JPH0779178B2 - レ−ザ発振器の発振波長安定化装置 - Google Patents
レ−ザ発振器の発振波長安定化装置Info
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- JPH0779178B2 JPH0779178B2 JP17080386A JP17080386A JPH0779178B2 JP H0779178 B2 JPH0779178 B2 JP H0779178B2 JP 17080386 A JP17080386 A JP 17080386A JP 17080386 A JP17080386 A JP 17080386A JP H0779178 B2 JPH0779178 B2 JP H0779178B2
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- oscillation wavelength
- light
- disperser
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、レーザ発振器の発振波長の安定化装置に関す
る。この装置は、例えば、プリズムやグレーティング等
の分散器を用いて発振波長の選択を行なっているエキシ
マレーザにおいて、発振波長を安定させるのに好適であ
る。
る。この装置は、例えば、プリズムやグレーティング等
の分散器を用いて発振波長の選択を行なっているエキシ
マレーザにおいて、発振波長を安定させるのに好適であ
る。
［従来技術］ レーザ発振器においては、発振波長を選択するために、
プリズムやグレーティング（回折格子）等の分散器およ
び反射鏡等を用いた光共振器が使用されている。そし
て、アライメントにより定められた分散器や反射鏡等の
空間的な配置位置がレーザ発振器の発振波長を決定して
いる。
プリズムやグレーティング（回折格子）等の分散器およ
び反射鏡等を用いた光共振器が使用されている。そし
て、アライメントにより定められた分散器や反射鏡等の
空間的な配置位置がレーザ発振器の発振波長を決定して
いる。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、このようなレーザ発振器においては、プ
リズム、グレーティング、反射鏡等の位置や形状が振動
や熱膨張により変動した場合、発振波長が変化するとい
う欠点があった。
リズム、グレーティング、反射鏡等の位置や形状が振動
や熱膨張により変動した場合、発振波長が変化するとい
う欠点があった。
本発明の目的は、このような従来技術の欠点を除去し、
発振波長の安定したレーザ発振を可能にすることにあ
る。
発振波長の安定したレーザ発振を可能にすることにあ
る。
［問題点を解決するための手段および作用］ 本発明は、分散器と該分散器により分散された光のうち
特定箇所に来た光のみを通過する絞りとからなる波長選
択手段を備えたレーザ発振器の発振波長安定化装置であ
って、該分散器により分散された光束内の２箇所以上の
光強度を検出する手段と、該検出手段の出力に応じ上記
分散光の光強度分布を所定の状態とすべく上記分散光の
状態を可変する分散制御手段とを具備することを図って
いる。
特定箇所に来た光のみを通過する絞りとからなる波長選
択手段を備えたレーザ発振器の発振波長安定化装置であ
って、該分散器により分散された光束内の２箇所以上の
光強度を検出する手段と、該検出手段の出力に応じ上記
分散光の光強度分布を所定の状態とすべく上記分散光の
状態を可変する分散制御手段とを具備することを図って
いる。
［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係るレーザ発振器の構成
を示す。このレーザ発振器は分散器として分散プリズム
を用いたものである。同図において、１はレーザチュー
ブ、２は反射光の方向を紙面に平行な平面内で変化させ
ることができる可動ミラー、３は可動ミラー２を動かす
ためのミラー駆動装置、４および５はレーザビームを分
散させるための分散プリズム、６は分散されたビーム、
７は分散されたビーム６のうち必要な部分以外を除去す
る絞り、８および９は分散されたビーム６の所定の個所
の強度を測定するフォトセンサ、10はフォトセンサ８の
出力とフォトセンサ９の出力とを比較してミラー駆動装
置３に信号を送る比較器、11は可動ミラー２とともにレ
ーザ共振器を形成している半透ミラー、12は半透ミラー
11を透過してきた出力ビームである。絞り７は、その中
心部の開口から等距離の上下２か所に開口を有してお
り、それぞれの開口を通して分散されたビーム６の一部
をフォトセンサ８および９に導びくようになっている。
を示す。このレーザ発振器は分散器として分散プリズム
を用いたものである。同図において、１はレーザチュー
ブ、２は反射光の方向を紙面に平行な平面内で変化させ
ることができる可動ミラー、３は可動ミラー２を動かす
ためのミラー駆動装置、４および５はレーザビームを分
散させるための分散プリズム、６は分散されたビーム、
７は分散されたビーム６のうち必要な部分以外を除去す
る絞り、８および９は分散されたビーム６の所定の個所
の強度を測定するフォトセンサ、10はフォトセンサ８の
出力とフォトセンサ９の出力とを比較してミラー駆動装
置３に信号を送る比較器、11は可動ミラー２とともにレ
ーザ共振器を形成している半透ミラー、12は半透ミラー
11を透過してきた出力ビームである。絞り７は、その中
心部の開口から等距離の上下２か所に開口を有してお
り、それぞれの開口を通して分散されたビーム６の一部
をフォトセンサ８および９に導びくようになっている。
次に、同図のレーザ発振器の動作を説明する。
まず、レーザチューブ１から発したビームは、絞り７を
通り、分散プリズム4,5を透過し、可動ミラー２で反射
して、再び分散プリズム4,5を透過し、分散されたビー
ム６となって絞り７に達する。この分散されたビーム６
の中心部は絞り７を通り、レーザチューブ１に戻る。ま
た、このビーム６の他の部分のうちそれぞれ一部分ずつ
が絞り７の上下の開口を通してフォトセンサ8,9に導か
れ該部分の強度が検出される。そして、フォトセンサ8,
9で検出された光強度の信号は、比較器10によって比較
される。
通り、分散プリズム4,5を透過し、可動ミラー２で反射
して、再び分散プリズム4,5を透過し、分散されたビー
ム６となって絞り７に達する。この分散されたビーム６
の中心部は絞り７を通り、レーザチューブ１に戻る。ま
た、このビーム６の他の部分のうちそれぞれ一部分ずつ
が絞り７の上下の開口を通してフォトセンサ8,9に導か
れ該部分の強度が検出される。そして、フォトセンサ8,
9で検出された光強度の信号は、比較器10によって比較
される。
このとき、これらの強度が等しければ、ビーム６の強度
分布は第２図に示すように、自然発光の中心波長とレー
ザ発振波長とが一致している状態にあり、異なれば、第
３図に示すようにこれらの波長が一致していない状態に
ある。
分布は第２図に示すように、自然発光の中心波長とレー
ザ発振波長とが一致している状態にあり、異なれば、第
３図に示すようにこれらの波長が一致していない状態に
ある。
従って、比較器10により比較した結果、フォトセンサ８
により検出した強度とフォトセンサ９により検出した強
度とが異なるときは、比較器10からミラー駆動装置３へ
制御信号が送られ、ミラー駆動装置３はこの信号に基づ
きフォトセンサ８とフォトセンサ９の出力が等しくなる
ように、すなわちビーム６が第２図のような強度分布と
なるように可動ミラーの傾角を駆動制御する。
により検出した強度とフォトセンサ９により検出した強
度とが異なるときは、比較器10からミラー駆動装置３へ
制御信号が送られ、ミラー駆動装置３はこの信号に基づ
きフォトセンサ８とフォトセンサ９の出力が等しくなる
ように、すなわちビーム６が第２図のような強度分布と
なるように可動ミラーの傾角を駆動制御する。
そして、以上の動作が継続的に行なわれることにより、
発振波長は常に一定に保たれる。
発振波長は常に一定に保たれる。
［他の実施例］ 第４図は、本発明の他の実施例に係るレーザ発振器の構
成図である。同図において、第１図と通過する部分は、
第１図と同一符号を付してある。
成図である。同図において、第１図と通過する部分は、
第１図と同一符号を付してある。
第４図の装置は、発振波長選択用の分散器として、グレ
ーティングを用いており、第１図の装置の分散プリズム
4,5、可動ミラー２およびミラー駆動装置３を可動グレ
ーティング22およびグレーティング駆動装置23に置き換
えた構成となっている。従って、本実施例においても、
本発明のレーザ発振安定化装置は、第１図の場合と同様
に動作し、可動グレーティング22の傾角を制御して、発
振波長を安定化させる。
ーティングを用いており、第１図の装置の分散プリズム
4,5、可動ミラー２およびミラー駆動装置３を可動グレ
ーティング22およびグレーティング駆動装置23に置き換
えた構成となっている。従って、本実施例においても、
本発明のレーザ発振安定化装置は、第１図の場合と同様
に動作し、可動グレーティング22の傾角を制御して、発
振波長を安定化させる。
［実施例の変形例］ なお、本発明は、上述の従来例に限定されることなく適
宜変形して実施することができる。
宜変形して実施することができる。
例えば、上述の実施例においてはビーム６の強度を検出
するためにフォトセンサ8,9を用いているが、これらの
代わりに、CCDやフォトダイオードアレイ等のラインセ
ンサを施用してもよい。この場合は、ビーム６のスペク
トルのピークが第５図に示すように２つ以上あるときで
もビーム６の強度分布の状態を検出することができる。
するためにフォトセンサ8,9を用いているが、これらの
代わりに、CCDやフォトダイオードアレイ等のラインセ
ンサを施用してもよい。この場合は、ビーム６のスペク
トルのピークが第５図に示すように２つ以上あるときで
もビーム６の強度分布の状態を検出することができる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、比較的簡単な構
成により、レーザ発振波長の安定化を図ることができ
る。気温等の環境の変化や振動による発振波長のずれ対
してアライメントをやり直す手間を省くことができる。
成により、レーザ発振波長の安定化を図ることができ
る。気温等の環境の変化や振動による発振波長のずれ対
してアライメントをやり直す手間を省くことができる。
第１図は、本発明の一実施例に係るレーザ発振器の構成
図、 第２および３図は、それぞれ、レーザ発振波長と自然発
光の中心波長とが一致している場合と不一致の場合の分
散されたビームの空間的強度分布を示すグラフ、 第４図は、本発明の他の実施例に係るレーザ発振器の構
成図、 第５図は、スペクトルのピークが２つある場合の分散さ
れたビームの空間的強度分布を示すグラフである。 1:レーザチューブ、2:可動ミラー、3:ミラー駆動装置、
4,5:分散プリズム、6:分散されたビーム、7:絞り、8,9:
フォトセンサ、10:比較器、11:半透ミラー、12:出力ビ
ーム、22:可動グレーティング、23:グレーティング駆動
装置。
図、 第２および３図は、それぞれ、レーザ発振波長と自然発
光の中心波長とが一致している場合と不一致の場合の分
散されたビームの空間的強度分布を示すグラフ、 第４図は、本発明の他の実施例に係るレーザ発振器の構
成図、 第５図は、スペクトルのピークが２つある場合の分散さ
れたビームの空間的強度分布を示すグラフである。 1:レーザチューブ、2:可動ミラー、3:ミラー駆動装置、
4,5:分散プリズム、6:分散されたビーム、7:絞り、8,9:
フォトセンサ、10:比較器、11:半透ミラー、12:出力ビ
ーム、22:可動グレーティング、23:グレーティング駆動
装置。
Claims (4)
- 【請求項１】分散器と該分散器により分散された光のう
ち特定箇所に来た光のみを通過する絞りとからなる波長
選択手段を備えたレーザ発振器の発振波長安定化装置で
あって、 該分散器により分散された光束内の２箇所以上の光強度
を検出する手段と、 該検出手段の出力に応じ上記分散光の光強度分布を所定
の状態とすべく上記分散光の状態を可変する分散制御手
段と を具備することを特徴とするレーザ発振器の発振波長安
定化装置。 - 【請求項２】前記分散器がグレーティングであり、前記
分散制御手段が、該グレーティングの傾角または前記絞
りとの相対位置を制御するものである特許請求の範囲第
１項記載のレーザ発振器の発振波長安定化装置。 - 【請求項３】前記分散器がプリズムであり、前記分散制
御手段が該プリズムを通過した光を該プリズムおよび前
記絞りへ向けて反射する反射鏡の傾角を制御するもので
ある特許請求の範囲第１または２項記載のレーザ発振器
の発振波長安定化装置。 - 【請求項４】前記分散制御手段が、前記波長選択手段の
通過波長を前記レーザ発振器に用いたレーザ材料の自然
発光の中心波長に一致すべく前記分散状態を可変するも
のである特許請求の範囲第１、２または３項記載のレー
ザ発振器の発振波長安定化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17080386A JPH0779178B2 (ja) | 1986-07-22 | 1986-07-22 | レ−ザ発振器の発振波長安定化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17080386A JPH0779178B2 (ja) | 1986-07-22 | 1986-07-22 | レ−ザ発振器の発振波長安定化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6328091A JPS6328091A (ja) | 1988-02-05 |
| JPH0779178B2 true JPH0779178B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=15911632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17080386A Expired - Fee Related JPH0779178B2 (ja) | 1986-07-22 | 1986-07-22 | レ−ザ発振器の発振波長安定化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0779178B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6930822B2 (en) | 2001-11-20 | 2005-08-16 | Spectra Physics, Inc. | Wavelength locker |
| WO2004021530A1 (en) * | 2002-08-30 | 2004-03-11 | Agilent Technologies, Inc. | Wavelength tunable resonator with a prism |
-
1986
- 1986-07-22 JP JP17080386A patent/JPH0779178B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6328091A (ja) | 1988-02-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |