JPH078154B2 - 振動波モーター装置 - Google Patents
振動波モーター装置Info
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- JPH078154B2 JPH078154B2 JP61299394A JP29939486A JPH078154B2 JP H078154 B2 JPH078154 B2 JP H078154B2 JP 61299394 A JP61299394 A JP 61299394A JP 29939486 A JP29939486 A JP 29939486A JP H078154 B2 JPH078154 B2 JP H078154B2
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- signal
- electrode
- comparator
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は振動波モーターの駆動回路に関するもので特に
位相差検出装置を用いてモーターの共振周波数と駆動周
波数とのずれ量を検知する振動波モーター装置に関する
ものである。
位相差検出装置を用いてモーターの共振周波数と駆動周
波数とのずれ量を検知する振動波モーター装置に関する
ものである。
振動波モーターを効率良く駆動するに際してモータを共
振周波数で駆動することが望まれており、この問題を解
消する方法として、モーターの振動状態をモニター電極
を設け検出し、このモニター電極からの信号と駆動信号
との位相差を一定とする様に駆動信号の周波数を制御す
ることを本願出願人が特願昭60−226566号として提案し
ている。
振周波数で駆動することが望まれており、この問題を解
消する方法として、モーターの振動状態をモニター電極
を設け検出し、このモニター電極からの信号と駆動信号
との位相差を一定とする様に駆動信号の周波数を制御す
ることを本願出願人が特願昭60−226566号として提案し
ている。
この型式のモーターでは共振点近くの周波数帯域では上
記位相差制御にて共振追尾制御が出来るものの、モータ
ーの起動周波数が共振点に対して離れている場合には位
相差制御にて共振追尾制御を行なうことは不適当であ
る。
記位相差制御にて共振追尾制御が出来るものの、モータ
ーの起動周波数が共振点に対して離れている場合には位
相差制御にて共振追尾制御を行なうことは不適当であ
る。
この問題を解消するために、起動周波数から徐々に周波
数を低下させ周波数を共振方向へシフトさせ所望の周波
数となる様に周波数設定を行なわせる方法が考えられる
が、該方法では上記周波数シフトに際して共振点を越え
て共振点から更に低い周波数方向に引き続き移行してし
まうおそれがある。
数を低下させ周波数を共振方向へシフトさせ所望の周波
数となる様に周波数設定を行なわせる方法が考えられる
が、該方法では上記周波数シフトに際して共振点を越え
て共振点から更に低い周波数方向に引き続き移行してし
まうおそれがある。
尚、上記周波数シフトを起動周波数から共振周波数近傍
までしか行なえない様に周波数設定回路にてシフト周波
数範囲を予め決めておけばある程度上記の不都合は防止
できるものの、共振周波数はモーターの外部環境にて変
化するものであり、この様な場合にはやはり、共振点を
越えて低い周波数まで移行してしまうこととなる。
までしか行なえない様に周波数設定回路にてシフト周波
数範囲を予め決めておけばある程度上記の不都合は防止
できるものの、共振周波数はモーターの外部環境にて変
化するものであり、この様な場合にはやはり、共振点を
越えて低い周波数まで移行してしまうこととなる。
［目的］ 本発明は上記の事項に鑑み周波数設定回路にて起動周波
数から徐々に周波数を低下させ共振方向に周波数シフト
を行なわせるに際し、上記モニター電極からの信号と駆
動信号との位相差を検知し、その位相差が共振近傍とな
ったことを表わした際に、上記周波数設定回路による周
波数の更なる低周波数方向へのシフトを禁止させ、上記
設定回路の作用に駆動周波数が共振周波数を越えて低周
波数方向に引き続きシフトされることを防止した振動波
モーター装置を提供するものである。
数から徐々に周波数を低下させ共振方向に周波数シフト
を行なわせるに際し、上記モニター電極からの信号と駆
動信号との位相差を検知し、その位相差が共振近傍とな
ったことを表わした際に、上記周波数設定回路による周
波数の更なる低周波数方向へのシフトを禁止させ、上記
設定回路の作用に駆動周波数が共振周波数を越えて低周
波数方向に引き続きシフトされることを防止した振動波
モーター装置を提供するものである。
第１図は本発明に係る振動波モーターの周方向から見た
断面図で、該第１図中１はロータ、３は振動体、４は振
動体３上に附された分極処理がなされた圧電体、５は電
極である。振動体３と圧電体４とよりステーターが構成
されローター１は振動体３上に摩擦接触している。
断面図で、該第１図中１はロータ、３は振動体、４は振
動体３上に附された分極処理がなされた圧電体、５は電
極である。振動体３と圧電体４とよりステーターが構成
されローター１は振動体３上に摩擦接触している。
上記電極５中、振動体３における屈曲進行波の波長をλ
とすると5aは駆動用電極でλ/2間隔で圧電体４上に配さ
れており、又5bは駆動用電極で、該電極もλ/2間隔で圧
電体４上に配される。5Sは振動検出用電極で、駆動用電
極5aと振動検出用電極5Sとはλ/2だけ位置的位相がずれ
ている（すなわち同相）。又電極5bと5aとは３λ/4だけ
位置的位相がずれており、電極5aにて駆動電圧が印加さ
れる圧電体にてＡ相の圧電体を構成し、電極5bにて駆動
電圧が印加される圧電体にてＢ相の圧電体が構成され
る。これらの圧電体の分極処理や電極配置構成自体は周
知であるので、そ詳細な説明は省略する。
とすると5aは駆動用電極でλ/2間隔で圧電体４上に配さ
れており、又5bは駆動用電極で、該電極もλ/2間隔で圧
電体４上に配される。5Sは振動検出用電極で、駆動用電
極5aと振動検出用電極5Sとはλ/2だけ位置的位相がずれ
ている（すなわち同相）。又電極5bと5aとは３λ/4だけ
位置的位相がずれており、電極5aにて駆動電圧が印加さ
れる圧電体にてＡ相の圧電体を構成し、電極5bにて駆動
電圧が印加される圧電体にてＢ相の圧電体が構成され
る。これらの圧電体の分極処理や電極配置構成自体は周
知であるので、そ詳細な説明は省略する。
上記の構成にあっては電極5aと電極5bへ位相が90゜異な
る周波電圧が印加されることにて、振動体３上に進行性
の振動波が発生し、ローター１が該振動波により駆動さ
れる。又、この振動状態は電極5Sが附される圧電体から
の出力信号にて検知され、その時の電極5Sと電極5a間の
信号波形の位相差は第２図のラインＡの如くなる。即ち
電極5aへの駆動信号が共振周波数frの時には電極5Sから
の信号波形は電極5aの駆動信号に対して−９゜位相がづ
れた状態となり、駆動信号が共振周波数からずれると、
第２図のラインＡの如く電極5aと5S間の位相差が90゜か
らずれることになる。よって本発明では、この位相差を
検知して駆動周波数の共振周波数frからずれを検出する
様なしている。
る周波電圧が印加されることにて、振動体３上に進行性
の振動波が発生し、ローター１が該振動波により駆動さ
れる。又、この振動状態は電極5Sが附される圧電体から
の出力信号にて検知され、その時の電極5Sと電極5a間の
信号波形の位相差は第２図のラインＡの如くなる。即ち
電極5aへの駆動信号が共振周波数frの時には電極5Sから
の信号波形は電極5aの駆動信号に対して−９゜位相がづ
れた状態となり、駆動信号が共振周波数からずれると、
第２図のラインＡの如く電極5aと5S間の位相差が90゜か
らずれることになる。よって本発明では、この位相差を
検知して駆動周波数の共振周波数frからずれを検出する
様なしている。
尚、共振周波数と電極5aと5Sの信号間の位相差は電極5S
と電極5aとの位置に応じて上記−90゜からずれるもので
あるが、その場合でも共振駆動状態にあれば電極5aと5S
の信号の位相差が特定関係となるので、この場合も同様
に電極5aと5S間の信号の上記特定位相差からのずれを検
知すれば駆動周波数の共振周波数frからのずれを検知し
得ることとなる。
と電極5aとの位置に応じて上記−90゜からずれるもので
あるが、その場合でも共振駆動状態にあれば電極5aと5S
の信号の位相差が特定関係となるので、この場合も同様
に電極5aと5S間の信号の上記特定位相差からのずれを検
知すれば駆動周波数の共振周波数frからのずれを検知し
得ることとなる。
第３図は本発明に係る振動波モーターの駆動回路の一実
施例を示す回路図である。
施例を示す回路図である。
図において、２は第２図示の振動波モーターのステータ
ーである。12は入力電圧に応じた周波数で発振する電圧
制御発振器、14はアンプ、16はマツチングコイルで発振
器12からの周波信号がこれらのアンプ，コイルを介して
電極5aへ印加される。７はアンプ14の出力のコイル16を
通した波形（すなわち、振動波モーターのステーターに
