JPH0780568B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JPH0780568B2 JPH0780568B2 JP3574787A JP3574787A JPH0780568B2 JP H0780568 B2 JPH0780568 B2 JP H0780568B2 JP 3574787 A JP3574787 A JP 3574787A JP 3574787 A JP3574787 A JP 3574787A JP H0780568 B2 JPH0780568 B2 JP H0780568B2
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- Japan
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- reticle
- substrate
- hand
- cassette
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Stacking Of Articles And Auxiliary Devices (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体製造装置においてレチクルまたはマス
ク等の薄板状の物体（以下、基板という）を自動的に搬
送するための基板搬送装置に関する。
ク等の薄板状の物体（以下、基板という）を自動的に搬
送するための基板搬送装置に関する。
なお、本明細書においてレチクルを例にした説明はマス
クに対しても同様に適用可能である。
クに対しても同様に適用可能である。
［従来の技術］ 半導体のフォトリソグラフィプロセスにおいて、ウエハ
は各チップにパターンを形成するために、実寸パターン
のマスクをウエハ面に密着させて露光焼付けを行なった
りまたは実寸の数倍〜10倍程度の１チップ分のパターン
が形成されたレチクルを光学的手段を介して縮小してウ
エハ上に投影しパターン焼付けを行なっている。
は各チップにパターンを形成するために、実寸パターン
のマスクをウエハ面に密着させて露光焼付けを行なった
りまたは実寸の数倍〜10倍程度の１チップ分のパターン
が形成されたレチクルを光学的手段を介して縮小してウ
エハ上に投影しパターン焼付けを行なっている。
１つの半導体デバイスを完成するには、１枚のウエハに
対しこのパターン焼付けの工程を通常数回〜数10回行な
う。具体的には、まずあるマスク工程のレチクルを露光
装置にセットし、所定量（例えば100枚）のウエハにつ
いてパターン焼付け工程を実施する。焼付け工程を終え
たウエハ群は必要に応じてエッチングや不純物拡散、ま
た導体層、絶縁層、半導体層の形成、さらにはフォトレ
ジスト塗布等の処理をし、その後レチクルを次のマスク
工程のものに交換し、これらのウエハすべてについてそ
のレチクルのパターン焼付け工程を実施する。以下、同
様に焼付け工程を繰返し、求めるパターンのウエハを得
る。
対しこのパターン焼付けの工程を通常数回〜数10回行な
う。具体的には、まずあるマスク工程のレチクルを露光
装置にセットし、所定量（例えば100枚）のウエハにつ
いてパターン焼付け工程を実施する。焼付け工程を終え
たウエハ群は必要に応じてエッチングや不純物拡散、ま
た導体層、絶縁層、半導体層の形成、さらにはフォトレ
ジスト塗布等の処理をし、その後レチクルを次のマスク
工程のものに交換し、これらのウエハすべてについてそ
のレチクルのパターン焼付け工程を実施する。以下、同
様に焼付け工程を繰返し、求めるパターンのウエハを得
る。
ところで、このような焼付け工程に用いられるレチクル
はレチクルカセット内に１個づつ収容される。そして、
露光装置本体に固定されたカセツトライブラリに収納さ
れた複数のカセットから所望とする基板をライブラリ内
で取出し、長い搬送経路をたどって基板のゴミ検査装置
へ、また、ゴミ検査された基板を再び長い搬送経路をた
どって本体装置内露光位置まで送り込むように構成さ
れ、その基板搬送経路が往路復路とも同一になってい
た。
はレチクルカセット内に１個づつ収容される。そして、
露光装置本体に固定されたカセツトライブラリに収納さ
れた複数のカセットから所望とする基板をライブラリ内
で取出し、長い搬送経路をたどって基板のゴミ検査装置
へ、また、ゴミ検査された基板を再び長い搬送経路をた
どって本体装置内露光位置まで送り込むように構成さ
れ、その基板搬送経路が往路復路とも同一になってい
た。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、このような従来の基板搬送装置において
は、基板交換時には、不使用になった基板をその経路か
らなくなるまで、つまり収納工程を完了するまで次の基
板を送り込むことができず、基板交換時間が多くかか
り、装置の基板待ち状態が長くなってしまうという不都
合があった。
は、基板交換時には、不使用になった基板をその経路か
らなくなるまで、つまり収納工程を完了するまで次の基
板を送り込むことができず、基板交換時間が多くかか
り、装置の基板待ち状態が長くなってしまうという不都
合があった。
一般に、半導体製造ラインには、少品種大量生産型のラ
インと多品種小量生産型のラインがあり、後者のライン
の場合、基板交換は頻繁に行なわれ、その基板交換のた
めの時間、つまり装置の基板待ち状態が長いということ
は、生産性を著しく低下させるという問題がある。
インと多品種小量生産型のラインがあり、後者のライン
の場合、基板交換は頻繁に行なわれ、その基板交換のた
めの時間、つまり装置の基板待ち状態が長いということ
は、生産性を著しく低下させるという問題がある。
一方、多品種小量生産型ラインに対応させ得るように搬
送経路の往路と復路の一部分を分離した基板搬送装置も
提案されているが、基板を搬送する機構が複雑となる欠
点があった。
送経路の往路と復路の一部分を分離した基板搬送装置も
提案されているが、基板を搬送する機構が複雑となる欠
