JPH01316191A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
- Publication number
- JPH01316191A JPH01316191A JP14629688A JP14629688A JPH01316191A JP H01316191 A JPH01316191 A JP H01316191A JP 14629688 A JP14629688 A JP 14629688A JP 14629688 A JP14629688 A JP 14629688A JP H01316191 A JPH01316191 A JP H01316191A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、磁気浮上搬送装置に関し、特に被搬送物を前
後、左右方向に移動可能な磁気浮上搬送装置に関する。
後、左右方向に移動可能な磁気浮上搬送装置に関する。
（従来の技術）
従来、ＩＣ製造工場のように高度なりリーン環境におけ
る搬送装置として、非接触的に搬送可能な磁気浮上搬送
装置が用いられている。
る搬送装置として、非接触的に搬送可能な磁気浮上搬送
装置が用いられている。
上記従来の磁気浮上搬送装置としては、搬送機本体内に
電磁石を設け、この電磁石の磁力により搬送アームを有
する浮上体を保持するとともに、搬送機本体は搬送機構
により左右方向に移動できるように構成され、さらに搬
送機本体と浮上体間にはシールパイプが介在されていて
、浮上体側は外界と完全な遮断状態に維持されている。
電磁石を設け、この電磁石の磁力により搬送アームを有
する浮上体を保持するとともに、搬送機本体は搬送機構
により左右方向に移動できるように構成され、さらに搬
送機本体と浮上体間にはシールパイプが介在されていて
、浮上体側は外界と完全な遮断状態に維持されている。
したがって、搬送機本体をシールパイプに沿って移動さ
せると、搬送アームもこれに従って移動することができ
るように構成されている。
せると、搬送アームもこれに従って移動することができ
るように構成されている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記従来の磁気浮上搬送装置にあっては
、搬送アームが搬送機本体の移動方向にのみ移動するよ
うになっているため、すなわちシールパイプの軸方向（
左右方向）のみに移動するようになっているため、被搬
送物の搬送方向が限定され使い勝手が悪いという問題点
があった。
、搬送アームが搬送機本体の移動方向にのみ移動するよ
うになっているため、すなわちシールパイプの軸方向（
左右方向）のみに移動するようになっているため、被搬
送物の搬送方向が限定され使い勝手が悪いという問題点
があった。
殊に、被搬送物を自動的に加工を行なう際には、被搬送
物であるワークを前後、左右方向に自由移動可能な磁気
浮上搬送装置の出現が待たれていた。
物であるワークを前後、左右方向に自由移動可能な磁気
浮上搬送装置の出現が待たれていた。
（課題を解決するための手段）
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
あって、その構成は外部と隔離されたチャンバ内に位置
し、かつ搬送アームを有する浮上体と、 上記浮」１体を浮上させるための電磁石を有し、かつ該
浮上体をシール部材を介在させて保持させる搬送機本体
と、 上記搬送機本体を左右方向へ移動させるための移動機構
と、 前記搬送機本体を回転させるための回転機構と、からな
ることを特徴とするものである。
あって、その構成は外部と隔離されたチャンバ内に位置
し、かつ搬送アームを有する浮上体と、 上記浮」１体を浮上させるための電磁石を有し、かつ該
浮上体をシール部材を介在させて保持させる搬送機本体
と、 上記搬送機本体を左右方向へ移動させるための移動機構
と、 前記搬送機本体を回転させるための回転機構と、からな
ることを特徴とするものである。
（作用）
本発明は、搬送機本体が左右に移動することにより搬送
アームは左右方向に移動するとともに、搬送機本体が回
動することにより搬送アームは回動するように作用する
。
アームは左右方向に移動するとともに、搬送機本体が回
動することにより搬送アームは回動するように作用する
。
（実施例）
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明装置の第１の実施例に係る断面図であっ
て、１は真空状態に維持されたチャンバａ内に位置し、
一端に搬送アーム２を備えた強磁性体からなる中空円筒
状の浮上体である。
て、１は真空状態に維持されたチャンバａ内に位置し、
一端に搬送アーム２を備えた強磁性体からなる中空円筒
状の浮上体である。
３は搬送機本体であって、浮上体１の内径よりわずかに
小さい外径を有する非磁性体からなるシール部材として
のシールパイプ４と、このシールバイブ４の両端壁板５
，６の中心間に懸架された軸７と、この軸７に摺動自在
に設けられたキャリア８とから形成されている。
小さい外径を有する非磁性体からなるシール部材として
のシールパイプ４と、このシールバイブ４の両端壁板５
，６の中心間に懸架された軸７と、この軸７に摺動自在
に設けられたキャリア８とから形成されている。
キャリア８は、浮上体１の両端に対応する位置の基体８
ａに電磁石９ａ〜９ｄおよび位置センサ１０ａ〜１０ｄ
を備えるとともに、その切欠かれた中央部に移動機構と
しての軸７に設けられたラック１１およびこれに噛み合
うビニオン１２が設けられている。
ａに電磁石９ａ〜９ｄおよび位置センサ１０ａ〜１０ｄ
を備えるとともに、その切欠かれた中央部に移動機構と
しての軸７に設けられたラック１１およびこれに噛み合
うビニオン１２が設けられている。
したがって、位置センサ１０ａ〜１０ｄの検出信号をフ
ィードバック制御して電磁石９ａ〜９ｄの励磁電流を制
御し、浮上体１を図示のように浮上保持するとともに、
モータ１３を遠隔操作により所定方向に回転してピニオ
ン１２を回動させると、キャリア８は軸７に沿って左右
方向に移動し、これによって浮上体１を左右方向（図面
の矢印イ方向）へ移動させることができる。このため、
搬送アーム２の先端に載置されている被搬送物すを左右
方向へ任意に移動させることができる。この際、シール
バイブ４内は両端盲板５，６で完全に密閉されているの
で軸７とキャリア８との摺動の影響はチャンバａ内に同
等影響を及ぼすことはない。
ィードバック制御して電磁石９ａ〜９ｄの励磁電流を制
御し、浮上体１を図示のように浮上保持するとともに、
モータ１３を遠隔操作により所定方向に回転してピニオ
ン１２を回動させると、キャリア８は軸７に沿って左右
方向に移動し、これによって浮上体１を左右方向（図面
の矢印イ方向）へ移動させることができる。このため、
搬送アーム２の先端に載置されている被搬送物すを左右
方向へ任意に移動させることができる。この際、シール
バイブ４内は両端盲板５，６で完全に密閉されているの
で軸７とキャリア８との摺動の影響はチャンバａ内に同
等影響を及ぼすことはない。
図中１４は回転機構であって、上部はシールパイプ４に
固定され、下部はプーリ１６が設けられている垂直状の
軸部１５と、この軸部１５を軸支するためのチャンバａ
の底壁１７に設けられた穴１８に気密状に取付けられた
軸受部１９と、プーリ１６をベルトを介して回転させる
ためのモータ２０とから形成されている。
固定され、下部はプーリ１６が設けられている垂直状の
軸部１５と、この軸部１５を軸支するためのチャンバａ
の底壁１７に設けられた穴１８に気密状に取付けられた
軸受部１９と、プーリ１６をベルトを介して回転させる
ためのモータ２０とから形成されている。
軸部１５と軸受部１９との間には、ベアリングにより軸
支されているとともに、磁性流体シール２１によりシー
ルされている。
支されているとともに、磁性流体シール２１によりシー
ルされている。
したがって、モータ２０が回転角度センサ２２により回
転角度が検出されながら所定角度回転すると軸部１５が
回転しく図面の矢印口方向）、これにより搬送機本体３
が所定角度回動することができ、このため、搬送アーム
２の先端の被搬送物すは軸部１５を中心に任意角度回動
することができる。この際、軸部１５の回転はチャンバ
ａ内で行なわれるが、磁性流体シール２１を介して行な
われるので、チャンバａ内のクリーン環境が損われるこ
とがない。
転角度が検出されながら所定角度回転すると軸部１５が
回転しく図面の矢印口方向）、これにより搬送機本体３
が所定角度回動することができ、このため、搬送アーム
２の先端の被搬送物すは軸部１５を中心に任意角度回動
することができる。この際、軸部１５の回転はチャンバ
ａ内で行なわれるが、磁性流体シール２１を介して行な
われるので、チャンバａ内のクリーン環境が損われるこ
とがない。
本実施例によれば、搬送機本体３を左右方向に移動可能
にするとともに回動させるようにしたため、搬送アーム
２の先端に載置されている被搬送物すを前後、左右方向
に移動させることができ、極めて使い勝手の優れた磁気
浮上搬送装置とすることができる。
にするとともに回動させるようにしたため、搬送アーム
２の先端に載置されている被搬送物すを前後、左右方向
に移動させることができ、極めて使い勝手の優れた磁気
浮上搬送装置とすることができる。
第２図は本発明装置の第２の実施例を示す断面図であっ
て、上記第１の実施例の浮上体１と搬送機本体３とが逆
の関係になっているほかは同一に構成されている。
て、上記第１の実施例の浮上体１と搬送機本体３とが逆
の関係になっているほかは同一に構成されている。
すなわち、浮上体１は搬送機本体３の内側に配置されて
いる。このため外側に位置する搬送機本体３は、一端開
口の筒部材２３と、この筒部材２３の側壁２３ａに一端
が取付けられ、他端が筒部材２３の開口端部にベローズ
２４を介して取付けられたシールパイプ４と、このシー
ルパイプ４の外側で、かつ筒部材２３内に設けられたキ
ャリア８と、キャリア８を左右方向に移動するための移
動機構としてのチェーン２４．スプロケット２５゜２５
とから形成されている。
いる。このため外側に位置する搬送機本体３は、一端開
口の筒部材２３と、この筒部材２３の側壁２３ａに一端
が取付けられ、他端が筒部材２３の開口端部にベローズ
２４を介して取付けられたシールパイプ４と、このシー
ルパイプ４の外側で、かつ筒部材２３内に設けられたキ
ャリア８と、キャリア８を左右方向に移動するための移
動機構としてのチェーン２４．スプロケット２５゜２５
とから形成されている。
キャリア８には、第１図に示した第１の実施例と同様に
電磁石９ａ〜９ｄ、位置センサ１０ａ〜１０ｄが設けら
れているが、これらは第１の実施例とは逆の配置となっ
ている。すなわち電磁石９ａ〜９ｄの内側に位置センサ
１０ａ〜１０ｄが設けられている。
電磁石９ａ〜９ｄ、位置センサ１０ａ〜１０ｄが設けら
れているが、これらは第１の実施例とは逆の配置となっ
ている。すなわち電磁石９ａ〜９ｄの内側に位置センサ
１０ａ〜１０ｄが設けられている。
チェーン２４は筒部材２３の底壁２３ｂに設けられ、図
示しないモータにより回転駆動される一対のスプロケッ
ト２５．２５に懸架されるとともに、チェーン２４の一
部が搬送機本体３の一部に連結されている。
示しないモータにより回転駆動される一対のスプロケッ
ト２５．２５に懸架されるとともに、チェーン２４の一
部が搬送機本体３の一部に連結されている。
したがって、搬送機本体３はその底部に設けられた摺動
子２６．２６が、筒部材２３の底壁２３ｂに設けられた
ガイドレール２７に載置されてチェーン２４の左右方向
動作に従って移動する。このため、浮上体１も上記第１
の実施例と同様に左右方向に移動することができる。
子２６．２６が、筒部材２３の底壁２３ｂに設けられた
ガイドレール２７に載置されてチェーン２４の左右方向
動作に従って移動する。このため、浮上体１も上記第１
の実施例と同様に左右方向に移動することができる。
一方、回転機構１４の軸部１５の上部は筒部材２３の底
壁２３ｂに固定されている。したがって、この軸部１５
を上記第１の実施例と同様に回動させることにより搬送
機本体３を回動させることができ、上記第１の実施例と
同様に、搬送アーム２の先端に載置されている被搬送物
すを前後、左右方向に移動させることができる。このた
め極めて使い勝手の優れた磁気浮上搬送装置とすること
ができる。
壁２３ｂに固定されている。したがって、この軸部１５
を上記第１の実施例と同様に回動させることにより搬送
機本体３を回動させることができ、上記第１の実施例と
同様に、搬送アーム２の先端に載置されている被搬送物
すを前後、左右方向に移動させることができる。このた
め極めて使い勝手の優れた磁気浮上搬送装置とすること
ができる。
（効果）
本発明は、上記のように搬送機本体を左右方向に移動可
能にするとともに、回動させるように構成したため、搬
送アームの先端に載置されている被搬送物を前後、左右
方向に自由移動させることができ、極めて使い勝手の優
れた磁気浮上搬送装置とすることができる等の効果を有
する。
能にするとともに、回動させるように構成したため、搬
送アームの先端に載置されている被搬送物を前後、左右
方向に自由移動させることができ、極めて使い勝手の優
れた磁気浮上搬送装置とすることができる等の効果を有
する。
第１図は本発明装置の第１の実施例に係る断面図および
第２図は本発明装置の第２の実施例に係る断面図である
。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・浮上体２・・
・・・・・・・・・・・・・・・・搬送アーム３・・・
・・・・・・・・・・・・・・・搬送機本体８・・・・
・・・・・・・・・・・・・・キャリア９ａ〜９ｄ・・
・・・・電磁石 １０ａ〜１０ｄ・・・位置センサ
第２図は本発明装置の第２の実施例に係る断面図である
。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・浮上体２・・
・・・・・・・・・・・・・・・・搬送アーム３・・・
・・・・・・・・・・・・・・・搬送機本体８・・・・
・・・・・・・・・・・・・・キャリア９ａ〜９ｄ・・
・・・・電磁石 １０ａ〜１０ｄ・・・位置センサ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、外部と隔離されたチャンバ内に位置し、かつ搬送ア
ームを有する浮上体と、 上記浮上体を浮上させるための電磁石を有し、かつ該浮
上体をシール部材を介在させて保持させる搬送機本体と
、 上記搬送機本体を左右方向へ移動させるための移動機構
と、 前記搬送機本体を回転させるための回転機構と、からな
ることを特徴とする磁気浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146296A JP2622523B2 (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146296A JP2622523B2 (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01316191A true JPH01316191A (ja) | 1989-12-21 |
| JP2622523B2 JP2622523B2 (ja) | 1997-06-18 |
Family
ID=15404470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63146296A Expired - Lifetime JP2622523B2 (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2622523B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04130190U (ja) * | 1991-05-21 | 1992-11-30 | 日本真空技術株式会社 | 磁気浮上搬送装置用可動アーム |
| US5397212A (en) * | 1992-02-21 | 1995-03-14 | Ebara Corporation | Robot with dust-free and maintenance-free actuators |
| CN107398895A (zh) * | 2017-09-20 | 2017-11-28 | 柳州欧卡机器人有限公司 | 一种双臂可旋转的工业机器人 |
| WO2024079111A1 (de) * | 2022-10-12 | 2024-04-18 | Vacom Vakuum Komponenten & Messtechnik Gmbh | Vorrichtung zum halten, positionieren und/oder bewegen eines objektes in einem vakuum |
| WO2024217943A1 (de) * | 2023-04-19 | 2024-10-24 | Bausch + Ströbel Se & Co. Kg | Handhabungsvorrichtung für insbesondere pharmazeutische behälter, anlage zum verarbeiten solcher behälter und verwendung einer handhabungsvorrichtung |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS606373A (ja) * | 1983-06-22 | 1985-01-14 | 株式会社日立製作所 | マニピユレ−タ |
| JPS6195887A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-05-14 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 真空内の移動装置 |
| JPS6387737A (ja) * | 1986-10-01 | 1988-04-19 | Ulvac Corp | ウエハ搬送装置 |
| JPS6392205A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Ulvac Corp | 真空装置用磁気浮上搬送装置 |
| JPS63296235A (ja) * | 1987-01-10 | 1988-12-02 | Ulvac Corp | ウエハ搬送装置 |
-
1988
- 1988-06-14 JP JP63146296A patent/JP2622523B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
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| JPS606373A (ja) * | 1983-06-22 | 1985-01-14 | 株式会社日立製作所 | マニピユレ−タ |
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| WO2024217943A1 (de) * | 2023-04-19 | 2024-10-24 | Bausch + Ströbel Se & Co. Kg | Handhabungsvorrichtung für insbesondere pharmazeutische behälter, anlage zum verarbeiten solcher behälter und verwendung einer handhabungsvorrichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2622523B2 (ja) | 1997-06-18 |
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