JPH02209620A - 角スライド静圧支承装置 - Google Patents
角スライド静圧支承装置Info
- Publication number
- JPH02209620A JPH02209620A JP1024776A JP2477689A JPH02209620A JP H02209620 A JPH02209620 A JP H02209620A JP 1024776 A JP1024776 A JP 1024776A JP 2477689 A JP2477689 A JP 2477689A JP H02209620 A JPH02209620 A JP H02209620A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static pressure
- groove
- pressure pocket
- pivotally mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 title claims abstract description 61
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract description 10
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 16
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 101100128281 Enterobacteria phage T4 rIII gene Proteins 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0629—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion
- F16C32/064—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion the liquid being supplied under pressure
- F16C32/0651—Details of the bearing area per se
- F16C32/0659—Details of the bearing area per se of pockets or grooves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、断面四辺形の案内孔が形成され、案内孔の
各案内面には、静圧支承面が形成されている雌部材と、
断面四辺形であり、雌部材の案内孔に滑動自在に嵌合さ
れている雄部材との間で相対滑動が行われる角スライド
静圧支承装置に関する。
各案内面には、静圧支承面が形成されている雌部材と、
断面四辺形であり、雌部材の案内孔に滑動自在に嵌合さ
れている雄部材との間で相対滑動が行われる角スライド
静圧支承装置に関する。
従来の技術による断面四辺形の案内孔２が形成され、案
内孔２の各案内面には、静圧支承面が形成されている雌
部材１と、断面四辺形であり、雌部材の案内孔に滑動自
在に嵌合されている雄部材３との間で相対滑動が行われ
る角スライド静圧支承装置においては、案内孔の４面あ
る各案内面２４に具備された静圧支承面２５は、第５図
に示すようにピッチング（滑動軸線に垂直な軸線回りの
揺動）に対応するべく滑動軸線方向に適宜の箇所に、例
えば案内面と同幅の静圧支承面２５が案内面２４の両端
部の夫々に形成されている。
内孔２の各案内面には、静圧支承面が形成されている雌
部材１と、断面四辺形であり、雌部材の案内孔に滑動自
在に嵌合されている雄部材３との間で相対滑動が行われ
る角スライド静圧支承装置においては、案内孔の４面あ
る各案内面２４に具備された静圧支承面２５は、第５図
に示すようにピッチング（滑動軸線に垂直な軸線回りの
揺動）に対応するべく滑動軸線方向に適宜の箇所に、例
えば案内面と同幅の静圧支承面２５が案内面２４の両端
部の夫々に形成されている。
各静圧支承面２５には、ローリング（滑動軸線回りの揺
動）に対応するべく長方形の静圧ポケット２６が横方向
に併設され、各静圧ポケット２６の周囲には、ランド２
８が形成され、中心には１図示されない圧油源に連通さ
れた圧油供給ノズル２９が静圧支承面２５に垂直に開［
］シている。
動）に対応するべく長方形の静圧ポケット２６が横方向
に併設され、各静圧ポケット２６の周囲には、ランド２
８が形成され、中心には１図示されない圧油源に連通さ
れた圧油供給ノズル２９が静圧支承面２５に垂直に開［
］シている。
図示しない圧油源から圧油供給ノズル２９に潤滑油が圧
送されると、圧油供給ノズル２９で絞られた潤滑油は、
静圧ポケット２６内で均一圧力となってランド２８を通
過して外部に流出し、大気圧に解放される。
送されると、圧油供給ノズル２９で絞られた潤滑油は、
静圧ポケット２６内で均一圧力となってランド２８を通
過して外部に流出し、大気圧に解放される。
かくして、雌部材Ｊと雄部材３との間の負荷シＪよる静
圧支承面についての隙間変動に対して剛性を備えた静圧
支承によって雌部材１と雄部材３との一方が他方に案内
され２軸線方向に相対滑動する。
圧支承面についての隙間変動に対して剛性を備えた静圧
支承によって雌部材１と雄部材３との一方が他方に案内
され２軸線方向に相対滑動する。
そうして、滑動する可動側のローリングに対する剛性（
角剛性）は１両静圧ポケット２６．２６によりもたらさ
れ、両静圧ポケット２６．２６の中心間隔の大きさの２
乗に比例する。
角剛性）は１両静圧ポケット２６．２６によりもたらさ
れ、両静圧ポケット２６．２６の中心間隔の大きさの２
乗に比例する。
同じくピッチングに対する剛性は、案内面の両端部に形
成された静圧支承面２５，２５によりもたらされ、その
大きさは、両静圧支承面２５，２５の中心間隔の大きさ
の２乗に比例する。
成された静圧支承面２５，２５によりもたらされ、その
大きさは、両静圧支承面２５，２５の中心間隔の大きさ
の２乗に比例する。
従来の技術による角スライド静圧支承装置においては、
静圧支承面２５の横幅に対し両静圧ポケット２６．２６
の中心間隔が半分以下となるため、滑動する可動側のロ
ーリングに対する剛性（角剛性）は、余り大きくない。
静圧支承面２５の横幅に対し両静圧ポケット２６．２６
の中心間隔が半分以下となるため、滑動する可動側のロ
ーリングに対する剛性（角剛性）は、余り大きくない。
しかも、角スライド静圧支承装置においては、平スライ
ド静圧支承装置に比較して独立した静圧ポケットの数が
多くなり、それに応じて圧油供給ノズルの数も多くなる
のに、圧油供給ノズルの径は小さくできないため、ラン
ドを通過する流量が増加し、流量条件が悪くなる。流量
条件を維持するためには、ランドの面積を狭くしてもよ
いが、そわにも限界があるので、支承隙間を大きくする
必要がある７そうすると、剛性の低下を招くことになる
。
ド静圧支承装置に比較して独立した静圧ポケットの数が
多くなり、それに応じて圧油供給ノズルの数も多くなる
のに、圧油供給ノズルの径は小さくできないため、ラン
ドを通過する流量が増加し、流量条件が悪くなる。流量
条件を維持するためには、ランドの面積を狭くしてもよ
いが、そわにも限界があるので、支承隙間を大きくする
必要がある７そうすると、剛性の低下を招くことになる
。
この発明による角スライド静圧支承装百においては、断
面四辺形の案内孔が形成され、案内孔の各案内面には、
静圧支承面が形成されている雌部材と、断面四辺形であ
り、雌部材の案内孔に滑動自在に嵌合されている雄部材
との間で相対滑動が行われ、静圧支承面には、少なくと
も滑動方向に伸びた縦溝から成り、且つ圧油供給ノズル
が開口している第１．静圧ポケットと第１静圧ポケット
の両側から横方向に分岐した絞りとなる浅溝である脚部
及び静圧ポケットとなる頭溝から成る第２静圧ポケット
とが形成されている。
面四辺形の案内孔が形成され、案内孔の各案内面には、
静圧支承面が形成されている雌部材と、断面四辺形であ
り、雌部材の案内孔に滑動自在に嵌合されている雄部材
との間で相対滑動が行われ、静圧支承面には、少なくと
も滑動方向に伸びた縦溝から成り、且つ圧油供給ノズル
が開口している第１．静圧ポケットと第１静圧ポケット
の両側から横方向に分岐した絞りとなる浅溝である脚部
及び静圧ポケットとなる頭溝から成る第２静圧ポケット
とが形成されている。
図示しない圧油源から圧油供給ノズルに潤滑油が圧送さ
れると、圧油供給ノズルで絞られた潤滑油は、第」静圧
ポケット内で均一圧力となって流れると共に、第２静圧
ポケットの脚部で更に絞られた上、頭溝に流出して均一
圧力となり、第１静圧ポケット及び第２静圧ポケットか
らランドを通過して外部に流出し、大気圧に解放される
。
れると、圧油供給ノズルで絞られた潤滑油は、第」静圧
ポケット内で均一圧力となって流れると共に、第２静圧
ポケットの脚部で更に絞られた上、頭溝に流出して均一
圧力となり、第１静圧ポケット及び第２静圧ポケットか
らランドを通過して外部に流出し、大気圧に解放される
。
かくして、雌部材と雄部材との間の負荷による静圧支承
面についての隙間変動に対して剛性髪備えた静圧支承に
よって雌部材と雄部材との一方が他方に案内され、軸線
方向に相対滑動する。
面についての隙間変動に対して剛性髪備えた静圧支承に
よって雌部材と雄部材との一方が他方に案内され、軸線
方向に相対滑動する。
そうして、滑動する可動側にローリングに対する剛性（
角剛性）は、第２静圧ボケッｌ−１即ち両頭溝における
油圧によりもたらされる。
角剛性）は、第２静圧ボケッｌ−１即ち両頭溝における
油圧によりもたらされる。
この発明の実施例を図面に従って説明する。
第４図に示すように相対滑動する部材の一方の雌部材１
−には、断面四辺形の案内孔２が形成されており、他方
の雄部材３は、断面四辺形であり、雌部材１８の案内孔
２に滑動自在に嵌合されている。
−には、断面四辺形の案内孔２が形成されており、他方
の雄部材３は、断面四辺形であり、雌部材１８の案内孔
２に滑動自在に嵌合されている。
雌部材１と雄部材３との一方が固定側であり他方が可動
側である関係は、選択的にとり得る。
側である関係は、選択的にとり得る。
案内孔２の各案内面４（少なくとも両側面及び底面）に
は、第２図乃至第３図に示ずような静圧支承面５が適宜
の箇所に、例えば第１図に示すように形成されている。
は、第２図乃至第３図に示ずような静圧支承面５が適宜
の箇所に、例えば第１図に示すように形成されている。
第１図は案内面４の一つを示し、案内面と同幅の静圧支
承面５が案内面４の滑動方向の両端部の夫々に形成され
ている。
承面５が案内面４の滑動方向の両端部の夫々に形成され
ている。
静圧支承面５には、滑動方向の縦溝６１とその前後端の
ポケット、例えば滑動方向に垂直の横溝６２．６２とか
ら成るＨ字形で代表される第１静圧ボケットロ及び第１
ｒＩＩＩ圧ポケット６の縦溝５１（の中心）から両側に
分岐した絞りとなる浅溝である膨満７１とその先端の静
圧ポケット、例えば滑動方向の頭溝７２から成る１字形
で代表される第２静圧ポケット７とが形成されている。
ポケット、例えば滑動方向に垂直の横溝６２．６２とか
ら成るＨ字形で代表される第１静圧ボケットロ及び第１
ｒＩＩＩ圧ポケット６の縦溝５１（の中心）から両側に
分岐した絞りとなる浅溝である膨満７１とその先端の静
圧ポケット、例えば滑動方向の頭溝７２から成る１字形
で代表される第２静圧ポケット７とが形成されている。
そうして、第１静圧ポケット６の横溝６２及び第２静圧
ポケット７の頭溝７２の外側には、適宜幅のランド８ａ
が形成され、静圧支承面５，５間には、凹み１０が形成
されている。
ポケット７の頭溝７２の外側には、適宜幅のランド８ａ
が形成され、静圧支承面５，５間には、凹み１０が形成
されている。
Ｈ字形静圧ポケット６の縦溝６１・横溝６２．６２及び
第２静圧ポケット７の頭溝７２は、実質的に同深（例え
ば数ミリメートル）の深溝で静圧ポケットとして機能し
、第２静圧ポケット７の膨満７１は、絞り溝として機能
する浅溝（深さは例えば数十ミクロン）である。
第２静圧ポケット７の頭溝７２は、実質的に同深（例え
ば数ミリメートル）の深溝で静圧ポケットとして機能し
、第２静圧ポケット７の膨満７１は、絞り溝として機能
する浅溝（深さは例えば数十ミクロン）である。
第１静圧ポケット６の縦溝６１の中心には、図示されな
い圧油源に連通された圧油供給ノズル９が静圧支承面５
に垂直に開口している。
い圧油源に連通された圧油供給ノズル９が静圧支承面５
に垂直に開口している。
上記の角スライド静圧支承装置の作用について説明する
。
。
図示しない圧油源から圧油供給ノズル９に潤滑油が圧送
されると、圧油供給ノズル９で絞られた潤滑油は、第１
静圧ポケット６内で均一圧力となって流れると共に、第
２静圧ポケット７の横溝７１で更に絞られた上、頭溝７
２に流出して均一圧力となり、第１静圧ポケット６及び
第２静圧ポケット７からランド８ａを通過して外部に流
出し、大気圧に解放される。
されると、圧油供給ノズル９で絞られた潤滑油は、第１
静圧ポケット６内で均一圧力となって流れると共に、第
２静圧ポケット７の横溝７１で更に絞られた上、頭溝７
２に流出して均一圧力となり、第１静圧ポケット６及び
第２静圧ポケット７からランド８ａを通過して外部に流
出し、大気圧に解放される。
この間の各部における油圧状態は第３図に示す通りであ
る。又、縦溝６１から頭溝７２にかけてランド８ｂには
、横溝７１とほぼ同じような圧力勾配が発生している。
る。又、縦溝６１から頭溝７２にかけてランド８ｂには
、横溝７１とほぼ同じような圧力勾配が発生している。
かくして、雌部材１と雄部材３との間の負荷による静圧
支承面５についでの隙間変動に対して剛性を備えた静圧
支承によって雌部材１と雄部材３との一方が他方に案内
され、軸線方向に相対滑動する。
支承面５についでの隙間変動に対して剛性を備えた静圧
支承によって雌部材１と雄部材３との一方が他方に案内
され、軸線方向に相対滑動する。
そうして、滑動する可動側にローリングに対する剛性（
角剛性）は、同第２静圧ポケット７．７、即ち両頭溝７
２．７２における油圧によりもたらされ、両頭溝７２．
７２の中心間隔の大きさの２乗に比例する。
角剛性）は、同第２静圧ポケット７．７、即ち両頭溝７
２．７２における油圧によりもたらされ、両頭溝７２．
７２の中心間隔の大きさの２乗に比例する。
同じくピッチングに対する剛性は、案内面４の両端部に
形成された静圧支承面５，５における油圧によりもたら
される。ピッチングに対する剛性は、両静圧支承面５，
５乃至両横溝６２，６２の中心間隔の大きさの２乗に比
例する。
形成された静圧支承面５，５における油圧によりもたら
される。ピッチングに対する剛性は、両静圧支承面５，
５乃至両横溝６２，６２の中心間隔の大きさの２乗に比
例する。
なお、第１静圧ポケット６の変形として、横溝６２．６
２を省略して１字形にしてもよい。
２を省略して１字形にしてもよい。
この発明よる角スライド静圧支承装置においては、従来
の技術による角スライド静圧支承装置に比し、滑動する
可動側のローリングに対応する横方向の両側静圧ポケッ
トの中心間隔を遥かに大きく（約２倍に）することが可
能であるためローリングに対する剛性（角剛性）は大き
く（約４倍に）なる。
の技術による角スライド静圧支承装置に比し、滑動する
可動側のローリングに対応する横方向の両側静圧ポケッ
トの中心間隔を遥かに大きく（約２倍に）することが可
能であるためローリングに対する剛性（角剛性）は大き
く（約４倍に）なる。
しかも、独立した静圧ポケットに分離する必要がないの
で、圧油供給ノズル数の増加もなく、ランドを通過する
流量の増加もなく、その結果、剛性劣化の因となる流量
条件の悪化もなく、高減衰性が期待し得る。
で、圧油供給ノズル数の増加もなく、ランドを通過する
流量の増加もなく、その結果、剛性劣化の因となる流量
条件の悪化もなく、高減衰性が期待し得る。
第１図は、この発明の実施例における静圧支承面を備え
た案内面の平面図、 第２図は、この発明の実施例における静圧支承面の平面
図、 第３図は、この発明の実施例における静圧支承面の圧力
分布図、 第４図は、静圧支承面が適用される角スライドの斜視図
、 第５図は、従来の技術による静圧支承面を備えた案内面
の平面図である。
た案内面の平面図、 第２図は、この発明の実施例における静圧支承面の平面
図、 第３図は、この発明の実施例における静圧支承面の圧力
分布図、 第４図は、静圧支承面が適用される角スライドの斜視図
、 第５図は、従来の技術による静圧支承面を備えた案内面
の平面図である。
Claims (1)
- 断面四辺形の案内孔が形成され、案内孔の各案内面には
、静圧支承面が形成されている雌部材と、断面四辺形で
あり、雌部材の案内孔に滑動自在に嵌合されている雄部
材との間で相対滑動が行われる角スライド静圧支承装置
であって、静圧支承面には、少なくとも滑動方向に伸び
た縦溝から成り、且つ圧油供給ノズルが開口している第
１静圧ポケットと第１静圧ポケットの両側から横方向に
分岐した絞りとなる浅溝である脚溝及び静圧ポケットと
なる頭溝から成る第２静圧ポケットとが形成されている
ことを特徴とする角スライド静圧支承装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1024776A JPH0786369B2 (ja) | 1989-02-04 | 1989-02-04 | 角スライド静圧支承装置 |
| US07/469,318 US4974970A (en) | 1989-02-04 | 1990-01-24 | Hydrostatically supporting device for slide |
| DE90102016T DE69002014T2 (de) | 1989-02-04 | 1990-02-01 | Hydrostatische Tragevorrichtung für eine Gleitführung. |
| EP90102016A EP0382096B1 (en) | 1989-02-04 | 1990-02-01 | Hydrostatically supporting device for slide |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1024776A JPH0786369B2 (ja) | 1989-02-04 | 1989-02-04 | 角スライド静圧支承装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02209620A true JPH02209620A (ja) | 1990-08-21 |
| JPH0786369B2 JPH0786369B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=12147579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1024776A Expired - Lifetime JPH0786369B2 (ja) | 1989-02-04 | 1989-02-04 | 角スライド静圧支承装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4974970A (ja) |
| EP (1) | EP0382096B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0786369B2 (ja) |
| DE (1) | DE69002014T2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009209962A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Nikon Corp | 流体軸受、ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| JP2009293707A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Denso Corp | 油静圧スライド装置 |
| JP2013130260A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-07-04 | Canon Inc | 液体静圧直動案内装置 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3128709B2 (ja) * | 1992-08-04 | 2001-01-29 | 株式会社新川 | 非接触型移動テーブル |
| US5415470A (en) * | 1994-01-04 | 1995-05-16 | Centre De Recherches Camoplast Inc. | Clip for snowmobile track and snowmobile track provided with the same |
| US5568981A (en) * | 1994-08-19 | 1996-10-29 | Read-Rite Corporation | Negative pressure air bearing slider |
| CA2132807C (en) * | 1994-09-23 | 2001-05-01 | Denis Courtemanche | Track-belt for track driven vehicles |
| CA2194082A1 (en) * | 1996-10-02 | 1998-04-03 | Maurice Beaudoin | Stamped-metal clip for use with an endless track belt cooperating with slide rails |
| US6428210B1 (en) * | 2000-07-11 | 2002-08-06 | Lintech Motion Control, Inc. | Precision air bearing slide and stage assembly for controlled linear motion |
| JP2002054634A (ja) * | 2000-08-07 | 2002-02-20 | Nippon Steel Corp | 静圧気体軸受 |
| JP2004144188A (ja) * | 2002-10-24 | 2004-05-20 | Nippon Steel Corp | 静圧気体軸受 |
| JP4335697B2 (ja) * | 2004-01-06 | 2009-09-30 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 油静圧直動案内装置 |
| US20080111977A1 (en) * | 2006-11-14 | 2008-05-15 | Asml Holding N.V. | Compensation techniques for fluid and magnetic bearings |
| CN101769336B (zh) * | 2009-01-05 | 2013-02-13 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 空气导轨 |
| JP6559937B2 (ja) * | 2014-10-28 | 2019-08-14 | 東芝機械株式会社 | 油静圧案内機構および工作機械 |
| CN106984979A (zh) * | 2017-04-09 | 2017-07-28 | 北京工业大学 | 一种井字形腔静压回转台油垫 |
| CN108916225B (zh) * | 2018-06-21 | 2019-11-15 | 南京理工大学 | 一种方形导轨用直线轴承 |
| CN117145866A (zh) * | 2023-08-15 | 2023-12-01 | 光力瑞弘电子科技有限公司 | 一种高刚度气浮轴承微结构及其气浮轴承 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913120A (ja) * | 1982-07-09 | 1984-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧流体軸受 |
| JPS6285332U (ja) * | 1985-11-19 | 1987-05-30 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1366075A (fr) * | 1963-05-21 | 1964-07-10 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif pour réduire les frottements entre deux corps en mouvement relatif |
| US3508430A (en) * | 1968-02-13 | 1970-04-28 | Nat Machinery Co The | Forging machine with hydrostatic bearings |
| GB1267515A (en) * | 1968-08-09 | 1972-03-22 | Marconi Co Ltd | Improvements in or relating to bearings |
| FR2512509A1 (fr) * | 1981-09-10 | 1983-03-11 | Commissariat Energie Atomique | Palier fluide de guidage pour arbre polygonal |
| DE3203126A1 (de) * | 1982-01-30 | 1983-08-04 | Závody t'ažkého strojárstva, N.P., 01841 Dubnica nad Váhom | Hydrostatisches axiallager |
| JPS5913119A (ja) * | 1982-07-09 | 1984-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧流体軸受 |
| JPS60150950A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-08 | Hitachi Ltd | 案内装置 |
| EP0304090B1 (en) * | 1987-08-20 | 1994-07-27 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Hydrostatically supporting device for slide |
-
1989
- 1989-02-04 JP JP1024776A patent/JPH0786369B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-01-24 US US07/469,318 patent/US4974970A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-02-01 DE DE90102016T patent/DE69002014T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-01 EP EP90102016A patent/EP0382096B1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913120A (ja) * | 1982-07-09 | 1984-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧流体軸受 |
| JPS6285332U (ja) * | 1985-11-19 | 1987-05-30 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009209962A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Nikon Corp | 流体軸受、ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| JP2009293707A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Denso Corp | 油静圧スライド装置 |
| JP2013130260A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-07-04 | Canon Inc | 液体静圧直動案内装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69002014D1 (de) | 1993-07-29 |
| DE69002014T2 (de) | 1994-02-03 |
| JPH0786369B2 (ja) | 1995-09-20 |
| EP0382096A1 (en) | 1990-08-16 |
| US4974970A (en) | 1990-12-04 |
| EP0382096B1 (en) | 1993-06-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02209620A (ja) | 角スライド静圧支承装置 | |
| US5980110A (en) | Manifold for self-compensating hydrostatic bearing with integral compensators | |
| JPS6014016Y2 (ja) | 静液圧軸受 | |
| JP2002515963A (ja) | 静圧／動圧組み合わせ軸受 | |
| DE3850825T2 (de) | Hydrostatische Lagerung für Gleitschiene. | |
| JPH0661666B2 (ja) | 摺動体の静圧支持装置 | |
| JPS6084421A (ja) | 摺動台装置用ベアリングユニツト | |
| JPS6117613B2 (ja) | ||
| JPS6348809Y2 (ja) | ||
| JPH0230186Y2 (ja) | ||
| KR930018150A (ko) | 연료분사기 | |
| JPS5913119A (ja) | 静圧流体軸受 | |
| JPH0643541Y2 (ja) | 摺動案内支持装置 | |
| JP2001248643A (ja) | 静圧スライドテーブル装置 | |
| JPH07317899A (ja) | 内燃機関のピストンピン及びその加工方法 | |
| JPH0645059Y2 (ja) | 摺動案内支持装置 | |
| JPH07103235A (ja) | 静圧直動気体軸受 | |
| JPS639785Y2 (ja) | ||
| JPS6374536A (ja) | 複合案内面を備えた案内装置 | |
| JPH05296241A (ja) | 直動転がり案内ユニット | |
| JPS63203918A (ja) | オリフイス形静圧気体ジヤ−ナル軸受 | |
| Murti | Effect of velocity slip in an externally pressurized porous thrust bearing working with an incompressible fluid | |
| JPS60188619A (ja) | 静圧気体スライダ軸受 | |
| JP2717324B2 (ja) | 直動形ガイド装置 | |
| JPH01233155A (ja) | エアースライダー |