点があった。
本発明は、上述の従来例における欠点を除去するもの
で、特に露光装置の基板交換において該露光装置を多品
種小量生産型ラインに対応させることができ、また複雑
な搬送機構を要しない基板搬送装置を提供することを目
的とする。
で、特に露光装置の基板交換において該露光装置を多品
種小量生産型ラインに対応させることができ、また複雑
な搬送機構を要しない基板搬送装置を提供することを目
的とする。
［問題点を解決するための手段および作用］ 上記の目的を達成するため、本発明に係る基板搬送装置
は、基板を搭載して移動自在なハンドを基板収納棚に対
して水平方向に差込みまたは引出すとともに基板収納棚
を全体として昇降することによりハンドと収納棚との間
で基板を受渡しするようにしている。
は、基板を搭載して移動自在なハンドを基板収納棚に対
して水平方向に差込みまたは引出すとともに基板収納棚
を全体として昇降することによりハンドと収納棚との間
で基板を受渡しするようにしている。
これにより、従来のレチクルの搬送装置に見られるよう
な基板の搬入および搬出を行なうハンドを上下方向に昇
降させる機構を備えることなしに、基板の搬出および搬
入が可能となる。
な基板の搬入および搬出を行なうハンドを上下方向に昇
降させる機構を備えることなしに、基板の搬出および搬
入が可能となる。
なお、基板収納棚は基板を個別に収納する容器、例えば
レチクルチェンジャーに適用する場合はレチクルを収納
するレチクルカセットを、複数個用いて積層状に配置す
るようにもできる。
レチクルチェンジャーに適用する場合はレチクルを収納
するレチクルカセットを、複数個用いて積層状に配置す
るようにもできる。
［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る基板搬送装置を適用
した高速レチクルチェンジャーの搬送機構部分の概略構
成図である。
した高速レチクルチェンジャーの搬送機構部分の概略構
成図である。
同図において、１はレチクルを１枚ずつ収納する複数の
レチクルカセット５を積層状に保持して上下方向（図
中、矢印A1）に移動させるためのレチクルライブラリで
ある。このレチクルライブラリ１のレチクル取出し位置
に対応する固定位置には、図示しない扉開閉機構が設け
られている。２はレチクルカセット５内からレチクル６
の取出し、収納および搬送を行なうための引出しハンド
である。引出しハンド２は矢印A2の方向に移動が可能で
ある。この引出しハンド２でレチクル６を取出して搬送
する際には搬送路の傍らに設けられた図示しないバーコ
ードリーダによりレチクル６のバーコード読取りが同時
に行なわれる。３はバキュームによってレチクル６を保
持する２つの保持部７−1,7−２を有し、２枚のレチク
ル６を同時に保持できるクイックハンドである。このク
イックハンド３は、上下方向（矢印A3）に移動させた
り、軸８の回りに回転（矢印A4）させることができる。
そして、引出しハンド２から送り込みハンド４へのレチ
クル６の受渡しを行なうとともに新旧のレチクル６の交
換を行なう。
レチクルカセット５を積層状に保持して上下方向（図
中、矢印A1）に移動させるためのレチクルライブラリで
ある。このレチクルライブラリ１のレチクル取出し位置
に対応する固定位置には、図示しない扉開閉機構が設け
られている。２はレチクルカセット５内からレチクル６
の取出し、収納および搬送を行なうための引出しハンド
である。引出しハンド２は矢印A2の方向に移動が可能で
ある。この引出しハンド２でレチクル６を取出して搬送
する際には搬送路の傍らに設けられた図示しないバーコ
ードリーダによりレチクル６のバーコード読取りが同時
に行なわれる。３はバキュームによってレチクル６を保
持する２つの保持部７−1,7−２を有し、２枚のレチク
ル６を同時に保持できるクイックハンドである。このク
イックハンド３は、上下方向（矢印A3）に移動させた
り、軸８の回りに回転（矢印A4）させることができる。
そして、引出しハンド２から送り込みハンド４へのレチ
クル６の受渡しを行なうとともに新旧のレチクル６の交
換を行なう。
４はアライナ本体へのレチクル６の送込みを行なうとと
もに、アライナ本体に対してのレチクル６の位置決めを
行なう送込みハンドである。この送込みハンド４は、軸
９の回りに回転（矢印A6）させたり、上下方向（矢印A
5）に移動させることができる。
もに、アライナ本体に対してのレチクル６の位置決めを
行なう送込みハンドである。この送込みハンド４は、軸
９の回りに回転（矢印A6）させたり、上下方向（矢印A
5）に移動させることができる。
上記構成においてレチクル６を搬入する場合の動作を、
第２図のフローチャートを参照して説明する。
第２図のフローチャートを参照して説明する。
まず、ステップS11で、指定された（スロットの）レチ
クルを引出すためにレチクルライブラリ１を所定の位置
へ上昇または下降する。次に、ステップS12でレチクル
カセット５の扉を開ける。これにより、レチクルカセッ
ト５からレチクル６を引出すための開口部が開く。扉の
開閉は、レチクルライブラリ１に付属のカセットの扉の
開閉機構により行なう。次に、ステップS13で引出しハ
ンド２をレチクルカセット５の方へ前進させる。次に、
ステップS14でレチクルライブラリ１をレチクル６の受
渡しに必要な距離だけ下降させる。この状態で引出しハ
ンド２上にレチクル６が載置される。そこで、ステップ
S15で引出しハンド２のバキュームをオンして、レチク
ル６の保持を行なう。次に、ステップS16で引出しハン
ド２を後退させ、定位置へ戻る。この動作中にステップ
S17で、バーコード読取り動作を同時に行なう。ステッ
プS18で引出しハンド２が後退したことを確認した後、
ステップS19でカセット５の扉を閉じる。以上のシーケ
ンス により、予め次に使用するレチクル６を引出しハンド２
上に準備する。
クルを引出すためにレチクルライブラリ１を所定の位置
へ上昇または下降する。次に、ステップS12でレチクル
カセット５の扉を開ける。これにより、レチクルカセッ
