JPH0782035A - サイアロン・窒化アルミニウム複合粉末の製造方法 - Google Patents
サイアロン・窒化アルミニウム複合粉末の製造方法Info
- Publication number
- JPH0782035A JPH0782035A JP5174894A JP17489493A JPH0782035A JP H0782035 A JPH0782035 A JP H0782035A JP 5174894 A JP5174894 A JP 5174894A JP 17489493 A JP17489493 A JP 17489493A JP H0782035 A JPH0782035 A JP H0782035A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sialon
- powder
- aluminium nitride
- aluminum nitride
- ratio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 title abstract 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 37
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 18
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 abstract description 3
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 4
- 238000001354 calcination Methods 0.000 abstract 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 5
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 5
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 サイアロン／窒化アルミニウム比を正確に、
かつ再現性良く制御し得るサイアロン・窒化アルミニウ
ム複合粉末の製造法を提供すること。 【構成】 一般式：Si6-ZAlZOZN8-Z（Z≦4.2）で表され
るサイアロン粉末に炭素質粉末を添加混合し、窒素気流
中1500〜1700℃で１時間以上焼成すること。 【効果】 本発明は、出発原料としてサイアロン粉末と
炭素質粉末を用いるものであり、焼成時にサイアロンの
還元窒化により窒化アルミニウムの生成反応のみが生
じ、この窒化アルミニウムの生成量は、添加する炭素量
によって一義的に決定され、炭素が消費された時点で反
応は完結する。このため、サイアロン／窒化アルミニウ
ム比が正確に制御された、再現性可能なサイアロン・窒
化アルミニウム複合粉末が得られる。
かつ再現性良く制御し得るサイアロン・窒化アルミニウ
ム複合粉末の製造法を提供すること。 【構成】 一般式：Si6-ZAlZOZN8-Z（Z≦4.2）で表され
るサイアロン粉末に炭素質粉末を添加混合し、窒素気流
中1500〜1700℃で１時間以上焼成すること。 【効果】 本発明は、出発原料としてサイアロン粉末と
炭素質粉末を用いるものであり、焼成時にサイアロンの
還元窒化により窒化アルミニウムの生成反応のみが生
じ、この窒化アルミニウムの生成量は、添加する炭素量
によって一義的に決定され、炭素が消費された時点で反
応は完結する。このため、サイアロン／窒化アルミニウ
ム比が正確に制御された、再現性可能なサイアロン・窒
化アルミニウム複合粉末が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、サイアロン・窒化アル
ミニウム複合粉末の製造方法に関し、詳細には、サイア
ロンと窒化アルミニウムの量比をばらつきなく、所望の
量比に制御することができるサイアロン・窒化アルミニ
ウム複合粉末の製造方法に関する。
ミニウム複合粉末の製造方法に関し、詳細には、サイア
ロンと窒化アルミニウムの量比をばらつきなく、所望の
量比に制御することができるサイアロン・窒化アルミニ
ウム複合粉末の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】サイアロン・窒化アルミニウム複合粉末
は、サイアロンの持つ高強度、高耐熱性と窒化アルミニ
ウムの持つ高熱伝導性とを活かした複合セラミックス原
料として有望視されている。また、この複合粉末は、窒
化けい素焼結体の高温強度特性の改善に有効な添加材と
しても期待されている。
は、サイアロンの持つ高強度、高耐熱性と窒化アルミニ
ウムの持つ高熱伝導性とを活かした複合セラミックス原
料として有望視されている。また、この複合粉末は、窒
化けい素焼結体の高温強度特性の改善に有効な添加材と
しても期待されている。
【０００３】このようなサイアロン・窒化アルミニウム
複合粉末は、従来より、SiO2粉末、Al2O3粉末及び炭素
質粉末の混合粉末を窒素気流中で焼成する還元窒化法に
より合成できることが知られている。そして、その温度
及び時間を調節することにより、サイアロンと窒化アル
ミニウムとの量比を調節している。
複合粉末は、従来より、SiO2粉末、Al2O3粉末及び炭素
質粉末の混合粉末を窒素気流中で焼成する還元窒化法に
より合成できることが知られている。そして、その温度
及び時間を調節することにより、サイアロンと窒化アル
ミニウムとの量比を調節している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来法によっても
サイアロン・窒化アルミニウム複合粉末は得られるが、
この従来法では、サイアロンと窒化アルミニウムの量比
がばらつき易く、その量比を正確に制御することが困難
であるという欠点を有している。
サイアロン・窒化アルミニウム複合粉末は得られるが、
この従来法では、サイアロンと窒化アルミニウムの量比
がばらつき易く、その量比を正確に制御することが困難
であるという欠点を有している。
【０００５】本発明者等は、サイアロン・窒化アルミニ
ウム複合粉末のサイアロン／窒化アルミニウム比を正確
に、かつ再現性良く制御する方法について、鋭意研究を
重ねた結果、本発明を完成したものであって、本発明の
目的は、該比のばらつきがなく、所望比の複合粉末を再
現性良く、容易に合成し得るサイアロン・窒化アルミニ
ウム複合粉末の製造法を提供することにある。
ウム複合粉末のサイアロン／窒化アルミニウム比を正確
に、かつ再現性良く制御する方法について、鋭意研究を
重ねた結果、本発明を完成したものであって、本発明の
目的は、該比のばらつきがなく、所望比の複合粉末を再
現性良く、容易に合成し得るサイアロン・窒化アルミニ
ウム複合粉末の製造法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、サイアロン・
窒化アルミニウム複合粉末の製造法において、原料とし
てサイアロン単相粉末及び炭素質粉末を用い、この混合
粉末を所定の焼成温度及び時間で熱処理することを特徴
とし、これによって上記目的とする所望のサイアロン／
窒化アルミニウム比を有する複合粉末を製造するもので
ある。
窒化アルミニウム複合粉末の製造法において、原料とし
てサイアロン単相粉末及び炭素質粉末を用い、この混合
粉末を所定の焼成温度及び時間で熱処理することを特徴
とし、これによって上記目的とする所望のサイアロン／
窒化アルミニウム比を有する複合粉末を製造するもので
ある。
【０００７】即ち、本発明は、「一般式Si6-ZAlZOZN8-Z
（Z≦4.2）で表されるサイアロン粉末に炭素質粉末を添
加混合し、窒素気流中1500〜1700℃で１時間以上焼成す
ることを特徴とするサイアロン・窒化アルミニウム複合
粉末の製造方法。」を要旨とする。
（Z≦4.2）で表されるサイアロン粉末に炭素質粉末を添
加混合し、窒素気流中1500〜1700℃で１時間以上焼成す
ることを特徴とするサイアロン・窒化アルミニウム複合
粉末の製造方法。」を要旨とする。
【０００８】以下、本発明を詳細に説明する。本発明で
原料として使用するサイアロン粉末は、その製造法等に
ついて特に限定するものではなく、一般式Si6-ZAlZOZN
8-Z(Z≦4.2)で表される粉末であれば、いずれの製造法
で得られたものでも任意に使用することができる。例え
ば、SiO2粉末、Al2O3粉末及び炭素質粉末の混合粉末を
窒素気流中で焼成した後、残余の炭素を酸化除去して得
られるサイアロン粉末を使用することができる。
原料として使用するサイアロン粉末は、その製造法等に
ついて特に限定するものではなく、一般式Si6-ZAlZOZN
8-Z(Z≦4.2)で表される粉末であれば、いずれの製造法
で得られたものでも任意に使用することができる。例え
ば、SiO2粉末、Al2O3粉末及び炭素質粉末の混合粉末を
窒素気流中で焼成した後、残余の炭素を酸化除去して得
られるサイアロン粉末を使用することができる。
【０００９】本発明は、上記したサイアロン粉末に炭素
質粉末を添加混合し、窒素気流中で所定温度(1500〜170
0℃)及び所定時間(１時間以上)で焼成することを特徴と
するものである。この際添加する炭素質粉末の量は、窒
化アルミニウム含有量が内比でｘ重量％のサイアロン・
窒化アルミニウム複合粉末を得ようとする場合、原料サ
イアロン粉末に炭素(C)換算で「900ｘ／(14ｘ＋3075)重
量％」の炭素質粉末を内割り添加する。
質粉末を添加混合し、窒素気流中で所定温度(1500〜170
0℃)及び所定時間(１時間以上)で焼成することを特徴と
するものである。この際添加する炭素質粉末の量は、窒
化アルミニウム含有量が内比でｘ重量％のサイアロン・
窒化アルミニウム複合粉末を得ようとする場合、原料サ
イアロン粉末に炭素(C)換算で「900ｘ／(14ｘ＋3075)重
量％」の炭素質粉末を内割り添加する。
【００１０】焼成温度としては、1500℃未満では、窒化
アルミニウムの生成が進行せず、所望のサイアロン／窒
化アルミニウム比を有する複合体が得られず(後記比較
例１参照)、一方、1700℃を越える温度では、サイアロ
ンが熱分解を起こす危険性があり、その結果として所望
量比以上の窒化アルミニウム含有量となり(後記比較例
２参照)、いずれも好ましくない。焼成時間に関して
は、１時間未満では反応が完結せず、所望のサイアロン
／窒化アルミニウム比が得られないので好ましくない
(後記比較例３参照)。上記好ましい焼成温度範囲(1500
〜1700℃)内であれば、焼成時間を長くしても問題はな
いが、10時間程度で十分であり、それ以上焼成時間を長
くしても経済的に不利になるだけである。
アルミニウムの生成が進行せず、所望のサイアロン／窒
化アルミニウム比を有する複合体が得られず(後記比較
例１参照)、一方、1700℃を越える温度では、サイアロ
ンが熱分解を起こす危険性があり、その結果として所望
量比以上の窒化アルミニウム含有量となり(後記比較例
２参照)、いずれも好ましくない。焼成時間に関して
は、１時間未満では反応が完結せず、所望のサイアロン
／窒化アルミニウム比が得られないので好ましくない
(後記比較例３参照)。上記好ましい焼成温度範囲(1500
〜1700℃)内であれば、焼成時間を長くしても問題はな
いが、10時間程度で十分であり、それ以上焼成時間を長
くしても経済的に不利になるだけである。
【００１１】
【作用】SiO2粉末、Al2O3粉末及び炭素粉末の混合粉末
を窒素気流中で焼成する従来の方法でサイアロン・窒化
アルミニウム複合粉末を製造する場合、そのサイアロン
／窒化アルミニウム比は、焼成温度及び時間で制御する
必要があるが、この場合サイアロンの生成と窒化アルミ
ニウムの生成とが平行して進行するため、この量比にば
らつきが生じる(後記比較例４〜７参照)。
を窒素気流中で焼成する従来の方法でサイアロン・窒化
アルミニウム複合粉末を製造する場合、そのサイアロン
／窒化アルミニウム比は、焼成温度及び時間で制御する
必要があるが、この場合サイアロンの生成と窒化アルミ
ニウムの生成とが平行して進行するため、この量比にば
らつきが生じる(後記比較例４〜７参照)。
【００１２】これに対して、本発明の方法によれば、出
発原料がサイアロン粉末と炭素質粉末であり、焼成時に
はサイアロンの還元窒化により窒化アルミニウムの生成
反応のみが生じる。ここで生成する窒化アルミニウムの
量は、添加する炭素量によって一義的に決定され(後記
実施例１〜６参照)、炭素が消費された時点で反応は完
結する。このため、本発明の方法ではサイアロン／窒化
アルミニウム比が正確に制御された複合粉末が得られ
る。
発原料がサイアロン粉末と炭素質粉末であり、焼成時に
はサイアロンの還元窒化により窒化アルミニウムの生成
反応のみが生じる。ここで生成する窒化アルミニウムの
量は、添加する炭素量によって一義的に決定され(後記
実施例１〜６参照)、炭素が消費された時点で反応は完
結する。このため、本発明の方法ではサイアロン／窒化
アルミニウム比が正確に制御された複合粉末が得られ
る。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を比較例と共に挙げ、
本発明をより詳細に説明する。
本発明をより詳細に説明する。
【００１４】（実施例１〜６）まず、原料として用いる
サイアロン粉末を合成した。即ちSiO2微粉末とAl2O3微
粉末及びカ−ボンブラックをSi：Al：Cの原子比が1：0.
9：3になるように配合混合し、窒素気流中1430℃で４時
間焼成した。その後、残余のカ−ボンを空気中730℃で
酸化除去した。得られた粉末をＸ線回折で同定したとこ
ろ、サイアロン単相粉末であった。
サイアロン粉末を合成した。即ちSiO2微粉末とAl2O3微
粉末及びカ−ボンブラックをSi：Al：Cの原子比が1：0.
9：3になるように配合混合し、窒素気流中1430℃で４時
間焼成した。その後、残余のカ−ボンを空気中730℃で
酸化除去した。得られた粉末をＸ線回折で同定したとこ
ろ、サイアロン単相粉末であった。
【００１５】次に、上記サイアロン粉末に表１に示す量
のカ−ボンブラックを添加混合し、窒素気流中で表１に
示す温度、時間で焼成した。それぞれの条件で３回の合
成を行い、得られた粉末(合成１〜３)中の窒化アルミニ
ウム量をＸ線回折により定量した結果を表１に示した。
のカ−ボンブラックを添加混合し、窒素気流中で表１に
示す温度、時間で焼成した。それぞれの条件で３回の合
成を行い、得られた粉末(合成１〜３)中の窒化アルミニ
ウム量をＸ線回折により定量した結果を表１に示した。
【００１６】（比較例１〜３）比較のため、本発明で規
定する焼成温度(1500〜1700℃)又は時間(1〜10時間)の
範囲外で焼成する点を除いて、上記実施例と同様の方法
でサイアロン・窒化アルミニウム複合粉末を製造した。
即ち、原料として上記実施例と同一のサイアロン粉末を
用い、比較例１では1450℃で、比較例２では1750℃で、
また、比較例３では0.5時間で焼成した。その結果を表
１に併記した。
定する焼成温度(1500〜1700℃)又は時間(1〜10時間)の
範囲外で焼成する点を除いて、上記実施例と同様の方法
でサイアロン・窒化アルミニウム複合粉末を製造した。
即ち、原料として上記実施例と同一のサイアロン粉末を
用い、比較例１では1450℃で、比較例２では1750℃で、
また、比較例３では0.5時間で焼成した。その結果を表
１に併記した。
【００１７】
【表１】
【００１８】表１から明らかなように、サイアロン単相
粉末を原料として用い、かつ本発明で規定する焼成温度
(1500〜1700℃)及び時間(１時間以上)の範囲内で製造し
たサイアロン・窒化アルミニウム複合粉末(実施例１〜
６)は、サイアロン／窒化アルミニウム比にばらつきが
認められず、所望比(目標とする窒化アルミニウム量)の
ものが得られた。
粉末を原料として用い、かつ本発明で規定する焼成温度
(1500〜1700℃)及び時間(１時間以上)の範囲内で製造し
たサイアロン・窒化アルミニウム複合粉末(実施例１〜
６)は、サイアロン／窒化アルミニウム比にばらつきが
認められず、所望比(目標とする窒化アルミニウム量)の
ものが得られた。
【００１９】これに対し、本発明と同様サイアロン単相
粉末を原料として使用するが、本発明で規定する温度範
囲(1500〜1700℃)外の1450℃で焼成した比較例１では、
目標とする窒化アルミニウムが生成せず、所望比の複合
体が得られなかった。また、本発明で規定する焼成時間
(１時間以上)の範囲外である0.5時間で焼成した比較例
３でも、同じく目標とする窒化アルミニウムが生成せ
ず、所望比の複合体が得られなかった。
粉末を原料として使用するが、本発明で規定する温度範
囲(1500〜1700℃)外の1450℃で焼成した比較例１では、
目標とする窒化アルミニウムが生成せず、所望比の複合
体が得られなかった。また、本発明で規定する焼成時間
(１時間以上)の範囲外である0.5時間で焼成した比較例
３でも、同じく目標とする窒化アルミニウムが生成せ
ず、所望比の複合体が得られなかった。
【００２０】更に、本発明で規定する温度範囲(1500〜1
700℃)外の1750℃で焼成した比較例２では、目標とする
窒化アルミニウムが10wt％であるにもかかわらず、23.5
〜32.2wt％含有する複合体が得られ、所望比のものが得
られなかった。
700℃)外の1750℃で焼成した比較例２では、目標とする
窒化アルミニウムが10wt％であるにもかかわらず、23.5
〜32.2wt％含有する複合体が得られ、所望比のものが得
られなかった。
【００２１】（比較例４〜７）従来法との比較のため、
実施例１〜６でサイアロン単相粉末を合成するのに用い
た原料、即ちSiO2微粉末とAl2O3微粉末及びカ−ボンブ
ラックをSi：Al：Cの原子比が1：0.9：3になるように配
合、混合した粉末を窒素気流中で表２に示す温度、時間
で焼成し、その後、残余のカ−ボンを酸化除去した。そ
れぞれの条件で３回の合成を行い、得られた粉末中の窒
化アルミニウム量をＸ線回折により定量した。その結果
を表２に示す。
実施例１〜６でサイアロン単相粉末を合成するのに用い
た原料、即ちSiO2微粉末とAl2O3微粉末及びカ−ボンブ
ラックをSi：Al：Cの原子比が1：0.9：3になるように配
合、混合した粉末を窒素気流中で表２に示す温度、時間
で焼成し、その後、残余のカ−ボンを酸化除去した。そ
れぞれの条件で３回の合成を行い、得られた粉末中の窒
化アルミニウム量をＸ線回折により定量した。その結果
を表２に示す。
【００２２】
【表２】
【００２３】表２から、従来法(原料としてSiO2、Al
2O3、Cを用いたもの)では、本発明で規定する焼成温度
及び時間の範囲内で焼成しても、サイアロン／窒化アル
ミニウム比にばらつきがみられ、その比を正確に、かつ
再現性良く制御することができなかった。
2O3、Cを用いたもの)では、本発明で規定する焼成温度
及び時間の範囲内で焼成しても、サイアロン／窒化アル
ミニウム比にばらつきがみられ、その比を正確に、かつ
再現性良く制御することができなかった。
【００２４】
【発明の効果】本発明は、以上詳記したとおり、サイア
ロン単相粉体及び炭素質粉末を原料として使用し、この
混合粉末を所定温度範囲(1500〜1700℃)及び所定時間
(１時間以上)で焼成することにより、サイアロン／窒化
アルミニウム比にばらつきがなく、所望比に制御された
サイアロン・窒化アルミニウム複合粉末が得られる効果
を有する。
ロン単相粉体及び炭素質粉末を原料として使用し、この
混合粉末を所定温度範囲(1500〜1700℃)及び所定時間
(１時間以上)で焼成することにより、サイアロン／窒化
アルミニウム比にばらつきがなく、所望比に制御された
サイアロン・窒化アルミニウム複合粉末が得られる効果
を有する。
Claims (1)
- 【請求項１】 一般式Si6-ZAlZOZN8-Z（Z≦4.2）で表さ
れるサイアロン粉末に炭素質粉末を添加混合し、窒素気
流中1500〜1700℃で１時間以上焼成することを特徴とす
るサイアロン・窒化アルミニウム複合粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5174894A JPH0782035A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | サイアロン・窒化アルミニウム複合粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5174894A JPH0782035A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | サイアロン・窒化アルミニウム複合粉末の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0782035A true JPH0782035A (ja) | 1995-03-28 |
Family
ID=15986549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5174894A Pending JPH0782035A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | サイアロン・窒化アルミニウム複合粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0782035A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6287489B1 (en) | 1999-04-07 | 2001-09-11 | Sandvik Ab | Method for making a sintered composite body |
| WO2008060164A1 (en) * | 2006-11-17 | 2008-05-22 | Dynatrend As | A method and a device for detection of rubbing between a stator and a rotor of a turbo-machine |
-
1993
- 1993-06-22 JP JP5174894A patent/JPH0782035A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6287489B1 (en) | 1999-04-07 | 2001-09-11 | Sandvik Ab | Method for making a sintered composite body |
| WO2008060164A1 (en) * | 2006-11-17 | 2008-05-22 | Dynatrend As | A method and a device for detection of rubbing between a stator and a rotor of a turbo-machine |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4117095A (en) | Method of making α type silicon nitride powder | |
| US4428916A (en) | Method of making α-silicon nitride powder | |
| JPS61151006A (ja) | 窒化アルミニウム質粉末の製造方法 | |
| GB2132182A (en) | Process for preparation of silicon nitride powder of good sintering property | |
| JP3290686B2 (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JPH0782035A (ja) | サイアロン・窒化アルミニウム複合粉末の製造方法 | |
| JPS6047205B2 (ja) | 窒化ケイ素質粉末の製造方法 | |
| KR890005328B1 (ko) | 슬라이딩부품용 질화규소 세라믹소결체 | |
| JPH03261611A (ja) | 窒化けい素複合粉末の製造方法 | |
| JPH0355402B2 (ja) | ||
| JPS62875B2 (ja) | ||
| JP2855460B2 (ja) | 窒化けい素系複合粉末の製造方法 | |
| JP2582281B2 (ja) | 金属窒化物紛末の製造方法 | |
| JPS61155209A (ja) | 易焼結性窒化アルミニウム粉の製造方法 | |
| JP3271123B2 (ja) | 窒化珪素と窒化硼素との複合体の製造方法 | |
| JP2742622B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JPH0648839A (ja) | 窒化ホウ素焼結体の製造方法 | |
| JP3162739B2 (ja) | β−サイアロン粉末の合成方法 | |
| JPS6183606A (ja) | 易焼結性窒化アルミニウム質粉末の製造方法 | |
| JP2801447B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JP2518409B2 (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JP3124862B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JPS6229365B2 (ja) | ||
| JP2931649B2 (ja) | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 | |
| JPS58135112A (ja) | アルミニウム酸窒化物の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071005 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081005 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091005 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101005 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111005 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |