JPH078735B2 - 熱線反射被覆硝子 - Google Patents
熱線反射被覆硝子Info
- Publication number
- JPH078735B2 JPH078735B2 JP24830485A JP24830485A JPH078735B2 JP H078735 B2 JPH078735 B2 JP H078735B2 JP 24830485 A JP24830485 A JP 24830485A JP 24830485 A JP24830485 A JP 24830485A JP H078735 B2 JPH078735 B2 JP H078735B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- coating
- molybdenum silicide
- heat
- film
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は住宅，ビルあるいは自動車用窓などに用いられ
る熱線反射硝子に関するものである。
る熱線反射硝子に関するものである。
［従来の技術］ 直射日光など熱線の入射防止あるいは外観上の美観をも
たせるため建築物あるいは車両の窓に熱線反射硝子が用
いられるようになった。従来の熱線反射硝子は通常の板
硝子に、主にスパッタリングにより金属クロム被膜を形
成し、熱線反射膜を被覆した熱線反射硝子が用いられて
いる。
たせるため建築物あるいは車両の窓に熱線反射硝子が用
いられるようになった。従来の熱線反射硝子は通常の板
硝子に、主にスパッタリングにより金属クロム被膜を形
成し、熱線反射膜を被覆した熱線反射硝子が用いられて
いる。
［発明が解決しようとする問題点］ 熱線反射硝子が有すべき条件は、光の透過を遮断するも
のであるが窓内の明るさをある程度保つ必要があり、光
透過率は約30％程度確保する必要がある。このため、そ
の被膜は薄膜であることを要し、また、光を遮断する以
外に環境雰囲気に含まれる酸，アルカリに対する耐蝕
性，および硝子に付着した汚れを洗浄する際の清掃具に
よる被膜の剥離あるいはスリ傷の発生に対する抵抗力な
どが必要である。従来の金属被膜は、遮光性，耐蝕性に
ついては満足すべき特質を備えているが、清掃具の摩擦
により被覆の損傷を受け易いという欠点を有している。
のであるが窓内の明るさをある程度保つ必要があり、光
透過率は約30％程度確保する必要がある。このため、そ
の被膜は薄膜であることを要し、また、光を遮断する以
外に環境雰囲気に含まれる酸，アルカリに対する耐蝕
性，および硝子に付着した汚れを洗浄する際の清掃具に
よる被膜の剥離あるいはスリ傷の発生に対する抵抗力な
どが必要である。従来の金属被膜は、遮光性，耐蝕性に
ついては満足すべき特質を備えているが、清掃具の摩擦
により被覆の損傷を受け易いという欠点を有している。
本発明の目的は上記実情に鑑み、被膜の耐損傷性を向上
した熱線反射硝子を提供することである。
した熱線反射硝子を提供することである。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、硝子と付着力の強い珪素を主成分とし、耐蝕
性に優れ高硬度で耐久損傷性にも優れるモリブデンシリ
サイドを熱線反射被膜として用いることを特徴とするも
のである。
性に優れ高硬度で耐久損傷性にも優れるモリブデンシリ
サイドを熱線反射被膜として用いることを特徴とするも
のである。
モリブデンシリサイドは、一般に普及している被覆製造
設備であるDCスパッタ装置でも放電可能な導電性ターゲ
ットである。
設備であるDCスパッタ装置でも放電可能な導電性ターゲ
ットである。
本発明におけるモリブデンシリサイドの組成は金属間化
合物として化学量論的な組成であるMoSi2.0で表わされ
る組成、すなわち重量％でSiが36.8％含有される組成を
中心とする組成であることが被膜の局所的バラツキを防
ぐ上から好ましい。硝子との密着性を保つためにSiは30
wt％以上が望ましく、一方、Siが40wt％を越えると化学
的な安定性が乏しくなるので、本発明におけるSiの含有
量は30〜40wt％の間とすることが望ましい。
合物として化学量論的な組成であるMoSi2.0で表わされ
る組成、すなわち重量％でSiが36.8％含有される組成を
中心とする組成であることが被膜の局所的バラツキを防
ぐ上から好ましい。硝子との密着性を保つためにSiは30
wt％以上が望ましく、一方、Siが40wt％を越えると化学
的な安定性が乏しくなるので、本発明におけるSiの含有
量は30〜40wt％の間とすることが望ましい。
また、本発明において、上記被膜としてはモリブデンシ
以外の耐蝕金属のシリサイド、例えばW,Crなども利用で
き、被膜形成方法も他のPVDあるいはCVD処理方法による
こともできる。
以外の耐蝕金属のシリサイド、例えばW,Crなども利用で
き、被膜形成方法も他のPVDあるいはCVD処理方法による
こともできる。
［実施例］ 以下実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。
金属モリブデンおよび珪素を混合し、プラズマアーク溶
解炉により溶解した合金を粉砕し、その粉末をHIPによ
り成形し、次いで直径70mm,厚み3mmの円板に加工し、Cu
製バッキングプレートに接着して得られたスパッタリン
グターゲット５個をモリブデンシリサイド被膜の形成に
供した。得られた５個ターゲット試料の珪素含有量は、
重量比で、それぞれ26.5％,30.2％,37.0％,39.9％およ
び45.0％であった。被膜を付着せしめる硝子試料として
は、板厚が3mmの市販窓硝子を幅50mm,長さ50mmに切断し
たものを用いた。
解炉により溶解した合金を粉砕し、その粉末をHIPによ
り成形し、次いで直径70mm,厚み3mmの円板に加工し、Cu
製バッキングプレートに接着して得られたスパッタリン
グターゲット５個をモリブデンシリサイド被膜の形成に
供した。得られた５個ターゲット試料の珪素含有量は、
重量比で、それぞれ26.5％,30.2％,37.0％,39.9％およ
び45.0％であった。被膜を付着せしめる硝子試料として
は、板厚が3mmの市販窓硝子を幅50mm,長さ50mmに切断し
たものを用いた。
また、比較に用いたクロム被膜の熱反射被覆硝子は厚み
3mmの市販品である。
3mmの市販品である。
上記のごとく準備したモリブデンシリサイドターゲット
を、２極DCスパッタ装置を用いて硝子基板上にスパッタ
しモリブデンシリサイド被膜を形成した。得られた被膜
の厚さはそれぞれ50,200,350Åであった。
を、２極DCスパッタ装置を用いて硝子基板上にスパッタ
しモリブデンシリサイド被膜を形成した。得られた被膜
の厚さはそれぞれ50,200,350Åであった。
次に、これらの被覆硝子を希硫酸，希アンモニア水に常
温で３ケ月間浸漬し耐蝕性試験を行い、耐蝕性試験後の
試料を市販の硝子洗浄剤を用い市販の硝子洗浄用ワイパ
ーで洗浄して被膜の損傷を調査した。また、併せて日光
の透過率を測定した。
温で３ケ月間浸漬し耐蝕性試験を行い、耐蝕性試験後の
試料を市販の硝子洗浄剤を用い市販の硝子洗浄用ワイパ
ーで洗浄して被膜の損傷を調査した。また、併せて日光
の透過率を測定した。
これらの結果を第１表〜第４表に示す。
希硫酸に３ケ月浸漬後のモリブデンシリサイド被膜損傷
試験結果を示す第１表、および希アンモニア水に３ケ月
浸漬後のモリブデンシリサイド被膜損傷試験結果を示す
第２表から明らかなように、珪素30wt％未満を含有する
モリブデンシリサイド被膜のものでは、酸，アルカリの
いずれの液体に浸漬後も、ワイパーの摩耗で被膜の剥離
を生ずる。これは、遊離のモリブデンを生じても、モリ
ブデンは希硫酸に対し抵抗力があるので、珪素不足によ
る硝子への付着力の不足と考えられる。珪素40wt％を越
えると、希アンモニア水で剥離が発生するが、これは過
剰遊離珪素がアルカリに弱いためと考えられる。したが
って、本発明における珪素含有量としては酸，アルカリ
のいずれに対しても抵抗力のある30〜40wt％が望まし
い。
試験結果を示す第１表、および希アンモニア水に３ケ月
浸漬後のモリブデンシリサイド被膜損傷試験結果を示す
第２表から明らかなように、珪素30wt％未満を含有する
モリブデンシリサイド被膜のものでは、酸，アルカリの
いずれの液体に浸漬後も、ワイパーの摩耗で被膜の剥離
を生ずる。これは、遊離のモリブデンを生じても、モリ
ブデンは希硫酸に対し抵抗力があるので、珪素不足によ
る硝子への付着力の不足と考えられる。珪素40wt％を越
えると、希アンモニア水で剥離が発生するが、これは過
剰遊離珪素がアルカリに弱いためと考えられる。したが
って、本発明における珪素含有量としては酸，アルカリ
のいずれに対しても抵抗力のある30〜40wt％が望まし
い。
一方、希硫酸および希アンモニア水に３ケ月浸漬後のク
ロム被膜損傷試験結果と日光透過率を示す第３表から明
らかなように、Cr被膜のものは酸，アルカリいずれの場
合にもスリ傷を発生する。これは純金属の軟質性による
ものと考えられる。
ロム被膜損傷試験結果と日光透過率を示す第３表から明
らかなように、Cr被膜のものは酸，アルカリいずれの場
合にもスリ傷を発生する。これは純金属の軟質性による
ものと考えられる。
また、モリブデンシリサイド被膜硝子の日光透過率を示
す第４表より、モリブデンシリサイドの日光透過率を約
30％とするには膜厚50〜300Åが好ましいといえる。
す第４表より、モリブデンシリサイドの日光透過率を約
30％とするには膜厚50〜300Åが好ましいといえる。
［発明の効果］ 以上のごとく、モリブデンシリサイド薄膜を硝子の被膜
とすることにより酸，アルカリのいずれの浸蝕に対して
も抵抗力があり、硝子被膜の清掃時の損傷の起りにく
い、また適度な光透過率を有する従来のCr被膜による熱
線反射被膜硝子より優れたものを得ることができる。
とすることにより酸，アルカリのいずれの浸蝕に対して
も抵抗力があり、硝子被膜の清掃時の損傷の起りにく
い、また適度な光透過率を有する従来のCr被膜による熱
線反射被膜硝子より優れたものを得ることができる。
Claims (3)
- 【請求項１】熱線反射被膜としてモリブデンシリサイド
を硝子表面に被覆することを特徴とする熱線反射被覆硝
子。 - 【請求項２】モリブデンシリサイド被膜をスパッタリン
グにより形成することを特徴とする特許請求の範囲第
（１）項記載の熱線反射被覆硝子。 - 【請求項３】モリブデンシリサイド被膜の厚みが、50〜
300Åであることを特徴とする特許請求の範囲第（１）
項記載の熱線反射被覆硝子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24830485A JPH078735B2 (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | 熱線反射被覆硝子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24830485A JPH078735B2 (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | 熱線反射被覆硝子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62108751A JPS62108751A (ja) | 1987-05-20 |
| JPH078735B2 true JPH078735B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=17176081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24830485A Expired - Lifetime JPH078735B2 (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | 熱線反射被覆硝子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH078735B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4058822B2 (ja) * | 1997-09-30 | 2008-03-12 | 住友金属鉱山株式会社 | 選択透過膜用塗布液、選択透過膜および選択透過多層膜 |
| DE102012106518A1 (de) * | 2012-07-18 | 2014-01-23 | H2 Solar Gmbh | Beschichtung von Substraten mit Siliciden und deren Oxide |
-
1985
- 1985-11-06 JP JP24830485A patent/JPH078735B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62108751A (ja) | 1987-05-20 |
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