JPH07785Y2 - 圧電バルブ - Google Patents
圧電バルブInfo
- Publication number
- JPH07785Y2 JPH07785Y2 JP1988112937U JP11293788U JPH07785Y2 JP H07785 Y2 JPH07785 Y2 JP H07785Y2 JP 1988112937 U JP1988112937 U JP 1988112937U JP 11293788 U JP11293788 U JP 11293788U JP H07785 Y2 JPH07785 Y2 JP H07785Y2
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- JP
- Japan
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- valve
- support plate
- drive member
- valve body
- fluid
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 27
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、電圧の印加により歪みを生じる圧電素子を利
用して弁座を開閉する圧電バルブに関するものである。
用して弁座を開閉する圧電バルブに関するものである。
［従来の技術］ 電圧の印加により歪みを生じる圧電素子を利用して弁座
を開閉するようにした圧電バルブは、例えば実開昭61-1
52872号公報によって既に知られている。
を開閉するようにした圧電バルブは、例えば実開昭61-1
52872号公報によって既に知られている。
しかしながら、この種の圧電バルブは、一般に、プレー
ト状の支持板に上記圧電素子を取り付けると共に、弁座
を開閉する弁体を取付け、電圧の印加により上記支持板
を撓ませて弁座を開閉するものであるため、幅のある支
持板が邪魔になって流体の円滑な流れが阻害されたり、
逆に、支持板が撓む際に流体の流れによる影響を受け、
弁座の開閉が速やかに行われにくい等の欠点があった。
ト状の支持板に上記圧電素子を取り付けると共に、弁座
を開閉する弁体を取付け、電圧の印加により上記支持板
を撓ませて弁座を開閉するものであるため、幅のある支
持板が邪魔になって流体の円滑な流れが阻害されたり、
逆に、支持板が撓む際に流体の流れによる影響を受け、
弁座の開閉が速やかに行われにくい等の欠点があった。
［考案が解決しようとする課題］ 本考案が解決しようとする課題は、圧電素子を利用して
弁座を開閉する圧電バルブにおいて、上記幅広の支持板
が流体の流れに及ぼす影響を排除して流体の円滑な流れ
を確保すると共に、該支持板が流体の流れにより受ける
影響を少なくして弁座の開閉を円滑ならしめることにあ
る。
弁座を開閉する圧電バルブにおいて、上記幅広の支持板
が流体の流れに及ぼす影響を排除して流体の円滑な流れ
を確保すると共に、該支持板が流体の流れにより受ける
影響を少なくして弁座の開閉を円滑ならしめることにあ
る。
［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するために、本考案によれば、相対向す
る弁座を備えた弁室内に、電圧の印加により撓んでこれ
らの弁座を開閉する駆動部材を、端部を定位置に保持さ
せた状態で上記弁座間に位置するように配設してなる圧
電バルブにおいて、上記駆動部材が、可撓性ある支持板
と、該支持板の両面に貼着されて電圧の印加により歪み
を生じる圧電素子と、上記支持板に取付けられた弁座開
閉のための弁体とからなっていて、上記支持板における
弁体の回りの部分に、流体を駆動部材の表裏面側に流通
させるための複数の通孔が、上記弁体に対して略対称に
開設されたものが提供される。
る弁座を備えた弁室内に、電圧の印加により撓んでこれ
らの弁座を開閉する駆動部材を、端部を定位置に保持さ
せた状態で上記弁座間に位置するように配設してなる圧
電バルブにおいて、上記駆動部材が、可撓性ある支持板
と、該支持板の両面に貼着されて電圧の印加により歪み
を生じる圧電素子と、上記支持板に取付けられた弁座開
閉のための弁体とからなっていて、上記支持板における
弁体の回りの部分に、流体を駆動部材の表裏面側に流通
させるための複数の通孔が、上記弁体に対して略対称に
開設されたものが提供される。
［作用］ 電圧の印加により駆動部材が撓むと、弁体が弁座を開放
して圧力流体が弁室を流れる。
して圧力流体が弁室を流れる。
この場合、圧力流体が、支持板における弁体の回りに略
対称に開設した複数の通孔を通じて駆動部材の表裏面側
に自由に流れることにより、弁室内における流体の流れ
がスムーズになり、また、弁体周囲の流体圧が平均化さ
れると共に、駆動部材が撓む際に流体による影響を受け
にくくなるため、弁体の変移が円滑かつ迅速となって弁
座の開閉が速やかに行われる。
対称に開設した複数の通孔を通じて駆動部材の表裏面側
に自由に流れることにより、弁室内における流体の流れ
がスムーズになり、また、弁体周囲の流体圧が平均化さ
れると共に、駆動部材が撓む際に流体による影響を受け
にくくなるため、弁体の変移が円滑かつ迅速となって弁
座の開閉が速やかに行われる。
また、複数の通孔の形成によって支持板における弁体取
付部分の弾性力が大きくなるので、弁体による弁座のシ
ール性が向上し、かつ弁体の摩耗が小さい。
付部分の弾性力が大きくなるので、弁体による弁座のシ
ール性が向上し、かつ弁体の摩耗が小さい。
さらに、上記通孔が圧電素子に直接設けられていないた
め、該圧電素子の変形が均一化されて寿命が長く、かつ
加工及び絶縁劣化の防止が容易である。
め、該圧電素子の変形が均一化されて寿命が長く、かつ
加工及び絶縁劣化の防止が容易である。
［実施例］ 第１図及び第２図は本考案の第１実施例を示し、この圧
電バルブは、弁本体１内に弁座11,12を開閉するための
駆動部材２を備えている。
電バルブは、弁本体１内に弁座11,12を開閉するための
駆動部材２を備えている。
上記弁本体１は、隔壁４によって２個の凹室を形成した
本体部材1a,1bを、適宜の手段で接合一体化し、これら
の凹室により弁室５と給電室６を形成している。
本体部材1a,1bを、適宜の手段で接合一体化し、これら
の凹室により弁室５と給電室６を形成している。
弁本体１は、弁室５に通ずる入力ポート７、出力ポート
８及び排出ポート９を備え、入力ポート７に螺着した弁
座体10の先端と排出ポート９の先端とに、それぞれ弁室
５内に開口する弁座11及び12を相対向するように形設
し、弁座体10を本体部材1aに対して進退できることによ
って、弁座11と12との間の距離を調整することができる
ようにしている。
８及び排出ポート９を備え、入力ポート７に螺着した弁
座体10の先端と排出ポート９の先端とに、それぞれ弁室
５内に開口する弁座11及び12を相対向するように形設
し、弁座体10を本体部材1aに対して進退できることによ
って、弁座11と12との間の距離を調整することができる
ようにしている。
本体部材1a,1bにおける隔壁4,4間には、板状の駆動部材
２の基端近くが気密に嵌着され、弁室５を横切って延び
る該駆動部材２の先端部の、上記弁座11と12との間に位
置する部分に、これらの弁座11及び12を開閉する弁体14
が固着されている。
２の基端近くが気密に嵌着され、弁室５を横切って延び
る該駆動部材２の先端部の、上記弁座11と12との間に位
置する部分に、これらの弁座11及び12を開閉する弁体14
が固着されている。
上記駆動部材２は、電極を構成する可撓性の支持板15の
両面に、電圧の印加極性によって互いに伸縮する圧電素
子16,16を貼合わせることにより構成され、支持板15に
おける弁体14の回りの部分には、弁室５内の圧力流体を
通過させるための複数の通孔17が、弁体14に対して略対
称に開設されており、所定の極性の電圧を印加すると一
方向に撓み、これと逆極性の電圧を印加するか或いは電
圧の印加を解除すると上記と反対方向に撓むものであ
る。
両面に、電圧の印加極性によって互いに伸縮する圧電素
子16,16を貼合わせることにより構成され、支持板15に
おける弁体14の回りの部分には、弁室５内の圧力流体を
通過させるための複数の通孔17が、弁体14に対して略対
称に開設されており、所定の極性の電圧を印加すると一
方向に撓み、これと逆極性の電圧を印加するか或いは電
圧の印加を解除すると上記と反対方向に撓むものであ
る。
第１図中の符号18は、駆動部材２に電圧を印加するため
の給電線である。
の給電線である。
上記第１実施例は、弁体14が弁座11を閉鎖している第１
図の状態において、駆動部材２に所定の極性の電圧を印
加すると、該駆動部材２が図における上方に撓んで弁座
11を開放するとともに弁座12を閉鎖するので、入力ポー
ト７の圧力流体が弁室５を通って出力ポート８に流出す
る。また、上記電圧の印加を解除するか、或いは上記と
逆極性の電圧を印加すると、弁体14が第１図の状態に復
帰して、出力ポート８の流体が弁室５を通って排出ポー
ト９に流出する。
図の状態において、駆動部材２に所定の極性の電圧を印
加すると、該駆動部材２が図における上方に撓んで弁座
11を開放するとともに弁座12を閉鎖するので、入力ポー
ト７の圧力流体が弁室５を通って出力ポート８に流出す
る。また、上記電圧の印加を解除するか、或いは上記と
逆極性の電圧を印加すると、弁体14が第１図の状態に復
帰して、出力ポート８の流体が弁室５を通って排出ポー
ト９に流出する。
この場合、支持板15における弁体14の回りの部分に複数
の通孔17が弁体14に対して略対称に開設され、これらの
通孔17を通じて流体が駆動部材２の表裏方向に自由に流
通できるため、弁室５内の流体の流れがスムーズにな
り、しかも、弁体14の周囲の流体圧が平均化されると共
に、駆動部材２が撓む際に流体による影響を受けにくく
なるため、弁体14の変移が円滑かつ迅速となって弁座1
1,12の開閉動作が速やかに行われる。
の通孔17が弁体14に対して略対称に開設され、これらの
通孔17を通じて流体が駆動部材２の表裏方向に自由に流
通できるため、弁室５内の流体の流れがスムーズにな
り、しかも、弁体14の周囲の流体圧が平均化されると共
に、駆動部材２が撓む際に流体による影響を受けにくく
なるため、弁体14の変移が円滑かつ迅速となって弁座1
1,12の開閉動作が速やかに行われる。
さらに、上記通孔17の形成により、支持板15の弁体14を
支持する部分の弾性力が大きくなるため、該弁体14によ
る弁座11,12のシール性が向上するとともに、弁体14の
摩耗が小さくなる。
支持する部分の弾性力が大きくなるため、該弁体14によ
る弁座11,12のシール性が向上するとともに、弁体14の
摩耗が小さくなる。
第３図A,Bは、上記第１実施例における駆動部材２の変
形例を示すもので、この駆動部材２を構成する支持板15
a,15bには、その先端部に設けた弁体14を取り囲む位置
に、第２図とは別形状の通孔17a,17bが、弁体14に対し
て略対称に開設されている。
形例を示すもので、この駆動部材２を構成する支持板15
a,15bには、その先端部に設けた弁体14を取り囲む位置
に、第２図とは別形状の通孔17a,17bが、弁体14に対し
て略対称に開設されている。
第４図及び第５図は、駆動部材22を両端支持とした本考
案の第２実施例を示し、この第２実施例における弁本体
21は、２個の隔壁4,4によって区画された弁室５と給電
室６とを備え、駆動部材22は、両端近くが隔壁4,4間に
気密に装着され、その中心部分に弁座11,12を開閉する
弁体14を有し、支持板15における弁体14の回りの部分
に、複数の通孔17が弁体14に対して略対称に開設されて
いる。
案の第２実施例を示し、この第２実施例における弁本体
21は、２個の隔壁4,4によって区画された弁室５と給電
室６とを備え、駆動部材22は、両端近くが隔壁4,4間に
気密に装着され、その中心部分に弁座11,12を開閉する
弁体14を有し、支持板15における弁体14の回りの部分
に、複数の通孔17が弁体14に対して略対称に開設されて
いる。
第２実施例の他の構成及び作用は第１実施例と同じであ
るから、図中主要な部分に同一の符号を付して、詳細な
説明は省略する。
るから、図中主要な部分に同一の符号を付して、詳細な
説明は省略する。
第６図A,Bは、第２実施例における駆動部材22の変形例
を示すもので、この駆動部材22は、支持板15における弁
体14の回りの部分に、第５図とは別形状の通孔17a,17b
が、弁体14に対して略対称に開設されている。
を示すもので、この駆動部材22は、支持板15における弁
体14の回りの部分に、第５図とは別形状の通孔17a,17b
が、弁体14に対して略対称に開設されている。
第７図及び第８図は、本考案の圧電バルブにおいて使用
される駆動部材25の異なる構成例を示すもので、この駆
動部材25は、弁室５内における露出部分の全表面が、通
孔17の孔壁をも含んで絶縁性シール部材26により被覆さ
れ、弁体27もこの絶縁性シール部材26で形成されてい
る。
される駆動部材25の異なる構成例を示すもので、この駆
動部材25は、弁室５内における露出部分の全表面が、通
孔17の孔壁をも含んで絶縁性シール部材26により被覆さ
れ、弁体27もこの絶縁性シール部材26で形成されてい
る。
上述した駆動部材25は、外表面が絶縁性シール部材26で
被覆されているので、圧力流体が導電性流体または水分
を含む気体である場合に好適に使用することができる。
被覆されているので、圧力流体が導電性流体または水分
を含む気体である場合に好適に使用することができる。
なお、上述の各実施例において、入力ポート７と排出ポ
ート９を逆にすることもできる。
ート９を逆にすることもできる。
［考案の効果］ 本考案の圧電バルブによれば、駆動部材を構成する支持
板の弁体と取り囲む位置に、複数の通孔を該弁体に対し
て略対称に開設したので、これらの通孔を通じて駆動部
材の表裏面側に流体が自由に流れることにより、弁室内
における流体の流れがスムーズになり、しかも、弁体周
囲の流体圧が平均化されると共に、駆動部材が撓む際に
流体による影響を受けにくくなるため、弁体の変移が円
滑かつ迅速となって弁座の開閉が速やかに行われる。
板の弁体と取り囲む位置に、複数の通孔を該弁体に対し
て略対称に開設したので、これらの通孔を通じて駆動部
材の表裏面側に流体が自由に流れることにより、弁室内
における流体の流れがスムーズになり、しかも、弁体周
囲の流体圧が平均化されると共に、駆動部材が撓む際に
流体による影響を受けにくくなるため、弁体の変移が円
滑かつ迅速となって弁座の開閉が速やかに行われる。
また、複数の通孔の形成によって支持板における弁体取
付部分の弾性力が大きくなるので、弁体におる弁座のシ
ール性が向上し、かつ該弁体の摩耗も小さくなる。
付部分の弾性力が大きくなるので、弁体におる弁座のシ
ール性が向上し、かつ該弁体の摩耗も小さくなる。
さらに、上記通孔を支持板に形成することにより、圧電
素子に直接設ける必要がないため、該圧電素子の変形を
均一化して寿命を長くすることができるばかりでなく、
その加工及び絶縁劣化の防止を容易に行うことができ
る。
素子に直接設ける必要がないため、該圧電素子の変形を
均一化して寿命を長くすることができるばかりでなく、
その加工及び絶縁劣化の防止を容易に行うことができ
る。
第１図は本考案の第１実施例を示す縦断面図、第２図は
第１図に示す駆動部材の平面図、第３図A,Bは第１実施
例における駆動部材の変形例を示す要部平面図、第４図
は本考案の第２実施例を示す縦断面図、第５図は第４図
に示す駆動部材の平面図、第６図A,Bは第２実施例にお
ける駆動部材の変形例を示す要部平面図、第７図は本考
案の圧電バルブにおいて使用される駆動部材の異なる構
成例を示す平面図、第８図は第７図のＡ−Ａ断面図であ
る。 2,22,25……駆動部材、５……弁室 11,12……弁座、14,27……弁体 15,15a,15b……支持板、16……圧電素子 17,17a,17b……通孔
第１図に示す駆動部材の平面図、第３図A,Bは第１実施
例における駆動部材の変形例を示す要部平面図、第４図
は本考案の第２実施例を示す縦断面図、第５図は第４図
に示す駆動部材の平面図、第６図A,Bは第２実施例にお
ける駆動部材の変形例を示す要部平面図、第７図は本考
案の圧電バルブにおいて使用される駆動部材の異なる構
成例を示す平面図、第８図は第７図のＡ−Ａ断面図であ
る。 2,22,25……駆動部材、５……弁室 11,12……弁座、14,27……弁体 15,15a,15b……支持板、16……圧電素子 17,17a,17b……通孔
Claims (1)
- 【請求項１】相対向する弁座を備えた弁室内に、電圧の
印加により撓んでこれらの弁座を開閉する駆動部材を、
端部を定位置に保持させた状態で上記弁座間に位置する
ように配設してなる圧電バルブにおいて、 上記駆動部材が、可撓性ある支持板と、該支持板の両面
に貼着されて電圧の印加により歪みを生じる圧電素子
と、上記支持板に取付けられた弁座開閉のための弁体と
からなっていて、上記支持板における弁体の回りの部分
に、流体を駆動部材の表裏面側に流通させるための複数
の通孔が、上記弁体に対して略対称に開設されている、 ことを特徴とする圧電バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988112937U JPH07785Y2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 圧電バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988112937U JPH07785Y2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 圧電バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0233979U JPH0233979U (ja) | 1990-03-05 |
| JPH07785Y2 true JPH07785Y2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=31352332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988112937U Expired - Lifetime JPH07785Y2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 圧電バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07785Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024214345A1 (ja) * | 2023-04-11 | 2024-10-17 | Smc株式会社 | 弁装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140333703A1 (en) * | 2013-05-10 | 2014-11-13 | Matthews Resources, Inc. | Cantilevered Micro-Valve and Inkjet Printer Using Said Valve |
| MX2020012074A (es) * | 2018-05-11 | 2021-03-09 | Matthews Int Corp | Sistemas y métodos para sellar microválvulas para su uso en conjuntos de chorros. |
| JP6937417B1 (ja) * | 2020-10-07 | 2021-09-22 | 株式会社Taiyo | 流体制御弁 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60192178A (ja) * | 1984-03-09 | 1985-09-30 | Hitachi Ltd | 流量制御弁 |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP1988112937U patent/JPH07785Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024214345A1 (ja) * | 2023-04-11 | 2024-10-17 | Smc株式会社 | 弁装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0233979U (ja) | 1990-03-05 |
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