ト５からレチクル６を引出すための開口部が開く。扉の
開閉は、レチクルライブラリ１に付属のカセットの扉の
開閉機構により行なう。次に、ステップS13で引出しハ
ンド２をレチクルカセット５の方へ前進させる。次に、
ステップS14でレチクルライブラリ１をレチクル６の受
渡しに必要な距離だけ下降させる。この状態で引出しハ
ンド２上にレチクル６が載置される。そこで、ステップ
S15で引出しハンド２のバキュームをオンして、レチク
ル６の保持を行なう。次に、ステップS16で引出しハン
ド２を後退させ、定位置へ戻る。この動作中にステップ
S17で、バーコード読取り動作を同時に行なう。ステッ
プS18で引出しハンド２が後退したことを確認した後、
ステップS19でカセット５の扉を閉じる。以上のシーケ
ンス により、予め次に使用するレチクル６を引出しハンド２
上に準備する。
次に、ステップS20でクイックハンド３を下降させ、ス
テップS21でクイックハンド３の保持部７のバキューム
をオンし、ステップS22で引出しハンド２のバキューム
をオフして、引出しハンド２上のレチクル６をクイック
ハンド３に吸着する。そして、ステップS23でクイック
ハンド３を上昇させてレチクル６を持ち上げる。次に、
ステップS24でクイックハンド３を軸８の回りに180゜回
転させレチクル６を交換するとともに、送込みハンド４
の位置までレチクル６を移動させる。このとき、送込み
ハンド４は、クイックハンド３の保持部７−２の直下に
位置しているものとする。その後、ステップS25でクイ
ックハンド３を下降させ、ステップS26で送込みハンド
４のバキュームをオンし、ステップS27でクイックハン
ド３のバキュームをオフして、送込みハンド４にレチク
ル６を受渡す。そしてステップS28でクイックハンド３
を上昇させる。
テップS21でクイックハンド３の保持部７のバキューム
をオンし、ステップS22で引出しハンド２のバキューム
をオフして、引出しハンド２上のレチクル６をクイック
ハンド３に吸着する。そして、ステップS23でクイック
ハンド３を上昇させてレチクル６を持ち上げる。次に、
ステップS24でクイックハンド３を軸８の回りに180゜回
転させレチクル６を交換するとともに、送込みハンド４
の位置までレチクル６を移動させる。このとき、送込み
ハンド４は、クイックハンド３の保持部７−２の直下に
位置しているものとする。その後、ステップS25でクイ
ックハンド３を下降させ、ステップS26で送込みハンド
４のバキュームをオンし、ステップS27でクイックハン
ド３のバキュームをオフして、送込みハンド４にレチク
ル６を受渡す。そしてステップS28でクイックハンド３
を上昇させる。
以上のシーケンス（第２図の〜）により、使い終っ
たレチクル６と次に使用するレチクル６とを交換する。
たレチクル６と次に使用するレチクル６とを交換する。
次に、ステップS29で送込みハンド４に付属のレチクル
位置決め機構により、レチクル６をアライナ本体に対し
て位置決めをする。その後、ステップS30で送込みハン
ド４によってレチクル６をアライナ本体に送込む。
位置決め機構により、レチクル６をアライナ本体に対し
て位置決めをする。その後、ステップS30で送込みハン
ド４によってレチクル６をアライナ本体に送込む。
以上のシーケンス により、レチクル６をアライナ本体にセットする。
以上で、アライナ本体へのレチクルの搬入動作が行なわ
れた。
れた。
次に、レチクル６を搬出する場合の動作を第３図のフロ
ーチャートを参照して説明する。
ーチャートを参照して説明する。
まず、ステップS31で送込みハンド４をチェンジャー側
へ戻してレチクルをアライナ本体から搬出する 次に、ステップS32でクイックハンド３を下降させ、ス
テップS33でクイックハンド３の保持部７のバキューム
をオンし、ステップS34で送込みハンド４のバキューム
をオフする。そして、送込みハンド４上のレチクル６を
クイックハンド３で吸着し、そのままステップS35でク
イックハンド３を上昇させる。その後、ステップS36で
クイックハンド３を軸８の回りに180゜回転した後、ス
テップS37でクイックハンド３を下降させる。そして、
ステップS38で引出しハンド２のバキュームをオンし、
ステップS39でクイックハンド３の保持部７のバキュー
ムをオフして、引出しハンド２上にレチクル６を受渡
す。次に、ステップS40でクイックハンド３を上昇させ
る。
へ戻してレチクルをアライナ本体から搬出する 次に、ステップS32でクイックハンド３を下降させ、ス
テップS33でクイックハンド３の保持部７のバキューム
をオンし、ステップS34で送込みハンド４のバキューム
をオフする。そして、送込みハンド４上のレチクル６を
クイックハンド３で吸着し、そのままステップS35でク
イックハンド３を上昇させる。その後、ステップS36で
クイックハンド３を軸８の回りに180゜回転した後、ス
テップS37でクイックハンド３を下降させる。そして、
ステップS38で引出しハンド２のバキュームをオンし、
ステップS39でクイックハンド３の保持部７のバキュー
ムをオフして、引出しハンド２上にレチクル６を受渡
す。次に、ステップS40でクイックハンド３を上昇させ
る。
以上のシーケンス（第３図の〜）により、レチクル
６を交換する。なお、この部分は第２図のシーケンス
〜のレチクル交換の部分と同一動作である。従って、
単一の動作で搬入時のシーケンス〜と搬出時のシー
ケンス〜の２つの作用が同時に実現できる。
６を交換する。なお、この部分は第２図のシーケンス
〜のレチクル交換の部分と同一動作である。従って、
単一の動作で搬入時のシーケンス〜と搬出時のシー
ケンス〜の２つの作用が同時に実現できる。
次に、ステップS41でレチクルライブラリ１を所定の位
置まで移動させ、その後ステップS42で搬出するレチク
ル６を収納しようとするカセット５の扉の開ける。
置まで移動させ、その後ステップS42で搬出するレチク
ル６を収納しようとするカセット５の扉の開ける。
以上のシーケンス（第３図の〜）により、搬出のた
めのカセットを準備する。
めのカセットを準備する。
次に、ステップS43で引出しハンド２を前進し、ステッ
プS44で引出しハンド２のバキュームをオフしてレチク
ル６の吸着を解除し、ステップS45でレチクルライブラ
リ１を受渡しに必要な距離だけ上昇させ、ステップS46
で引出しハンド２を後退させる。この動作でレチクル６
はカセット５の中に収納される。その後、ステップS47
でカセット５の扉を閉じる。
プS44で引出しハンド２のバキュームをオフしてレチク
ル６の吸着を解除し、ステップS45でレチクルライブラ
リ１を受渡しに必要な距離だけ上昇させ、ステップS46
で引出しハンド２を後退させる。この動作でレチクル６
はカセット５の中に収納される。その後、ステップS47
でカセット５の扉を閉じる。
以上のシーケンス により、レチクル６をカセット５内に収納する。
以上により、アライナ本体からのレチクルの搬出動作が
行なわれる。
行なわれる。
次に、レチクルを交換する場合の動作を第４図のフロー
チャートを参照して説明する。
チャートを参照して説明する。
まず、シーケンス のレチクル搬出動作を行なう。次に、シーケンス〜
のレチクル交換動作を行なう。これにより搬入動作のシ
ーケンス〜（レチクル交換）も自動的に実行される
こととなる。
のレチクル交換動作を行なう。これにより搬入動作のシ
ーケンス〜（レチクル交換）も自動的に実行される
こととなる。
次に、シーケンス〜のカセットの準備動作およびシ
ーケンス のレチクル収納動作と、シーケンス のレチクルのアライナ本体へのセットとを同時にパラレ
ル動作で行なう。
ーケンス のレチクル収納動作と、シーケンス のレチクルのアライナ本体へのセットとを同時にパラレ
ル動作で行なう。
アライナ本体に対してはシーケンス が終了した時点でレチクル交換終了を通知する。
その後、次に使用する予定のレチクルを により準備する。この動作の終了でレチクル交換終了と
なる。
なる。
なお、本実施例は、以下のように変形して実施すること
もできる。
もできる。
例えば、第４図において、搬出動作の中のシーケンス
〜のカセット準備の動作は、シーケンス とパラレル動作させてもよいし、あるいはシーケンス
〜とパラレル動作させたり、から の間に動作させることも可能である。
〜のカセット準備の動作は、シーケンス とパラレル動作させてもよいし、あるいはシーケンス
〜とパラレル動作させたり、から の間に動作させることも可能である。
また、本実施例中のレチクルライブラリ１において、カ
セット５内のレチクル６の防塵は、一般にカセット５の
気密性にだけたよっているが、レチクルライブラリ１に
カセット押付け機構を設けることによってより高い気密
性を得ることが可能である。
セット５内のレチクル６の防塵は、一般にカセット５の
気密性にだけたよっているが、レチクルライブラリ１に
カセット押付け機構を設けることによってより高い気密
性を得ることが可能である。
本実施例によれば、搬送経路が往路復路とも同一であっ
た従来のレチクルの搬送における欠点が改善される。す
なわち、レチクル交換時に不使用になったレチクルが搬
送経路からなくなるまで次のレチクルを送込むことがで
きなかったのに対し、本実施例によればアライナ本体か
らの使用済レチクルと次に使用するレチクルとを同時に
搬送経路に載せて交換が可能である。
た従来のレチクルの搬送における欠点が改善される。す
なわち、レチクル交換時に不使用になったレチクルが搬
送経路からなくなるまで次のレチクルを送込むことがで
きなかったのに対し、本実施例によればアライナ本体か
らの使用済レチクルと次に使用するレチクルとを同時に
搬送経路に載せて交換が可能である。
また、搬送機構の構造が簡単である。すなわち、レチク
ルライブラリは上下の移動、引出しハンドは前進および
後退、クイックハンドおよび送込みハンドはそれぞれ上
下および回転を行なうのみであり、これにより効率的な
レチクルの交換ができるのである。
ルライブラリは上下の移動、引出しハンドは前進および
後退、クイックハンドおよび送込みハンドはそれぞれ上
下および回転を行なうのみであり、これにより効率的な
レチクルの交換ができるのである。
さらに本実施例では、レチクルを収容したカセットを積
層状に配置したレチクルライブラリの側が上下してレチ
クルをカセットから抜くように構成されている。従っ
て、従来必要だった引出しハンドの上下移動機構は不要
である。
層状に配置したレチクルライブラリの側が上下してレチ
クルをカセットから抜くように構成されている。従っ
て、従来必要だった引出しハンドの上下移動機構は不要
である。
また、レチクルをカセットから引出す位置は常に一定で
あるから、その位置に固定してカセットの扉開閉機構を
備えている。すなわち、従来、引出しハンドの側に設け
られていた扉開閉機構が不要となり、固定位置に扉開閉
機構を備えることができたのである。これにより引出し
ハンドを簡単な構成とすることができる。
あるから、その位置に固定してカセットの扉開閉機構を
備えている。すなわち、従来、引出しハンドの側に設け
られていた扉開閉機構が不要となり、固定位置に扉開閉
機構を備えることができたのである。これにより引出し
ハンドを簡単な構成とすることができる。
次に、本実施例のレチクルチェンジャーで用いた防塵容
器について説明する。
器について説明する。
第５図は本実施例でレチクルカセットとして用いた防塵
容器の開いた状態の斜視図であり、第６図はその閉じた
状態の要部構成断面図である。
容器の開いた状態の斜視図であり、第６図はその閉じた
状態の要部構成断面図である。
第５図において、上蓋101および下皿102により密閉筐体
103が構成される。上蓋101は下皿102に対し背面で開閉
可能にヒンジ結合されている。上蓋101の前面には基板1
10の自動出入れのための開口部104（第６図）が形成さ
れている。この開口部104を密封的に覆うための扉105が
上蓋101にヒンジ結合されている。扉105はバネ106によ
り常に閉じる方向に付勢されている。下皿102には基板
搭載支持用の４本のピン109が突設されている。また下
皿102の内部の左右両側面および後面には基板位置決め
用のストッパ111が設けられている。レチクル等の基板1
10はストッパ111にガイドされてピン109上に載置され
る。上蓋101および下皿102の外側の各側面には弾発差込
式の１対のロック部材107および108が取付けられ上蓋10
1と下皿102とを結合する。上蓋101の内面には、一端が
上蓋側に固定された片持ち状の４本の基板押え用板バネ
112が装着されている。各板バネ112は、第６図の実線で
示すように、その自由端部側が下皿102内に収容した基
板110を上からピン109側に押圧するように構成されてい
る。各板バネ112には形状記憶合金からなる押圧解除部
材113が係合している。押圧解除部材113は略Ｕ字形であ
って、先端部113bが板バネ112に当接し、両根元部が上
蓋側に固定された端子113aに接続されている。各端子11
3aはパターン配線または適当な配線手段114により直列
に接続され、あるいは上蓋101の外部側面の電極端子115
に連結される。電極端子115は、防塵容器をレチクルラ
イブラリ１に挿入したときレチクルライブラリ１内に設
けられた不図示の通電用端子と接続するような位置に設
けられている。押圧解除部材113を構成する形状記憶合
金は通常時は、第６図の実線で示すように、板バネ112
が基板110に対し押圧力を付与するのに支障のない形状
とし、電極端子115を介して電流を通ずることにより上
方に移動し板バネ112を持ち上げて基板110から離隔させ
る形状（第６図点線）に変形するように設定しておく。
103が構成される。上蓋101は下皿102に対し背面で開閉
可能にヒンジ結合されている。上蓋101の前面には基板1
10の自動出入れのための開口部104（第６図）が形成さ
れている。この開口部104を密封的に覆うための扉105が
上蓋101にヒンジ結合されている。扉105はバネ106によ
り常に閉じる方向に付勢されている。下皿102には基板
搭載支持用の４本のピン109が突設されている。また下
皿102の内部の左右両側面および後面には基板位置決め
用のストッパ111が設けられている。レチクル等の基板1
10はストッパ111にガイドされてピン109上に載置され
る。上蓋101および下皿102の外側の各側面には弾発差込
式の１対のロック部材107および108が取付けられ上蓋10
1と下皿102とを結合する。上蓋101の内面には、一端が
上蓋側に固定された片持ち状の４本の基板押え用板バネ
112が装着されている。各板バネ112は、第６図の実線で
示すように、その自由端部側が下皿102内に収容した基
板110を上からピン109側に押圧するように構成されてい
る。各板バネ112には形状記憶合金からなる押圧解除部
材113が係合している。押圧解除部材113は略Ｕ字形であ
って、先端部113bが板バネ112に当接し、両根元部が上
蓋側に固定された端子113aに接続されている。各端子11
3aはパターン配線または適当な配線手段114により直列
に接続され、あるいは上蓋101の外部側面の電極端子115
に連結される。電極端子115は、防塵容器をレチクルラ
イブラリ１に挿入したときレチクルライブラリ１内に設
けられた不図示の通電用端子と接続するような位置に設
けられている。押圧解除部材113を構成する形状記憶合
金は通常時は、第６図の実線で示すように、板バネ112
が基板110に対し押圧力を付与するのに支障のない形状
とし、電極端子115を介して電流を通ずることにより上
方に移動し板バネ112を持ち上げて基板110から離隔させ
る形状（第６図点線）に変形するように設定しておく。
以上のような構成の防塵容器に基板110を収納して上蓋1
01を閉じることにより基板110は板バネ112によりピン10
9上に押圧されて固定保持される。このような防塵容器
は、例えば露光焼付装置等と連結された基板の自動着脱
機構内に第１図のレチクルカセット５に示されるように
複数段に積層されてセットされる。
01を閉じることにより基板110は板バネ112によりピン10
9上に押圧されて固定保持される。このような防塵容器
は、例えば露光焼付装置等と連結された基板の自動着脱
機構内に第１図のレチクルカセット５に示されるように
複数段に積層されてセットされる。
基板の自動取出しを行なう場合には、形状記憶合金から
なる押圧解除部材113に通電する。これにより形状記憶
合金が加熱して変形し、第６図点線のように板バネ112
を基板110から離隔させ押圧力を解除する。この状態で
扉105を開き（第６図点線）、自動搬入および排出機構
（図示しない）により容器内の基板110を取出す。基板1
10の使用後、基板110を再び容器内に自動収納する場合
には、形状記憶合金に通電した状態で容器内に基板110
を挿入し、ピン109上に載置後電流を遮断すれば形状記
憶合金は実線の形状に戻り板バネ112が再び基板110を押
圧してピン109上に固定保持する。
なる押圧解除部材113に通電する。これにより形状記憶
合金が加熱して変形し、第６図点線のように板バネ112
を基板110から離隔させ押圧力を解除する。この状態で
扉105を開き（第６図点線）、自動搬入および排出機構
（図示しない）により容器内の基板110を取出す。基板1
10の使用後、基板110を再び容器内に自動収納する場合
には、形状記憶合金に通電した状態で容器内に基板110
を挿入し、ピン109上に載置後電流を遮断すれば形状記
憶合金は実線の形状に戻り板バネ112が再び基板110を押
圧してピン109上に固定保持する。
なお、基板押圧手段である板バネ112の個数、配置位
置、形状等は任意である。また、形状記憶合金の電極同
士の接続方法、電極端子取出位置等は任意であり、容器
を装着すべき装置構造に合せて最適な位置に電極端子11
5を設けることができる。例えば、第５図においては４
個の形状記憶合金を直列に接続し、その両端を２つの電
極端子に引出しているが、各形状記憶合金の両端をそれ
ぞれ２ヶずつ計８ヶの電極端子115に引出してもよく、
あるいは第５図中点114aの位置からさらに１つの電極端
子115へ配線を引出す等、必要な形状記憶合金にのみ選
択的に通電可能とするように端子113a同士を接続配線す
ることもできる。
置、形状等は任意である。また、形状記憶合金の電極同
士の接続方法、電極端子取出位置等は任意であり、容器
を装着すべき装置構造に合せて最適な位置に電極端子11
5を設けることができる。例えば、第５図においては４
個の形状記憶合金を直列に接続し、その両端を２つの電
極端子に引出しているが、各形状記憶合金の両端をそれ
ぞれ２ヶずつ計８ヶの電極端子115に引出してもよく、
あるいは第５図中点114aの位置からさらに１つの電極端
子115へ配線を引出す等、必要な形状記憶合金にのみ選
択的に通電可能とするように端子113a同士を接続配線す
ることもできる。
また、押圧解除部材113に直接通電して動作させる代り
に、第７図のようにラバーヒータその他適当な加熱手段
121を用いて押圧加熱手段を直接または容器外部から適
当な伝熱材を介して加熱してもよい。
に、第７図のようにラバーヒータその他適当な加熱手段
121を用いて押圧加熱手段を直接または容器外部から適
当な伝熱材を介して加熱してもよい。
また、第８図のように電流の通電に代えて赤外線等の熱
線122を照射することにより押圧解除部材113を動作させ
てもよい。
線122を照射することにより押圧解除部材113を動作させ
てもよい。
さらに、前記実施例の形状記憶合金に代えて、第９図の
ようにバイメタル123を用いて加熱時に板バネ112を基板
から離隔させるように変形させてもよい。また、板バネ
112自体をバイメタルで形成してもよい また、第10図のように上蓋101側に基板110を保持し、下
皿102側から板バネ124により基板110を押圧して固定保
持してもよいし、さらに第11図のように上蓋101および
下皿102の両方に板バネ125,126を設けて基板110の両側
から基板110を押圧保持してもよい。
ようにバイメタル123を用いて加熱時に板バネ112を基板
から離隔させるように変形させてもよい。また、板バネ
112自体をバイメタルで形成してもよい また、第10図のように上蓋101側に基板110を保持し、下
皿102側から板バネ124により基板110を押圧して固定保
持してもよいし、さらに第11図のように上蓋101および
下皿102の両方に板バネ125,126を設けて基板110の両側
から基板110を押圧保持してもよい。
さらに、第12図のようにピエゾ等のバイモルフまたはモ
ノモルフ素子127を用いて通電時に板バネ112を基板から
離隔させるように変形させてもよい。この場合、容器内
部に太陽電池等を内蔵し、それを電源としてもよい。
ノモルフ素子127を用いて通電時に板バネ112を基板から
離隔させるように変形させてもよい。この場合、容器内
部に太陽電池等を内蔵し、それを電源としてもよい。
また、第13〜15図のように磁力を用いることもできる。
第13図は基板110の周囲に磁性材料製のパターン128を形
成し、ピン109の代わりを永久磁石129で構成したもので
ある。この磁性材料製のパターン128の代わりに基板110
の周囲を磁性体で構成してもよい。磁石129にはコイル1
30が巻回されており、これに通電することにより磁石12
9の磁力がコイル130の電磁力により相殺される。これに
より、基板110の押圧および押圧解除を行なうものであ
る。
第13図は基板110の周囲に磁性材料製のパターン128を形
成し、ピン109の代わりを永久磁石129で構成したもので
ある。この磁性材料製のパターン128の代わりに基板110
の周囲を磁性体で構成してもよい。磁石129にはコイル1
30が巻回されており、これに通電することにより磁石12
9の磁力がコイル130の電磁力により相殺される。これに
より、基板110の押圧および押圧解除を行なうものであ
る。
第14図は電磁石131により板バネ112を基板から離隔させ
るように変形させるものである。
るように変形させるものである。
第15図は、まずコイル132に通電することにより永久磁
石133の磁力を増大して板バネ112を吸着し基板110を押
圧する。板バネ112は通常の状態では基板110から離隔し
た位置にあるが、一旦磁石133に吸着されるとコイル132
の電流を遮断してもその磁力により基板110を保持し続
ける。押圧を解除する場合は、コイル132に磁石133の磁
力を相殺する向きの電流を流すようにすればよい。
石133の磁力を増大して板バネ112を吸着し基板110を押
圧する。板バネ112は通常の状態では基板110から離隔し
た位置にあるが、一旦磁石133に吸着されるとコイル132
の電流を遮断してもその磁力により基板110を保持し続
ける。押圧を解除する場合は、コイル132に磁石133の磁
力を相殺する向きの電流を流すようにすればよい。
一方、この防塵容器の開口部104は種々の方式で開閉さ
れる。例えば、第５〜15図で説明した防塵容器におい
て、形状記憶合金を用いて外部からの制御で扉105を開
閉するようにできる。第16図は、このような機構を備え
た防塵容器の平面図および側面図である。
れる。例えば、第５〜15図で説明した防塵容器におい
て、形状記憶合金を用いて外部からの制御で扉105を開
閉するようにできる。第16図は、このような機構を備え
た防塵容器の平面図および側面図である。
同図において、開口部104を密封的に覆うための扉105は
上蓋101にヒンジ119で結合され、扉105はバネ106により
常に閉じる方向に付勢されている。上蓋101と扉105とは
形状記憶合金116で結合されている。この形状記憶合金1
16は通電等により所定の温度となると扉105を開ける方
向に変形する。117は２つの形状記憶合金116をつなく適
当な配線手段、118は上蓋101の外部側面に露出する電極
端子である。
上蓋101にヒンジ119で結合され、扉105はバネ106により
常に閉じる方向に付勢されている。上蓋101と扉105とは
形状記憶合金116で結合されている。この形状記憶合金1
16は通電等により所定の温度となると扉105を開ける方
向に変形する。117は２つの形状記憶合金116をつなく適
当な配線手段、118は上蓋101の外部側面に露出する電極
端子である。
基板の自動取出しを行なう場合には、基板取出し位置に
固定された扉開閉のための通電機構により、電極端子11
8を介して形状記憶合金116に通電する。これにより形状
記憶合金116が変形して、第16図（ａ）および（ｃ）に
示すように上蓋101の扉105を開ける。そして、上述した
ように形状記憶合金113に通電して基板110の押圧を解除
し、自動搬入および排出機構により容器内の基板110を
取出す。基板110の使用後、基板110を再び容器内に自動
収納する場合には、形状記憶合金116に通電し扉105を開
けた状態で容器内に基板110を挿入し、ピン109上に載置
した後電流を遮断すれば、形状記憶合金116はバネ106に
より元の形状に戻り扉105は再び上蓋101の開口部104を
閉じる。
固定された扉開閉のための通電機構により、電極端子11
8を介して形状記憶合金116に通電する。これにより形状
記憶合金116が変形して、第16図（ａ）および（ｃ）に
示すように上蓋101の扉105を開ける。そして、上述した
ように形状記憶合金113に通電して基板110の押圧を解除
し、自動搬入および排出機構により容器内の基板110を
取出す。基板110の使用後、基板110を再び容器内に自動
収納する場合には、形状記憶合金116に通電し扉105を開
けた状態で容器内に基板110を挿入し、ピン109上に載置
した後電流を遮断すれば、形状記憶合金116はバネ106に
より元の形状に戻り扉105は再び上蓋101の開口部104を
閉じる。
なお、形状記憶合金116の個数、配置位置、形状等は任
意である。また、形状記憶合金の電極同士の接続方法、
電極端子取出位置等は任意であり、容器を装着すべき装
置構造に合せて最適な位置に電極端子118を設けること
ができ、また必要な形状記憶合金116にのみ選択的に通
電可能となるようにすることもできる。
意である。また、形状記憶合金の電極同士の接続方法、
電極端子取出位置等は任意であり、容器を装着すべき装
置構造に合せて最適な位置に電極端子118を設けること
ができ、また必要な形状記憶合金116にのみ選択的に通
電可能となるようにすることもできる。
また、形状記憶合金116に直接通電して動作させる代り
に、ラバーヒータその他適当な加熱手段を用いて押圧加
熱手段を直接または容器外部から適当な伝熱材を介して
加熱してもよい。
に、ラバーヒータその他適当な加熱手段を用いて押圧加
熱手段を直接または容器外部から適当な伝熱材を介して
加熱してもよい。
さらに、電流の通電に代えて赤外線等の熱線を照射する
ことにより形状記憶合金116を動作させてもよい。
ことにより形状記憶合金116を動作させてもよい。
また、カセットの扉開閉は上記のような形状記憶合金を
使う他、機械的なものによってもよい。第17図は、第１
図のレチクルチェンジャーにおいてカセットの扉開閉に
機械的な扉開閉機構201を用いた例であり、第18図はこ
のようなレチクルチェンジャーで用いられるレチクルカ
セットを示す。この場合でも、扉開閉機構は固定部に設
けることができる。
使う他、機械的なものによってもよい。第17図は、第１
図のレチクルチェンジャーにおいてカセットの扉開閉に
機械的な扉開閉機構201を用いた例であり、第18図はこ
のようなレチクルチェンジャーで用いられるレチクルカ
セットを示す。この場合でも、扉開閉機構は固定部に設
けることができる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、基板を載置して
搬出および搬入を行なうハンドを基板収納棚に対して差
込みまたは引出すことができることとし、また基板収納
棚は全体として昇降することができることとしているの
で、基板の搬入および搬出を行なうハンド自体を上下方
向に昇降させる機構を備える必要がなくなり、また基板
の搬出および搬入は速やかに行なうことが可能となる。
搬出および搬入を行なうハンドを基板収納棚に対して差
込みまたは引出すことができることとし、また基板収納
棚は全体として昇降することができることとしているの
で、基板の搬入および搬出を行なうハンド自体を上下方
向に昇降させる機構を備える必要がなくなり、また基板
の搬出および搬入は速やかに行なうことが可能となる。
第１図は、本発明の一実施例に係る基板搬送装置を適用
した高速レチクルチェンジャーの搬送機構部分の概略構
成図、 第２図は、レチクル搬入時の動作説明のためのフローチ
ャート、 第３図は、レチクル搬出時の動作説明のためのフローチ
ャート、 第４図は、レチクル交換時の動作説明のためのフローチ
ャート、 第５図は、本実施例で用いた防塵容器の開いた状態の斜
視図、 第６図は、防塵容器の閉じた状態の要部断面図、 第７〜15図は、防塵容器の他の実施例を示す要部断面
図、 第16図は、防塵容器の平面図および側面図、 第17図は、機械的な扉開閉機構を用いたレチクルチェン
ジャーの搬送機構部分の概略構成図、 第18図は、機械的に扉開閉するレチクルカセットを示す
図である。 1:レチクルライブラリ、 2:引出しハンド、 3:クイックハンド、 4:送込みハンド、 5:レチクルカセット、 6:レチクル、 101:上蓋、 102:下皿、 103:筐体、 109:ピン、 110:基板、 112:板バネ、 113:押圧解除部材、 116:形状記憶合金。
した高速レチクルチェンジャーの搬送機構部分の概略構
成図、 第２図は、レチクル搬入時の動作説明のためのフローチ
ャート、 第３図は、レチクル搬出時の動作説明のためのフローチ
ャート、 第４図は、レチクル交換時の動作説明のためのフローチ
ャート、 第５図は、本実施例で用いた防塵容器の開いた状態の斜
視図、 第６図は、防塵容器の閉じた状態の要部断面図、 第７〜15図は、防塵容器の他の実施例を示す要部断面
図、 第16図は、防塵容器の平面図および側面図、 第17図は、機械的な扉開閉機構を用いたレチクルチェン
ジャーの搬送機構部分の概略構成図、 第18図は、機械的に扉開閉するレチクルカセットを示す
図である。 1:レチクルライブラリ、 2:引出しハンド、 3:クイックハンド、 4:送込みハンド、 5:レチクルカセット、 6:レチクル、 101:上蓋、 102:下皿、 103:筐体、 109:ピン、 110:基板、 112:板バネ、 113:押圧解除部材、 116:形状記憶合金。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ
Claims (3)
- 【請求項１】基板を搭載して水平方向に移動自在なハン
ドと、 基板を収納するための基板収納棚に該ハンドを差込みま
たは引出す手段と、 該基板収納棚を昇降する手段と、 上記ハンドを上記基板収納棚に差込み、基板収納棚を所
定量下降させ、基板をハンドに載置した後、ハンドを引
出して基板を基板収納棚より搬出し、また基板を搭載し
たハンドを上記基板収納棚に差込み、基板収納棚を所定
量上昇させた後、ハンドを引出して基板を基板収納棚に
搬入する制御手段と を具備することを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項２】前記基板収納棚が、前記基板を個別に収納
する容器複数個を積層状に配置するものである特許請求
の範囲第１項記載の基板搬送装置。 - 【請求項３】前記基板が、レチクルまたはマスクである
特許請求の範囲第１項または第２項記載の基板搬送装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3574787A JPH0780568B2 (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 基板搬送装置 |
| US07/500,117 US4984953A (en) | 1987-02-20 | 1990-03-27 | Plate-like article conveying system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3574787A JPH0780568B2 (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63208430A JPS63208430A (ja) | 1988-08-29 |
| JPH0780568B2 true JPH0780568B2 (ja) | 1995-08-30 |
Family
ID=12450409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3574787A Expired - Fee Related JPH0780568B2 (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0780568B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101496076B1 (ko) * | 2004-10-26 | 2015-02-25 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 노광 장치 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015141793A1 (ja) * | 2014-03-20 | 2015-09-24 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
| CN110609452B (zh) * | 2019-08-28 | 2022-02-22 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种曝光机及其更换掩膜板的方法 |
| EP4575635A1 (en) * | 2023-12-21 | 2025-06-25 | Brooks Automation (Germany) GmbH | Stocker system with a stack of reticle storage pods with prevention of storage pod horizontal movement |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5764928A (en) * | 1980-10-07 | 1982-04-20 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Carrying apparatus for photo mask or reticle |
| JPS60204506A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-16 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板の搬出・搬入装置 |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP3574787A patent/JPH0780568B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101496076B1 (ko) * | 2004-10-26 | 2015-02-25 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 노광 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63208430A (ja) | 1988-08-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |