記第1、第2噴射ノズル 26、28の噴射時期を切り換えて溶液の衝突を回避するとともに、洗浄時の溶 液の噴射方向を変更させている。
【0029】 前記液切り機構8は、図4に示す如く、ハンドエアガン48と、このハンドエ アガン48から吐出される所定圧のエアを供給する調圧弁50とを有している。
【0030】 なお符号52は、前記洗浄槽6内に設けられるヒータスペースであり、このヒ ータスペース52に配設されるヒータ(図示せず)により洗浄槽6内の溶液温度 を約60℃程度加熱している。
【0031】 次に作用について説明する。
【0032】 前記洗浄槽6内においてワーク4aの洗浄作業を行う際には、バスケット4の 下降動作及び上昇動作と同時に、前記制御部24によって第1開閉弁34及び第 2開閉弁36を所定時間、例えば0.5秒毎且つ交互に開閉動作させる。
【0033】 そして、前記第1噴射ノズル26及び第2噴射ノズル28の噴射時期を切り換 え、第1噴射ノズル26側においては、ポンプ42からの高圧な溶液が第1液体 通路30に至り、この第1液体通路30から第1ノズル通路38を経て、一側第 1噴射ノズル26a−1、26a−2、26a−3、26a−4及び他側第1噴 射ノズル26b−1、26b−2、26b−3、26b−4に高圧な溶液を送給 する。
【0034】 また、第2噴射ノズル28側においては、ポンプ42からの高圧な溶液が第2 液体通路32に至り、この第2液体通路32から第2ノズル通路40を経て、一 側第2噴射ノズル28a−1、28a−2、28a−3、28a−4及び他側第 2噴射ノズル28b−1、28b−2、28b−3、28b−4に高圧な溶液を 送給する。そして、洗浄時の溶液の噴射方向を斜め下方(図2において黒矢印方 向)及び斜め上方(図2において白抜き矢印方向)に変更させている。
【0035】 このとき、一側第1噴射ノズル26a−1、26a−2、26a−3、26a −4及び他側第1噴射ノズル26b−1、26b−2、26b−3、26b−4 は、洗浄槽6内に溶液を噴射させ、図6に破線で示す如く、洗浄槽6底部におい て一側第2噴射ノズル28a−1、28a−2、28a−3、28a−4方向及 び他側第2噴射ノズル28b−1、28b−2、28b−3、28b−4方向に 分割される2つの旋回状態を生起している。
【0036】 また、一側第2噴射ノズル28a−1、28a−2、28a−3、28a−4 及び他側第2噴射ノズル28b−1、28b−2、28b−3、28b−4は、 洗浄槽6内に溶液を噴射させ、図7に破線で示す如く、洗浄槽6上部において一 側第1噴射ノズル26a−1、26a−2、26a−3、26a−4方向及び他 側第1噴射ノズル26b−1、26b−2、26b−3、26b−4方向に分割 される2つの旋回状態を生起する。
【0037】 これにより、前記バスケット4内のワーク4aの洗浄工程において、高圧な溶 液の噴射方向を斜め下方(図2において黒矢印方向)及び斜め上方(図2におい て白抜き矢印方向)に交互に変更させることができ、ワークを確実に洗浄し得て 、洗浄効率を向上させることができるとともに、洗浄工程に要する処理時間を小 とし得て、実用上有利である。
【0038】 また、バスケット4の下降動作及び上昇動作時にも溶液の噴射を行っており、 第1、第2噴射ノズル26、28の噴射方向の変更と相俟ってワークの全域を隅 々まで洗浄することができ、洗浄作業の信頼性が大となり、使い勝手を向上し得 るものである。
【0039】 更に、前記制御部24内のプログラムの変更により、第1、第2開閉弁34、 36を交互に開閉動作させる際の時間を任意に設定し得て、非洗浄物の形状の複 雑さに応じて前記第1、第2噴射ノズル26、28の噴射時期を切換でき、非洗 浄物の形状に拘らず洗浄作業の効率向上を図ることができ、汎用性を大とし得る ものである。
【0040】 図10はこの発明の第2実施例を示すものである。この第2実施例において、 上述第1実施例と同一機能を果たす箇所には同一符号を付して説明する。
【0041】 この第2実施例の特徴とするところは、第1、第2噴射ノズル50、52を上 下方向に移動、つまり揺動可能に構成した点にある。
【0042】 すなわち、図10に示す如く、第1、第2噴射ノズル50、52の上下方向へ の移動ストロークを例えば100〓とし、洗浄時間中に第1、第2噴射ノズル5 0、52を低速度にて移動させるものである。
【0043】 さすれば、バスケット4の下降動作及び上昇動作時に、第1、第2噴射ノズル 50、52をも上下方向に移動させるとともに、第1、第2噴射ノズル50、5 2から溶液の噴射を行っており、第1、第2噴射ノズル50、52の噴射方向の 変更と相俟ってワークの全域、つまり第1噴射ノズル50の上限値でのバスケッ ト4の上面中央部位の洗浄から第2噴射ノズル52の下限値でのバスケット4の 底面中央部位の洗浄まで隅々を確実に洗浄することができ、洗浄作業の信頼性が 大となり、使い勝手を向上し得るものである。
【0044】 また、前記バスケット4内のワーク4aの洗浄工程において、第1、第2噴射 ノズル50、52の高圧な溶液の噴射方向を斜め下方及び斜め上方に交互に変更 させることができることにより、バスケット4の下降動作及び上昇動作及び第1 、第2噴射ノズル50、52の上下方向への移動と相俟って効果的にワークを洗 浄し得て、洗浄効率を向上させることができるとともに、洗浄工程に要する処理 時間を小とし得て、実用上有利である。
【0045】 なお、この考案は上述第1、第2実施例に限定されるものではなく、種々の応 用改変が可能である。
【0046】 例えば、この考案の第1及び第2実施例においては、作業槽として洗浄槽につ いて説明したが、すすぎ槽内に第1、第2噴射ノズルを配設し、すすぎ効率を向 上させることもできる。
【0047】 また、この考案の第1及び第2実施例において、非洗浄物としてワークの洗浄 装置について説明したが、詳細にはプリント基板や機械加工品、あるいはその他 の非洗浄物に使用することも可能である。
【0048】 更に、この考案の第1実施例においては、第1噴射ノズルを4個の一側第1噴 射ノズルと4個の他側第1噴射ノズルとにより構成するとともに、第2噴射ノズ ルを4個の一側第2噴射ノズルと4個の他側第2噴射ノズルとにより構成したが 、作業槽の奥行きに応じて一側及び他側の噴射ノズル数を増減させることも可能 である。
【0049】
以上詳細に説明した如くこの考案によれば、非洗浄物を上下方向に搬送する縦 搬送機構を設けるとともに洗浄装置の噴射ノズルを作業槽の中心部位に指向すべ く噴射方向を斜め下方に傾斜させた上段用第1噴射ノズルと作業槽の中心部位に 指向すべく噴射方向を斜め上方に傾斜させた下段用第2噴射ノズルとにより形成 し、これら第1、第2噴射ノズルに夫々連絡する第1、第2液体通路を夫々設け 、これら第1、第2液体通路途中に第1、第2液体通路を開閉する第1、第2開 閉弁を設けるとともに、第1、第2開閉弁を所定時間毎且つ交互に開閉動作させ 第1、第2噴射ノズルの噴射時期を切り換えるべく制御する制御部を設けたので 、高圧な溶液の噴射方向を斜め下方及び斜め上方に交互に変更させることができ 、非洗浄物を確実に洗浄し得て、洗浄効率を向上させることができるとともに、 洗浄工程に要する処理時間を小とし得る。
【0050】 また、非洗浄物の下降動作及び上昇動作時に溶液の噴射を行うことにより、第 1、第2噴射ノズルの噴射方向の変更と相俟って非洗浄物の全域を隅々まで洗浄 することができ、洗浄作業の信頼性が大となり、使い勝手を向上し得るものであ る。
【0051】 更に、前記制御部内のプログラムの変更により、第1、第2開閉弁を交互に開 閉動作させる際の時間を任意に設定し得て、非洗浄物の形状の複雑さに応じて第 1、第2噴射ノズルの噴射時期を切換でき、非洗浄物の形状に拘らず洗浄作業の 効率向上を図ることができ、汎用性を大とし得る。
【図1】この考案の第1実施例を示す第1、第2噴射ノ
ズルの概略斜視図である。
ズルの概略斜視図である。
【図2】洗浄槽の概略図である。
【図3】洗浄装置の概略図である。
【図4】洗浄装置の概略構成図である。
【図5】洗浄槽の概略正面図である。
【図6】第1噴射ノズルによる噴射時の溶液の旋回状態
を示す図である。
を示す図である。
【図7】第2噴射ノズルによる噴射時の溶液の旋回状態
を示す図である。
を示す図である。
【図8】洗浄装置の各工程を示す図である。
【図9】バスケットの概略図である。
【図10】この考案の第2実施例を示す洗浄槽の概略正
面図である。
面図である。
2 洗浄装置 4 バスケット 6 洗浄槽 10 液切り槽 12 第1すすぎ槽 14 第1水切り槽 16 第2すすぎ槽 18 第2水切り槽 20 乾燥部 24 制御部 26 上段用第1噴射ノズル 28 下段用第2噴射ノズル 30 第1液体通路 32 第2液体通路 34 第1開閉弁 36 第2開閉弁 42 ポンプ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年9月2日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図6】
【図7】
【図9】
【図5】
【図10】
【図8】
Claims (1)
- 【請求項1】 非洗浄物を搬送しつつ少なくとも洗浄、
液切り、すすぎ、そして水切りの各工程を行うとともに
作業槽内に位置させた非洗浄物に溶液を噴射する噴射ノ
ズルを有する洗浄装置において、前記非洗浄物を上下方
向に搬送する縦搬送機構を設け、前記噴射ノズルを前記
作業槽の中心部位に指向すべく噴射方向を斜め下方に傾
斜させた上段用第1噴射ノズルと前記作業槽の中心部位
に指向すべく噴射方向を斜め上方に傾斜させた下段用第
2噴射ノズルとにより形成し、これら第1、第2噴射ノ
ズルに夫々連絡する第1、第2液体通路を夫々設け、こ
れら第1、第2液体通路途中には第1、第2液体通路を
開閉する第1、第2開閉弁を設け、前記縦搬送機構によ
り非洗浄物を上下方向に搬送すると同時にこれら第1、
第2開閉弁を所定時間毎且つ交互に開閉動作させ前記第
1、第2噴射ノズルの噴射時期を切り換えるべく制御す
る制御部を設けたことを特徴とする噴射方向を傾斜させ
た噴射ノズルを有する洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4139593U JPH077785U (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 噴射方向を傾斜させた噴射ノズルを有する洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4139593U JPH077785U (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 噴射方向を傾斜させた噴射ノズルを有する洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH077785U true JPH077785U (ja) | 1995-02-03 |
Family
ID=12607196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4139593U Pending JPH077785U (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 噴射方向を傾斜させた噴射ノズルを有する洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077785U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5267890U (ja) * | 1975-11-13 | 1977-05-19 | ||
| JP2011224438A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Panasonic Corp | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
| JP2013094768A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-20 | Toste Co Ltd | ゴム栓洗浄方法及びゴム栓洗浄装置 |
| JP2013099705A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-23 | Shibuya Machinery Co Ltd | 物品洗浄装置 |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP4139593U patent/JPH077785U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5267890U (ja) * | 1975-11-13 | 1977-05-19 | ||
| JP2011224438A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Panasonic Corp | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
| JP2013094768A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-20 | Toste Co Ltd | ゴム栓洗浄方法及びゴム栓洗浄装置 |
| JP2013099705A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-23 | Shibuya Machinery Co Ltd | 物品洗浄装置 |
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