JPH0786559B2 - 光学素子およびそれを用いた顕微鏡 - Google Patents
光学素子およびそれを用いた顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0786559B2 JPH0786559B2 JP15866087A JP15866087A JPH0786559B2 JP H0786559 B2 JPH0786559 B2 JP H0786559B2 JP 15866087 A JP15866087 A JP 15866087A JP 15866087 A JP15866087 A JP 15866087A JP H0786559 B2 JPH0786559 B2 JP H0786559B2
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- Japan
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- fresnel zone
- visible light
- wavelength
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、複合光学素子に関するものであり、更に詳述
するならば、異なった波長域の電磁波、例えば可視光と
紫外線または軟Ｘ線の組合せの電磁波に対して相対位置
関係の把握が簡単に明瞭にできる紫外線フレネルゾーン
プレートまたはＸ線フレネルゾーンプレートを有する光
学素子とこれを用いた紫外線、Ｘ線顕微鏡に関するもの
である。
するならば、異なった波長域の電磁波、例えば可視光と
紫外線または軟Ｘ線の組合せの電磁波に対して相対位置
関係の把握が簡単に明瞭にできる紫外線フレネルゾーン
プレートまたはＸ線フレネルゾーンプレートを有する光
学素子とこれを用いた紫外線、Ｘ線顕微鏡に関するもの
である。
従来の技術 紫外光時に波長200nm以下の紫外線や軟Ｘ線領域の光学
素子は、使用する波長の電磁波の大気中での吸収が大き
いため、真空中で取り扱う必要がある。真空中で、光学
素子を取り扱う場合、使用する電磁波の光軸に対してア
ライメントを大気中から何等かの方法で遠隔操作する必
要がある。特に、従来の紫外線ランプやＸ線管等のよう
な発散光源と異なる指向性の良い軟Ｘ線や真空紫外線が
取り出せる放射光では、線源の発散角が小さく線源の利
用面積が小さいことと、簡易なモニタリング方法がない
ことのため、使用する光学素子のの光軸が線源の光軸に
対して大きくズレた場合、真空をなんども破って試行錯
誤的にアライメントし直す必要がある。その結果、真空
を引くための時間がかかる不便さと真空を破ることによ
る真空装置内の汚染を招く欠点があった。
素子は、使用する波長の電磁波の大気中での吸収が大き
いため、真空中で取り扱う必要がある。真空中で、光学
素子を取り扱う場合、使用する電磁波の光軸に対してア
ライメントを大気中から何等かの方法で遠隔操作する必
要がある。特に、従来の紫外線ランプやＸ線管等のよう
な発散光源と異なる指向性の良い軟Ｘ線や真空紫外線が
取り出せる放射光では、線源の発散角が小さく線源の利
用面積が小さいことと、簡易なモニタリング方法がない
ことのため、使用する光学素子のの光軸が線源の光軸に
対して大きくズレた場合、真空をなんども破って試行錯
誤的にアライメントし直す必要がある。その結果、真空
を引くための時間がかかる不便さと真空を破ることによ
る真空装置内の汚染を招く欠点があった。
真空紫外線やＸ線領域の光学素子としては、従来から反
射鏡などが使われており、近年にいたり半導体産業で育
成された微細加工技術を使用した光学素子としてフレネ
ルゾーンプレートが集光、結像素子として使用されつつ
ある。フレネルゾーンプレート、光軸から半径rn＝（ｎ
λｆ）1/2（ｎは自然数、λは波長、ｆは焦点距離）で
表現される〔rn−rn-1〕の複数の輪体板からなってい
る。その集光結像素子としての特性は、解像度でみると
最外周の輪帯の幅に比例する。また複数の輪帯は一つお
きに使用する電磁波に帯して透明または不透明になって
いることが必要であり、不透明部分を構成する材料とし
て金やタンタルなどが使用されている。そして、１μｍ
以下の線幅の不透明部分を選択的に形成する技術とし
て、半導体作製技術である金メッキやタンタルのエッチ
ング技術技術が適用されている。
射鏡などが使われており、近年にいたり半導体産業で育
成された微細加工技術を使用した光学素子としてフレネ
ルゾーンプレートが集光、結像素子として使用されつつ
ある。フレネルゾーンプレート、光軸から半径rn＝（ｎ
λｆ）1/2（ｎは自然数、λは波長、ｆは焦点距離）で
表現される〔rn−rn-1〕の複数の輪体板からなってい
る。その集光結像素子としての特性は、解像度でみると
最外周の輪帯の幅に比例する。また複数の輪帯は一つお
きに使用する電磁波に帯して透明または不透明になって
いることが必要であり、不透明部分を構成する材料とし
て金やタンタルなどが使用されている。そして、１μｍ
以下の線幅の不透明部分を選択的に形成する技術とし
て、半導体作製技術である金メッキやタンタルのエッチ
ング技術技術が適用されている。
実際に、軟Ｘ線や真空紫外線ゾーンプレートは真空中で
使用することが多く、この場合も、光軸合わせを大気中
から遠隔操作で行っているため極めて操作性が悪く軸合
わせに膨大な時間が費やされる。
使用することが多く、この場合も、光軸合わせを大気中
から遠隔操作で行っているため極めて操作性が悪く軸合
わせに膨大な時間が費やされる。
発明が解決しようとする問題点 そこで、本発明は、真空中でのアライメントを予め大気
中で可能にする紫外線やＸ線領域の光学素子を提供せん
とするものである。
中で可能にする紫外線やＸ線領域の光学素子を提供せん
とするものである。
更に、本発明は、大気中でのアライメントを可能にする
紫外線顕微鏡、Ｘ線顕微鏡を提供せんとするものであ
る。
紫外線顕微鏡、Ｘ線顕微鏡を提供せんとするものであ
る。
問題点を解決するための手段 本発明によるならば、軟Ｘ線域及び紫外線域からなる波
長域に属する波長の電磁波のための短波長用フレネルゾ
ーンプレートと可視光用フレネルゾーンプレートとを同
一内に併置することを特徴とする光学素子が提供され
る。
長域に属する波長の電磁波のための短波長用フレネルゾ
ーンプレートと可視光用フレネルゾーンプレートとを同
一内に併置することを特徴とする光学素子が提供され
る。
本発明の実施例では、前記短波長用フレネルゾーンプレ
ートと前記可視光用フレネルゾーンプレートとは同心状
に配置され、好ましい実施例では、前記短波長用フレネ
ルゾーンプレートが内側に前記可視用用レンズゾーンが
外側に位置して同心状に配置される。また、前記短波長
用フレネルゾーンプレートの前記波長での焦点距離と、
前記可視光用フレネルゾーンプレートの所与の波長の可
視光での焦点距離とが等しいことが好ましい。
ートと前記可視光用フレネルゾーンプレートとは同心状
に配置され、好ましい実施例では、前記短波長用フレネ
ルゾーンプレートが内側に前記可視用用レンズゾーンが
外側に位置して同心状に配置される。また、前記短波長
用フレネルゾーンプレートの前記波長での焦点距離と、
前記可視光用フレネルゾーンプレートの所与の波長の可
視光での焦点距離とが等しいことが好ましい。
更に、本発明によるならば、軟Ｘ線域及び紫外線域から
なる波長域に属する波長の電磁波のための短波長用フレ
ネルゾーンプレーと可視光用レンズゾーンとを同一面内
に併置してなる光学素子が、前記波長の電磁波の光路に
配置され、且つ該光学素子に可視光を照射するための可
視光挿入手段が設けられている顕微鏡が提供される。
なる波長域に属する波長の電磁波のための短波長用フレ
