JPH0779040A - 不安定レーザ共振器 - Google Patents
不安定レーザ共振器Info
- Publication number
- JPH0779040A JPH0779040A JP22248393A JP22248393A JPH0779040A JP H0779040 A JPH0779040 A JP H0779040A JP 22248393 A JP22248393 A JP 22248393A JP 22248393 A JP22248393 A JP 22248393A JP H0779040 A JPH0779040 A JP H0779040A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- concave
- detection
- convex
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 凹面鏡９と該凹面鏡９の鏡面８よりも小さい
鏡面１０を有する凸面鏡１１とを対峙させた不安定レー
ザ共振器において、凹面鏡９に凹面状検出用鏡部１３
を、また凸面鏡１１に凸面状検出用鏡部１５を設けて検
出用の不安定共振器２１を形成し、この検出用の不安定
共振器２１より発振される検出用レーザビーム１７が入
射するようにビーム検出器７を設けている。 【効果】 両鏡９，１１によって発生するレーザビーム
６がビーム検出器７に入射しないので、該ビーム検出器
７の検出信号やビーム検出器自体に支障が生じることが
なく、また、レーザビーム６を発振している状態におい
ても、両鏡９，１１の位置調整を行うことができる。
鏡面１０を有する凸面鏡１１とを対峙させた不安定レー
ザ共振器において、凹面鏡９に凹面状検出用鏡部１３
を、また凸面鏡１１に凸面状検出用鏡部１５を設けて検
出用の不安定共振器２１を形成し、この検出用の不安定
共振器２１より発振される検出用レーザビーム１７が入
射するようにビーム検出器７を設けている。 【効果】 両鏡９，１１によって発生するレーザビーム
６がビーム検出器７に入射しないので、該ビーム検出器
７の検出信号やビーム検出器自体に支障が生じることが
なく、また、レーザビーム６を発振している状態におい
ても、両鏡９，１１の位置調整を行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は不安定レーザ共振器に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３はオフアックス型不安定レーザ共振
器の一例を示すもので、オフアックス型不安定レーザ共
振器は、中心軸に対して非対称な凹面状の鏡面１を有す
る凹面鏡２と、該凹面鏡２の鏡面１よりも小さく且つ中
心軸に対して非対称な凸面状の鏡面３を有する凸面鏡４
とを、両鏡面１，３が対峙し且つ両鏡面１，３によって
光５を共振させることにより発生するレーザビーム６が
鏡面３の外側を通過して外部へ向って発振されるように
配置した構成を有している。
器の一例を示すもので、オフアックス型不安定レーザ共
振器は、中心軸に対して非対称な凹面状の鏡面１を有す
る凹面鏡２と、該凹面鏡２の鏡面１よりも小さく且つ中
心軸に対して非対称な凸面状の鏡面３を有する凸面鏡４
とを、両鏡面１，３が対峙し且つ両鏡面１，３によって
光５を共振させることにより発生するレーザビーム６が
鏡面３の外側を通過して外部へ向って発振されるように
配置した構成を有している。
【０００３】上述した構成を有するオフアックス型不安
定レーザ共振器では、レーザビーム６の安定化を図るた
めに、凹面鏡２から共振器の外部へ発振されるレーザビ
ーム６の光軸位置及び出力をビーム検出器７によって検
出し、その検出結果に基づき凹面鏡２と凸面鏡４の相互
位置関係の調整を行ってレーザビーム６の光軸変動及び
出力変化を補正するようにしている。
定レーザ共振器では、レーザビーム６の安定化を図るた
めに、凹面鏡２から共振器の外部へ発振されるレーザビ
ーム６の光軸位置及び出力をビーム検出器７によって検
出し、その検出結果に基づき凹面鏡２と凸面鏡４の相互
位置関係の調整を行ってレーザビーム６の光軸変動及び
出力変化を補正するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、凹面鏡
２から共振器の外部へ発振されるレーザビーム６の出力
が高いと、前記のビーム検出器７より出力される検出信
号が飽和状態となってレーザビーム６の光軸位置及び出
力を適確に把握することができなかったり、ビーム検出
器７が損傷することがある。
２から共振器の外部へ発振されるレーザビーム６の出力
が高いと、前記のビーム検出器７より出力される検出信
号が飽和状態となってレーザビーム６の光軸位置及び出
力を適確に把握することができなかったり、ビーム検出
器７が損傷することがある。
【０００５】また、レーザビーム６の光軸位置及び出力
の検出にあたっては、該レーザビーム６の光路にビーム
検出器７を設置しなければならず、レーザビーム６の光
軸位置及び出力を検出しながら該レーザビーム６を利用
することはできない。
の検出にあたっては、該レーザビーム６の光路にビーム
検出器７を設置しなければならず、レーザビーム６の光
軸位置及び出力を検出しながら該レーザビーム６を利用
することはできない。
【０００６】本発明は高出力のレーザビームを発振する
不安定レーザ共振器において、ビーム検出器に損傷等を
生じさせることなく凹面鏡と凸面鏡の相互位置関係を容
易に把握できるようにすることを目的としている。
不安定レーザ共振器において、ビーム検出器に損傷等を
生じさせることなく凹面鏡と凸面鏡の相互位置関係を容
易に把握できるようにすることを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の不安定レーザ共振器においては、凹面鏡と
該凹面鏡の鏡面よりも小さい鏡面を有する凸面鏡とを双
方の鏡面が対峙するように配置した不安定レーザ共振器
において、前記の両鏡の一方に凹面状検出用鏡部を、ま
た他方に凸面状検出用鏡部をそれぞれの鏡に対して一体
的に設けて検出用の不安定共振器を形成し、この検出用
の不安定共振器より発振される検出用レーザビームが入
射するようにビーム検出器を設けている。
め、本発明の不安定レーザ共振器においては、凹面鏡と
該凹面鏡の鏡面よりも小さい鏡面を有する凸面鏡とを双
方の鏡面が対峙するように配置した不安定レーザ共振器
において、前記の両鏡の一方に凹面状検出用鏡部を、ま
た他方に凸面状検出用鏡部をそれぞれの鏡に対して一体
的に設けて検出用の不安定共振器を形成し、この検出用
の不安定共振器より発振される検出用レーザビームが入
射するようにビーム検出器を設けている。
【０００８】
【作用】凹面鏡と凸面鏡との間において光を発生させる
と、該光が両鏡の鏡面により共振することにより発生す
る高出力のレーザビームが鏡面から外部へ向って発振さ
れ、同時に前記の光が凹面状検出用鏡部及び凸面状検出
用鏡部の鏡面によって共振することにより発生する低出
力のレーザビームがビーム検出器へ入射する。
と、該光が両鏡の鏡面により共振することにより発生す
る高出力のレーザビームが鏡面から外部へ向って発振さ
れ、同時に前記の光が凹面状検出用鏡部及び凸面状検出
用鏡部の鏡面によって共振することにより発生する低出
力のレーザビームがビーム検出器へ入射する。
【０００９】このとき、ビーム検出器の出力を検出して
その検出値に基づき両鏡の相対的な位置関係を調整し、
高出力のレーザビームが鏡面から外部へ向って安定した
状態で発振されるようにする。
その検出値に基づき両鏡の相対的な位置関係を調整し、
高出力のレーザビームが鏡面から外部へ向って安定した
状態で発振されるようにする。
【００１０】本発明においては、凹面鏡と凸面鏡とによ
り光が共振されることによって発生するレーザビームが
ビーム検出器に入射しないので、該ビーム検出器より出
力される検出信号が飽和状態となったり、ビーム検出器
が損傷することがない。
り光が共振されることによって発生するレーザビームが
ビーム検出器に入射しないので、該ビーム検出器より出
力される検出信号が飽和状態となったり、ビーム検出器
が損傷することがない。
【００１１】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照しつつ説明
する。
する。
【００１２】図１は本発明の不安定レーザ共振器の一実
施例を示すもので、図中、図３と同一の符号を付した部
分は同一物を表わしている。
施例を示すもので、図中、図３と同一の符号を付した部
分は同一物を表わしている。
【００１３】９は凹面鏡、１１は凸面鏡であり、両鏡
９，１１の鏡面８，１０はいずれも中心線に対して非対
称に且つ凸面鏡１１の鏡面１０は凹面鏡９の鏡面８に比
べて小さく形成されている。
９，１１の鏡面８，１０はいずれも中心線に対して非対
称に且つ凸面鏡１１の鏡面１０は凹面鏡９の鏡面８に比
べて小さく形成されている。
【００１４】両鏡９，１１は、両鏡面８，１０が対峙し
且つ両鏡面８，１０によって光５を共振させることによ
り発生するレーザビーム６が鏡面１０の外側を通過して
外部へ向って発振されるように配置されている。
且つ両鏡面８，１０によって光５を共振させることによ
り発生するレーザビーム６が鏡面１０の外側を通過して
外部へ向って発振されるように配置されている。
【００１５】１３は凹面状検出用鏡部であり、該凹面状
検出用鏡部１３は、前記の凹面鏡９のレーザビーム射出
部分の略反対側に位置するように凹面鏡９に一体的に設
けられている。
検出用鏡部１３は、前記の凹面鏡９のレーザビーム射出
部分の略反対側に位置するように凹面鏡９に一体的に設
けられている。
【００１６】１５は凸面状検出用鏡部であり、該凸面状
検出用鏡部１５は、前記の凹面状検出用鏡部１３と対峙
するように凸面鏡１１に一体的に設けられている。
検出用鏡部１５は、前記の凹面状検出用鏡部１３と対峙
するように凸面鏡１１に一体的に設けられている。
【００１７】１６はＨｅＮｅレーザ発振器であり、該Ｈ
ｅＮｅレーザ発振器１６は前記の凹面鏡９の背面に配置
されており、ＨｅＮｅレーザ発振器１６より発振される
低出力のＨｅＮｅレーザビーム２２は、凹面鏡９に穿設
されたビーム射出孔１８を経て凸面状検出用鏡部１５の
鏡面１４に入射するようになっている。
ｅＮｅレーザ発振器１６は前記の凹面鏡９の背面に配置
されており、ＨｅＮｅレーザ発振器１６より発振される
低出力のＨｅＮｅレーザビーム２２は、凹面鏡９に穿設
されたビーム射出孔１８を経て凸面状検出用鏡部１５の
鏡面１４に入射するようになっている。
【００１８】前記の凹面状検出用鏡部１３の鏡面１２
は、前記の凹面鏡９の鏡面８に連なる凹面状に形成さ
れ、また、凸面状検出用鏡部１５の鏡面１４は、前記の
凸面鏡１１の鏡面１０に連なる凸面状に形成されてお
り、両検出用鏡部１３，１５によって検出用の不安定共
振器２１を構成している。
は、前記の凹面鏡９の鏡面８に連なる凹面状に形成さ
れ、また、凸面状検出用鏡部１５の鏡面１４は、前記の
凸面鏡１１の鏡面１０に連なる凸面状に形成されてお
り、両検出用鏡部１３，１５によって検出用の不安定共
振器２１を構成している。
【００１９】上記構成を有する凹面鏡９及び凸面鏡１１
は、両鏡９，１１において光５を発生させると、鏡面
８，１０により高出力のレーザビーム６が発生し且つ鏡
面１２，１４により低出力のレーザビーム１７が発生す
るようになっている。
は、両鏡９，１１において光５を発生させると、鏡面
８，１０により高出力のレーザビーム６が発生し且つ鏡
面１２，１４により低出力のレーザビーム１７が発生す
るようになっている。
【００２０】更に、前記の凸面鏡１１の背面側には、ビ
ーム検出器７が配置されており、該ビーム検出器７に
は、上述した鏡面１２から外部へ向って射出される検出
用レーザビーム１７が入射するようになっている。
ーム検出器７が配置されており、該ビーム検出器７に
は、上述した鏡面１２から外部へ向って射出される検出
用レーザビーム１７が入射するようになっている。
【００２１】また、凹面鏡９、凸面鏡１１には、それぞ
れ位置調整装置１９，２０が設けられている。
れ位置調整装置１９，２０が設けられている。
【００２２】以下、本実施例の作動を説明する。
【００２３】図１に示す不安定レーザ共振器の稼働にあ
たっては、予めＨｅＮｅレーザ発振器１６からＨｅＮｅ
レーザビーム２２を発振させることにより検出用の不安
定共振器２１を形成する両鏡９，１１の相対的な位置関
係を調整しておく。
たっては、予めＨｅＮｅレーザ発振器１６からＨｅＮｅ
レーザビーム２２を発振させることにより検出用の不安
定共振器２１を形成する両鏡９，１１の相対的な位置関
係を調整しておく。
【００２４】次いで、両鏡９，１１の間において光５を
発生させると、該光５が両鏡９，１１の鏡面８，１０に
よって共振することにより発生する高出力のレーザビー
ム６が鏡面８から外部へ向って発振され、同時に前記の
光５が両鏡９，１１の鏡面１２，１４によって共振する
ことにより発生する低出力のレーザビーム１７が鏡面１
２からビーム検出器７へ入射する。
発生させると、該光５が両鏡９，１１の鏡面８，１０に
よって共振することにより発生する高出力のレーザビー
ム６が鏡面８から外部へ向って発振され、同時に前記の
光５が両鏡９，１１の鏡面１２，１４によって共振する
ことにより発生する低出力のレーザビーム１７が鏡面１
２からビーム検出器７へ入射する。
【００２５】このとき、ビーム検出器７の出力を検出し
てその検出値に基づき両鏡９，１１の相対的な位置関係
を調整し、高出力のレーザビーム６が鏡面８から外部へ
向って安定した状態で発振されるようにする。
てその検出値に基づき両鏡９，１１の相対的な位置関係
を調整し、高出力のレーザビーム６が鏡面８から外部へ
向って安定した状態で発振されるようにする。
【００２６】このように、本実施例においては、凹面鏡
９より外部へ発振されるレーザビーム６がビーム検出器
７に入射しないので、ビーム検出器７より出力される検
出信号が飽和状態となったり、ビーム検出器７が損傷す
ることがなく、また、レーザビーム６を発振している状
態においても、両鏡９，１１の位置調整を行うことがで
きる。
９より外部へ発振されるレーザビーム６がビーム検出器
７に入射しないので、ビーム検出器７より出力される検
出信号が飽和状態となったり、ビーム検出器７が損傷す
ることがなく、また、レーザビーム６を発振している状
態においても、両鏡９，１１の位置調整を行うことがで
きる。
【００２７】図２は本発明の不安定レーザ共振器の他の
実施例を示すもので、図中、図１と同一の符号を付した
部分は同一物を表わしている。
実施例を示すもので、図中、図１と同一の符号を付した
部分は同一物を表わしている。
【００２８】本実施例は、凹面状検出用鏡部１３及び凸
面状検出用鏡部１５の形状を、鏡面１２，１４により検
出用レーザビーム１７を共振させ且つ該検出用レーザビ
ーム１７が鏡面１２の外側を通過して外部へ向って射出
させるように形成している。
面状検出用鏡部１５の形状を、鏡面１２，１４により検
出用レーザビーム１７を共振させ且つ該検出用レーザビ
ーム１７が鏡面１２の外側を通過して外部へ向って射出
させるように形成している。
【００２９】このような構成を有する本実施例において
も、先に述べた図１に示すものと同様な作用効果を奏し
得るとともに、本実施例においては、ＨｅＮｅレーザ発
振器１６とビーム検出器７とが凹面鏡９の背面側に配置
されているので、これらＨｅＮｅレーザ発振器１６及び
ビーム検出器７を同一のマウントに装着することができ
る。
も、先に述べた図１に示すものと同様な作用効果を奏し
得るとともに、本実施例においては、ＨｅＮｅレーザ発
振器１６とビーム検出器７とが凹面鏡９の背面側に配置
されているので、これらＨｅＮｅレーザ発振器１６及び
ビーム検出器７を同一のマウントに装着することができ
る。
【００３０】なお、本発明の不安定レーザ共振器は、上
述した実施例のみに限定されるものではなく、本発明の
要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得るこ
とは勿論である。
述した実施例のみに限定されるものではなく、本発明の
要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得るこ
とは勿論である。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の不安定レー
ザ共振器においては、凹面鏡と凸面鏡とにより光が共振
されることによって発生するレーザビームがビーム検出
器に入射しないので、該ビーム検出器より出力される検
出信号が飽和状態となったり、ビーム検出器が損傷する
ことがなく、また、レーザビームを発振している状態に
おいても、凹面鏡と凸面鏡の位置調整を行うことができ
る、という優れた効果を奏し得る。
ザ共振器においては、凹面鏡と凸面鏡とにより光が共振
されることによって発生するレーザビームがビーム検出
器に入射しないので、該ビーム検出器より出力される検
出信号が飽和状態となったり、ビーム検出器が損傷する
ことがなく、また、レーザビームを発振している状態に
おいても、凹面鏡と凸面鏡の位置調整を行うことができ
る、という優れた効果を奏し得る。
【図１】本発明の不安定レーザ共振器の一実施例を示す
概念図である。
概念図である。
【図２】本発明の不安定レーザ共振器の他の実施例を示
す概念図である。
す概念図である。
【図３】従来の不安定レーザ共振器の一例を示す概念図
である。
である。
７ ビーム検出器 ８，１０，１２，１４ 鏡面 ９ 凹面鏡 １１ 凸面鏡 １３ 凹面状検出用鏡部 １５ 凸面状検出用鏡部 １７ 検出用レーザビーム ２１ 検出用の不安定共振器
Claims (1)
- 【請求項１】 凹面鏡と該凹面鏡の鏡面よりも小さい鏡
面を有する凸面鏡とを双方の鏡面が対峙するように配置
した不安定レーザ共振器において、前記の両鏡の一方に
凹面状検出用鏡部を、また他方に凸面状検出用鏡部をそ
れぞれの鏡に対して一体的に設けて検出用の不安定共振
器を形成し、この検出用の不安定共振器より発振される
検出用レーザビームが入射するようにビーム検出器を設
けたことを特徴とする不安定レーザ共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22248393A JPH0779040A (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | 不安定レーザ共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22248393A JPH0779040A (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | 不安定レーザ共振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0779040A true JPH0779040A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16783141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22248393A Pending JPH0779040A (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | 不安定レーザ共振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0779040A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5932505A (en) * | 1996-11-04 | 1999-08-03 | Rutgers, The State University | Hydrofluoric acid resistant ceramic mortar |
| WO2003055018A1 (de) * | 2001-12-12 | 2003-07-03 | Universität Potsdam | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von laserstrahlung auf basis von halbleitern |
-
1993
- 1993-09-07 JP JP22248393A patent/JPH0779040A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5932505A (en) * | 1996-11-04 | 1999-08-03 | Rutgers, The State University | Hydrofluoric acid resistant ceramic mortar |
| WO2003055018A1 (de) * | 2001-12-12 | 2003-07-03 | Universität Potsdam | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von laserstrahlung auf basis von halbleitern |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0508406A2 (en) | Laser beam generating apparatus | |
| US4872179A (en) | Laser apparatus with a multipass resonator | |
| EP0955707B1 (en) | Laser system | |
| JPH07154014A (ja) | レーザーダイオードポンピング固体レーザー | |
| JPH0779040A (ja) | 不安定レーザ共振器 | |
| JPH06140717A (ja) | 外部共振器型半導体レーザ光源 | |
| JPH11251681A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JP2001274505A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JP2745905B2 (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JPH10261825A (ja) | 半導体レーザ光整形光学系及び半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
| JPH07106669A (ja) | レーザー共振器 | |
| JP2870563B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JPH04105382A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JP4220219B2 (ja) | 変位光量変換装置 | |
| JPH04247674A (ja) | レ−ザ | |
| JPH02296118A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH05283788A (ja) | 狭帯域レーザ発振装置 | |
| JPH0744037Y2 (ja) | レーザ発振器の共振器構造 | |
| JPH1065265A (ja) | レーザダイオードモジュールおよびモードホップ検出装置 | |
| JPS61144088A (ja) | 外部共振器形半導体レ−ザ装置 | |
| JPS61240691A (ja) | 光源 | |
| JPH01231387A (ja) | 半導体発光素子 | |
| JPH0794811A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
| JPH05267756A (ja) | 半導体励起固体レーザ | |
| JPH02181988A (ja) | 面発光型半導体レーザ |