JPH0786369B2 - 角スライド静圧支承装置 - Google Patents
角スライド静圧支承装置Info
- Publication number
- JPH0786369B2 JPH0786369B2 JP1024776A JP2477689A JPH0786369B2 JP H0786369 B2 JPH0786369 B2 JP H0786369B2 JP 1024776 A JP1024776 A JP 1024776A JP 2477689 A JP2477689 A JP 2477689A JP H0786369 B2 JPH0786369 B2 JP H0786369B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static pressure
- pressure bearing
- pressure
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0629—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion
- F16C32/064—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion the liquid being supplied under pressure
- F16C32/0651—Details of the bearing area per se
- F16C32/0659—Details of the bearing area per se of pockets or grooves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、断面四辺形の案内孔が形成され、案内孔の
各案内面には、静圧支承面が形成されている雌部材と、
断面四辺形であり、雌部材の案内孔に滑動自在に嵌合さ
れている雄部材との間で相対滑動が行われる角スライド
静圧支承装置に関する。
各案内面には、静圧支承面が形成されている雌部材と、
断面四辺形であり、雌部材の案内孔に滑動自在に嵌合さ
れている雄部材との間で相対滑動が行われる角スライド
静圧支承装置に関する。
従来の技術による断面四辺形の案内孔２が形成され、案
内孔２の各案内面には、静圧支承面が形成されている雌
部材１と、断面四辺形であり、雌部材の案内孔に滑動自
在に嵌合されている雄部材３との間で相対滑動が行われ
る角スライド静圧支承装置においては、案内孔の４面あ
る各案内面24に具備された静圧支承面25は、第５図に示
すようにピッチング（滑動軸線に垂直な軸線回りの揺
動）に対応するべく滑動軸線方向に適宜の箇所に、例え
ば案内面と同幅の静圧支承面25が案内面24の両端部の夫
々に形成されている。
内孔２の各案内面には、静圧支承面が形成されている雌
部材１と、断面四辺形であり、雌部材の案内孔に滑動自
在に嵌合されている雄部材３との間で相対滑動が行われ
る角スライド静圧支承装置においては、案内孔の４面あ
る各案内面24に具備された静圧支承面25は、第５図に示
すようにピッチング（滑動軸線に垂直な軸線回りの揺
動）に対応するべく滑動軸線方向に適宜の箇所に、例え
ば案内面と同幅の静圧支承面25が案内面24の両端部の夫
々に形成されている。
各静圧支承面25には、ローリング（滑動軸線回りの揺
動）に対応するべき長方形の静圧ポケット26が横方向に
併設され、各静圧ポケット26の周囲には、ランド28が形
成され、中心には、図示されない圧油源に連通された圧
油供給ノズル29が静圧支承面25に垂直に開口している。
動）に対応するべき長方形の静圧ポケット26が横方向に
併設され、各静圧ポケット26の周囲には、ランド28が形
成され、中心には、図示されない圧油源に連通された圧
油供給ノズル29が静圧支承面25に垂直に開口している。
図示しない圧油源から圧油供給ノズル29に潤滑油が圧送
されると、圧油供給ノズル29で絞られた潤滑油は、静圧
ポケット26内で均一圧力となってランド28を通過して外
部に流出し、大気圧に解放される。
されると、圧油供給ノズル29で絞られた潤滑油は、静圧
ポケット26内で均一圧力となってランド28を通過して外
部に流出し、大気圧に解放される。
かくして、雌部材１と雄部材３との間の負荷による静圧
支承面についての隙間変動に対して剛性を備えた静圧支
承によつて雌部材１と雄部材３との一方が他方に案内さ
れ、横線方向に相対滑動する。
支承面についての隙間変動に対して剛性を備えた静圧支
承によつて雌部材１と雄部材３との一方が他方に案内さ
れ、横線方向に相対滑動する。
そうして、滑動する可動側のローリングに対する剛性
（角剛性）は、両静圧ポケット26,26によりもたらさ
れ、両静圧ポケット26,26の中心間隔の大きさの２乗に
比例する。
（角剛性）は、両静圧ポケット26,26によりもたらさ
れ、両静圧ポケット26,26の中心間隔の大きさの２乗に
比例する。
同じくピッチングに対する剛性は、案内面の両端部に形
成された静圧支承面25,25によりもたらされ、その大き
さは、両静圧支承面25,25の中心間隔の大きさの２乗に
比例する。
成された静圧支承面25,25によりもたらされ、その大き
さは、両静圧支承面25,25の中心間隔の大きさの２乗に
比例する。
従来の技術による角スライド静圧支承装置においては、
静圧支承面25の横幅に対し両静圧ポケット26,26の中心
間隔が半分以下となるため、滑動する可動側のローリン
グに対する剛性（角剛性）は、余り大きくない。
静圧支承面25の横幅に対し両静圧ポケット26,26の中心
間隔が半分以下となるため、滑動する可動側のローリン
グに対する剛性（角剛性）は、余り大きくない。
しかも、角スライド静圧支承装置においては、平スライ
ド静圧支承装置に比較して独立した静圧ポケットの数が
多くなり、それに応じて圧油供給ノズルの数も多くなる
のに、圧油供給ノズルの径は小さくできないため、ラン
ドを通過する流量が増加し、流量条件が悪くなる。流量
条件を維持するためには、ランドの面積を狭くしてもよ
いが、それにも限界があるので、支承隙間を大きくする
必要がある。そうすると、剛性の低下を招くことにな
る。
ド静圧支承装置に比較して独立した静圧ポケットの数が
多くなり、それに応じて圧油供給ノズルの数も多くなる
のに、圧油供給ノズルの径は小さくできないため、ラン
ドを通過する流量が増加し、流量条件が悪くなる。流量
条件を維持するためには、ランドの面積を狭くしてもよ
いが、それにも限界があるので、支承隙間を大きくする
必要がある。そうすると、剛性の低下を招くことにな
る。
この発明による角スライド静圧支承装置においては、断
面四辺形の案内孔が形成され、案内孔の各案内面には、
静圧支承面が形成されている雌部材と、断面四辺形であ
り、雌部材の案内孔に滑動自在に嵌合されている雄部材
との間で相対滑動が行われ、静圧支承面には、滑動方向
に伸び、圧油供給ノズルが開口した縦溝を備えた第１静
圧ポケットと該第１静圧ポケットの両側から分岐した第
２静圧ポケットとが形成され、第２静圧ポケットは、滑
動方向に延びた頭溝と、滑動方向に直交する方向に伸
び、且つ頭溝と第１静圧ポケットとを接続する脚溝とで
構成され、脚溝が頭溝及び第１静圧ポケットより浅い絞
りとして形成されている。
面四辺形の案内孔が形成され、案内孔の各案内面には、
静圧支承面が形成されている雌部材と、断面四辺形であ
り、雌部材の案内孔に滑動自在に嵌合されている雄部材
との間で相対滑動が行われ、静圧支承面には、滑動方向
に伸び、圧油供給ノズルが開口した縦溝を備えた第１静
圧ポケットと該第１静圧ポケットの両側から分岐した第
２静圧ポケットとが形成され、第２静圧ポケットは、滑
動方向に延びた頭溝と、滑動方向に直交する方向に伸
び、且つ頭溝と第１静圧ポケットとを接続する脚溝とで
構成され、脚溝が頭溝及び第１静圧ポケットより浅い絞
りとして形成されている。
図示しない圧油源から圧油供給ノズルに潤滑油が圧送さ
れると、圧油供給ノズルで絞られた潤滑油は、第１静圧
ポケット内で均一圧力となって流れると共に、第２静圧
ポケットの脚溝で更に絞られた上、頭溝に流出して均一
圧力となり、第１静圧ポケット及び第２静圧ポケットか
らランドを通過して外部に流出し、大気圧に解放され
る。
れると、圧油供給ノズルで絞られた潤滑油は、第１静圧
ポケット内で均一圧力となって流れると共に、第２静圧
ポケットの脚溝で更に絞られた上、頭溝に流出して均一
圧力となり、第１静圧ポケット及び第２静圧ポケットか
らランドを通過して外部に流出し、大気圧に解放され
る。
かくして、雌部材と雄部材との間の負荷による静圧支承
面についての隙間変動に対して剛性を備えた静圧支承に
よつて雌部材と雄部材との一方が他方に案内され、軸線
方向に相対滑動する。
面についての隙間変動に対して剛性を備えた静圧支承に
よつて雌部材と雄部材との一方が他方に案内され、軸線
方向に相対滑動する。
そうして、滑動する可動側にローリングに対する剛性
（角剛性）は、第２静圧ポケット、即ち両頭溝における
油圧によりもたらされる。
（角剛性）は、第２静圧ポケット、即ち両頭溝における
油圧によりもたらされる。
この発明の実施例を図面に従って説明する。
第４図に示すように相対滑動する部材の一方の雌部材１
には、断面四辺形の案内孔２が形成されており、他方の
雄部材３は、断面四辺形であり、雌部材１の案内孔２に
滑動自在に嵌合されている。雌部材１と雄部材３との一
方が固定側であり他方が可動側である関係は、選択的に
とり得る。
には、断面四辺形の案内孔２が形成されており、他方の
雄部材３は、断面四辺形であり、雌部材１の案内孔２に
滑動自在に嵌合されている。雌部材１と雄部材３との一
方が固定側であり他方が可動側である関係は、選択的に
とり得る。
案内孔２の各案内面４（少なくとも両側面及び底面）に
は、第２図乃至第３図に示すような静圧支承面５が適宜
の箇所に、例えば第１図に示すように形成されている。
第１図は案内面４の一つを示し、案内面と同幅の静圧支
承面５が案内面４の滑動方向の両端部の夫々に形成され
ている。
は、第２図乃至第３図に示すような静圧支承面５が適宜
の箇所に、例えば第１図に示すように形成されている。
第１図は案内面４の一つを示し、案内面と同幅の静圧支
承面５が案内面４の滑動方向の両端部の夫々に形成され
ている。
静圧支承面５には、滑動方向の縦溝61とその前後端のポ
ケット、例えば滑動方向に垂直の横溝62、62とから成る
Ｈ字形で代表される第１静圧ポケット６及び第１静圧ポ
ケット６の縦溝61（の中心）から両側に分岐した絞りと
なる浅溝である脚溝71とその先端の静圧ポケット、例え
ば滑動方向の頭溝72から成るＴ字形で代表される第２静
圧ポケット７とが形成されている。そうして、第１静圧
ポケット６の横溝62及び第２静圧ポケット７の頭溝72の
外側には、適宜幅のランド8aが形成され、静圧支承面5,
5間には、凹み10が形成されている。
ケット、例えば滑動方向に垂直の横溝62、62とから成る
Ｈ字形で代表される第１静圧ポケット６及び第１静圧ポ
ケット６の縦溝61（の中心）から両側に分岐した絞りと
なる浅溝である脚溝71とその先端の静圧ポケット、例え
ば滑動方向の頭溝72から成るＴ字形で代表される第２静
圧ポケット７とが形成されている。そうして、第１静圧
ポケット６の横溝62及び第２静圧ポケット７の頭溝72の
外側には、適宜幅のランド8aが形成され、静圧支承面5,
5間には、凹み10が形成されている。
Ｈ字形静圧ポケット６の縦溝61・横溝62,62及び第２静
圧ポケット７の頭溝72は、実質的に同深（例えば数ミリ
メートル）の深溝で静圧ポケットとして機能し、第２静
圧ポケット７の脚溝71は、絞り溝として機能する浅溝
（深さは例えば数十ミクロン）である。
圧ポケット７の頭溝72は、実質的に同深（例えば数ミリ
メートル）の深溝で静圧ポケットとして機能し、第２静
圧ポケット７の脚溝71は、絞り溝として機能する浅溝
（深さは例えば数十ミクロン）である。
第１静圧ポケット６の縦溝61の中心には、図示されない
圧油源に連通された圧油供給ノズル９が静圧支承面５に
垂直に開口している。
圧油源に連通された圧油供給ノズル９が静圧支承面５に
垂直に開口している。
上記の角スライド静圧支承装置の作用について説明す
る。
る。
図示しない圧油源から圧油供給ノズル９に潤滑油が圧送
されると、圧油供給ノズル９で絞られた潤滑油は、第１
静圧ポケット６内で均一圧力となって流れると共に、第
２静圧ポケット７の横溝71で更に絞られた上、頭溝72に
流出して均一圧力となり、第１静圧ポケット６及び第２
静圧ポケット７からランド8aを通過して外部に流出し、
大気圧に解放される。
されると、圧油供給ノズル９で絞られた潤滑油は、第１
静圧ポケット６内で均一圧力となって流れると共に、第
２静圧ポケット７の横溝71で更に絞られた上、頭溝72に
流出して均一圧力となり、第１静圧ポケット６及び第２
静圧ポケット７からランド8aを通過して外部に流出し、
大気圧に解放される。
この間の各部における油圧状態は第３図に示す通りであ
る。又、縦溝61から頭溝72にかけてランド8bには、横溝
71とほぼ同じような圧力勾配が発生している。
る。又、縦溝61から頭溝72にかけてランド8bには、横溝
71とほぼ同じような圧力勾配が発生している。
かくして、雌部材１と雄部材３との間の負荷による静圧
支承面５についての隙間変動に対して剛性を備えた静圧
支承によつて雌部材１と雄部材３との一方が他方に案内
され、軸線方向に相対滑動する。
支承面５についての隙間変動に対して剛性を備えた静圧
支承によつて雌部材１と雄部材３との一方が他方に案内
され、軸線方向に相対滑動する。
そうして、滑動する可動側にローリングに対する剛性
（角剛性）は、両第２静圧ポケット7,7、即ち両頭溝72,
72における油圧によりもたらされ、両頭溝72,72の中心
間隔の大きさの２乗に比例する。
（角剛性）は、両第２静圧ポケット7,7、即ち両頭溝72,
72における油圧によりもたらされ、両頭溝72,72の中心
間隔の大きさの２乗に比例する。
同じくピッチングに対する剛性は、案内面４の両端部に
形成された静圧支承面5,5における油圧によりもたらさ
れる。ピッチングに対する剛性は、両静圧支承面5,5乃
至両横溝62,62の中心間隔の大きさの２乗に比例する。
形成された静圧支承面5,5における油圧によりもたらさ
れる。ピッチングに対する剛性は、両静圧支承面5,5乃
至両横溝62,62の中心間隔の大きさの２乗に比例する。
なお、第１静圧ポケット６の変形として、横溝62,62を
省略してＩ字形にしてもよい。
省略してＩ字形にしてもよい。
この発明による角スライド静圧支承装置においては、第
１静圧ポケット及び第２静圧ポケットとで可動側を高剛
性で支承できるため、安定した支持剛性を確保すること
ができる。
１静圧ポケット及び第２静圧ポケットとで可動側を高剛
性で支承できるため、安定した支持剛性を確保すること
ができる。
又、１つの圧油供給ノズルで分離独立した複数の静圧ポ
ケットに圧油を供給することができるので、ノズル径に
制約を受ける圧油供給ノズルの数が増加することがな
く、ランドを通過する流量の増加もなく、その結果、剛
性劣化の因となる流量条件の悪化もなく、高減衰性が期
待し得る。
ケットに圧油を供給することができるので、ノズル径に
制約を受ける圧油供給ノズルの数が増加することがな
く、ランドを通過する流量の増加もなく、その結果、剛
性劣化の因となる流量条件の悪化もなく、高減衰性が期
待し得る。
更に、各静圧支承面において中心間隔を大きくとれる第
２静圧ポケットの頭溝に発生する静圧により第１静圧ポ
ケット中心を軸線とした揺動（ローリング）に対する支
持剛性が高められるため、特に断面四辺形の角スライド
の各面の全てに適用することにより、ローリングに対す
る剛性を著しく高めることができる。
２静圧ポケットの頭溝に発生する静圧により第１静圧ポ
ケット中心を軸線とした揺動（ローリング）に対する支
持剛性が高められるため、特に断面四辺形の角スライド
の各面の全てに適用することにより、ローリングに対す
る剛性を著しく高めることができる。
第１図は、この発明の実施例における静圧支承面を備え
た案内面の平面図、 第２図は、この発明の実施例における静圧支承面の平面
図、 第３図は、この発明の実施例における静圧支承面の圧力
分布図、 第４図は、静圧支承面が適用される角スライドの斜視
図、 第５図は、従来の技術による静圧支承面を備えた案内面
の平面図である。 1:雌部材、2:案内孔、3:雄部材、4:案内面 5:静圧支承面、6:第１静圧ポケット、61:縦溝 62:横溝、7:第２静圧ポケット、71:脚溝、72:頭溝 8a,8b:ランド、9:圧油供給ノズル、10:凹み
た案内面の平面図、 第２図は、この発明の実施例における静圧支承面の平面
図、 第３図は、この発明の実施例における静圧支承面の圧力
分布図、 第４図は、静圧支承面が適用される角スライドの斜視
図、 第５図は、従来の技術による静圧支承面を備えた案内面
の平面図である。 1:雌部材、2:案内孔、3:雄部材、4:案内面 5:静圧支承面、6:第１静圧ポケット、61:縦溝 62:横溝、7:第２静圧ポケット、71:脚溝、72:頭溝 8a,8b:ランド、9:圧油供給ノズル、10:凹み
Claims (1)
- 【請求項１】断面四辺形の案内孔が形成され、案内孔の
各案内面には、静圧支承面が形成されている雌部材と、
断面四辺形であり、前記雌部材の案内孔に滑動自在に嵌
合されている雄部材との間で相対滑動が行われる角スラ
イド静圧支承装置であって、前記静圧支承面には、滑動
方向に伸び、圧油供給ノズルが開口した縦溝を備えた第
１静圧ポケットと、該第１静圧ポケットの両側から分岐
した第２静圧ポケットとが形成され、該第２静圧ポケッ
トは、滑動方向に伸びた頭溝と、滑動方向に直交する方
向に伸び、且つ前記頭溝と前記第１静圧ポケットとを接
続する脚溝とで構成され、前記脚溝が前記頭溝及び前記
第１静圧ポケットより浅い絞りとして形成されているこ
とを特徴とする角スライド静圧支承装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1024776A JPH0786369B2 (ja) | 1989-02-04 | 1989-02-04 | 角スライド静圧支承装置 |
| US07/469,318 US4974970A (en) | 1989-02-04 | 1990-01-24 | Hydrostatically supporting device for slide |
| EP90102016A EP0382096B1 (en) | 1989-02-04 | 1990-02-01 | Hydrostatically supporting device for slide |
| DE90102016T DE69002014T2 (de) | 1989-02-04 | 1990-02-01 | Hydrostatische Tragevorrichtung für eine Gleitführung. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1024776A JPH0786369B2 (ja) | 1989-02-04 | 1989-02-04 | 角スライド静圧支承装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02209620A JPH02209620A (ja) | 1990-08-21 |
| JPH0786369B2 true JPH0786369B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=12147579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1024776A Expired - Lifetime JPH0786369B2 (ja) | 1989-02-04 | 1989-02-04 | 角スライド静圧支承装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4974970A (ja) |
| EP (1) | EP0382096B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0786369B2 (ja) |
| DE (1) | DE69002014T2 (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3128709B2 (ja) * | 1992-08-04 | 2001-01-29 | 株式会社新川 | 非接触型移動テーブル |
| US5415470A (en) * | 1994-01-04 | 1995-05-16 | Centre De Recherches Camoplast Inc. | Clip for snowmobile track and snowmobile track provided with the same |
| US5568981A (en) * | 1994-08-19 | 1996-10-29 | Read-Rite Corporation | Negative pressure air bearing slider |
| CA2132807C (en) * | 1994-09-23 | 2001-05-01 | Denis Courtemanche | Track-belt for track driven vehicles |
| CA2194082A1 (en) * | 1996-10-02 | 1998-04-03 | Maurice Beaudoin | Stamped-metal clip for use with an endless track belt cooperating with slide rails |
| US6428210B1 (en) | 2000-07-11 | 2002-08-06 | Lintech Motion Control, Inc. | Precision air bearing slide and stage assembly for controlled linear motion |
| JP2002054634A (ja) * | 2000-08-07 | 2002-02-20 | Nippon Steel Corp | 静圧気体軸受 |
| JP2004144188A (ja) * | 2002-10-24 | 2004-05-20 | Nippon Steel Corp | 静圧気体軸受 |
| JP4335697B2 (ja) * | 2004-01-06 | 2009-09-30 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 油静圧直動案内装置 |
| US20080111977A1 (en) * | 2006-11-14 | 2008-05-15 | Asml Holding N.V. | Compensation techniques for fluid and magnetic bearings |
| JP5082929B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2012-11-28 | 株式会社ニコン | 流体軸受、ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| JP5035123B2 (ja) * | 2008-06-05 | 2012-09-26 | 株式会社デンソー | 油静圧スライド装置 |
| CN101769336B (zh) * | 2009-01-05 | 2013-02-13 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 空气导轨 |
| JP2013130260A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-07-04 | Canon Inc | 液体静圧直動案内装置 |
| JP6559937B2 (ja) * | 2014-10-28 | 2019-08-14 | 東芝機械株式会社 | 油静圧案内機構および工作機械 |
| CN106984979A (zh) * | 2017-04-09 | 2017-07-28 | 北京工业大学 | 一种井字形腔静压回转台油垫 |
| CN108916225B (zh) * | 2018-06-21 | 2019-11-15 | 南京理工大学 | 一种方形导轨用直线轴承 |
| CN117145866A (zh) * | 2023-08-15 | 2023-12-01 | 光力瑞弘电子科技有限公司 | 一种高刚度气浮轴承微结构及其气浮轴承 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1366075A (fr) * | 1963-05-21 | 1964-07-10 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif pour réduire les frottements entre deux corps en mouvement relatif |
| US3508430A (en) * | 1968-02-13 | 1970-04-28 | Nat Machinery Co The | Forging machine with hydrostatic bearings |
| GB1267515A (en) * | 1968-08-09 | 1972-03-22 | Marconi Co Ltd | Improvements in or relating to bearings |
| FR2512509A1 (fr) * | 1981-09-10 | 1983-03-11 | Commissariat Energie Atomique | Palier fluide de guidage pour arbre polygonal |
| DE3203126A1 (de) * | 1982-01-30 | 1983-08-04 | Závody t'ažkého strojárstva, N.P., 01841 Dubnica nad Váhom | Hydrostatisches axiallager |
| JPS5913119A (ja) * | 1982-07-09 | 1984-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧流体軸受 |
| JPS5913120A (ja) * | 1982-07-09 | 1984-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧流体軸受 |
| JPS60150950A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-08 | Hitachi Ltd | 案内装置 |
| JPH0230186Y2 (ja) * | 1985-11-19 | 1990-08-14 | ||
| EP0304090B1 (en) * | 1987-08-20 | 1994-07-27 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Hydrostatically supporting device for slide |
-
1989
- 1989-02-04 JP JP1024776A patent/JPH0786369B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-01-24 US US07/469,318 patent/US4974970A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-02-01 EP EP90102016A patent/EP0382096B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-02-01 DE DE90102016T patent/DE69002014T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4974970A (en) | 1990-12-04 |
| EP0382096A1 (en) | 1990-08-16 |
| EP0382096B1 (en) | 1993-06-23 |
| DE69002014D1 (de) | 1993-07-29 |
| JPH02209620A (ja) | 1990-08-21 |
| DE69002014T2 (de) | 1994-02-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02209620A (ja) | 角スライド静圧支承装置 | |
| US6012845A (en) | Self-compensating hydrostatic bearing with tape | |
| US4142661A (en) | Differential flow guiding air bearing | |
| US5980110A (en) | Manifold for self-compensating hydrostatic bearing with integral compensators | |
| DE2544872A1 (de) | Fluidlager | |
| DE3850825T2 (de) | Hydrostatische Lagerung für Gleitschiene. | |
| GB2119872A (en) | Linear slide bearing and table | |
| DE10113675B4 (de) | Automatisch ausrichtende Pressvorrichtung | |
| JPH0661666B2 (ja) | 摺動体の静圧支持装置 | |
| US3368850A (en) | Slot type hydrostatic bearings | |
| IT8348318A1 (it) | Unita' a cuscinetto a sfere lineare | |
| US3467447A (en) | Ball way package | |
| CN102478065A (zh) | 一种空气静压轴承及其应用 | |
| JPS6348809Y2 (ja) | ||
| JPH0643541Y2 (ja) | 摺動案内支持装置 | |
| IT8448251A1 (it) | Gruppo a cuscinetto a rulli di scorrimento lineare | |
| GB1599580A (en) | Slide shoe for hydrostatic piston machines | |
| JPH0645059Y2 (ja) | 摺動案内支持装置 | |
| JPH07103235A (ja) | 静圧直動気体軸受 | |
| JPS60188619A (ja) | 静圧気体スライダ軸受 | |
| DE2634821A1 (de) | Hydrostatische stuetzvorrichtung | |
| JPS60188621A (ja) | 空気軸受装置 | |
| JP3335924B2 (ja) | 自動調心型ローラ案内装置 | |
| DE2259604B2 (de) | Luftlager für optische Systeme | |
| JP3658821B2 (ja) | 姿勢制御型すべり案内装置 |