JPH0781563B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、空気圧シリンダを用いたリニアアクチュエ
ータに係り、特に、シリンダに形成されたスリット状開
口を介してピストンとテーブル等の可動部材を連結する
タイプのリニアアクチュエータに関するものである。

［従来の技術］ 圧縮空気によるピストンの往復運動を利用したリニアア
クチュエータは、送り速度を高速化できる、騒音の発生
が少ない等の利点を有しており、特にシリンダに形成さ
れたスリット状開口より頭部を突出させた状態でシリン
ダ内を運動するピストンを有する、所謂ロッドレスシリ
ンダを利用してテーブル等の可動部材を駆動するタイプ
のリニアアクチュエータは、一般に空気圧シリンダを利
用するものに比較して配設スペースが小さくて済み、各
種機械装置に多用されている。

従来、この種のロッドレスシリンダを利用したリニアア
クチュエータとしては、第19図に示すように、エアシリ
ンダ本体ａと、このエアシリンダ本体ａ内を圧縮空気に
より往復運動するピストン部材ｂと、上記エアシリンダ
本体ａの外壁の両端面に上記ピストン部材ｂの運動方向
と平行に配設された一対の直線案内手段ｃと、直線案内
手段ｃに沿って移動するテーブルｄと、このテーブルｄ
と上記ピストン部材ｂを連動する連結手段ｅとからなる
ものが提案されている（特開昭61−290214号）。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、転動体の転がり運動を利用するタイプの直線
案内手段（ベアリング）、例えば、クロスローラーガイ
ドや直線摺動用ベアリング等によりテーブル移動機構を
構成する場合には、高精度のテーブル運動、外力に対す
る高剛性を得るために転動体に予圧を付与するのが一般
的である。この予圧を付与する方法としては直線案内手
段の構成や形状等により各種の方法があるが、軌道台の
側面を主として転走するタイプの直線摺動用ベアリング
やクロスローラーガイドにおいては、通常、第19図に示
すように、テーブルｄ側端より垂下する袖部を貫通する
押圧ボルトｆを設け、テーブルｄ側に取付けられたロー
ラーガイド（直線摺動用ベアリングにおいては摺動台）
のこの押圧ボルトｆでベッド等の固定部ａ側に取付けら
れたローラーガイド（直線摺動用ベアリングにおいては
軌道台）に向けて押圧することにより転動体ｇに予圧を
与える。

しかし、この予圧付与方法を上記した従来のリニアアク
チュエータに適用した場合は次のような問題点が生じて
くる。すなわち、直線案内手段ｃがエアシリンダ本体ａ
の両側面に直接配設されるので、押圧ボルトｆにより直
線案内手段ｃを押圧した場合、その押圧力がエアシリン
ダ本体ａに開設されたスリット状開口にも作用してしま
い、テーブルｄ位置に対応した開口部には圧縮力が作用
すると共に、それ以外の開口部にはエアシリンダ本体ａ
内の圧縮空気による膨脹力が作用し、結果的にスリット
状開口にはテーブルｄの移動により圧縮力及び膨脹力が
繰返し作用することになる。そのため、エアシリンダ本
体ａには金属疲労が生じ易く、耐久性能が著しく悪化す
るという問題点を有していた。

この様な問題点を解決したものとしては、第20図に示す
ように、エアシリンダ本体ａの外側に直線案内手段ｃを
配設するためのベース部材ｈを設けたものが提案されて
いる。このリニアアクチュエータによれば、直線案内手
段ｃがエアシリンダ本体ａと別部材であるベース部材ｈ
に配設される一方、エアシリンダ本体ａはその側面をベ
ース部材ｈと非接触としているので、押圧ボルトｆで直
線案内手段ｃに予圧を付与した際の押圧力がエアシリン
ダ本体ａに作用することはなく、上記したような耐久性
の悪化という問題点は生じてこない。

しかし、第二の提案におけるリニアアクチュエータにお
いては、新たにベース部材ｈを設ける必要上、部品数の
増加に伴う生産性の悪化やコストの上昇といった新たな
問題点を有している。

本発明はこの様問題点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、直線案内手段に対する予圧の付
与がロッドレスシリンダに悪影響を及ぼすことがなく、
且つ、部品数の少なく生産性の良いリニアアクチュエー
タを提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために請求項１及び請求項２に係る
リニアアクチュエータは、長尺方向に沿ってスリットが
形成されたエアシリンダ本体と、上記スリットよりエア
シリンダ本体外へ突出する頭部を有し、圧縮空気により
上記エアシリンダ本体内を往復運動するピストン部材
と、このピストン部材の頭部に係合され、ピストン部材
に連動して往復運動する可動部材と、上記エアシリンダ
本体の両肩部に配設されて上記可動部材を直線案内する
一対のベアリングとを備えたリニアアクチュエータにお
いて、上記ベアリングが、断面略矩形状に形成され、一
方の側面には下向きに傾斜するボール転走溝を、他方の
側面には上向きに傾斜するボール転走溝を夫々長尺方向
に沿って有し、上記エアシリンダ本体の両肩部に配設さ
れる軌道台と、水平部の両端から垂下する一対の袖部を
有し、一方の袖部には軌道台の下向きボール転走面に相
対面して上向きに傾斜する負荷ボール溝を有する負荷域
が、他方の袖部には軌道台の上向きボール転走面に相対
面して下向きに傾斜する負荷ボール溝が有する負荷域が
形成されると共に、これ負荷域の両端を連通連結して無
限軌道を構成する無負荷域が夫々の袖部に形成され、上
記軌道台に沿って移動する摺動台と、上記無限軌道内を
循環して摺動台の負荷ボール溝と軌道台のボール転走溝
との間で荷重を負荷する多数のボールとから構成され、
結合ボルトを用いて上記可動部材を摺動台に固定する際
に、上向き負荷ボール溝が形成された袖部を下向き負荷
ボール溝が形成された袖部よりも余分に可動部材側へ引
きつけ、これによって上記ボールに予圧を付与すること
を特徴とするものである。

また、請求項３に係るリニアアクチュエータは、エアシ
リンダ本体の両肩部に配設されるベアリングが、左右両
側面に上向きあるいは下向きに傾斜するボール転走溝を
夫々長尺方向に沿って有し、上記エアシリンダ本体の両
肩部に配設された軌道台と、上記ボール転走溝に相対面
する負荷ボール溝を有する負荷域とこの負荷域の両端を
連通連結する無負荷域とからなる無限軌道を備え、上記
軌道台に沿って移動する摺動台と、上記無軌道内を循環
して摺動台の負荷ボール溝と軌道台のボール転走溝との
間で荷重を負荷する多数のボールとから構成され、上記
ボールの直径を、上記負荷ボール溝とボール転走溝との
間隙より大きくとることにより上記ボールに予圧を付与
することを特徴とするものである。

この様な技術的手段において、上記エアシリンダ本体と
しては、ピストンが往復運動するシリンダを備えると共
に、両肩部に直線案内手段の軌道台を配設するための取
付面を有するものであれば、その形状や構成等適宜設計
変更して差支えない。

又、上記ピストン部材としては、その両端に作用する空
気圧力によりシリンダ内を往復運動すると共に、エアシ
リンダ本体に形成されたスリットよりエアシリンダ本体
外へ突出する頭部が可動部材に係合可能のものであれ
ば、その構成や形状等適宜設計変更して差支えない。

更に、請求項１及び請求項２に係る軌道台としては、上
向きに傾斜するボール転走溝と下向きに傾斜するボール
転走溝とを有し、摺動台と可動部材とを結合ボルトで締
結した際に生じるモーメント荷重を負荷可能であれば、
その形状やボール転走溝の傾斜角度等適宜設計変更して
差支えない。

更に、上記摺動台としては、軌道台のボール転走溝に相
対面する負荷ボール溝を有し、且つ、ボールの循環する
無限軌道を備えたものあればその構成等適宜設計変更し
て差支えなく、ボール無限軌道を構成する無負荷域の形
成方法としても、摺動台に無負荷転走孔を形成するもの
や、外部から摺動台に取付けられるボール保持器により
無負荷転送軌道を形成するもの等適宜選択設計して差支
えない。

又、上記ベアリングのボールに予圧を付与する方法とし
ては、上記摺動台と可動部材とを結合ボルトを用いて固
定する際に、上向き負荷ボール溝が形成された摺動台の
袖部を下向き負荷ボール溝か形成された他方の袖部より
も余分に可動部材側へ引き付け、これによって摺動台と
軌道台との間にモーメント荷重を生じさせるものであれ
ば、摺動台の上面を水平より若干傾斜させて形成する方
法や楔形状の部材を摺動台の上面と可動部材下面との間
に介装する方法等適宜選択して差支えないが、特別な構
造や部材を設ける必要がなく、可動部材の使用用途に応
じてことなる予圧値にも柔軟に対応するという観点から
すれば、摺動台の幅方向の一端と可動部材との間に予圧
値に応じた厚さのシムを介装しボールに予圧を与えるの
が好ましい。

更に、請求項３に係る軌道台のボール転走溝及び摺動台
の負荷ボール溝としては、摺動台が四方向の荷重を負荷
可能なようにその傾斜角度が決定されると共に、大径ボ
ールを摺動台の負荷域に送り込んだ際にボールに弾性変
形が生じると共にその復元が阻害され、ボールに予圧が
付与されるものであるならば、その傾斜角度や溝形状等
適宜設計変更して差支えない。又、このときのボール直
径としては、可動部材の移動に要求される精度や剛性に
応じて、その予圧量を適宜選択して差支えない。

［作用］ ピストンは圧縮空気の圧力を受けてエアシリンダ本体内
を往復運動する。又、可動部材はエアシリンダ本体に配
設された軌道台に沿って移動する摺動台上に架設される
と共にピストン頭部に係合しており、ピストンの往復運
動に合せて軌道台上を往復運動する。請求項１及び請求
項２に係る発明においては、摺動台にはモーメント荷重
を負荷可能なように負荷ボール溝が形成されているの
で、摺動台と軌道台との間に若干のモーメント荷重が生
じるように摺動台を可動部材に締結するのみで負荷域を
転走するボールに予圧を付与可能であり、予圧付与によ
る作用力がエアシリンダ本体のスリットを狭める方向に
働くことはない。

又、請求項３に係る発明においては、摺動台が軌道台長
尺方向に直角な四方向の荷重を負荷可能なので、ボール
転走溝と負荷ボール溝との間隙よりも大きい直径を有す
る大径ボールを摺動台の負荷域に送り込むことによりボ
ールに予圧を付与することができ、予圧付与のための外
力をベアリングに加える必要がない。

［実施例］ 以下、添附図面に基いて本発明のリニアアクチュエータ
を詳細に説明する。

◎第一実施例 第１図乃至第14図は請求項１及び請求項２に係る発明に
おけるリニアアクチュエータを示すものであり、ベッド
等の固定部に配設されるエアシリンダ本体１と、エアシ
リンダ本体１内に送り込まれる圧縮空気によりエアシリ
ンダ本体１内を往復運動するピストン部材２と、エアシ
リンダ本体１の両肩部に配設される一対の軌道台３及び
この軌道台３上を摺動する摺動台４とからなる一対のベ
アリングと、各摺動台間に架設されるテーブル５とから
構成されている。

まず、上記エアシリンダ本体１は、アルミニウムの押出
加工により形成されて断面略矩形状をしており、軸方向
に沿ってスリット11が設けられたエアシリンダ12をその
略中央に有すると共に、両側面上方の肩部には上記軌道
台３を取付けるための取付面13が形成されている。そし
て、この取付面13の下方には軌道台３の固定ボルト31が
係合するナット32を配設するための貫通孔14が取付面13
に沿って設けられる一方、エアシリンダ12の周囲には本
体重量の軽減化を図るために中空部15が形成されてい
る。尚、符号16はテーブル５に取付けられたマグネット
51の位置を検出するための検出器である。

一方、上記ピストン部材２は、前端及び後端にピストン
パッキン21を有し上記エアシリンダ12内を往復運動する
ピストンアクスル22と、エアシリンダ12に形成されたス
リット11を介してエアシリンダ12内とエアシリンダ本体
１外に跨がって配設され、上記ピストンアクスル22の長
尺方向の中央部に固定ボルト23により係合してピストン
アクスル22に作用した出力を外部に伝達するピストンヨ
ーク24と、このピストンヨーク24とテーブル５とを連結
するピストンマウント25とにより構成されている。

次に、エアシリンダ12に設けられたスリット11からの空
気漏れを防ぐシール機構とピストン部材２の動作との関
係について説明する。エアシリンダ12のスリット11に
は、その内側に空気漏れをシールするためのインナーシ
ールバンド26が、その外側には外部よりのゴミの侵入を
防ぐアウターシールバンド27が夫々設けられており、こ
れらシールバンド26,27はピストン部材内では、第１図
及び第２図に示すように、ピストンヨーク24に形成され
た凹状溝内に位置している。そして、エアシリンダ12内
に圧縮空気が供給されてピストンアクスル22が運動を開
始すると、インナーシールバンド26とアウターシールバ
ンド27はピストンヨーク24に押し分けられてスリット11
より剥がされ、ピストンヨーク24内を通過した後にふた
たびスリット11に張付き、スリット11内側は空気圧力に
よりシールされる。尚、符号28はアウターシールバンド
27に付着したゴミを取り除くためのスクレーパである。

次に、テーブルを直線案内するベアリングについて説明
する。

本実施例のベアリングは、第３図乃至第14図に示すよう
に、水平部4aとその両端より垂下する袖部4b,4cを有し
て斜め下方に向けて開口する凹部が形成された断面略倒
Ｌ字形状の摺動台４と、この摺動台４の長尺方向の前後
端面に取付けられる一対の蓋体６と、上記両袖部4b,4c
の下端に取付けられるボール保持プレート７と、少なく
とも上部の横断面形状が摺動台４の凹部形状と略同一形
状に形成された軌道台３と、摺動台４と軌道台３との間
で荷重を負荷する多数のボール８とで構成されている。

上記摺動台４は、剛性を有する焼入れ可能な鋼材等で構
成されており、第６図及び第７図に示すように、その凹
部が斜め下方に向けて拡開する形状になっている。そし
て、この凹部を形成する袖部4bにはその内面側に上向き
に傾斜する断面円弧状の負荷ボール溝41を有する負荷域
42が長尺方向全長に亘って構成されている一方、他方の
袖部4cにはその内面側に下向きに傾斜する断面円弧条の
負荷ボール溝43を有する負荷域44が同じく長尺方向全長
に亘って形成されている。又、上記各袖部4b,4cには、
負荷域42,44に隣接した位置に袖部4b,4cの長尺方向に沿
って無負荷ボール孔45が穿設されている。尚、符号46は
摺動台４の長尺方向の前後両端面に蓋体６を取付ける際
に第５図に示すような六角孔付きボルト61が螺合する蓋
体取付孔であり、又、符号47は摺動台４上面にテーブル
５を取付ける際に結合ボルト51が螺合する取付孔であ
る。

又、上記蓋体６は、剛性を有する硬質合成樹脂で形成さ
れており、第10図及び第11図に示すように、この蓋体６
を上記摺動台４の前後両端面に取付けた際に摺動台４の
各袖部4b,4cに形成された負荷域42,44及び無負荷ボール
孔45に対応する略円弧状の案内溝61が形成されており、
この案内溝61に半円形状に形成された案内片62を嵌込む
ことにより負荷域42,44と無負荷ボール孔45とを連通連
結するボール旋回路63が構成され、負荷域42,44あるい
は無負荷ボール孔45を転走する各ボール８をこのボール
旋回路63で方向転換して無負荷ボール孔45あるいは無負
荷42,44に案内するようになっている。又、摺動台４に
取付けた際に負荷域42,44側に位置する上記案内溝61の
一端には先端に向けて先細り形状の突起64が設けられて
おり、負荷域42,44を転走してきたボール８を円滑にボ
ール旋回路63内に掬い上げると共に、ボール旋回路63か
ら負荷域42,44に円滑にボール８を送り込める構造をと
っている。更に、上記蓋体６には、上記六角孔付ボルト
61が貫通する貫通孔65が穿設されると共に、蓋体６内側
面の貫通孔65周囲には摺動台４側に形成された凹状溝に
嵌合する凸部66が設けられており、各蓋体６を摺動台４
の前後両端面に取付けた際に各蓋体６の位置決めを容易
に行うことができるようになっている。

更に、上記ボール保持プレート7a,7bは、第13図及び第1
4図に示すように、剛性を有する鋼板等をプレス成形に
より形成され、摺動台４の各袖部4b,4c下面側に螺合す
る取付けねじ71が貫通する貫通孔72が形成されている。
そして、各ボール保持プレート7a,7bは、摺動台４の袖
部に取付けた際に長尺方向に沿った一方の側端73が摺動
台４下面側に形成された凹部に突出して、ボール８が転
走する負荷域42,44の開口幅をボール８の直径よりも小
さく形成し、摺動台４を軌道台３から取外した際のボー
ル８の脱落を防止するようになっている。

一方、上記軌道台３は、第８図及び第９図に示すよう
に、矩形の一方の側面を台形状に切欠いた断面形状であ
り、この台形状切欠部33の下向き傾斜面には摺動台袖部
4bの内面側に形成された負荷ボール溝41に相対面するボ
ール転走溝34が形成される一方、反対側の側面上方の肩
部には摺動台袖部4cの内面側に形成された負荷ボール溝
43に相対面するボール転走溝35が形成されている。更
に、軌道台３の中央部にはエアシリンダ本体１にねじ結
合する固定ボルト31が貫通する取付孔36が軌道台３上面
に垂直に、且つ、軌道台３の長尺方向に適宜間隔をおい
て穿設されている。

このように構成される本実施例のリニアアクチュエータ
はその組立てに当たって、まず、上記軌道台３をエアシ
リンダ本体１の取付基準面13に取付けた後に、袖部4bを
外側にして摺動台４を軌道台３に組込み、摺動台４の上
面にテーブル５を結合ボルト51で結合する一方、ピスト
ンマウント25をテーブル５中央部の下面側に係合し、最
後にエアシリンダ本体１をブラケット17を介して固定部
上にボルト固定すると共に、エアシリンダ本体１の両端
に夫々一対で設けられた圧縮空気の供給バルブ及び排出
バルブ（図示せず）に圧力制御手段（図示せず）に繋が
る供給管及び排出管（図示せず）を接続して使用される
ものである。

このとき、本実施例のリニアアクチュエータにおいて
は、摺動台４に形成された負荷ボール溝41,43及び軌道
台３に形成されたボール転走溝34,35が、袖部4b側から
袖部4c側へ反時計回りに作用するモーメント荷重を負荷
可能なように配置されている。そのため、摺動台４をテ
ーブル５に取り付ける際に、袖部4cの上方の摺動台４上
面とテーブル５下面との間にシム９を介装して結合ボル
ト51を締結すると、上向き負荷ボール溝41の形成された
一方の袖部4bが下向き負荷ボール溝43の形成された他方
の袖部4cよりも余分にテーブル５側へ引きつけられ、シ
ム９の厚みに応じたモーメント荷重が摺動台４と軌道台
３との間に生じ、両者の間で荷重を負荷しているボール
８に予圧が付与される。

従って、ボール８に予圧を付与する際には軌道台３にモ
ーメント荷重が作用するのみであり、軌道台３が配設さ
れているエアシリンダ本体１にスリット11を狭める方向
に作用力が働くことはなく、エアシリンダ本体１に形成
されたスリット11がボール８に対する予圧の付与を基因
として変形することはない。

◎第二実施例 第15図乃至第18図は請求項３に係る発明におけるリニア
アクチュエータの実施例を示すものであり、テーブル５
を直線案内するベアリングを変更した以外は第一実施例
に係るリニアアクチュエータと略同一である。

本実施例においてベアリングの摺動台４は、第16図に示
すように、水平部4aとその両端より垂下する左右袖部4
b,4cを有して断面略倒Ｃ形状に形成され下面部に凹部を
備えており、水平部4aの下面側と左右袖部4b,4cの内面
側とに夫々長尺方向に沿って上部無限軌道及び下部無限
軌道の負荷域が構成され、この負荷域にはボール８が転
走する負荷ボール溝が形成されている。又、左右袖部4
b,4cには上部無限軌道及び下部無限軌道の負荷域に対応
した無負荷ボール孔45が形成されている。

又、軌道台３は、矩形の両側面を台形上に切欠くと共に
左右の両肩部を切欠いた断面形状であり、これら台形状
切欠部の下向き傾斜面は摺動台袖部4b,4cの内面側に設
けられる下部無限軌道に対応した下部ボール転走溝34と
なる一方、両肩切欠部の上向き傾斜面は摺動台水平部4a
の下面側に設けられた上部無期軌道に対応した上部ボー
ル転走溝35となっている。更に、軌道台３の中央部には
エアシリンダ本体１に軌道台３を固定するための固定ボ
ルト31が貫通する取付孔36が軌道台３上面に垂直に、且
つ、軌道台３の長尺方向に適宜間隔をおいて穿設されて
いる。

更に、上記摺動台４の長尺方向各端部には、第一実施例
と同様に、摺動台４に形成された負荷域とこれに対応す
る無負荷ボール孔45と連通連結するボール旋回路を有す
る蓋体６が取付けられる一方、各袖部4b,4cの内面側に
は、ボール８が突出する長孔が形成され負荷ボール溝と
相俟って負荷域を形成するボール保持器７が組込まれて
いる。

このように構成される本実施例のベアリングは、摺動台
４と駆動台３に接触するボール８の接触角が軌道台３長
尺方向に直交する四方向の荷重を負荷可能なように配置
されているので、負荷ボール溝とボール転走溝との間隙
よりも大きい直径を有するボール８を負荷域に送り込ん
だ際には、ボール８に弾性変形が生じると共にその復元
が阻害され、ボール８に予圧が付与される。

従って、ボール８に予圧を付与するに当たっては摺動台
４又は軌道台３に何等外力を作用させる必要はなく、軌
道台３が配設されたエアシリンダ本体１に予圧付与に基
因した作用が働くことはない。

［発明の効果］ 以上説明してきたように、本発明のリニアアクチュエー
タによれば、摺動台の負荷域を転走するボールに予圧を
付与するための作用がエアシリンダ本体に影響を及ぼす
ことはなく、テーブルを案内するためのベアリングを直
接にエアシリンダ本体に配設した場合にもエアシリンダ
本体の耐久性を維持することが可能であると共に、ベア
リングを配設するためのベースをエアシリンダ本体と別
個に設ける必要がなくなるので、生産性の向上及びコス
トダウンを図ることが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明におけるリニアアクチュエータの第一実
施例を示す正面断面図、第２図は第１図のＩ−Ｉ断面
図、第３図は第一実施例に係るリニアアクチュエータの
ベアリング組付け状態を示す拡大図、第４図及び第５図
は第一実施例に係るリニアアクチュエータのベアリング
を示す平面図及び側面図、第６図及び第７図はベアリン
グの摺動台を示す正面図及び側面図、第８図及び第９図
はベアリングの軌道台を示す斜視図及び断面図、第10図
−（ａ）及び（ｂ）はベアリングの蓋体を示す正面図及
び一部を断面とした側面図、第11図は第10図−（ａ）の
II−II断面図、第12図は蓋体に嵌合する案内片を示す斜
視図、第13図−（ａ），（ｂ）及び第14図−（ａ），
（ｂ）はベアリングのボール保持器を示す平面図及び正
面図、第15図は本発明におけるリニアアクチュエータの
第二実施例を示す正面断面図、第16図は第二実施例に係
るリニアアクチュエータのベアリング組付け状態を示す
拡大図、第17図及び第18図は第二実施例に係るリニアア
クチュエータのベアリングを示す側面図及び平面図、第
19図及び第20図は従来のリニアアクチュエータを示す正
面断面図である。 ［符号の説明］ 1:エアシリンダ本体、2:ピストン部材 3:軌道台、4:摺動台 5:テーブル、8:ボール 9:シム

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】長尺方向に沿ってスリットが形成されたエ
   アシリンダ本体と、上記スリットよりエアシリンダ本体
   外へ突出する頭部を有し、圧縮空気により上記エアシリ
   ンダ本体内を往復運動するピストン部材と、このピスト
   ン部材の頭部に係合され、ピストン部材に連動して往復
   運動する可動部材と、上記エアシリンダ本体の両肩部に
   配設されて上記可動部材を直線案内する一対のベアリン
   グとを備えたリニアアクチュエータにおいて、 上記ベアリングは、 断面略矩形状に形成され、一方の側面には下向きに傾斜
   するボール転走溝を、他方の側面には上向きに傾斜する
   ボール転走溝を夫々長尺方向に沿って有し、上記エアシ
   リンダ本体の両肩部に配設される軌道台と、 水平部の両端から垂下する一対の袖部を有し、一方の袖
   部には軌道台の下向きボール転走面に相対面して上向き
   に傾斜する負荷ボール溝を有する負荷域が、他方の袖部
   には軌道台の上向きボール転走面に相対面して下向きに
   傾斜する負荷ボール溝が有する負荷域が形成されると共
   に、これ負荷域の両端を連通連結して無限軌道を構成す
   る無負荷域が夫々の袖部に形成され、上記軌道台に沿っ
   て移動する摺動台と、 上記無限軌道内を循環して摺動台の負荷ボール溝と軌道
   台のボール転走溝との間で荷重を負荷する多数のボール
   とから構成され、 結合ボルトを用いて上記可動部材を摺動台に固定する際
   に、上向き負荷ボール溝が形成された袖部を下向き負荷
   ボール溝が形成された袖部よりも余分に可動部材側へ引
   きつけ、これによって上記ボールに予圧を付与すること
   を特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 【請求項２】結合ボルトを用いて上記可動部材を摺動台
   に固定する際に、下向き負荷ボール溝が形成された袖部
   側の摺動台上面と可動部材下面との間にシムを介装し、
   これによって上向き負荷ボール溝が形成された袖部を下
   向き負荷ボール溝が形成された袖部よりも余分に可動部
   材側へ引きつけることを特徴とする請求項１記載のリニ
   アアクチュエータ。
3. 【請求項３】長尺方向に沿ってスリットが形成されたエ
   アシリンダ本体と、上記スリットよりエアシリンダ本体
   外へ突出する頭部を有し、圧縮空気により上記エアシリ
   ンダ本体内を往復運動するピストン部材と、このピスト
   ン部材の頭部に係合され、ピストン部材に連動して往復
   運動する可動部材と、上記エアシリンダ本体の両肩部に
   配設されて上記可動部材を直線案内する一対のベアリン
   グとを備えたリニアアクチュエータにおいて、 上記ベアリングは、 左右両側面に上向きあるいは下向きに傾斜するボール転
   走溝を夫々長尺方向に沿って有し、上記エアシリンダ本
   体の両肩部に配設された軌道台と、 上記ボール転走溝に相対面する負荷ボール溝を有する負
   荷域とこの負荷域の両端を連通連結する無負荷域とから
   なる無限軌道を備え、上記軌道台に沿って移動する摺動
   台と、 上記無限軌道内を循環して摺動台の負荷ボール溝と軌道
   台のボール転走溝との間で荷重を負荷する多数のボール
   とから構成され、 上記ボールの直径を、上記負荷ボール溝とボール転走溝
   との間隙より大きくとることにより上記ボールに予圧を
   付与することを特徴とするリニアアクチュエータ。