JPH0778794A - ダイシング装置のカセットテーブル - Google Patents
ダイシング装置のカセットテーブルInfo
- Publication number
- JPH0778794A JPH0778794A JP17475693A JP17475693A JPH0778794A JP H0778794 A JPH0778794 A JP H0778794A JP 17475693 A JP17475693 A JP 17475693A JP 17475693 A JP17475693 A JP 17475693A JP H0778794 A JPH0778794 A JP H0778794A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- area
- cassette table
- dicing device
- guide
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- Pending
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- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カセット載置領域が狭くてもカセットの着脱
を容易に出来るようにした、ダイシング装置のカセット
テーブルを得る。 【構成】 カセットを載置し、このカセットにウェーハ
をウェーハを出し入れするため上下動可能に形成された
ダイシング装置のカセットテーブルにおいて、このカセ
ットテーブルはスライド手段により引き出し式に構成さ
れており、カセット着脱領域と、昇降領域に位置付けら
れる。
を容易に出来るようにした、ダイシング装置のカセット
テーブルを得る。 【構成】 カセットを載置し、このカセットにウェーハ
をウェーハを出し入れするため上下動可能に形成された
ダイシング装置のカセットテーブルにおいて、このカセ
ットテーブルはスライド手段により引き出し式に構成さ
れており、カセット着脱領域と、昇降領域に位置付けら
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイシング装置のカセ
ットテーブルに関するものである。
ットテーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ダイシング装置においては、例えば図８
に示すようにウェーハを収納したカセット１をカセット
テーブル２に載置し、このカセットテーブル２を間欠的
に上昇させながらカセット１内のウェーハをウェーハ搬
出入手段３によって１枚ずつ取り出し、所定の切削及び
洗浄工程等を経た後、処理後のウェーハを再びカセット
１内に収納し、全ウェーハの終了後カセットテーブル２
を元の位置まで復帰させてから次のカセットと交換する
ようになっている。
に示すようにウェーハを収納したカセット１をカセット
テーブル２に載置し、このカセットテーブル２を間欠的
に上昇させながらカセット１内のウェーハをウェーハ搬
出入手段３によって１枚ずつ取り出し、所定の切削及び
洗浄工程等を経た後、処理後のウェーハを再びカセット
１内に収納し、全ウェーハの終了後カセットテーブル２
を元の位置まで復帰させてから次のカセットと交換する
ようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来装置による
と、カセット載置領域がダイシング装置４の角隅部の一
段低い位置に設けられており、しかもカセットテーブル
２に載置するカセット１とダイシング装置４の側壁４ａ
との間隔が狭いため、カセット１の着脱作業がし難いば
かりかカセット１を側壁４ａにぶつけてウェーハを損傷
する等の不具合が有った。又、通常はカセット載置領域
の前面側にアクリルの開閉カバーが取り付けられるた
め、カセット１の着脱作業が益々し難くなり、複数のダ
イシング装置が密接して並設されているような場合には
隣りのダイシング装置にも接触する等の不都合が生じ
た。このような問題点を解決するには、例えば前記カセ
ット１と側壁４ａとの間隔を広く取れば良いが、ダイシ
ング装置４の大型化を招いて好ましくなく、並設するダ
イシング装置間も広く保持すればクリーンルームのスペ
ースを多くとって不経済になる等の新たな問題が生じ
る。本発明は、上記従来の問題点を解決するためになさ
れ、カセット載置領域が狭くてもカセットの着脱を極め
て容易に出来るようにした、ダイシング装置のカセット
テーブルを提供することを課題としたものである。
と、カセット載置領域がダイシング装置４の角隅部の一
段低い位置に設けられており、しかもカセットテーブル
２に載置するカセット１とダイシング装置４の側壁４ａ
との間隔が狭いため、カセット１の着脱作業がし難いば
かりかカセット１を側壁４ａにぶつけてウェーハを損傷
する等の不具合が有った。又、通常はカセット載置領域
の前面側にアクリルの開閉カバーが取り付けられるた
め、カセット１の着脱作業が益々し難くなり、複数のダ
イシング装置が密接して並設されているような場合には
隣りのダイシング装置にも接触する等の不都合が生じ
た。このような問題点を解決するには、例えば前記カセ
ット１と側壁４ａとの間隔を広く取れば良いが、ダイシ
ング装置４の大型化を招いて好ましくなく、並設するダ
イシング装置間も広く保持すればクリーンルームのスペ
ースを多くとって不経済になる等の新たな問題が生じ
る。本発明は、上記従来の問題点を解決するためになさ
れ、カセット載置領域が狭くてもカセットの着脱を極め
て容易に出来るようにした、ダイシング装置のカセット
テーブルを提供することを課題としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、カセットを載置し、
このカセットにウェーハを出し入れするため上下動可能
に形成されたダイシング装置のカセットテーブルにおい
て、このカセットテーブルはスライド手段により引き出
し式に構成されており、カセット着脱領域と、昇降領域
に位置付けられることを要旨とする。
するための手段として、本発明は、カセットを載置し、
このカセットにウェーハを出し入れするため上下動可能
に形成されたダイシング装置のカセットテーブルにおい
て、このカセットテーブルはスライド手段により引き出
し式に構成されており、カセット着脱領域と、昇降領域
に位置付けられることを要旨とする。
【０００５】
【作 用】カセットテーブルを手前に引き出せばカセッ
トの着脱を容易に行うことが出来、そのカセット着脱領
域においてカセットを載置した後、カセットテーブルを
押し込めば正規のカセット載置領域、即ちカセット昇降
領域に位置付けすることが出来る。
トの着脱を容易に行うことが出来、そのカセット着脱領
域においてカセットを載置した後、カセットテーブルを
押し込めば正規のカセット載置領域、即ちカセット昇降
領域に位置付けすることが出来る。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１において、１はカセットであり、ダイシ
ング装置４の角隅部に設けられたカセット載置領域のカ
セットテーブル２上に保持するようになっている。
詳説する。図１において、１はカセットであり、ダイシ
ング装置４の角隅部に設けられたカセット載置領域のカ
セットテーブル２上に保持するようになっている。
【０００７】前記カセットテーブル２は、引き出し式に
形成され例えば図２、図３に示すように、テーブルガイ
ド５に対しスライド手段６により前後にスライド可能に
取り付けられ、上面には複数個のカセット位置決め用突
起２ａを有し、前面側には手掛け部２ｂを有している。
このカセットテーブル２は手前に引き出すと、スライド
手段６のストッパー６ａにより停止しダイシング装置４
の前方に突出してカセット着脱領域Ｐとなり、この状態
で前記カセット位置決め用突起２ａ内にカセット１を嵌
め込んで載置する。載置後にカセットテーブル２を押し
込むと、テーブルガイド５の後端部に設けられた磁石等
のストッパー５ａにより停止してカセット載置領域に戻
り、即ちカセット昇降領域Ｑに位置付けすることが出来
る。
形成され例えば図２、図３に示すように、テーブルガイ
ド５に対しスライド手段６により前後にスライド可能に
取り付けられ、上面には複数個のカセット位置決め用突
起２ａを有し、前面側には手掛け部２ｂを有している。
このカセットテーブル２は手前に引き出すと、スライド
手段６のストッパー６ａにより停止しダイシング装置４
の前方に突出してカセット着脱領域Ｐとなり、この状態
で前記カセット位置決め用突起２ａ内にカセット１を嵌
め込んで載置する。載置後にカセットテーブル２を押し
込むと、テーブルガイド５の後端部に設けられた磁石等
のストッパー５ａにより停止してカセット載置領域に戻
り、即ちカセット昇降領域Ｑに位置付けすることが出来
る。
【０００８】前記テーブルガイド５には図２に示すよう
に昇降基台７が固定され、この昇降基台７を介して前記
カセットテーブル２を図４のように昇降手段８によって
昇降させる。
に昇降基台７が固定され、この昇降基台７を介して前記
カセットテーブル２を図４のように昇降手段８によって
昇降させる。
【０００９】前記昇降手段８は、ベース８ａにブラケッ
ト８ｂが立設され、このブラケット８ｂでボールスクリ
ュー８ｃを垂直に保持し、前記ベース８ａ上に設置した
サーボモーター８ｄによってボールスクリュー８ｃを正
逆回転させ、このボールスクリュー８ｃに螺合したナッ
ト８ｅを上下動する機構になっている。このナット８ｅ
には前記昇降基台７の下部に取り付けた係合ブロック７
ａが固定され、この係合ブロック７ａの両端部は前記ベ
ース８ａとブラケット８ｂ間に立設された一対のガイド
バー８ｆに摺動自在に嵌合している。従って、昇降手段
８のボールスクリュー８ｃを回転させると、昇降基台７
を介してカセットテーブル２を自在に昇降させることが
出来る。
ト８ｂが立設され、このブラケット８ｂでボールスクリ
ュー８ｃを垂直に保持し、前記ベース８ａ上に設置した
サーボモーター８ｄによってボールスクリュー８ｃを正
逆回転させ、このボールスクリュー８ｃに螺合したナッ
ト８ｅを上下動する機構になっている。このナット８ｅ
には前記昇降基台７の下部に取り付けた係合ブロック７
ａが固定され、この係合ブロック７ａの両端部は前記ベ
ース８ａとブラケット８ｂ間に立設された一対のガイド
バー８ｆに摺動自在に嵌合している。従って、昇降手段
８のボールスクリュー８ｃを回転させると、昇降基台７
を介してカセットテーブル２を自在に昇降させることが
出来る。
【００１０】図５は本発明の他の実施例を示すもので、
カセットテーブル２２のスライド手段２６はテーブルガ
イド２５の両側にガイドレール２５ａを備え、このガイ
ドレール２５ａに沿ってカセットテーブル２２を摺動自
在に係合しており、更にカセットテーブル２２の下部に
取り付けたほぼＵ型の昇降基台２７が昇降手段２８のボ
ールスクリュー２８ｃに螺合すると共に、一対のガイド
バー２８ｆに摺動自在に嵌合した構成になっている。従
って、この場合も昇降手段２８のボールスクリュー２８
ｃを回転させることで、昇降基台２７を介してカセット
テーブル２２を自在に昇降させることが出来る。
カセットテーブル２２のスライド手段２６はテーブルガ
イド２５の両側にガイドレール２５ａを備え、このガイ
ドレール２５ａに沿ってカセットテーブル２２を摺動自
在に係合しており、更にカセットテーブル２２の下部に
取り付けたほぼＵ型の昇降基台２７が昇降手段２８のボ
ールスクリュー２８ｃに螺合すると共に、一対のガイド
バー２８ｆに摺動自在に嵌合した構成になっている。従
って、この場合も昇降手段２８のボールスクリュー２８
ｃを回転させることで、昇降基台２７を介してカセット
テーブル２２を自在に昇降させることが出来る。
【００１１】上記のように本発明に係るカセットテーブ
ル２は引き出し式になっているので、これを手前に引き
出せば図３に示すようにカセット着脱領域Ｐとなり、こ
のカセット着脱領域でカセット１を容易に着脱すること
が出来る。カセット１を所定位置に載置した後カセット
テーブル２を押し込めば、カセット１をそのまま保持し
た状態で図１に示すようにダイシング装置４のカセット
載置領域（カセット昇降領域Ｑ）に収納することが出来
る。
ル２は引き出し式になっているので、これを手前に引き
出せば図３に示すようにカセット着脱領域Ｐとなり、こ
のカセット着脱領域でカセット１を容易に着脱すること
が出来る。カセット１を所定位置に載置した後カセット
テーブル２を押し込めば、カセット１をそのまま保持し
た状態で図１に示すようにダイシング装置４のカセット
載置領域（カセット昇降領域Ｑ）に収納することが出来
る。
【００１２】カセット載置領域（カセット昇降領域Ｑ）
に収納されたカセット１は、前記昇降手段８によりカセ
ットテーブル２と共に上昇しながら図１に示すウェーハ
搬出入手段３によって１枚ずつ待機領域Ｒに取り出さ
れ、第１の搬送手段９の回転アームによりチャックテー
ブル１０に搬送され、このチャックテーブル１０が横移
動してアライメント手段１１によりアライメントされ、
次いで切削手段１２の回転ブレードによりダイシングさ
れる。ダイシング後チャックテーブル１０が元の位置に
戻ると、ウェーハは第２の搬送手段１３により洗浄手段
１４に搬送され、洗浄後前記第１の搬送手段９により待
機領域Ｒに搬送され、前記ウェーハ搬出入手段３により
再びカセット１の所定位置に収納される。
に収納されたカセット１は、前記昇降手段８によりカセ
ットテーブル２と共に上昇しながら図１に示すウェーハ
搬出入手段３によって１枚ずつ待機領域Ｒに取り出さ
れ、第１の搬送手段９の回転アームによりチャックテー
ブル１０に搬送され、このチャックテーブル１０が横移
動してアライメント手段１１によりアライメントされ、
次いで切削手段１２の回転ブレードによりダイシングさ
れる。ダイシング後チャックテーブル１０が元の位置に
戻ると、ウェーハは第２の搬送手段１３により洗浄手段
１４に搬送され、洗浄後前記第１の搬送手段９により待
機領域Ｒに搬送され、前記ウェーハ搬出入手段３により
再びカセット１の所定位置に収納される。
【００１３】このようにしてカセット１内の全ウェーハ
を処理した後、前記カセットテーブル２を引き出してカ
セット着脱領域Ｐに位置付けし、ここでカセットの交換
をした後、カセットテーブル２を再度カセット載置領域
（カセット昇降領域Ｑ）に押し込んで前記ウェーハの処
理を続行する。
を処理した後、前記カセットテーブル２を引き出してカ
セット着脱領域Ｐに位置付けし、ここでカセットの交換
をした後、カセットテーブル２を再度カセット載置領域
（カセット昇降領域Ｑ）に押し込んで前記ウェーハの処
理を続行する。
【００１４】ところで、前記ダイシング装置４の上部に
は保護カバー１５が取り付けられ、前記カセット載置領
域（カセット昇降領域Ｑ）の前面側には開閉カバー１６
が取り付けられ、前記チャックテーブル１０の前面側及
び切削手段１２の前面側にも、開閉カバー１７、１８が
それぞれ上端部を外ヒンジ１７ａ、１８ａで結合するこ
とにより取り付けられている。
は保護カバー１５が取り付けられ、前記カセット載置領
域（カセット昇降領域Ｑ）の前面側には開閉カバー１６
が取り付けられ、前記チャックテーブル１０の前面側及
び切削手段１２の前面側にも、開閉カバー１７、１８が
それぞれ上端部を外ヒンジ１７ａ、１８ａで結合するこ
とにより取り付けられている。
【００１５】前記切削手段１２の前面側に位置する開閉
カバー１８は、ブレードの交換やスピンドルの点検時に
開けられるが、図６及び図７に示すように内面側の上部
に内ヒンジ１９ａを介して飛沫防止板１９が垂設され、
その飛沫防止板１９の動きを規制するための帯板状のガ
イド板２０を図６に示すように切削領域の内壁に固定し
て取り付けてある。このガイド板２０は上半部がほぼく
字状に折り曲げて形成され上端に行くほど内側に位置す
るようにしてある。
カバー１８は、ブレードの交換やスピンドルの点検時に
開けられるが、図６及び図７に示すように内面側の上部
に内ヒンジ１９ａを介して飛沫防止板１９が垂設され、
その飛沫防止板１９の動きを規制するための帯板状のガ
イド板２０を図６に示すように切削領域の内壁に固定し
て取り付けてある。このガイド板２０は上半部がほぼく
字状に折り曲げて形成され上端に行くほど内側に位置す
るようにしてある。
【００１６】前記開閉カバー１８の内側に飛沫防止板１
９を設けたのは、切削手段１２でウェーハをダイシング
する際に飛び散る水滴（切削液）が開閉カバー１８の内
面に付着して、開閉カバー１８を開けた際水滴が操作盤
２１や床面に落下して汚染するのを防止するためであ
る。即ち、垂れ下げた飛沫防止板１９の内面で水滴を受
け止めて開閉カバー１８に付着するのを阻止するように
してある。
９を設けたのは、切削手段１２でウェーハをダイシング
する際に飛び散る水滴（切削液）が開閉カバー１８の内
面に付着して、開閉カバー１８を開けた際水滴が操作盤
２１や床面に落下して汚染するのを防止するためであ
る。即ち、垂れ下げた飛沫防止板１９の内面で水滴を受
け止めて開閉カバー１８に付着するのを阻止するように
してある。
【００１７】開閉カバー１８を開いた時には、図７に仮
想線で示すように開閉カバー１８の回動動作に伴って飛
沫防止板１９は内ヒンジ１９ａを介して内向き（反時計
方向）に回動するので、外側に張り出して飛沫防止板１
９の内面側に付着した水滴が操作盤２１上や床面に落下
して汚染するようなことはない。
想線で示すように開閉カバー１８の回動動作に伴って飛
沫防止板１９は内ヒンジ１９ａを介して内向き（反時計
方向）に回動するので、外側に張り出して飛沫防止板１
９の内面側に付着した水滴が操作盤２１上や床面に落下
して汚染するようなことはない。
【００１８】一方、開閉カバー１８を閉じた時には、飛
沫防止板１９は下端部がガイド板２０に沿って摺動しな
がら自重により内向き（反時計方向）に回動し、開閉カ
バー１８が完全に閉じるとガイド板２０から離れて垂れ
下がった状態に復帰する。
沫防止板１９は下端部がガイド板２０に沿って摺動しな
がら自重により内向き（反時計方向）に回動し、開閉カ
バー１８が完全に閉じるとガイド板２０から離れて垂れ
下がった状態に復帰する。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダイシング装置におけるカセットテーブルを適宜のスラ
イド手段により引き出し式に構成したので、カセットテ
ーブルを手前に引き出してカセットを載置した後、カセ
ットテーブルを押し込めば正規のカセット載置領域、即
ちカセット昇降領域に位置付けすることが出来る。これ
により、カセット載置領域が狭くてもカセットの着脱を
容易に行うことが出来、作業性が向上すると共にカセッ
トの接触から生じるウェーハの損傷等を未然に防止する
ことが出来、隣接するダイシング装置との隙間も極小に
保持してクリーンルームのスペースを広く活用出来る等
の優れた効果を奏する。
ダイシング装置におけるカセットテーブルを適宜のスラ
イド手段により引き出し式に構成したので、カセットテ
ーブルを手前に引き出してカセットを載置した後、カセ
ットテーブルを押し込めば正規のカセット載置領域、即
ちカセット昇降領域に位置付けすることが出来る。これ
により、カセット載置領域が狭くてもカセットの着脱を
容易に行うことが出来、作業性が向上すると共にカセッ
トの接触から生じるウェーハの損傷等を未然に防止する
ことが出来、隣接するダイシング装置との隙間も極小に
保持してクリーンルームのスペースを広く活用出来る等
の優れた効果を奏する。
【図１】 本発明に係るカセットテーブルを搭載したダ
イシング装置の一例を示す斜視図である。
イシング装置の一例を示す斜視図である。
【図２】 カセットテーブルの実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図３】 同、スライド手段の断面図である。
【図４】 カセットテーブルの上下動の状態を示す斜視
図である。
図である。
【図５】 カセットテーブルの他の実施例を示す斜視図
である。
である。
【図６】 ダイシング装置の切削手段を保護する開閉カ
バー部の斜視図である。
バー部の斜視図である。
【図７】 同、開閉時の状態を示す説明図である。
【図８】 従来例を説明するためのダイシング装置の斜
視図である。
視図である。
１…カセット ２…カセットテーブル ２ａ…位置
決め用突起 ２ｂ…手掛け部 ３…ウェーハ搬出入
手段 ４…ダイシング装置 ４ａ…側壁 ５…テーブルガイド ６…スライド手段 ６ａ…ス
トッパー ７…昇降基台 ７ａ…係合ブロック
８…昇降手段 ８ａ…ベース ８ｂ…ブラケット
８ｃ…ボールスクリュー ８ｄ…サーボモーター
８ｅ…ナット ８ｆ…ガイドバー ９…第一の搬送手段 １０…チ
ャックテーブル １１…アライメント手段 １２…切削手段 １３…
第二の搬送手段 １４…洗浄手段 １５…保護カバ
ー １６、１７、１８…開閉カバー １７ａ、１８
ａ…外ヒンジ １９…飛沫防止板 １９ａ…内ヒン
ジ ２０…ガイド板 ２１…操作盤 ２２…カセ
ットテーブル ２５…テーブルガイド ２５ａ…ガイドレール ２６…スライド手段 ２７
…昇降基台 ２８…昇降手段 ２８ｃ…ボールスク
リュー ２８ｆ…ガイドバー
決め用突起 ２ｂ…手掛け部 ３…ウェーハ搬出入
手段 ４…ダイシング装置 ４ａ…側壁 ５…テーブルガイド ６…スライド手段 ６ａ…ス
トッパー ７…昇降基台 ７ａ…係合ブロック
８…昇降手段 ８ａ…ベース ８ｂ…ブラケット
８ｃ…ボールスクリュー ８ｄ…サーボモーター
８ｅ…ナット ８ｆ…ガイドバー ９…第一の搬送手段 １０…チ
ャックテーブル １１…アライメント手段 １２…切削手段 １３…
第二の搬送手段 １４…洗浄手段 １５…保護カバ
ー １６、１７、１８…開閉カバー １７ａ、１８
ａ…外ヒンジ １９…飛沫防止板 １９ａ…内ヒン
ジ ２０…ガイド板 ２１…操作盤 ２２…カセ
ットテーブル ２５…テーブルガイド ２５ａ…ガイドレール ２６…スライド手段 ２７
…昇降基台 ２８…昇降手段 ２８ｃ…ボールスク
リュー ２８ｆ…ガイドバー
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年８月２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ウェーハをダイシン
グするダイシング装置のカセットテーブルにおいて、こ
のカセットテーブルはカセットの着脱を容易にするため
引き出し式に構成されたことを要旨とする。又、カセッ
トを載置し、このカセットにウェーハを出し入れするた
め上下動可能に形成されたダイシング装置のカセットテ
ーブルにおいて、このカセットテーブルはスライド手段
により引き出し式に構成されており、カセット着脱領域
と、昇降領域に位置付けられることを要旨とする。
するための手段として、本発明は、ウェーハをダイシン
グするダイシング装置のカセットテーブルにおいて、こ
のカセットテーブルはカセットの着脱を容易にするため
引き出し式に構成されたことを要旨とする。又、カセッ
トを載置し、このカセットにウェーハを出し入れするた
め上下動可能に形成されたダイシング装置のカセットテ
ーブルにおいて、このカセットテーブルはスライド手段
により引き出し式に構成されており、カセット着脱領域
と、昇降領域に位置付けられることを要旨とする。
Claims (1)
- 【請求項１】 カセットを載置し、このカセットにウェ
ーハを出し入れするため上下動可能に形成されたダイシ
ング装置のカセットテーブルにおいて、このカセットテ
ーブルはスライド手段により引き出し式に構成されてお
り、カセット着脱領域と、昇降領域に位置付けられるこ
とを特徴とするダイシング装置のカセットテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17475693A JPH0778794A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ダイシング装置のカセットテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17475693A JPH0778794A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ダイシング装置のカセットテーブル |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17971997A Division JPH10116802A (ja) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | 切削領域の開閉カバー装置及びダイシング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0778794A true JPH0778794A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=15984136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17475693A Pending JPH0778794A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ダイシング装置のカセットテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0778794A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003536247A (ja) * | 2000-06-06 | 2003-12-02 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 材料搬送システム |
| JPWO2020090518A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2021-09-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板供給システムおよび基板加工装置 |
| JPWO2020090517A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2021-09-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 収納装置および基板加工装置 |
| CN114025911A (zh) * | 2019-08-22 | 2022-02-08 | 星精密株式会社 | 车床及其切屑排出方法 |
| JP7649415B1 (ja) * | 2024-09-27 | 2025-03-19 | 平田機工株式会社 | 作業装置および搬入出装置 |
-
1993
- 1993-06-22 JP JP17475693A patent/JPH0778794A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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