印加される電圧波形）をパルス信号に整形するコンパレ
ーター、８はコンパレーター７からのパルスを90゜シフ
トするシフトレジスターで、該レジスター８からのパル
スは回転方向切換スイツチ13を介してアンプ15、コイル
17を介して電極5bに印加される。上記の構成にて電極5a
と5b間には90゜位相の異なる周波電圧が印加される。18
にエツジトリガー型位相比較器で、該比較器18の一方の
入力として上記発振器12の出力が入力し、他方の入力と
してＮ分周回路（32分周回路）21の出力が入力される。
20はラグリードフイルター19を介して上記比較器18の出
力に応じた周波数を発生する電圧制御発振器である。上
記比較器18は入力信号間の位相差がゼロの時オープン状
態となり、発振器20の出力をその状態に維持し、上記入
力信号間に位相差が発生すると、その位相差のずれ方向
及び量に応じてデユーテイの異なる信号を出力し、電圧
制御発振器20の出力周波数の増減を行わせる。この様に
構成されているので、比較器15の２入力は同一位相とな
る様制御され、その結果分周回路21の出力は発振器12の
出力と同位相で、かつ同一周波数となる。従って、発振
器20の出力は発振器12の出力周波数のＮ信（32信）の信
号となり、該信号を上記シフトレジスター８のクロツク
信号としているので、該レジスター８のN/4段目の出力
はコンパレーター７の出力、即ち発振器12の出力に対し
て90゜位相の異なる信号となり、上記の如くして電極5b
と5a間に90゜位相差の周波信号が供給される。
ーである。12は入力電圧に応じた周波数で発振する電圧
制御発振器、14はアンプ、16はマツチングコイルで発振
器12からの周波信号がこれらのアンプ，コイルを介して
電極5aへ印加される。７はアンプ14の出力のコイル16を
通した波形（すなわち、振動波モーターのステーターに
印加される電圧波形）をパルス信号に整形するコンパレ
ーター、８はコンパレーター７からのパルスを90゜シフ
トするシフトレジスターで、該レジスター８からのパル
スは回転方向切換スイツチ13を介してアンプ15、コイル
17を介して電極5bに印加される。上記の構成にて電極5a
と5b間には90゜位相の異なる周波電圧が印加される。18
にエツジトリガー型位相比較器で、該比較器18の一方の
入力として上記発振器12の出力が入力し、他方の入力と
してＮ分周回路（32分周回路）21の出力が入力される。
20はラグリードフイルター19を介して上記比較器18の出
力に応じた周波数を発生する電圧制御発振器である。上
記比較器18は入力信号間の位相差がゼロの時オープン状
態となり、発振器20の出力をその状態に維持し、上記入
力信号間に位相差が発生すると、その位相差のずれ方向
及び量に応じてデユーテイの異なる信号を出力し、電圧
制御発振器20の出力周波数の増減を行わせる。この様に
構成されているので、比較器15の２入力は同一位相とな
る様制御され、その結果分周回路21の出力は発振器12の
出力と同位相で、かつ同一周波数となる。従って、発振
器20の出力は発振器12の出力周波数のＮ信（32信）の信
号となり、該信号を上記シフトレジスター８のクロツク
信号としているので、該レジスター８のN/4段目の出力
はコンパレーター７の出力、即ち発振器12の出力に対し
て90゜位相の異なる信号となり、上記の如くして電極5b
と5a間に90゜位相差の周波信号が供給される。
６は電極5Sからの信号をパルスに波形整形するコンパレ
ーター、９はエツジトリガー型位相比較器で、該比較器
は第４図（ａ）の如く構成される。該比較器は入力R1,V
1のパルスの位相を検知し、第４図（ｂ）の示す如く入
力R1への位相が入力V1よりも進んでいる時に出力V1をそ
の位相差分ロウレベルとなし、逆に入力R1への位相が入
力V1よりも遅れた時には出力D1をその位相差分ロウレベ
ルとなし、又更に位相が一致している時には出力V1,D1
共にハイレベルを送出する。又、該比較器９の他の出力
端outの入力R1,V1に対する出力波形は第５図に示す通り
である。25は開又は閉レープ制御切換えスイツチで開ル
ープ制御モードでは比較器９の出力outとフイルター11
との接続を断ち、又閉ループ制御モードでは比較器９の
出力outをフイルター11と接続する。12は上記閉ループ
制御モードにおいて比較器９の出力outからの信号に応
じてその出力周波数を可変となす電圧制御発振器であ
る。10は前記比較器９の出力U1,D1に接続するアンドゲ
ート、22はリセツト端子を上記ナンドゲート10に接続し
ナンドゲート10の出力がハイレベルの時リセツト状態が
解除され前記発振器20のクロツクパルスをカウントする
カウンター、24は数値情報設定装置、23はカウンター22
のカウント値と数値情報設定装置の設定値とを比較しカ
ウント値＜設定値の時にハイレベルを出力するコンパレ
ーターである。27はマイクロコンピユーターで上記コン
パレーター23からの所定時間以上ハイレベルが送出され
続けた時にスイツチ25を閉ループモードに切換えるため
の切換え信号を送出する。
ーター、９はエツジトリガー型位相比較器で、該比較器
は第４図（ａ）の如く構成される。該比較器は入力R1,V
1のパルスの位相を検知し、第４図（ｂ）の示す如く入
力R1への位相が入力V1よりも進んでいる時に出力V1をそ
の位相差分ロウレベルとなし、逆に入力R1への位相が入
力V1よりも遅れた時には出力D1をその位相差分ロウレベ
ルとなし、又更に位相が一致している時には出力V1,D1
共にハイレベルを送出する。又、該比較器９の他の出力
端outの入力R1,V1に対する出力波形は第５図に示す通り
である。25は開又は閉レープ制御切換えスイツチで開ル
ープ制御モードでは比較器９の出力outとフイルター11
との接続を断ち、又閉ループ制御モードでは比較器９の
出力outをフイルター11と接続する。12は上記閉ループ
制御モードにおいて比較器９の出力outからの信号に応
じてその出力周波数を可変となす電圧制御発振器であ
る。10は前記比較器９の出力U1,D1に接続するアンドゲ
ート、22はリセツト端子を上記ナンドゲート10に接続し
ナンドゲート10の出力がハイレベルの時リセツト状態が
解除され前記発振器20のクロツクパルスをカウントする
カウンター、24は数値情報設定装置、23はカウンター22
のカウント値と数値情報設定装置の設定値とを比較しカ
ウント値＜設定値の時にハイレベルを出力するコンパレ
ーターである。27はマイクロコンピユーターで上記コン
パレーター23からの所定時間以上ハイレベルが送出され
続けた時にスイツチ25を閉ループモードに切換えるため
の切換え信号を送出する。
尚26は発振器12の自走周波数f0を設定する設定回路であ
る。
る。
次いで、第３図実施例の動作について説明する。
最初開ループ，閉ループ制御切換スイツチ25は開ループ
モードに設定されているものとする。この状態では位相
比較器９の出力とな独立に、電圧制御発振器12の自走周
波数f0（振動波モーターの機械的共振周波数frよりも高
い）で発振している。振動波モーターの電極5aには電圧
制御発振器12からの信号が増幅器14とコイル16を通して
加えられる。又発振器12からの信号はＡ相コンパレータ
ー７にて整形された上、上記周波数f0に対するＮ倍のク
ロツク信号にてシフトするシフトレジスタ８に入力され
る。
モードに設定されているものとする。この状態では位相
比較器９の出力とな独立に、電圧制御発振器12の自走周
波数f0（振動波モーターの機械的共振周波数frよりも高
い）で発振している。振動波モーターの電極5aには電圧
制御発振器12からの信号が増幅器14とコイル16を通して
加えられる。又発振器12からの信号はＡ相コンパレータ
ー７にて整形された上、上記周波数f0に対するＮ倍のク
ロツク信号にてシフトするシフトレジスタ８に入力され
る。
これにより、レジスター８からは入力信号に対して±90
゜（±N/4段）ずれた信号が取り出されスイツチ13を介
して増幅器15とコイル17を通して振動波モーターの電極
5bに信号を印加する。
゜（±N/4段）ずれた信号が取り出されスイツチ13を介
して増幅器15とコイル17を通して振動波モーターの電極
5bに信号を印加する。
上記動作にて電極5aには発振器12の出力が、又電極5bに
は電極5aの印加信号に対して90゜位相のずれた信号が印
加される。
は電極5aの印加信号に対して90゜位相のずれた信号が印
加される。
この様にして電極5a,5b間に90゜位相の異なる周波電圧
が印加されると圧電体のＡ相,B相にはそれぞれ定在波が
形成され、これが合成されて進行性振動波が発生し、ロ
ーターが駆動される。
が印加されると圧電体のＡ相,B相にはそれぞれ定在波が
形成され、これが合成されて進行性振動波が発生し、ロ
ーターが駆動される。
又、この状態にあっては電極5Sからはモーターの振動状
態に応じた周波信号が発生し、かつこの際の電極5Sと電
極5aとの信号波形の位相差関係は駆動用電極5aへの周波
数との関係で、第２図の如くなる。即ち、共振周波数fr
にて駆動されている時には電極5Sと5aとの波形関係は−
90゜となり、共振周波数からのづれに対応してその電極
5S,5a間の位相差関係が第２図のラインＡの如くなる。
態に応じた周波信号が発生し、かつこの際の電極5Sと電
極5aとの信号波形の位相差関係は駆動用電極5aへの周波
数との関係で、第２図の如くなる。即ち、共振周波数fr
にて駆動されている時には電極5Sと5aとの波形関係は−
90゜となり、共振周波数からのづれに対応してその電極
5S,5a間の位相差関係が第２図のラインＡの如くなる。
この電極5Sと5a間の位相差を検知すべく、電極5Sからの
信号がコンパレーター６にて整形された上位相比較器９
の入力R1に入力されると共に電極5aへの駆動信号を与え
る発振器12の出力をコンパレーターにて整形の上レジス
ター８にて入力し、該レジスター８にて90゜位相シフト
され、該シフト信号が上記比較器９の入力V1に入力され
る。
信号がコンパレーター６にて整形された上位相比較器９
の入力R1に入力されると共に電極5aへの駆動信号を与え
る発振器12の出力をコンパレーターにて整形の上レジス
ター８にて入力し、該レジスター８にて90゜位相シフト
され、該シフト信号が上記比較器９の入力V1に入力され
る。
今、周波数はf0＞frであるため、比較器９への入力信号
間に位相差が生じている。従って、この状態では比較器
９の出力V1又はD1から間欠的にロウレベルが出力されナ
ンドゲート10が間欠的にハイレベルを出力する。このナ
ンドゲート10からのハイレベルの期間は入力R1,V1間の
位相差が大きな程長時間となるものであり、かつ、カウ
ンター22はナンドゲート10からのハイレベルによりセツ
トが解除されるので、上記ハイレベルの期間発振器20か
らのクロックパルスを計数し、その計数値が上記位相差
に応じた値を示す。この計数値は設定装置24の設定値と
比較され計数値＜設定値の時にハイレベルがコンパレー
ター23から送出される。
間に位相差が生じている。従って、この状態では比較器
９の出力V1又はD1から間欠的にロウレベルが出力されナ
ンドゲート10が間欠的にハイレベルを出力する。このナ
ンドゲート10からのハイレベルの期間は入力R1,V1間の
位相差が大きな程長時間となるものであり、かつ、カウ
ンター22はナンドゲート10からのハイレベルによりセツ
トが解除されるので、上記ハイレベルの期間発振器20か
らのクロックパルスを計数し、その計数値が上記位相差
に応じた値を示す。この計数値は設定装置24の設定値と
比較され計数値＜設定値の時にハイレベルがコンパレー
ター23から送出される。
今、カウント値＞設定値であったとすると、コンパレー
ター23はロウレベルを送出し、このロウレベルによりコ
ンピユーター27は設定装置26の設定値を低下させる命令
を送出し、発振器12の出力周波数を減少させる。この様
にしてカウント値＞設定値の限り発振器12の出力周波数
が徐々に低下して共振周波数frが近づき、上記カウント
値がカウント値＜設定値となった時にはコンパレーター
23はハイレベルを送出する。
ター23はロウレベルを送出し、このロウレベルによりコ
ンピユーター27は設定装置26の設定値を低下させる命令
を送出し、発振器12の出力周波数を減少させる。この様
にしてカウント値＞設定値の限り発振器12の出力周波数
が徐々に低下して共振周波数frが近づき、上記カウント
値がカウント値＜設定値となった時にはコンパレーター
23はハイレベルを送出する。
このコンパレーター23からのハイレベルがコンピユータ
ー27にて検知されると、コンピユーターからの命令にて
切換スイツチ25が開ループモードに切換えられる。
ー27にて検知されると、コンピユーターからの命令にて
切換スイツチ25が開ループモードに切換えられる。
閉ループモードでは比較器９の出力outがフイルター11
を介して発振器12に入力し、発振器12の出力周波数は以
後比較器９の出力outからの信号に応じて制御される。
を介して発振器12に入力し、発振器12の出力周波数は以
後比較器９の出力outからの信号に応じて制御される。
尚、閉レープ制御では比較器９の出力outは第５図
（Ｃ）の如くＹの出力特性を示す。従って、電極5Sの出
力と電極5aの信号間90゜以上づれると比較器９の出力ou
tはハイレベルとなり発振器12の周波数を高くし、これ
にて電極5aの信号を電極5Sの出力よりも位相が進む方
向、即ち位相差が90゜方向となる様制御し、逆に電極5S
と5a間の信号位相差が90゜以内となる比較器９の出力ou
tはロウレベルとなり発振器12の周波数を低下させ上記
電極の信号間の位相差を90゜方向へ移行させる。以上の
動作にて閉ループ制御では上記電極の信号間の位相差が
90゜となる様制御される。
（Ｃ）の如くＹの出力特性を示す。従って、電極5Sの出
力と電極5aの信号間90゜以上づれると比較器９の出力ou
tはハイレベルとなり発振器12の周波数を高くし、これ
にて電極5aの信号を電極5Sの出力よりも位相が進む方
向、即ち位相差が90゜方向となる様制御し、逆に電極5S
と5a間の信号位相差が90゜以内となる比較器９の出力ou
tはロウレベルとなり発振器12の周波数を低下させ上記
電極の信号間の位相差を90゜方向へ移行させる。以上の
動作にて閉ループ制御では上記電極の信号間の位相差が
90゜となる様制御される。
〔変形例〕 実施例において、比較器９の出力端U1,D1の出力をそれ
ぞれ単独に検知し、この出力端からロウレベルご送出さ
れている時間をそれぞれ検知すれば、位相の進み又は遅
れの方向性をも検知出来、周波数のずれ方向も検知し得
ることとなる。
ぞれ単独に検知し、この出力端からロウレベルご送出さ
れている時間をそれぞれ検知すれば、位相の進み又は遅
れの方向性をも検知出来、周波数のずれ方向も検知し得
ることとなる。
又、更に設定装置24の設定値を上記コンパレーター23か
らロウレベルが送出されるごと、即ちカウンター値＞設
定値の検知がなされるごとに増大させ、カウント値＜設
定値となった時の設定値を読み取る様にすれば、その周
波数のずれ量を数字として読み取ることも出来るもので
ある。
らロウレベルが送出されるごと、即ちカウンター値＞設
定値の検知がなされるごとに増大させ、カウント値＜設
定値となった時の設定値を読み取る様にすれば、その周
波数のずれ量を数字として読み取ることも出来るもので
ある。
以上の如く、本発明にあっては、周波数設定回路により
起動周波数から徐々に周波数を低下させ共振周波数方向
に周波数シフトを行なわせるに際して、駆動電圧とモニ
ター信号間の位相差検知にて、共振周波数近傍となった
時に上記設定回路によるシフト動作を禁止させたので、
駆動周波数が共振点を越えて、引き続き低い周波数まで
移行していまうことを防止出来るものである。
起動周波数から徐々に周波数を低下させ共振周波数方向
に周波数シフトを行なわせるに際して、駆動電圧とモニ
ター信号間の位相差検知にて、共振周波数近傍となった
時に上記設定回路によるシフト動作を禁止させたので、
駆動周波数が共振点を越えて、引き続き低い周波数まで
移行していまうことを防止出来るものである。
第１図は本発明に係る振動波モーターの構成を示す断面
図、第２図は本発明の動作を説明するための波形図、第
３図は本発明の振動波モーターの駆動回路の一実施例を
示す回路図、第４図（ａ）は第３図示の比較器９の構成
を示す回路図、第４図（ｂ）は第４図（ａ）の比較器の
動作を説明する波形図、第５図（ａ）〜（ｃ）は第４図
（ａ）の比較器の動作を説明する波形図である。 ９……比較器、10……ナンドゲート 22……カウンター、23……コンパレーター 24……設定装置
図、第２図は本発明の動作を説明するための波形図、第
３図は本発明の振動波モーターの駆動回路の一実施例を
示す回路図、第４図（ａ）は第３図示の比較器９の構成
を示す回路図、第４図（ｂ）は第４図（ａ）の比較器の
動作を説明する波形図、第５図（ａ）〜（ｃ）は第４図
（ａ）の比較器の動作を説明する波形図である。 ９……比較器、10……ナンドゲート 22……カウンター、23……コンパレーター 24……設定装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−251490（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−10792（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−203574（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−56178（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−87428（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−35621（ＪＰ，Ａ) ＲＥＶＩＥＷ ＯＦ ＳＣＩＥＮＴＩＦ ＩＣ ＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ，Ｖｏｌ. 57，Ｎｏ．11，Ｎｏｖｅｍｂｅｒ 1986, Ｐ．2886〜2890（Ｆｉｇ．６) 「超音波モータノアクチュエータ」トリ ケップス、昭和61年12月12日、Ｐ．70〜71 （図14，15)
Claims (1)
- 【請求項１】圧電体が配される振動体に対して位相の異
なる駆動用周波信号を印加して振動体を励振させ振動波
を得て、該振動波を駆動力とする振動波モーター装置に
おいて、 前記圧電体に発生する信号を検知する振動検知用電極
と、該電極からの信号と前記駆動用周波信号との位相差
を検知する検知回路と、前記駆動用周波信号の周波数を
共振周波数よりも高い所定の周波数から共振周波数方向
の所定の範囲で可変する周波数設定回路と、該設定回路
にて設定される周波数が共振周波数よりも高い周波数か
ら共振周波数方向へ変化した際において前記検知回路に
て検知された位相差が共振周波数の近傍を表わす所定の
位相差となった時に前記設定回路による周波数の低周波
数方向への設定を禁止する禁止回路を設けたことを特徴
とする振動波モーター装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61299394A JPH078154B2 (ja) | 1986-12-15 | 1986-12-15 | 振動波モーター装置 |
| US07/779,134 US5136215A (en) | 1986-12-15 | 1991-10-17 | Driving circuit for vibration wave motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61299394A JPH078154B2 (ja) | 1986-12-15 | 1986-12-15 | 振動波モーター装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63154074A JPS63154074A (ja) | 1988-06-27 |
| JPH078154B2 true JPH078154B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=17871985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61299394A Expired - Lifetime JPH078154B2 (ja) | 1986-12-15 | 1986-12-15 | 振動波モーター装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH078154B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08282452A (ja) * | 1995-04-10 | 1996-10-29 | Miyata Jidoki Hanbai Kk | 自動車のスリップ防止装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2743404B2 (ja) * | 1988-10-19 | 1998-04-22 | 株式会社ニコン | 超音波モータの駆動制御装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH072023B2 (ja) * | 1985-04-26 | 1995-01-11 | 株式会社ニコン | 超音波モータの駆動回路 |
-
1986
- 1986-12-15 JP JP61299394A patent/JPH078154B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 「超音波モータノアクチュエータ」トリケップス、昭和６１年１２月１２日、Ｐ．７０〜７１（図１４，１５） |
| ＲＥＶＩＥＷＯＦＳＣＩＥＮＴＩＦＩＣＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ，Ｖｏｌ．５７，Ｎｏ．１１，Ｎｏｖｅｍｂｅｒ１９８６，Ｐ．２８８６〜２８９０（Ｆｉｇ．６） |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08282452A (ja) * | 1995-04-10 | 1996-10-29 | Miyata Jidoki Hanbai Kk | 自動車のスリップ防止装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63154074A (ja) | 1988-06-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |