JPH0779169B2 - 赤外線検出器の製造方法 - Google Patents
赤外線検出器の製造方法Info
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- JPH0779169B2 JPH0779169B2 JP3209615A JP20961591A JPH0779169B2 JP H0779169 B2 JPH0779169 B2 JP H0779169B2 JP 3209615 A JP3209615 A JP 3209615A JP 20961591 A JP20961591 A JP 20961591A JP H0779169 B2 JPH0779169 B2 JP H0779169B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は赤外線検出器の製造方法
に係り、特に詳細には、ＰｂＳ、ＨｇＣｄＴｅまたはＩ
ｎＳｂ等の量子型検出セルを用いるものに使用される。
に係り、特に詳細には、ＰｂＳ、ＨｇＣｄＴｅまたはＩ
ｎＳｂ等の量子型検出セルを用いるものに使用される。
【０００２】
【従来の技術】量子型検出セルを使用するためには、冷
却が必要であり、このためにペルチェ効果を利用したペ
ルチェクーラーが使用される。そして、ペルチェクーラ
ーを付設した赤外線検出器においては、容器内にＮ2 、
Ｘｅ等の不活性ガスが封入されている。また、量子型検
出セルの使用中の温度を低くするために、多段のペルチ
ェクーラーを用いることがある。
却が必要であり、このためにペルチェ効果を利用したペ
ルチェクーラーが使用される。そして、ペルチェクーラ
ーを付設した赤外線検出器においては、容器内にＮ2 、
Ｘｅ等の不活性ガスが封入されている。また、量子型検
出セルの使用中の温度を低くするために、多段のペルチ
ェクーラーを用いることがある。
【０００３】ところが、容器内にガスが封入されている
と、これに対流が生じ、量子型検出セルを十分に低温に
はできない。具体的には、周囲温度が２５゜Ｃ程度で
は、量子型検出セルは−７０゜Ｃ程度までしか下がらな
い。これに対し、多段のペルチェクーラーを用い、容器
の内部を真空にしておくと、上記の対流が生じないの
で、例えば三段のペルチェクーラーでも、量子型検出セ
ルを−８０゜Ｃ程度まで冷却できる。
と、これに対流が生じ、量子型検出セルを十分に低温に
はできない。具体的には、周囲温度が２５゜Ｃ程度で
は、量子型検出セルは−７０゜Ｃ程度までしか下がらな
い。これに対し、多段のペルチェクーラーを用い、容器
の内部を真空にしておくと、上記の対流が生じないの
で、例えば三段のペルチェクーラーでも、量子型検出セ
ルを−８０゜Ｃ程度まで冷却できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、真空排気した
赤外線検出器であっても、センサとしての使用を続ける
と、容器の内部からガスが放出されて冷却効果が経時的
に低下してくる。特に、この内部放出ガスは熱伝導性の
良いＨ2 を多く含んでいるため、初期の冷却効果は長時
間の使用により大きく低下してしまう。
赤外線検出器であっても、センサとしての使用を続ける
と、容器の内部からガスが放出されて冷却効果が経時的
に低下してくる。特に、この内部放出ガスは熱伝導性の
良いＨ2 を多く含んでいるため、初期の冷却効果は長時
間の使用により大きく低下してしまう。
【０００５】そこで本発明は、長期的な冷却効果に優れ
た赤外線検出器の製造方法を提供することを目的とす
る。
た赤外線検出器の製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、容器内に赤外
線検出素子と冷却器を内蔵した赤外線検出器の製造方法
において、冷却器に通電することで冷却動作をさせなが
ら、容器を加熱してガス出しすることを特徴とする。
線検出素子と冷却器を内蔵した赤外線検出器の製造方法
において、冷却器に通電することで冷却動作をさせなが
ら、容器を加熱してガス出しすることを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明によれば、量子型検出セルのような赤外
線検出素子を用いた赤外線検出器のガス出しを行なうに
際して、冷却器を動作させているので、赤外線検出素子
の特性を加熱によって劣化させることなく、容器の内部
のガス抜きが行なえる。
線検出素子を用いた赤外線検出器のガス出しを行なうに
際して、冷却器を動作させているので、赤外線検出素子
の特性を加熱によって劣化させることなく、容器の内部
のガス抜きが行なえる。
【０００８】
【実施例】以下、添付図面により、本発明の実施例を説
明する。
明する。
【０００９】図１は赤外線検出器の一部を断面で示した
側面図である。図示の通り、外部端子１と排気管７が形
成されたベース板２にはキャップ３が固定され、容器が
構成されている。ベース板２上には三段構成のペルチェ
クーラー４が設けられ、この上に量子型検出セル５がマ
ウントされている。一方、キャップ３の上部には開口が
形成され、ここに赤外線入射窓６が取り付けられてい
る。
側面図である。図示の通り、外部端子１と排気管７が形
成されたベース板２にはキャップ３が固定され、容器が
構成されている。ベース板２上には三段構成のペルチェ
クーラー４が設けられ、この上に量子型検出セル５がマ
ウントされている。一方、キャップ３の上部には開口が
形成され、ここに赤外線入射窓６が取り付けられてい
る。
【００１０】このような赤外線検出器を製造するに際し
ては、排気管７を真空排気装置（図示せず）に接続して
ペルチェクーラー４に通電し、量子型検出セル５を冷却
する。そして、容器全体をヒータ（図示せず）などで加
熱することにより、内部ガスの放出および排気を行う。
ては、排気管７を真空排気装置（図示せず）に接続して
ペルチェクーラー４に通電し、量子型検出セル５を冷却
する。そして、容器全体をヒータ（図示せず）などで加
熱することにより、内部ガスの放出および排気を行う。
【００１１】この場合、容器の温度を８０〜１００°Ｃ
にすると、ペルチェクーラー４の冷却効果によって量子
型検出セル５を６０°Ｃ以下に保持でき、したがって特
性が劣化しない。すなわち、ＰｂＳ、ＰｂＳｅ、ＨｇＣ
ｄＴｅ、ＩｎＳｂ、ＩｎＡｓ等の量子型検出セルは、６
０°Ｃ以上の高温にさらすと特性が劣化するので、従来
は容器にデバイスをセットした後のガス抜きが実行でき
なかったが、本発明のような冷却を併行させることによ
り、内部ガスの放出が可能になる。
にすると、ペルチェクーラー４の冷却効果によって量子
型検出セル５を６０°Ｃ以下に保持でき、したがって特
性が劣化しない。すなわち、ＰｂＳ、ＰｂＳｅ、ＨｇＣ
ｄＴｅ、ＩｎＳｂ、ＩｎＡｓ等の量子型検出セルは、６
０°Ｃ以上の高温にさらすと特性が劣化するので、従来
は容器にデバイスをセットした後のガス抜きが実行でき
なかったが、本発明のような冷却を併行させることによ
り、内部ガスの放出が可能になる。
【００１２】内部ガスの放出後には、容器を封じ切る。
これにより、長時間の使用によっても、容器の内部にお
ける真空度が低下せず、したがって、対流や熱伝導によ
る量子型検出セルの温度上昇を抑え得る赤外線検出器が
得られる。
これにより、長時間の使用によっても、容器の内部にお
ける真空度が低下せず、したがって、対流や熱伝導によ
る量子型検出セルの温度上昇を抑え得る赤外線検出器が
得られる。
【００１３】本発明者は、本発明の有用性を確認するた
め、バルクゲッター付きの赤外線検出器を用いて実験し
た。まず、Ｘｅガスを封入した従来タイプでは、環境温
度が２５゜Ｃで検出セルを−６０゜Ｃまでしか冷却でき
なかった。ただし、経時的な劣化は少なかった（図２の
クロス印）。一方、真空排気した従来タイプでは、初期
の冷却効果は高く、検出セルは−８０゜Ｃ程度になった
が、１０００時間程度の使用で−６０゜Ｃまで温度上昇
した（図２の黒丸印）。これに対し、本発明の処理をし
た赤外線検出器では、−７５゜Ｃ程度の冷却効果を長時
間にわたって維持できた（図２の白丸印）。
め、バルクゲッター付きの赤外線検出器を用いて実験し
た。まず、Ｘｅガスを封入した従来タイプでは、環境温
度が２５゜Ｃで検出セルを−６０゜Ｃまでしか冷却でき
なかった。ただし、経時的な劣化は少なかった（図２の
クロス印）。一方、真空排気した従来タイプでは、初期
の冷却効果は高く、検出セルは−８０゜Ｃ程度になった
が、１０００時間程度の使用で−６０゜Ｃまで温度上昇
した（図２の黒丸印）。これに対し、本発明の処理をし
た赤外線検出器では、−７５゜Ｃ程度の冷却効果を長時
間にわたって維持できた（図２の白丸印）。
【００１４】
【発明の効果】以上、詳細に説明した通り、本発明によ
れば、量子型検出セルのような赤外線検出素子を搭載し
た検出器のガス出しを行なうに際して、冷却器を動作さ
せているので、赤外線検出素子の特性を加熱によって劣
化させることなく、内部のガス抜きが行なえる。このた
め、冷却効果を長時間にわたって維持できる赤外線検出
器が得られる。
れば、量子型検出セルのような赤外線検出素子を搭載し
た検出器のガス出しを行なうに際して、冷却器を動作さ
せているので、赤外線検出素子の特性を加熱によって劣
化させることなく、内部のガス抜きが行なえる。このた
め、冷却効果を長時間にわたって維持できる赤外線検出
器が得られる。
【図１】赤外線検出器の構成を示す図である。
【図２】本発明の効果を従来技術と比較する図である。
２…ベース板 ３…キャップ ４…ペルチェクーラー ５…量子型検出セル ６…赤外線入射窓 ７…排気管
Claims (2)
- 【請求項１】 容器内に赤外線検出素子と冷却器を内蔵
した赤外線検出器の製造方法において、 前記冷却器に通電することで冷却動作をさせながら、前
記容器を加熱してガス出しすることを特徴とする赤外線
検出器の製造方法。 - 【請求項２】 前記赤外線検出素子はＰｂＳ、ＨｇＣｄ
ＴｅまたはＩｎＳｂの量子型検出セルであり、前記冷却
器はペルチェクーラーである請求項１記載の赤外線検出
器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3209615A JPH0779169B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | 赤外線検出器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3209615A JPH0779169B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | 赤外線検出器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0548122A JPH0548122A (ja) | 1993-02-26 |
| JPH0779169B2 true JPH0779169B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=16575734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3209615A Expired - Fee Related JPH0779169B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | 赤外線検出器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0779169B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3405793B2 (ja) * | 1993-12-28 | 2003-05-12 | 日本信号株式会社 | 画像式歩行者検出装置 |
-
1991
- 1991-08-21 JP JP3209615A patent/JPH0779169B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0548122A (ja) | 1993-02-26 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |