JPH0779507A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH0779507A JPH0779507A JP6135902A JP13590294A JPH0779507A JP H0779507 A JPH0779507 A JP H0779507A JP 6135902 A JP6135902 A JP 6135902A JP 13590294 A JP13590294 A JP 13590294A JP H0779507 A JPH0779507 A JP H0779507A
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- JP
- Japan
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- electromagnet
- partition wall
- carrier
- levitation body
- levitation
- Prior art date
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3204—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
- B65G54/025—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic the load being magnetically coupled with a piston-like driver moved within a tube
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 消費電流が少なく、放出ガスの少ない搬送装
置を提供する。 【構成】 搬送棒を有する浮上体と、隔壁を介して浮上
体と対向する搬送機本体と、浮上体の位置を検出するセ
ンサ部と、浮上体を支持する磁力を発生する電磁石と、
電磁石と対向するよう浮上体に設けられたターゲット
と、これら電磁石とターゲットとセンサ部からなる磁気
支持部に作用する力のバランスをとる調整手段と、を設
けた。これらのセンサにより浮上体とそれぞれのセンサ
との間の隙間距離を検出し、それぞれの隙間が等しくな
るように電磁石の磁力の強度を制御する。このようにし
て浮上体を支持し、浮上体の搬送棒に搭載した物品を搬
送する。
置を提供する。 【構成】 搬送棒を有する浮上体と、隔壁を介して浮上
体と対向する搬送機本体と、浮上体の位置を検出するセ
ンサ部と、浮上体を支持する磁力を発生する電磁石と、
電磁石と対向するよう浮上体に設けられたターゲット
と、これら電磁石とターゲットとセンサ部からなる磁気
支持部に作用する力のバランスをとる調整手段と、を設
けた。これらのセンサにより浮上体とそれぞれのセンサ
との間の隙間距離を検出し、それぞれの隙間が等しくな
るように電磁石の磁力の強度を制御する。このようにし
て浮上体を支持し、浮上体の搬送棒に搭載した物品を搬
送する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体集積回路など
の電子デバイスの製造のためのＣＶＤ装置、エッチング
装置、スパッタ装置、検査装置等の複数の真空容器間に
おいて物品の搬送を行う搬送装置に関するものである。
の電子デバイスの製造のためのＣＶＤ装置、エッチング
装置、スパッタ装置、検査装置等の複数の真空容器間に
おいて物品の搬送を行う搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路などの電子デバイスの製
造装置や検査装置においては、高真空の雰囲気が広く使
われている。この様な環境の中で所要の動作または作業
を行う機構には、摺動接触や転がり接触等をする接触部
を持たない構成にする必要がある。なぜなら、接触部の
摩擦により発生する微細なパーティクルや放出ガス等
が、真空度の低下や真空雰囲気の汚染等を引き起こすか
らである。そのため、真空チャンバ内に設置される従来
の搬送装置は、接触部を持たないよう構成されている。
造装置や検査装置においては、高真空の雰囲気が広く使
われている。この様な環境の中で所要の動作または作業
を行う機構には、摺動接触や転がり接触等をする接触部
を持たない構成にする必要がある。なぜなら、接触部の
摩擦により発生する微細なパーティクルや放出ガス等
が、真空度の低下や真空雰囲気の汚染等を引き起こすか
らである。そのため、真空チャンバ内に設置される従来
の搬送装置は、接触部を持たないよう構成されている。
【０００３】この従来の搬送装置を図１０ないし図１３
を参照して以下に説明する。真空チャンバ内に断面円形
の筒状隔壁１が設けられ、隔壁１の内周面１ａ側は大気
の状態に保たれている。また隔壁１の外周面１ｂ側には
搬送棒２を有する浮上体３が設けられている。この浮上
体３は隔壁１の外径よりやや大きな径で形成され、かつ
その内周面３ａが隔壁１の外周面１ｂに臨むように設置
されている。一方、隔壁１の内周面１ａ側には浮上体３
と磁気的に結合された搬送機本体４が設置されている。
この搬送機本体４は筒状隔壁１の内径よりもやや小さな
径で形成され、かつその外周面４ａが隔壁１の内周面１
ａに臨むように設置されている。この搬送機本体４はガ
イドレール９に沿って往復移動可能に取りつけられてお
り、ガイドレール９は搬送機本体４の開口部１０を貫通
して隔壁１の両端間に横架されている。さらに搬送機本
体４の開口部１０内にはリニアモータコイル１１が配置
され、ガイドレール９にはこのリニアモータコイル１１
と対面するようにモータ２次導体１２が備えられてい
る。また、隔壁１は支持部１３を介して回転軸１４に連
結されている。
を参照して以下に説明する。真空チャンバ内に断面円形
の筒状隔壁１が設けられ、隔壁１の内周面１ａ側は大気
の状態に保たれている。また隔壁１の外周面１ｂ側には
搬送棒２を有する浮上体３が設けられている。この浮上
体３は隔壁１の外径よりやや大きな径で形成され、かつ
その内周面３ａが隔壁１の外周面１ｂに臨むように設置
されている。一方、隔壁１の内周面１ａ側には浮上体３
と磁気的に結合された搬送機本体４が設置されている。
この搬送機本体４は筒状隔壁１の内径よりもやや小さな
径で形成され、かつその外周面４ａが隔壁１の内周面１
ａに臨むように設置されている。この搬送機本体４はガ
イドレール９に沿って往復移動可能に取りつけられてお
り、ガイドレール９は搬送機本体４の開口部１０を貫通
して隔壁１の両端間に横架されている。さらに搬送機本
体４の開口部１０内にはリニアモータコイル１１が配置
され、ガイドレール９にはこのリニアモータコイル１１
と対面するようにモータ２次導体１２が備えられてい
る。また、隔壁１は支持部１３を介して回転軸１４に連
結されている。
【０００４】以上のように構成された搬送装置によれ
ば、搬送機本体４は駆動源であるリニアモータコイル１
１とモータ２次導体１２によりガイドレール９に沿って
隔壁１の両端間を移動し、さらに、回転軸１４の回転に
連動して回転する。搬送棒２は搬送機本体４と磁気的に
結合している浮上体３に取り付けられているのでこの動
きに追従する。すなわち、物品１９の搬送に必要な直線
移動と方向転換が接触部を持たずに実現される。
ば、搬送機本体４は駆動源であるリニアモータコイル１
１とモータ２次導体１２によりガイドレール９に沿って
隔壁１の両端間を移動し、さらに、回転軸１４の回転に
連動して回転する。搬送棒２は搬送機本体４と磁気的に
結合している浮上体３に取り付けられているのでこの動
きに追従する。すなわち、物品１９の搬送に必要な直線
移動と方向転換が接触部を持たずに実現される。
【０００５】ここで、隔壁を介して搬送機本体と浮上体
を磁気的に結合させている磁気支持部について詳細に説
明する。図１０・図１１のとおり、この搬送機本体４の
後端部には、Ｖ軸線上およびＷ軸線上にそれぞれ２つの
電磁石６・１６が隔壁１の内周面１ａに臨むように搬送
機本体４の外周面４ａに配置されている。また、センサ
部８・１８が、搬送機本体４の外周面側のＶ軸線上およ
びＷ軸線上近傍にそれぞれ２つずつ配置され、各軸線上
における浮上体３の浮上位置を検出している。また、浮
上体３の内周面には各電磁石６・１６とそれぞれ対向す
る位置に、磁性材料によって形成されたターゲット７・
１７が設けられている。そして、それら電磁石６・１
６、ターゲット７・１７、センサ部８・１８が磁気支持
部５・１５をそれぞれ構成する。
を磁気的に結合させている磁気支持部について詳細に説
明する。図１０・図１１のとおり、この搬送機本体４の
後端部には、Ｖ軸線上およびＷ軸線上にそれぞれ２つの
電磁石６・１６が隔壁１の内周面１ａに臨むように搬送
機本体４の外周面４ａに配置されている。また、センサ
部８・１８が、搬送機本体４の外周面側のＶ軸線上およ
びＷ軸線上近傍にそれぞれ２つずつ配置され、各軸線上
における浮上体３の浮上位置を検出している。また、浮
上体３の内周面には各電磁石６・１６とそれぞれ対向す
る位置に、磁性材料によって形成されたターゲット７・
１７が設けられている。そして、それら電磁石６・１
６、ターゲット７・１７、センサ部８・１８が磁気支持
部５・１５をそれぞれ構成する。
【０００６】ここで、Ｖ軸線およびＷ軸線は水平軸から
約４５度傾いている。この場合は水平および垂直方向の
分力が１：１となるので制御が容易であるが、他の傾き
角でも、制御可能である。
約４５度傾いている。この場合は水平および垂直方向の
分力が１：１となるので制御が容易であるが、他の傾き
角でも、制御可能である。
【０００７】前端部も後端部と同様に構成されている。
したがって、搬送機本体４には両端部に各４つずつ、合
計８つの電磁石とセンサ部が設けられている。
したがって、搬送機本体４には両端部に各４つずつ、合
計８つの電磁石とセンサ部が設けられている。
【０００８】図１２・図１３に、磁気支持部が搬送機本
体の両端部の下側のみに設けられた搬送装置を示す。こ
の場合、搬送機本体４の前端部にはＶ軸線上およびＷ軸
線上の下側にそれぞれ電磁石２６が隔壁１の内周面１ａ
に臨むように搬送機本体４の外周面４ａに設置されてい
る。また、センサ部２８・３８が、搬送機本体４の外周
面側の各軸線上近傍にそれぞれ２つずつ配置され、各軸
線上における浮上体３の浮上位置を検出している。ま
た、浮上体３の内周面３ａには各電磁石２６とそれぞれ
対向する位置に、磁性材料によって形成されたターゲッ
ト２７が設けられている。そして、それら電磁石２６、
ターゲット２７、センサ部２８・３８が磁気支持部２５
を構成する。後端部も同様に構成されている。
体の両端部の下側のみに設けられた搬送装置を示す。こ
の場合、搬送機本体４の前端部にはＶ軸線上およびＷ軸
線上の下側にそれぞれ電磁石２６が隔壁１の内周面１ａ
に臨むように搬送機本体４の外周面４ａに設置されてい
る。また、センサ部２８・３８が、搬送機本体４の外周
面側の各軸線上近傍にそれぞれ２つずつ配置され、各軸
線上における浮上体３の浮上位置を検出している。ま
た、浮上体３の内周面３ａには各電磁石２６とそれぞれ
対向する位置に、磁性材料によって形成されたターゲッ
ト２７が設けられている。そして、それら電磁石２６、
ターゲット２７、センサ部２８・３８が磁気支持部２５
を構成する。後端部も同様に構成されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図１０・図１
１に示す従来の装置においては、浮上体を保持するため
に、各軸線上ごとの電磁石の制御電流の合計が一定とな
る様に制御されている。そのため、たとえ搬送物品負荷
が小さくても消費電流は変わらない。そのために発熱量
は必要以上に大きくなる。したがって、隔壁の温度が上
がり、それにともなってガス放出量が大きくなる、とい
う問題点があった。
１に示す従来の装置においては、浮上体を保持するため
に、各軸線上ごとの電磁石の制御電流の合計が一定とな
る様に制御されている。そのため、たとえ搬送物品負荷
が小さくても消費電流は変わらない。そのために発熱量
は必要以上に大きくなる。したがって、隔壁の温度が上
がり、それにともなってガス放出量が大きくなる、とい
う問題点があった。
【００１０】また、図１２・図１３に示す従来の装置に
おいては、搬送物品の負荷に応じて電流が流れるので前
述の課題は解決されるが、可搬重量が低下するという新
たな問題点が発生する。すなわち、物品を搭載すると後
端部下側の磁気支持部にはターゲットと電磁石との間隔
が減少する方向にモーメント力が作用する。一方、磁気
支持部においてターゲットと電磁石との間に作用する磁
力は制御電流により発生する吸引力であり、この吸引力
は前述のモーメント力と同一方向に作用している。した
がって、この搬送装置では、モーメント力と反対方向の
力を作用させることはできない。そのため、搬送物品負
荷がターゲットと電磁石を接触させるほど大きくなる
と、たとえ電磁石制御電流を切って吸引力を無くしたと
しても、浮上体を平行に浮上させるように制御すること
ができなくなる。このように、前後部の下側だけにしか
磁気支持部がない搬送装置では、物品の重量が増大した
場合に後側制御が不能となるので、図１０・図１１に示
す上側にも磁気支持部をもつ装置に比べて可搬重量は小
さくなる。
おいては、搬送物品の負荷に応じて電流が流れるので前
述の課題は解決されるが、可搬重量が低下するという新
たな問題点が発生する。すなわち、物品を搭載すると後
端部下側の磁気支持部にはターゲットと電磁石との間隔
が減少する方向にモーメント力が作用する。一方、磁気
支持部においてターゲットと電磁石との間に作用する磁
力は制御電流により発生する吸引力であり、この吸引力
は前述のモーメント力と同一方向に作用している。した
がって、この搬送装置では、モーメント力と反対方向の
力を作用させることはできない。そのため、搬送物品負
荷がターゲットと電磁石を接触させるほど大きくなる
と、たとえ電磁石制御電流を切って吸引力を無くしたと
しても、浮上体を平行に浮上させるように制御すること
ができなくなる。このように、前後部の下側だけにしか
磁気支持部がない搬送装置では、物品の重量が増大した
場合に後側制御が不能となるので、図１０・図１１に示
す上側にも磁気支持部をもつ装置に比べて可搬重量は小
さくなる。
【００１１】本発明は上述の事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、磁気支持部に生じる磁力を利用して物
品を搬送する搬送装置の低消費電力化・発熱防止・ガス
発生防止・可搬重量低下防止を図ることにある。
で、その目的は、磁気支持部に生じる磁力を利用して物
品を搬送する搬送装置の低消費電力化・発熱防止・ガス
発生防止・可搬重量低下防止を図ることにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、筒状隔壁と、搬送品を搭載する搬送棒
と、隔壁の外周面側に位置するとともに搬送棒を有する
浮上体と、隔壁の内周面側に位置するとともに隔壁の両
端間を移動可能な搬送機本体と、搬送機本体に設けられ
るとともに浮上体を支持する磁力を発生する電磁石と、
浮上体の位置を検出するセンサ部と、電磁石と対向する
よう浮上体に設けられた磁性材料により形成されたター
ゲットと、電磁石とターゲットとセンサ部からなる磁気
支持部と、搬送物品により磁気支持部に作用する力のバ
ランスをとるための調整手段と、を備えたこととした。
に、本発明は、筒状隔壁と、搬送品を搭載する搬送棒
と、隔壁の外周面側に位置するとともに搬送棒を有する
浮上体と、隔壁の内周面側に位置するとともに隔壁の両
端間を移動可能な搬送機本体と、搬送機本体に設けられ
るとともに浮上体を支持する磁力を発生する電磁石と、
浮上体の位置を検出するセンサ部と、電磁石と対向する
よう浮上体に設けられた磁性材料により形成されたター
ゲットと、電磁石とターゲットとセンサ部からなる磁気
支持部と、搬送物品により磁気支持部に作用する力のバ
ランスをとるための調整手段と、を備えたこととした。
【００１３】
【作用】このように構成した搬送装置においては、搬送
物品負荷（搬送物品重量）が変わっても、調整手段が浮
上体とセンサ部との間隔（すなわち、互いに対向する電
磁石とターゲットの間隔）を、少量の励磁電流によって
制御できる範囲内に調整する。したがって、装置の消費
電力が負荷状況に応じて小さくなるので、発熱量が減少
し、これにともない、真空と接する筒状隔壁の発熱温度
も下がり放出ガスの発生量も少なくなる。さらに可搬重
量を減らさずに電磁石の個数を低減することもできる。
物品負荷（搬送物品重量）が変わっても、調整手段が浮
上体とセンサ部との間隔（すなわち、互いに対向する電
磁石とターゲットの間隔）を、少量の励磁電流によって
制御できる範囲内に調整する。したがって、装置の消費
電力が負荷状況に応じて小さくなるので、発熱量が減少
し、これにともない、真空と接する筒状隔壁の発熱温度
も下がり放出ガスの発生量も少なくなる。さらに可搬重
量を減らさずに電磁石の個数を低減することもできる。
【００１４】請求項２に記載の搬送装置においては、搬
送物品負荷が大きくなって搬送機本体の後端部に偏った
モーメント力が加わっても、後端部の上側に設けられた
電磁石がモーメント力と反対方向の磁力を発生させるこ
とができるので、電磁石とターゲットとの距離が一定に
なるように制御することができる。したがって少量の励
磁電流で浮上体を支持することができる。すなわち装置
の消費電力が負荷状況に応じて小さくなるので、発熱量
が減少し、これにともない、真空と接する筒状隔壁の発
熱温度も下がり放出ガスの発生量も少なくなる。さらに
可搬重量を減らさずに電磁石の個数を低減することもで
きる。
送物品負荷が大きくなって搬送機本体の後端部に偏った
モーメント力が加わっても、後端部の上側に設けられた
電磁石がモーメント力と反対方向の磁力を発生させるこ
とができるので、電磁石とターゲットとの距離が一定に
なるように制御することができる。したがって少量の励
磁電流で浮上体を支持することができる。すなわち装置
の消費電力が負荷状況に応じて小さくなるので、発熱量
が減少し、これにともない、真空と接する筒状隔壁の発
熱温度も下がり放出ガスの発生量も少なくなる。さらに
可搬重量を減らさずに電磁石の個数を低減することもで
きる。
【００１５】請求項３に記載の搬送装置においては、搬
送物品負荷が大きくなっても搬送棒両端側に物品が搭載
されるので、搬送機本体の下側に設けられた電磁石とタ
ーゲットとの距離が偏らずに磁力と負荷重量によるモー
メント力とが作用する。そのため、少数の電磁石（すな
わち少量の励磁電流）で浮上体を支持・制御することが
できる。したがって装置の消費電力が負荷状況に応じて
小さくなるので、発熱量が減少し、これにともない、真
空と接する筒状隔壁の発熱温度も下がり放出ガスの発生
量も少なくなる。さらに可搬重量を減らさずに電磁石の
個数を低減することもできる。
送物品負荷が大きくなっても搬送棒両端側に物品が搭載
されるので、搬送機本体の下側に設けられた電磁石とタ
ーゲットとの距離が偏らずに磁力と負荷重量によるモー
メント力とが作用する。そのため、少数の電磁石（すな
わち少量の励磁電流）で浮上体を支持・制御することが
できる。したがって装置の消費電力が負荷状況に応じて
小さくなるので、発熱量が減少し、これにともない、真
空と接する筒状隔壁の発熱温度も下がり放出ガスの発生
量も少なくなる。さらに可搬重量を減らさずに電磁石の
個数を低減することもできる。
【００１６】請求項４に記載の搬送装置においては、電
磁石の磁力と永久磁石の磁力の和が薄肉の隔壁を介して
浮上体のターゲットに作用するので、永久磁石の磁力の
分だけ、さらに少量の励磁電流で浮上体を支持・制御す
ることができる。すなわち装置の消費電力が負荷状況に
応じてさらに小さくなるので、発熱量が減少し、これに
ともない、真空と接する筒状隔壁の発熱温度も下がり放
出ガスの発生量も少なくなる。あるいは、励磁電流を変
えずに大きい荷重を支持することができる。
磁石の磁力と永久磁石の磁力の和が薄肉の隔壁を介して
浮上体のターゲットに作用するので、永久磁石の磁力の
分だけ、さらに少量の励磁電流で浮上体を支持・制御す
ることができる。すなわち装置の消費電力が負荷状況に
応じてさらに小さくなるので、発熱量が減少し、これに
ともない、真空と接する筒状隔壁の発熱温度も下がり放
出ガスの発生量も少なくなる。あるいは、励磁電流を変
えずに大きい荷重を支持することができる。
【００１７】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。本発明の第１の実施例による搬送装置を図１〜３
に示す。図１は正面図であるが、搬送機本体４に係わる
部分以外は図１０の従来の搬送装置と同じ構成なので、
説明は省略する。
する。本発明の第１の実施例による搬送装置を図１〜３
に示す。図１は正面図であるが、搬送機本体４に係わる
部分以外は図１０の従来の搬送装置と同じ構成なので、
説明は省略する。
【００１８】図２は搬送機本体４の後端部に係わる断面
図である。この後端部には、Ｖ軸線上およびＷ軸線上に
それぞれ磁気支持部５・１５が設けられている。すなわ
ち、Ｖ軸線上およびＷ軸線上にそれぞれ２つの電磁石６
・１６が隔壁１の内周面１ａに臨むように搬送機本体４
の外周面４ａに配置されている。また、センサ部８・１
８が、搬送機本体の外周面側のＶ軸線上およびＷ軸線上
近傍にそれぞれ２つずつ配置され、各軸線上における浮
上体３の浮上位置を検出している。また、浮上体３の内
周面には各電磁石６・１６とそれぞれ対向する位置に、
磁性材料によって形成されたターゲット７・１７が設け
られている。
図である。この後端部には、Ｖ軸線上およびＷ軸線上に
それぞれ磁気支持部５・１５が設けられている。すなわ
ち、Ｖ軸線上およびＷ軸線上にそれぞれ２つの電磁石６
・１６が隔壁１の内周面１ａに臨むように搬送機本体４
の外周面４ａに配置されている。また、センサ部８・１
８が、搬送機本体の外周面側のＶ軸線上およびＷ軸線上
近傍にそれぞれ２つずつ配置され、各軸線上における浮
上体３の浮上位置を検出している。また、浮上体３の内
周面には各電磁石６・１６とそれぞれ対向する位置に、
磁性材料によって形成されたターゲット７・１７が設け
られている。
【００１９】図３に搬送機本体４の前端部に係わる断面
図を示す。この前端部には、Ｖ軸線上およびＷ軸線上の
下側にそれぞれ磁気支持部２５が設けられている。すな
わち、各軸線上の下側にそれぞれ電磁石２６が隔壁１の
内周面１ａに臨むように搬送機本体４の外周面４ａに設
置されている。また、センサ部２８・３８が、搬送機本
体の外周面側の各軸線上近傍にそれぞれ２つずつ配置さ
れ、各軸線上における浮上体３の浮上位置を検出してい
る。また、浮上体３の内周面には各電磁石２６とそれぞ
れ対向する位置に、磁性材料によって形成されたターゲ
ット２７が設けられている。
図を示す。この前端部には、Ｖ軸線上およびＷ軸線上の
下側にそれぞれ磁気支持部２５が設けられている。すな
わち、各軸線上の下側にそれぞれ電磁石２６が隔壁１の
内周面１ａに臨むように搬送機本体４の外周面４ａに設
置されている。また、センサ部２８・３８が、搬送機本
体の外周面側の各軸線上近傍にそれぞれ２つずつ配置さ
れ、各軸線上における浮上体３の浮上位置を検出してい
る。また、浮上体３の内周面には各電磁石２６とそれぞ
れ対向する位置に、磁性材料によって形成されたターゲ
ット２７が設けられている。
【００２０】以上のように構成された第１の実施例によ
る搬送装置では、各センサ部が浮上体との距離を検出
し、各軸線ごとにセンサ部が検出した距離がそれぞれ等
しくなるように、図示しない制御部が各電磁石に与える
励磁電流を算出し、供給する。このとき消費電力は負荷
状況に応じた最小値となり、発生する熱量は最小限に抑
えられる。このようにして磁気的に支持された浮上体
は、搬送機本体の移動に追従する。すなわち、浮上体に
結合された搬送棒は物品を任意の位置に搬送できる。
る搬送装置では、各センサ部が浮上体との距離を検出
し、各軸線ごとにセンサ部が検出した距離がそれぞれ等
しくなるように、図示しない制御部が各電磁石に与える
励磁電流を算出し、供給する。このとき消費電力は負荷
状況に応じた最小値となり、発生する熱量は最小限に抑
えられる。このようにして磁気的に支持された浮上体
は、搬送機本体の移動に追従する。すなわち、浮上体に
結合された搬送棒は物品を任意の位置に搬送できる。
【００２１】ここで、第１の実施例による搬送装置にお
いて、浮上体を支持するために前後部の磁気支持部に作
用する力の大きさを図４を用いて説明する。図４に示す
様に、浮上体の重心位置をＡ、被搬送物品の重心位置を
Ｂ、浮上体重量をＷ１、物品重量をＷ２とすると、前後
端部の磁気支持部に必要なそれぞれの電磁石の吸引力Ｒ
１、Ｒ２は下記の式（１）、（２）の様に表せる。 Ｒ１＝｛ａＷ１＋（ａ＋ｂ＋ｃ）Ｗ２｝／（ａ＋ｂ） ・・・（１） Ｒ２＝（ｂＷ１−ｃＷ２）／（ａ＋ｂ） ・・・（２） ここで、ａ＝８ｃｍ，ｂ＝６ｃｍ，ｃ＝４０ｃｍ，Ｗ１
＝１Ｋｇ，Ｗ２＝０．１Ｋｇとすると、Ｒ１＝０．９６
Ｋｇ，Ｒ２＝０．１４Ｋｇとなる。
いて、浮上体を支持するために前後部の磁気支持部に作
用する力の大きさを図４を用いて説明する。図４に示す
様に、浮上体の重心位置をＡ、被搬送物品の重心位置を
Ｂ、浮上体重量をＷ１、物品重量をＷ２とすると、前後
端部の磁気支持部に必要なそれぞれの電磁石の吸引力Ｒ
１、Ｒ２は下記の式（１）、（２）の様に表せる。 Ｒ１＝｛ａＷ１＋（ａ＋ｂ＋ｃ）Ｗ２｝／（ａ＋ｂ） ・・・（１） Ｒ２＝（ｂＷ１−ｃＷ２）／（ａ＋ｂ） ・・・（２） ここで、ａ＝８ｃｍ，ｂ＝６ｃｍ，ｃ＝４０ｃｍ，Ｗ１
＝１Ｋｇ，Ｗ２＝０．１Ｋｇとすると、Ｒ１＝０．９６
Ｋｇ，Ｒ２＝０．１４Ｋｇとなる。
【００２２】さらに、Ｗ２＝０．２Ｋｇと物品重量が増
えた場合には、Ｒ１＝１．３４Ｋｇ，Ｒ２＝−０．１４
Ｋｇとなる。このように、物品重量が増加するにつれて
後端部には下方向へ作用する力が必要となる。
えた場合には、Ｒ１＝１．３４Ｋｇ，Ｒ２＝−０．１４
Ｋｇとなる。このように、物品重量が増加するにつれて
後端部には下方向へ作用する力が必要となる。
【００２３】図示しない制御部は、この電磁石の吸引力
Ｒ１，Ｒ２を発生させるのに必要な励磁電流を算出し、
各電磁石に供給する。
Ｒ１，Ｒ２を発生させるのに必要な励磁電流を算出し、
各電磁石に供給する。
【００２４】次に、本発明の第２の実施例による搬送装
置について説明する。図５は第２の実施例による搬送機
本体の前端部を示す断面図で、第１の実施例における図
３に対応している。ここで、電磁石２５の少なくとも一
部に永久磁石２０が用いられていることが第１の実施例
と相違している。これ以外は同じ構成なので説明は省略
する。
置について説明する。図５は第２の実施例による搬送機
本体の前端部を示す断面図で、第１の実施例における図
３に対応している。ここで、電磁石２５の少なくとも一
部に永久磁石２０が用いられていることが第１の実施例
と相違している。これ以外は同じ構成なので説明は省略
する。
【００２５】この場合、前側電磁石の吸引力には併用す
る永久磁石２０の磁力も充当されているので、さらに小
さい励磁電流で必要な吸引力（磁力）を得ることができ
る。したがって、第１の実施例よりもさらに低消費電力
で駆動可能となり、発生する熱量はさらに小さくなる。
あるいは、同じ消費電力で可搬重量を大きくすることが
できる。ここでは、前端部の下側の電磁石に永久磁石を
用いた例を示したが、後端部のいずれの電磁石に永久磁
石を用いても同様の効果がある。
る永久磁石２０の磁力も充当されているので、さらに小
さい励磁電流で必要な吸引力（磁力）を得ることができ
る。したがって、第１の実施例よりもさらに低消費電力
で駆動可能となり、発生する熱量はさらに小さくなる。
あるいは、同じ消費電力で可搬重量を大きくすることが
できる。ここでは、前端部の下側の電磁石に永久磁石を
用いた例を示したが、後端部のいずれの電磁石に永久磁
石を用いても同様の効果がある。
【００２６】次に、本発明の第３の実施例による搬送装
置を図６に示す。搬送機本体に係わる部分の断面図は前
後両端部とも第１の実施例を示した図３と同様である。
すなわち、上記搬送機本体４の両端部には下側に磁気支
持部が配置され、Ｖ軸線上およびＷ軸線上の下側にそれ
ぞれ電磁石２６が隔壁１の内周面１ａに臨むように搬送
機本体４の外周面４ａに配置されている。また、搬送機
本体の外周面側の各軸線上近傍に、それぞれ２つずつセ
ンサ部２８・３８が配置され、各軸線上における浮上体
３の浮上位置を検出している。また、浮上体３の内周面
には各電磁石２６とそれぞれ対向する位置に、磁性材料
によって形成されたターゲット２７が設けられている。
さらに、浮上体３には両端側に物品搭載部を有する搬送
棒２が接合されている。なお、その他の構成および動作
は前述の第１の実施例と同様であるため説明を省略す
る。
置を図６に示す。搬送機本体に係わる部分の断面図は前
後両端部とも第１の実施例を示した図３と同様である。
すなわち、上記搬送機本体４の両端部には下側に磁気支
持部が配置され、Ｖ軸線上およびＷ軸線上の下側にそれ
ぞれ電磁石２６が隔壁１の内周面１ａに臨むように搬送
機本体４の外周面４ａに配置されている。また、搬送機
本体の外周面側の各軸線上近傍に、それぞれ２つずつセ
ンサ部２８・３８が配置され、各軸線上における浮上体
３の浮上位置を検出している。また、浮上体３の内周面
には各電磁石２６とそれぞれ対向する位置に、磁性材料
によって形成されたターゲット２７が設けられている。
さらに、浮上体３には両端側に物品搭載部を有する搬送
棒２が接合されている。なお、その他の構成および動作
は前述の第１の実施例と同様であるため説明を省略す
る。
【００２７】以上のように構成された第３の実施例の搬
送装置によれば、第１の実施例と同様に消費電力は負荷
状況に応じて最小となり、少量の励磁電流で浮上体を支
持できるので、発生する熱量は最小限に抑えられる。す
なわち、装置の発熱防止及び低消費電流化及びガス発生
の防止を図ることができる。
送装置によれば、第１の実施例と同様に消費電力は負荷
状況に応じて最小となり、少量の励磁電流で浮上体を支
持できるので、発生する熱量は最小限に抑えられる。す
なわち、装置の発熱防止及び低消費電流化及びガス発生
の防止を図ることができる。
【００２８】ここで、第３の実施例による搬送装置にお
いて、浮上体を支持するために前後部の磁気支持部で作
用する力の大きさを図７を用いて説明する。図７に示す
様に、浮上体の重心位置をＡ、被搬送物品の重心位置を
ＢおよびＣ、浮上体重量をＷ３、物品重量をＷ４および
Ｗ５とすると、前後端部の磁気支持部に必要なそれぞれ
の電磁石の吸引力Ｒ３、Ｒ４は下記の式（３）、（４）
の様に表せる。 Ｒ３＝｛ｄＷ３＋（ｄ＋ｅ＋ｆ）Ｗ４−ｇＷ５｝／（ｄ＋ｅ） ・・・（３ ） Ｒ４＝｛ｅＷ３−ｆＷ４＋（ｄ＋ｅ＋ｇ）Ｗ５｝／（ｄ＋ｅ） ・・・（４ ） ここで、ｄ＝８ｃｍ，ｅ＝６ｃｍ，Ｗ３＝１．７５Ｋ
ｇ，簡略化のためｆ＝ｇ＝４０ｃｍ，Ｗ４＝Ｗ５＝０．
１Ｋｇとすると、Ｒ３＝１．１０Ｋｇ，Ｒ４＝０．８５
Ｋｇとなる。
いて、浮上体を支持するために前後部の磁気支持部で作
用する力の大きさを図７を用いて説明する。図７に示す
様に、浮上体の重心位置をＡ、被搬送物品の重心位置を
ＢおよびＣ、浮上体重量をＷ３、物品重量をＷ４および
Ｗ５とすると、前後端部の磁気支持部に必要なそれぞれ
の電磁石の吸引力Ｒ３、Ｒ４は下記の式（３）、（４）
の様に表せる。 Ｒ３＝｛ｄＷ３＋（ｄ＋ｅ＋ｆ）Ｗ４−ｇＷ５｝／（ｄ＋ｅ） ・・・（３ ） Ｒ４＝｛ｅＷ３−ｆＷ４＋（ｄ＋ｅ＋ｇ）Ｗ５｝／（ｄ＋ｅ） ・・・（４ ） ここで、ｄ＝８ｃｍ，ｅ＝６ｃｍ，Ｗ３＝１．７５Ｋ
ｇ，簡略化のためｆ＝ｇ＝４０ｃｍ，Ｗ４＝Ｗ５＝０．
１Ｋｇとすると、Ｒ３＝１．１０Ｋｇ，Ｒ４＝０．８５
Ｋｇとなる。
【００２９】さらに、Ｗ４＝０．２Ｋｇと物品重量が増
えた場合には、Ｒ３＝１．２０Ｋｇ，Ｒ４＝０．９５Ｋ
ｇとなる。このように、物品重量が増加しても実際には
電磁石の吸引力が負になることはなく、すなわち前述の
第１の実施例のように後端部において下方向に作用する
力を必要としない。したがって、下側の磁気支持部のみ
で、物品を安定して搬送することができる。
えた場合には、Ｒ３＝１．２０Ｋｇ，Ｒ４＝０．９５Ｋ
ｇとなる。このように、物品重量が増加しても実際には
電磁石の吸引力が負になることはなく、すなわち前述の
第１の実施例のように後端部において下方向に作用する
力を必要としない。したがって、下側の磁気支持部のみ
で、物品を安定して搬送することができる。
【００３０】第１の実施例の場合と同様に図示しない制
御部は、この電磁石の吸引力Ｒ１，Ｒ２を発生させるの
に必要な励磁電流を算出し、各電磁石に供給する。ここ
では、磁気支持部から両側の搬送品中心までのそれぞれ
の距離が等しいと、簡略化して計算したが、この距離が
両側で異なる場合でも同様である。
御部は、この電磁石の吸引力Ｒ１，Ｒ２を発生させるの
に必要な励磁電流を算出し、各電磁石に供給する。ここ
では、磁気支持部から両側の搬送品中心までのそれぞれ
の距離が等しいと、簡略化して計算したが、この距離が
両側で異なる場合でも同様である。
【００３１】さらにこの第３の実施例によれば、物品搭
載箇所が両端に２箇所あるので一度に２枚の物品を保持
することができる。したがって、ある容器への物品の出
し入れを、１回のゲートバルブの開閉動作で行うことが
でき、搬送時間の短縮も実現される。
載箇所が両端に２箇所あるので一度に２枚の物品を保持
することができる。したがって、ある容器への物品の出
し入れを、１回のゲートバルブの開閉動作で行うことが
でき、搬送時間の短縮も実現される。
【００３２】１箇所の物品搭載箇所を有する第１の実施
例の搬送装置と複数の真空容器により構成された一例を
図８に示す。ここで、真空室ＶＣ１の物品を真空室ＶＣ
２へ、真空室ＶＣ２の物品を真空室ＶＣ３へ搬送する場
合、同時に異なるゲートバルブは開かないので次のよう
なステップになる。 (ａ)ゲートバルブＧＶ２を開く。 (ｂ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ２内のＷＦ２を取る。 (ｃ)ゲートバルブＧＶ２を閉じる。 (ｄ)搬送装置回転（真空室ＶＣ３前へ）。 (ｅ)ゲートバルブＧＶ３を開く。 (ｆ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ３内へＷＦ２を置く。 (ｇ)ゲートバルブＧＶ３を閉じる。 (ｈ)搬送装置回転（真空室ＶＣ１前へ）。 (ｉ)ゲートバルブＧＶ１を開く。 (ｊ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ１内のＷＦ１を取る。 (ｋ)ゲートバルブＧＶ１を閉じる。 (ｌ)搬送装置回転（真空室ＶＣ２前へ）。 (ｍ)ゲートバルブＧＶ２を開く。 (ｎ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ２内へＷＦ１を置く。 (ｏ)ゲートバルブＧＶ２を閉じる。 という１５ステップの動作が必要である。
例の搬送装置と複数の真空容器により構成された一例を
図８に示す。ここで、真空室ＶＣ１の物品を真空室ＶＣ
２へ、真空室ＶＣ２の物品を真空室ＶＣ３へ搬送する場
合、同時に異なるゲートバルブは開かないので次のよう
なステップになる。 (ａ)ゲートバルブＧＶ２を開く。 (ｂ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ２内のＷＦ２を取る。 (ｃ)ゲートバルブＧＶ２を閉じる。 (ｄ)搬送装置回転（真空室ＶＣ３前へ）。 (ｅ)ゲートバルブＧＶ３を開く。 (ｆ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ３内へＷＦ２を置く。 (ｇ)ゲートバルブＧＶ３を閉じる。 (ｈ)搬送装置回転（真空室ＶＣ１前へ）。 (ｉ)ゲートバルブＧＶ１を開く。 (ｊ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ１内のＷＦ１を取る。 (ｋ)ゲートバルブＧＶ１を閉じる。 (ｌ)搬送装置回転（真空室ＶＣ２前へ）。 (ｍ)ゲートバルブＧＶ２を開く。 (ｎ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ２内へＷＦ１を置く。 (ｏ)ゲートバルブＧＶ２を閉じる。 という１５ステップの動作が必要である。
【００３３】一方、２箇所の物品搭載箇所を有する第３
の実施例の搬送装置と複数の真空容器によって構成され
た一例を図９に示す。ここでも、上記と同様真空室ＶＣ
１の物品を真空室ＶＣ２へ、真空室ＶＣ２の物品を真空
室ＶＣ３へ搬送する場合は、次のようなステップとな
る。 (Ａ)ゲートバルブＧＶ１を開く。 (Ｂ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ１内のＷＦ１を取る。 (Ｃ)ゲートバルブＧＶ１を閉じる。 (Ｄ)搬送装置回転（真空室ＶＣ２前へ）。 (Ｅ)ゲートバルブＧＶ２を開く。 (Ｆ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ２内のＷＦ２を取る。 (Ｇ)搬送装置１８０゜回転。 (Ｈ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ２内へＷＦ１を置く。 (Ｉ)ゲートバルブＧＶ２を閉じる。 (Ｊ)搬送装置回転（真空室ＶＣ３前へ）。 (Ｋ)ゲートバルブＧＶ３を開く。 (Ｌ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ３内へＷＦ２を置く。 (Ｍ)ゲートバルブＧＶ３を閉じる。 という１３ステップの動作で済むことになる。図８・図
９において、真空室及び搬送装置が設置された部屋は四
辺形で表してあるが、他の多角形の場合でも回転角度が
異なるだけで、基本的には同一のステップである。
の実施例の搬送装置と複数の真空容器によって構成され
た一例を図９に示す。ここでも、上記と同様真空室ＶＣ
１の物品を真空室ＶＣ２へ、真空室ＶＣ２の物品を真空
室ＶＣ３へ搬送する場合は、次のようなステップとな
る。 (Ａ)ゲートバルブＧＶ１を開く。 (Ｂ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ１内のＷＦ１を取る。 (Ｃ)ゲートバルブＧＶ１を閉じる。 (Ｄ)搬送装置回転（真空室ＶＣ２前へ）。 (Ｅ)ゲートバルブＧＶ２を開く。 (Ｆ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ２内のＷＦ２を取る。 (Ｇ)搬送装置１８０゜回転。 (Ｈ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ２内へＷＦ１を置く。 (Ｉ)ゲートバルブＧＶ２を閉じる。 (Ｊ)搬送装置回転（真空室ＶＣ３前へ）。 (Ｋ)ゲートバルブＧＶ３を開く。 (Ｌ)搬送棒が移動し真空室ＶＣ３内へＷＦ２を置く。 (Ｍ)ゲートバルブＧＶ３を閉じる。 という１３ステップの動作で済むことになる。図８・図
９において、真空室及び搬送装置が設置された部屋は四
辺形で表してあるが、他の多角形の場合でも回転角度が
異なるだけで、基本的には同一のステップである。
【００３４】なお、本実施例では駆動源としてリニアモ
ータの例を示したが、他駆動方式（例えばボールねじと
モータ等）を用いることもできる。また、本実施例では
回転軸の付いた例を示したが、回転機構を備えていなく
ともよい。さらに、上下移動機構を付加させることもで
きる。また、磁気支持部を搬送機本体の端部に設けてい
るが、必ずしも端部に設ける必要もない。また、本実施
例では隔壁外周側が真空状態の例を示したが、大気状態
であってもよい。
ータの例を示したが、他駆動方式（例えばボールねじと
モータ等）を用いることもできる。また、本実施例では
回転軸の付いた例を示したが、回転機構を備えていなく
ともよい。さらに、上下移動機構を付加させることもで
きる。また、磁気支持部を搬送機本体の端部に設けてい
るが、必ずしも端部に設ける必要もない。また、本実施
例では隔壁外周側が真空状態の例を示したが、大気状態
であってもよい。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、磁気支持部に作用
する力のバランスをとる調整手段を設けたことにより、
少量の励磁電流で浮上体を支持でき、装置の発熱防止、
低消費電流化及び発生ガス防止が図れる。
する力のバランスをとる調整手段を設けたことにより、
少量の励磁電流で浮上体を支持でき、装置の発熱防止、
低消費電流化及び発生ガス防止が図れる。
【図１】本発明の第１の実施例による搬送装置の正面図
である。
である。
【図２】本発明の第１の実施例による搬送装置の搬送機
本体の後端部に係わる部分の断面図である。
本体の後端部に係わる部分の断面図である。
【図３】本発明の第１の実施例による搬送装置の搬送機
本体の前端部、および第３の実施例の搬送機本体の前後
端部に係わる部分の断面図である
本体の前端部、および第３の実施例の搬送機本体の前後
端部に係わる部分の断面図である
【図４】本発明の第１の実施例による搬送装置に作用す
る力を示す模式図である。
る力を示す模式図である。
【図５】本発明の第２の実施例による搬送装置の搬送機
本体の前端部に係わる断面図である。
本体の前端部に係わる断面図である。
【図６】本発明の第３の実施例による搬送装置の正面図
である。
である。
【図７】本発明の第３の実施例による搬送装置に作用す
る力を示す模式図である。
る力を示す模式図である。
【図８】本発明の第１の実施例による搬送装置と複数の
真空容器により構成された一例を示す概略図である。
真空容器により構成された一例を示す概略図である。
【図９】本発明の第３の実施例である搬送装置と複数の
真空容器により構成された一例を示す概略図である。
真空容器により構成された一例を示す概略図である。
【図１０】従来技術による搬送装置の正面図である。
【図１１】従来技術による搬送装置の断面図である。
【図１２】従来技術による他の搬送装置の正面図であ
る。
る。
【図１３】従来技術による他の搬送装置の断面図であ
る。
る。
１ 筒状隔壁 ２ 搬送棒 ３ 浮上体 ４ 搬送機本体 ５，１５，２５，３５ 磁気支持部 ６，１６，２６，３６ 電磁石 ７，１７，２７，３７ ターゲット ８，１８，２８，３８ センサ部
Claims (4)
- 【請求項１】 筒状隔壁と、 搬送品を搭載する搬送棒と、 前記隔壁の外周面側に位置するとともに前記搬送棒を有
する浮上体と、 前記隔壁の内周面側に位置するとともに前記隔壁の両端
間を移動可能な搬送機本体と、 前記搬送機本体に設けられるとともに前記浮上体を支持
する磁力を発生する電磁石と、 前記浮上体の位置を検出するセンサ部と、 前記電磁石と対向するよう前記浮上体に設けられた磁性
材料により形成されたターゲットと、 前記電磁石と前記ターゲットと前記センサ部からなる磁
気支持部と、 前記搬送物品により前記磁気支持部に作用する力のバラ
ンスをとるための調整手段と、 を備えたことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 筒状隔壁と、 搬送品を搭載する搬送棒と、 前記隔壁の外周面側に位置するとともに前記搬送棒を一
方の側に有する浮上体と、 前記隔壁の内周面側に位置するとともに前記隔壁の両端
間を移動可能な搬送機本体と、 前記搬送機本体の搬送棒側の略端部には下側に配置さ
れ、前記搬送機本体の他方側の略端部には下側および上
側に配置されるとともに前記浮上体を支持する磁力を発
生する電磁石と、 前記浮上体の位置を検出するセンサ部と、 前記電磁石と対向するよう前記浮上体に設けられた磁性
材料により形成されたターゲットと、 前記電磁石と前記ターゲットと前記センサ部からなる磁
気支持部と、を備えたことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項３】 筒状隔壁と、 搬送品を両端部に搭載する搬送棒と、 前記搬送棒が接合され、前記隔壁の外周面側に位置する
浮上体と、 前記隔壁の内周面側に位置するとともに前記隔壁の両端
間を移動可能な搬送機本体と、 前記搬送機本体の略両端部の下側に配置されるとともに
前記浮上体を支持する磁力を発生する電磁石と、 前記浮上体の位置を検出するセンサ部と、 前記電磁石と対向するよう前記浮上体に設けられた磁性
材料により形成されたターゲットと、 前記電磁石と前記ターゲットと前記センサ部からなる磁
気支持部と、を備えたことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項４】 少なくとも一つの磁気支持部の電磁石の
一部に永久磁石を設けたことを特徴とする請求項１、２
または３に記載の搬送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6135902A JPH0779507A (ja) | 1993-07-13 | 1994-06-17 | 搬送装置 |
| US08/273,634 US5485910A (en) | 1993-07-13 | 1994-07-12 | Conveyor |
| KR1019940016857A KR960013958A (ko) | 1993-07-13 | 1994-07-13 | 컨베이어 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17331293 | 1993-07-13 | ||
| JP5-173312 | 1993-07-13 | ||
| JP6135902A JPH0779507A (ja) | 1993-07-13 | 1994-06-17 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0779507A true JPH0779507A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=26469634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6135902A Pending JPH0779507A (ja) | 1993-07-13 | 1994-06-17 | 搬送装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5485910A (ja) |
| JP (1) | JPH0779507A (ja) |
| KR (1) | KR960013958A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009142197A1 (ja) * | 2008-05-20 | 2009-11-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5099629B2 (ja) * | 2007-10-23 | 2012-12-19 | 東芝エレベータ株式会社 | 磁気浮上装置 |
| CN103496553A (zh) * | 2013-10-17 | 2014-01-08 | 安徽瑞祥工业有限公司 | 一种自动化缓存和送料设备 |
| KR101603780B1 (ko) * | 2015-12-03 | 2016-03-15 | 주식회사 풍산 | 조절된 자기력을 이용한 탄환정렬이송장치 |
| US11508595B2 (en) * | 2017-08-24 | 2022-11-22 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for contactless transportation of a device in a vacuum processing system |
| KR101996036B1 (ko) * | 2017-08-25 | 2019-07-04 | 노바센(주) | 댐퍼 기능을 내장한 직선형구동기를 포함하는 고감도 중량선별기와, 그것의 운전 방법 |
| CN107814137A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-20 | 张文安 | 一种用于钢格板自动化生产线的输送设备 |
| CN114030816B (zh) * | 2021-11-11 | 2025-11-11 | 杭州祥生砂光机制造有限公司 | 可调磁性式永磁输送床及升降方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4805761A (en) * | 1987-07-14 | 1989-02-21 | Totsch John W | Magnetic conveyor system for transporting wafers |
| US4768911A (en) * | 1987-09-01 | 1988-09-06 | Huntington Mechanical Laboratories, Inc. | Device for moving objects within and between sealed chambers |
| US4893980A (en) * | 1988-12-19 | 1990-01-16 | Huntington Mechanical Laboratories, Inc. | Device for moving objects within a sealed chamber |
| US5417537A (en) * | 1993-05-07 | 1995-05-23 | Miller; Kenneth C. | Wafer transport device |
-
1994
- 1994-06-17 JP JP6135902A patent/JPH0779507A/ja active Pending
- 1994-07-12 US US08/273,634 patent/US5485910A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-07-13 KR KR1019940016857A patent/KR960013958A/ko not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009142197A1 (ja) * | 2008-05-20 | 2009-11-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
| US8522958B2 (en) | 2008-05-20 | 2013-09-03 | Tokyo Electron Limited | Vacuum processing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5485910A (en) | 1996-01-23 |
| KR960013958A (ko) | 1996-05-22 |
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