ネルゾーンプレーと可視光用レンズゾーンとを同一面内
に併置してなる光学素子が、前記波長の電磁波の光路に
配置され、且つ該光学素子に可視光を照射するための可
視光挿入手段が設けられている顕微鏡が提供される。
作用 以上のように、軟Ｘ線域及び紫外線域からなる波長域に
属する波長の電磁波のための短波長用フレネルゾーンプ
レートの光軸に対するアライメントを行う場合、可視光
ゾーンプレートを相対位置関係を明らかにして併置して
おくことにより、予め大気中で可視光ゾーンプレートで
アライメントしておけば真空中でのアライメントが不要
もしくは容易になる。
属する波長の電磁波のための短波長用フレネルゾーンプ
レートの光軸に対するアライメントを行う場合、可視光
ゾーンプレートを相対位置関係を明らかにして併置して
おくことにより、予め大気中で可視光ゾーンプレートで
アライメントしておけば真空中でのアライメントが不要
もしくは容易になる。
実施例 以下、添付図面を参照して本発明による光学素子及びそ
れ用いた顕微鏡の実施例を説明する。
れ用いた顕微鏡の実施例を説明する。
第１図は、本発明による光学素子の概略図である。第１
図のいて、参照部号『ｃ』で示す領域は、軟Ｘ線や紫外
線のための短波長用フレネルゾーンプレートであり、参
照符号『ｄ』で示す領域は、可視光用フレネルゾーンプ
レートである。なお、第１図において、フレネルゾーン
の輪体部はその全てを描くと図面が繁雑になるので、短
波長用フレネルゾーンプレート『ｃ』は、内側の２つの
み描き、可視光用フレネルゾーンプレート『ｄ』は、内
側の１つのみを描いている。
図のいて、参照部号『ｃ』で示す領域は、軟Ｘ線や紫外
線のための短波長用フレネルゾーンプレートであり、参
照符号『ｄ』で示す領域は、可視光用フレネルゾーンプ
レートである。なお、第１図において、フレネルゾーン
の輪体部はその全てを描くと図面が繁雑になるので、短
波長用フレネルゾーンプレート『ｃ』は、内側の２つの
み描き、可視光用フレネルゾーンプレート『ｄ』は、内
側の１つのみを描いている。
なお、このような光学素子を形成する手段として金やタ
ンタル等の使用が適しており、金やタンタルなどは、可
視光は勿論軟Ｘ線や紫外線に対して不透明であり、実際
に軟Ｘ線や紫外線ゾーンプレートと可視光ゾーンプレー
トを同一基板内に作製するのに容易である。
ンタル等の使用が適しており、金やタンタルなどは、可
視光は勿論軟Ｘ線や紫外線に対して不透明であり、実際
に軟Ｘ線や紫外線ゾーンプレートと可視光ゾーンプレー
トを同一基板内に作製するのに容易である。
実施例1. 光軸から半径rn＝（ｎλｆ）1/2（ｎは自然数、λは波
長、ｆは焦点距離）で表現される〔rn−rn-1〕の複数の
輪体板｛ｎは偶数または奇数のみの組合せ、r0＝０｝か
らなるフレネルゾーンプレートを使用する場合、第１図
に示す様に中心部を軟Ｘ線用に設計し、外周部をHe−Ne
レーザー光用に設計した。
長、ｆは焦点距離）で表現される〔rn−rn-1〕の複数の
輪体板｛ｎは偶数または奇数のみの組合せ、r0＝０｝か
らなるフレネルゾーンプレートを使用する場合、第１図
に示す様に中心部を軟Ｘ線用に設計し、外周部をHe−Ne
レーザー光用に設計した。
中心部の軟Ｘ線用ゾーンプレートは、波長0K（2.33nm）
の使用を想定し、中心部のゾーンプレートの設計パラメ
ータは、次の通りである。主焦点距離513.8mmに対して
中心半径r1＝34.6μｍ、10番目の輪帯の幅は3.72μｍ、
100番目の輪帯の幅は1.13μｍ、160番目の輪帯の幅は0.
896μｍである。最外周の輪帯の半径は、570.6μｍであ
る。
の使用を想定し、中心部のゾーンプレートの設計パラメ
ータは、次の通りである。主焦点距離513.8mmに対して
中心半径r1＝34.6μｍ、10番目の輪帯の幅は3.72μｍ、
100番目の輪帯の幅は1.13μｍ、160番目の輪帯の幅は0.
896μｍである。最外周の輪帯の半径は、570.6μｍであ
る。
この軟Ｘ線用ゾーンプレートの外側にHe−Neレーザー光
用ゾーンプレートを配置した。He−Neレーザー光用ゾー
ンプレートの設計パラメータは、第１輪帯板の半径は57
0.2μｍ幅236.2μｍで軟Ｘ線用ゾーンプレートの最外周
にほぼ等しく、10番目の輪帯板の幅は61.6μｍ、100番
目の輪帯板の幅は26.7μｍ、500番目の輪帯板の幅は8.4
μｍであり最外周の輪帯板の半径は、16.765mmである。
用ゾーンプレートを配置した。He−Neレーザー光用ゾー
ンプレートの設計パラメータは、第１輪帯板の半径は57
0.2μｍ幅236.2μｍで軟Ｘ線用ゾーンプレートの最外周
にほぼ等しく、10番目の輪帯板の幅は61.6μｍ、100番
目の輪帯板の幅は26.7μｍ、500番目の輪帯板の幅は8.4
μｍであり最外周の輪帯板の半径は、16.765mmである。
このように設計されたゾーンプレートは、微細パターン
形成法のひとつである電子ビーム描画法と微細部分の選
択的形成手段であるタンタルのエッヂング技術を用いて
作製された。作製されたゾープレートを用いて、コリメ
ータレンズ系て直径35mmに拡大されたHe−Neレーザー光
を大気中で照明したところ、外周部に配置されたゾーン
プレートの集光作用によりゾーンプレート面からHe−Ne
レーザー光の伝播方向に513.8mm離れた位置にレーザー
光の焦点を結ばせた。次に、波長2.33nmにチューニング
した放射光を真空中で照明したところHe−Neレーザー光
の場合と同一の位置に中心部のゾーンプレートによる集
光が確認された。
形成法のひとつである電子ビーム描画法と微細部分の選
択的形成手段であるタンタルのエッヂング技術を用いて
作製された。作製されたゾープレートを用いて、コリメ
ータレンズ系て直径35mmに拡大されたHe−Neレーザー光
を大気中で照明したところ、外周部に配置されたゾーン
プレートの集光作用によりゾーンプレート面からHe−Ne
レーザー光の伝播方向に513.8mm離れた位置にレーザー
光の焦点を結ばせた。次に、波長2.33nmにチューニング
した放射光を真空中で照明したところHe−Neレーザー光
の場合と同一の位置に中心部のゾーンプレートによる集
光が確認された。
実施例２ 実施例１に示したフレネルゾーンプレートの焦点の位置
に0.1μｍピッチの格子状金パターン（厚さ0.1μｍ）を
有する厚さ１μｍのBe薄膜（試料）を用意して、第３図
に示すような装置により測定を実施した。
に0.1μｍピッチの格子状金パターン（厚さ0.1μｍ）を
有する厚さ１μｍのBe薄膜（試料）を用意して、第３図
に示すような装置により測定を実施した。
真空チャンバ15を通過する軟Ｘ線１の光路に対して直角
にレーザー光２を出射するHe−Neレーザー３を設ける一
方、その軟Ｘ線１の光路に侵入してその光路を遮りレー
ザー光２を軟Ｘ線の代わりに照射するミラー４が、ミラ
ーそう入機構５により進退される。そのミラー４より後
方には、実施例１による光学素子８が移動機構14に支持
されて位置し、更に、試料６が同じく移動機構７に支持
されて位置し、また、フォトディテクタ16が移動機構17
に支持されて位置している。そして、真空チャンバ15の
端にはのぞき窓11が設けられている。
にレーザー光２を出射するHe−Neレーザー３を設ける一
方、その軟Ｘ線１の光路に侵入してその光路を遮りレー
ザー光２を軟Ｘ線の代わりに照射するミラー４が、ミラ
ーそう入機構５により進退される。そのミラー４より後
方には、実施例１による光学素子８が移動機構14に支持
されて位置し、更に、試料６が同じく移動機構７に支持
されて位置し、また、フォトディテクタ16が移動機構17
に支持されて位置している。そして、真空チャンバ15の
端にはのぞき窓11が設けられている。
最初に真空チャンバ15から空気を抜かない状態で、すな
わち、大気中で、軟Ｘ線１の光路にミラー４を侵入させ
て、He−Neレーザー２で試料６の金パターンのエッジに
よるスペクタルパターンをのぞき窓11より観察し、He−
Neレーザー光が金パターン上に焦点を結んでいることを
確認した。その後、ミラー４を後退させ且つ真空チャン
バ15から空気を抜いて真空として、実施例１と同様の波
長の軟Ｘ線をHe−Neレーザー光と同一の方向から試料６
に照射した。試料６を移動機構７にて面内で移動させサ
ンプルを透過した軟Ｘ線をフォトディテクタ16にて測定
した。
わち、大気中で、軟Ｘ線１の光路にミラー４を侵入させ
て、He−Neレーザー２で試料６の金パターンのエッジに
よるスペクタルパターンをのぞき窓11より観察し、He−
Neレーザー光が金パターン上に焦点を結んでいることを
確認した。その後、ミラー４を後退させ且つ真空チャン
バ15から空気を抜いて真空として、実施例１と同様の波
長の軟Ｘ線をHe−Neレーザー光と同一の方向から試料６
に照射した。試料６を移動機構７にて面内で移動させサ
ンプルを透過した軟Ｘ線をフォトディテクタ16にて測定
した。
その結果、第２図のグラフに示すように、金の格子があ
る部分は透過Ｘ線強度が弱いことを示すサンプルの移動
距離に対する透過Ｘ線量が計測された。かくして、大気
中でアライメントする光学素子を併置する用いることに
より、真空中で改めて軟Ｘ線の焦点をサンプル上に求め
る操作が必要ない軟Ｘ線による微細構造の解析が可能な
Ｘ線顕微鏡が構成できる。
る部分は透過Ｘ線強度が弱いことを示すサンプルの移動
距離に対する透過Ｘ線量が計測された。かくして、大気
中でアライメントする光学素子を併置する用いることに
より、真空中で改めて軟Ｘ線の焦点をサンプル上に求め
る操作が必要ない軟Ｘ線による微細構造の解析が可能な
Ｘ線顕微鏡が構成できる。
実施例３ 直径５μｍと0.05μｍの点状『A1』（厚さ500オングス
トローム）を有する厚さ0.5μｍのカーボン薄膜（試
料）を用意して、第４図に示すような装置により測定を
実施した。
トローム）を有する厚さ0.5μｍのカーボン薄膜（試
料）を用意して、第４図に示すような装置により測定を
実施した。
真空チャンバ15を通過する軟Ｘ線１の光路に対して直角
にレーザー光２を出射するHe−Neレーザー３を設ける一
方、その軟Ｘ線１の光路に侵入してその光路を遮りレー
ザー光２を軟Ｘ線の代わりに照射するミラー４が、ミラ
ーそう入機構５により進退される。かかる構成までは、
第３図に示す装置と同様である。
にレーザー光２を出射するHe−Neレーザー３を設ける一
方、その軟Ｘ線１の光路に侵入してその光路を遮りレー
ザー光２を軟Ｘ線の代わりに照射するミラー４が、ミラ
ーそう入機構５により進退される。かかる構成までは、
第３図に示す装置と同様である。
そのミラー４より後方には、試料６が移動機構７に支持
されて位置し、また、実施例１による光学素子８が同じ
く移動機構14に支持されて位置している。更に、真空チ
ャンバ15の端には設けられたのぞき窓11の前に、マイク
ロチャンネルプレート９が配置され、そのマイクロチャ
ンネルプレート９からは、電源端子10が延びている。そ
して、ぞき窓11の外側には、レンズ付テレビカメラ12が
配置され、その出力は、モニタテレビ13に接続されてい
る。
されて位置し、また、実施例１による光学素子８が同じ
く移動機構14に支持されて位置している。更に、真空チ
ャンバ15の端には設けられたのぞき窓11の前に、マイク
ロチャンネルプレート９が配置され、そのマイクロチャ
ンネルプレート９からは、電源端子10が延びている。そ
して、ぞき窓11の外側には、レンズ付テレビカメラ12が
配置され、その出力は、モニタテレビ13に接続されてい
る。
最初に真空チャンバ15から空気を抜かない状態で、すな
わち大気中で、ミラー４を前進させてHe−Neレーザー光
２を試料６に照射し、透過してきたHe−Neレーザー光の
回折光により５μｍの拡大像を実施例１のフレネルゾー
ンプレート８で結像させ、テレビカメラ12で撮影してモ
ニタテレビ13で観察した。
わち大気中で、ミラー４を前進させてHe−Neレーザー光
２を試料６に照射し、透過してきたHe−Neレーザー光の
回折光により５μｍの拡大像を実施例１のフレネルゾー
ンプレート８で結像させ、テレビカメラ12で撮影してモ
ニタテレビ13で観察した。
次に、ミラー４を後退させる一方、真空チャンバ15内の
空気を抜いて、実施例２と同様に波長の軟Ｘ線をHe−Ne
レーザー光と同一の方向から真空中でサンプルに照射
し、透過してきた軟Ｘ線の回折光により５μｍと0.05μ
ｍのA1の拡大像をフレネルゾーンプレートで結像させた
ところHe−Neレーザー光の場合と同一の結像面に直径５
μｍと0.05μｍのA1の拡大像が得られた。このように大
気中でアライメントできる光学素子を用いることによ
り、真空中で改めて軟Ｘ線の焦点だしや軸合わせ等の操
作が必要ない拡大型Ｘ線顕微鏡が構成できる。なお、こ
の場合軟Ｘ線の照明方法として予めゾーンプレートなど
で集光されたＸ線をサンプルに照射すれば更に明るい像
が得られる。
空気を抜いて、実施例２と同様に波長の軟Ｘ線をHe−Ne
レーザー光と同一の方向から真空中でサンプルに照射
し、透過してきた軟Ｘ線の回折光により５μｍと0.05μ
ｍのA1の拡大像をフレネルゾーンプレートで結像させた
ところHe−Neレーザー光の場合と同一の結像面に直径５
μｍと0.05μｍのA1の拡大像が得られた。このように大
気中でアライメントできる光学素子を用いることによ
り、真空中で改めて軟Ｘ線の焦点だしや軸合わせ等の操
作が必要ない拡大型Ｘ線顕微鏡が構成できる。なお、こ
の場合軟Ｘ線の照明方法として予めゾーンプレートなど
で集光されたＸ線をサンプルに照射すれば更に明るい像
が得られる。
以上述べたように、軟Ｘ線用光学素子のアライメントを
行う場合可視光でアライメントできる光学素子を併置し
ておくことにより、予め大気中で可視光でアライメント
しておけば、真空中でのアライメントが容易なることは
明らかであり、この様な光学素子を組み合わせた真空中
でのアライメントの必要としないか容易となるＸ線顕微
鏡を構成することができる。なお、実施例では中心部の
ゾーンプレートは軟Ｘ線要に設計したが、設計式に従い
紫外線用ゾーンプレートを中心部に用意しておくことに
より、紫外線でも実施例１−３と同様の作用、効果が認
められた。
行う場合可視光でアライメントできる光学素子を併置し
ておくことにより、予め大気中で可視光でアライメント
しておけば、真空中でのアライメントが容易なることは
明らかであり、この様な光学素子を組み合わせた真空中
でのアライメントの必要としないか容易となるＸ線顕微
鏡を構成することができる。なお、実施例では中心部の
ゾーンプレートは軟Ｘ線要に設計したが、設計式に従い
紫外線用ゾーンプレートを中心部に用意しておくことに
より、紫外線でも実施例１−３と同様の作用、効果が認
められた。
発明の効果 以上説明したように、真空紫外光や軟Ｘ線など直接目視
で観察できず真空中でしか取り扱うことのできない光源
を用いて光学素子を取り扱う場合、可視光でアライメン
トできる光学素子を併置しておくことにより、予め大気
中で可視光でアライメントしておけば真空中でのアライ
メントが容易になる。従って、真空装置内での光学実験
を行う場合作業の効率化と装置内の汚染を防止できる利
点を有する。
で観察できず真空中でしか取り扱うことのできない光源
を用いて光学素子を取り扱う場合、可視光でアライメン
トできる光学素子を併置しておくことにより、予め大気
中で可視光でアライメントしておけば真空中でのアライ
メントが容易になる。従って、真空装置内での光学実験
を行う場合作業の効率化と装置内の汚染を防止できる利
点を有する。
また、本発明による光学素子を組み合せることにより特
に真空中でアライメントする必要がなく、操作性の良い
紫外、軟Ｘ線用顕微鏡が構成することができる。
に真空中でアライメントする必要がなく、操作性の良い
紫外、軟Ｘ線用顕微鏡が構成することができる。
第１図は、中心部に軟Ｘ線用フレネルゾーンプレートを
有し外周部にHe−Neレーザー用フルネルゾーンプレート
を有する本発明による光学素子の概略構成図、 第２図は、実施例２に説明したサンプルを透過した軟Ｘ
線強度を示すグラフ、 第３図は、実施例２での測定のために使用される顕微鏡
の概略構成図、 第４図は、実施例３での測定のために使用される顕微鏡
の概略構成図である。 〔主な参照番号〕 Ｃ……軟Ｘ線用フレネルゾーンプレート ｄ……He−Neレーザー用フルネルゾーンプレート １……軟Ｘ線 ２……He−Neレーゾー光 ４……ミラー、６……試料 ８……複合光学素子 12……レンズ付テレビカメラ、 16……ホトディテクタ
有し外周部にHe−Neレーザー用フルネルゾーンプレート
を有する本発明による光学素子の概略構成図、 第２図は、実施例２に説明したサンプルを透過した軟Ｘ
線強度を示すグラフ、 第３図は、実施例２での測定のために使用される顕微鏡
の概略構成図、 第４図は、実施例３での測定のために使用される顕微鏡
の概略構成図である。 〔主な参照番号〕 Ｃ……軟Ｘ線用フレネルゾーンプレート ｄ……He−Neレーザー用フルネルゾーンプレート １……軟Ｘ線 ２……He−Neレーゾー光 ４……ミラー、６……試料 ８……複合光学素子 12……レンズ付テレビカメラ、 16……ホトディテクタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前沢 秀樹 茨城県新治郡桜村吾妻２丁目808棟1065号 室 (72)発明者 青木 貞雄 茨城県新治郡桜村竹園２丁目808棟306号室 (56)参考文献 特開 昭60−66730（ＪＰ，Ａ)
Claims (8)
- 【請求項１】軟Ｘ線域及び紫外線域からなる波長域に属
する波長の電磁波のための短波長用フレネルゾーンプレ
ートと可視光用フレネルゾーンプレートとを同一面内に
併置することを特徴とする光学素子。 - 【請求項２】前記短波長用フレネルゾーンプレートと前
記可視光用フレネルゾーンプレートとは同心状に配置さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記
載の光学素子。 - 【請求項３】前記短波長用フレネルゾーンプレートが内
側に、前記可視光用フレネルゾーンプレートが外側に位
置して同心状に配置されていることを特徴とする特許請
求の範囲第（１）項または第（２）項記載の光学素子。 - 【請求項４】前記短波長用フレネルゾーンプレートの前
記波長での焦点距離と、前記可視光用フレネルゾーンプ
レートの所与の波長の可視光での焦点距離とが等しいこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項から第（３）
項までのいずれか１項記載の光学素子。 - 【請求項５】軟Ｘ線域及び紫外線域からなる波長域に属
する波長の電磁波のための短波長用フレネルゾーンプレ
ートと可視光用レンズゾーンとを同一面内に併置してな
る光学素子が、前記波長の電磁波の光路に配置され、且
つ該光学素子に可視光を照射するための可視光挿入手段
が設けられている顕微鏡。 - 【請求項６】前記短波長用フレネルゾーンプレートと前
記可視光用フレネルゾーンプレートとは同心状に配置さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第（５）項記
載の顕微鏡。 - 【請求項７】前記短波長用フレネルゾーンプレートが内
側に前記可視光用フレネルゾーンプレートが外側に位置
して同心状に配置されていることを特徴とする特許請求
の範囲第（５）項または第（６）項記載の顕微鏡。 - 【請求項８】前記短波長用フレネルゾーンプレートの前
記波長での焦点距離と、前記可視光用フレネルゾーンプ
レートの所与の波長の可視光での焦点距離とが等しいこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（５）項から第（７）
項までのいずれか１項記載の顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15866087A JPH0786559B2 (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 | 光学素子およびそれを用いた顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15866087A JPH0786559B2 (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 | 光学素子およびそれを用いた顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS643600A JPS643600A (en) | 1989-01-09 |
| JPH0786559B2 true JPH0786559B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=15676566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15866087A Expired - Lifetime JPH0786559B2 (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 | 光学素子およびそれを用いた顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0786559B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0782120B2 (ja) * | 1988-07-04 | 1995-09-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線像拡大観察装置 |
| JP2775949B2 (ja) * | 1990-01-10 | 1998-07-16 | 株式会社ニコン | Ｘ線光学素子保持枠 |
| US5434901A (en) * | 1992-12-07 | 1995-07-18 | Olympus Optical Co., Ltd. | Soft X-ray microscope |
| KR101031675B1 (ko) * | 2010-11-23 | 2011-04-29 | 전남대학교산학협력단 | X선 거울을 이용한 3차원 x선 현미경 및 x선 거울의 제조방법 |
-
1987
- 1987-06-25 JP JP15866087A patent/JPH0786559B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS643600A (en) | 1989-01-09 |
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