JPH078870Y2 - 油回転真空ポンプ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野） 本考案は各種の真空機器分野で利用される油回転真空ポ
ンプに関するものである。

〔従来の技術〕 油回転真空ポンプは，油槽ケースの内部に所定量の油を
貯溜しておき，その油面下に配したポンプ本体のポンプ
室に該貯溜油を少量づつ供給して循環するようにしてい
る。すなわち，この種のポンプでは，固定子（ポンプフ
レーム）内に回転子を配置して形成されるポンプ室に，
作動中，油槽ケース内の油を連続的に供給することによ
り，必要なオイルバラスト，潤滑並びにシールの各効果
を維持することができるものである。そして，そのポン
プ室内に導入された油は，排気と共にポンプ本体の排気
口から順次放出されて油槽ケース内に戻される。一般に
油回転真空ポンプでは，ポンプ本体の側面に，その油槽
ケース内の油を該ポンプ本体のポンプ室に送り込むため
の油送りポンプを設けるのが普通となっている。しか
し，従来では，この油送りポンプをモータ側に位置させ
てそのポンプ駆動軸のまわりに付設する構造となってい
るため，組立に不便を来たしている。また，油送りポン
プでポンプ本体のポンプ室に油を供給する場合，油槽ケ
ース内の汚れた油や異物が直接ポンプ室に入ると焼付事
故等のトラブルを発生するため，異物等の混入防止手段
を確立することが肝要である。さらに又，この種ポンプ
の運転を停止した場合，真空のままのポンプ室に油槽ケ
ース内から油送りポンプの油通路を通して大量の油が侵
入して，後の運転開始時のポンプ作動に支障を来たすこ
とがあり，かかる不具合への対策を講じる必要がある。
そのためにポンプ本体の反モータ側でその駆動軸端に油
送りポンプを設け，油槽ケース内の油面下にフィルター
を介して該油送りポンプの吸込口を開口させるととも
に，この油送りポンプから前記ポンプ本体に油を送り込
む油通路に，ポンプ停止時での油の侵入を阻止する弁機
構を設ける工夫が行なわれている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら，半導体製造等に油回転真空ポンプを使用
した場合，ポンプ内に生成物が混在しそれが上記フィル
タの目づまりを生じさせ油の供給が不充分になる。した
がって短期間に油の交換やオーバーホールを行なわなけ
ればならない。

〔問題点を解決するための手段〕

ポンプ作動時における弁機構からの送油の一部を油槽に
帰還させるように構成しその油を配管で行なわせるよう
にするとともに，その配管の先端を前記フィルターに指
向するよう曲折して構成する。

〔作用〕

弁機構がポンプ作動時送油の一部が油槽に帰還されるが
その動圧でフィルターに付着した生成物がはぎとられ
る。

〔実施例〕

以下，本考案の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図は，本考案に係る２連形の油回転真空ポンプを示
すもので，ベースボディ１に，第１段のポンプ本体Ｉ
と，これより容積の小さな第２段のポンプ本体IIとを直
列二段に連設して構成されている。ここに各段のポンプ
本体I,IIは，その固定子S₁,S₂を形成する各ポンプフレ
ームに，軸心から二枚のベーンを逆向きで凸没自在に突
出する回転子R₁,R₂をその偏心位置で摺接させてなり，
これら回転子R₁,R₂の駆動回転下にベーンで仕切られた
ポンプ室の容積を増減させて周知のポンプ機能を営ませ
るようにしたものである。そして，図示しないポンプの
吸気口から吸気し，これを第１段のポンプ本体Ｉで圧縮
した後，さらに第２段のポンプ本体IIで圧縮してから排
気する。

この２連形の油回転真空ポンプにおいて，その第１段の
ポンプ本体Ｉを，図示しない吸気系路を含めて，これを
ベースボディ１の内部に設けるようにしている。すなわ
ち，ベースボディ１を第１段ポンプ本体Ｉのポンプフレ
ームに兼用し，その内部に形成した固定子S₁の空間に前
記ベーン付き回転子R₁を配置している。そして，この第
１段ポンプ本体Ｉを内有するベースボディ１の前方開口
端を前壁２で閉塞するとともに，この前壁２を貫通して
第１段ポンプ本体Ｉに連結される駆動軸３を挿通し，さ
らにこの駆動軸３の導入端3aにクラッチ機構４を設けて
図外のモータと断接切換自在に連結している。なお，ベ
ースボディ１の前端面には前カバー５を蓋着し，また駆
動軸３の導入端3aにはファン６を設けて，前カバー５内
でベースボディ１の前壁を直接空冷するようにしてい
る。

一方，前記モータと反対側に延出される駆動軸３のまわ
りには，まず固定子S₁の後方開口端を閉塞する中間壁７
を連接している。この中間盤７には，その内部に第１段
ポンプ本体Ｉで圧縮した排気を第２段ポンプ本体IIに導
通する排気連絡通路８が設けられる。そして，この中間
壁７を介しベースボディ１の後端側に，駆動軸３により
第１段ポンプ本体Ｉと同期して回転駆動される第２ポン
プ本体IIを連接している。この第２段ポンプ本体IIはそ
の固定子S₂の両側の開口端のうち，前方を前記中間壁７
で閉塞している一方，後方はその端面に後壁９を連接し
て閉塞している。そして，この後壁９に前記駆動軸３の
延出端3bを貫通させ，その後端軸まわりに，該後壁９と
更にその後端面に接合される端板10との間の空間で油送
りポンプIIIを設置するようにしている。この油送りポ
ンプIIIは，端板（油送りポンプ後壁）10に開通させた
吸込口11から汲取った油を，第２段ポンプ本体IIから第
１段ポンプ本体Ｉの各ポンプ室内に順次供給する役目を
担うものであり，その構成および付属機構は後述の通り
である。

以上のようにして，ベースボディ１の反モータ側端面
に，中間壁7,第２段ポンプ本体II,後壁９および端板10
を接合して組立てるとともに，その組立完了後ベースボ
ディ１の後端面にこれらの組立要素を包囲する油槽ケー
ス12を連着し，該油槽ケース12及びベースボディ１の内
部に形成した空間に所定量の油Ｏ（その油面が前記吸込
口11の上方に位置される）が注入貯溜される。

なお，その他図において,13は第１段ポンプ本体Ｉに設
けた中間排気口であり，被排気系の圧力が高い場合など
に付帯のリリーフ弁機構14を開放して，第１段ポンプ本
体Ｉからベースボディ１の内部に形成した排気空間15に
直接排気を放出させる。また16は第２段ポンプIIに設け
た排気口で，排気弁機構17を備えて第1,第２段ポンプ本
体I,IIで圧縮した排気を一定の排気圧で間欠的に放出さ
せる。更に18は油槽ケース12の後部上方に設けたポンプ
の排気口であり，この油槽ケース12の空間とベースボデ
ィ１の前記排気空間15とに介設された仕切隔板19および
該油槽ケース12内で前記排気口16の上方に配設した山形
の仕切板20とにより案内される第1,第２段ポンプ本体I,
IIからの排気が，油滴を分離した後ここから外部に放出
される。

しかして，前記油送りポンプIIIを第２図について詳述
すると，油送りポンプIIIは前記後壁（油送りポンプ
前，外壁）９の後端中部に，その固定子S₃の空間を凹設
し，この固定子S₃内に駆動軸延出端3bにおける後端近傍
で同軸上に固定された回転子R₃を配置してなるもので，
この場合，回転子R₃から放射状に適数枚のベーンを突没
自在に突設するベーン形ポンプを構成してなるものであ
る。この油送りポンプIIIは，それ自身僅かな吐出量で
足るポンプ容積の小さなものであって，駆動軸３に入力
されるモータ動力を一部利用して駆動される。そして，
この油送りポンプIIIの前記吸込口11は，その後端面を
閉塞している前記端板（油送りポンプ後壁）10を貫通し
て，該端板10の後表面に凹設され，油面下に位置する吸
込ポート21に開口されている。そして，吸込ポート21に
は，その周囲の端板隆起部10aに外周を固定したフィル
ター22を張設してあり，油槽ケース12内で貯溜されてい
る油を油面下の適当な位置から該フィルター22を介し濾
過して吸込ポート21内に吸引するようにしている。

他方，油送りポンプIIIの吐出口23には，油槽ケース12
内から汲取った油を先ず第２ポンプ本体IIのポンプ室に
送り込むための油通路24,25が開通される（第２段ポン
プ本体IIのポンプ室から第１段ポンプ本体Ｉのポンプ室
に油を導く通路は便宜上図示省略している）。そして，
前記後壁（油送りポンプ前，外壁）９の内部に形成され
るこれら油通路24,25の途中には，油送りポンプIIIから
の油の供給量を調整する流量調整弁の役目を果す弁機構
26を設置している。この弁機構26は，後壁９の上部に，
その底部外周で前記油通路24が開通されその底部中心で
前記油通路25が開通される弁室27を設け，この弁室27に
前記油通路25を塞ぐ突起28aを先端に有する弁体28を嵌
合するとともに，この弁体28と上方の支持板29との間に
支持ガイド30のまわりでスプリング31の介装し，弁体28
に一定の開放作動圧を設定するようにしたものである。
すなわち，この弁機構26によると，その油通路24の上流
側に一定のポンプ圧力を発生しない場合は油の流通を阻
止し，一定圧力以上が負荷される場合は弁体28が上方へ
移動し，油通路25へ油が送られる。この場合，後壁９に
はリリーフ路Ｌが設けられていて弁体28が一定以上上昇
するとリリーフ路と連通し送油の一部を配管Ｎへ流出さ
せる。そして，ポンプの運転停止時には，油槽ケース12
内からその下流側への油の侵入を阻止する役目を果す。
ポンプ作動時弁機構26からの送油の一部は配管Ｎを介し
て油槽12へ帰還移送されるが，配管Ｎの先端がフィルタ
ー22へ指向しているのでフィルター22の面に射出され
る。

以上に説明した２連形の油回転真空ポンプであると，そ
の油送りポンプIIIを，第１段ポンプ本体Ｉを内有する
ベースボディ１の一側に連設した第２段ポンプ本体IIの
後端側，即ちその反モータ側の駆動軸延出端3bに設置す
るようにしているので，その組立が簡単に行えるものと
なる。つまり，ポンプIIIの組立に際しては，ベースボ
ディ１に先ず第２段ポンプ本体IIの要素を取付，組立し
た後，その後壁（油送りポンプ前，外壁）９の背面に凹
設した固定子S₃内に，該固定子S₃から突出される駆動軸
延出端3bの上でロータR₃を組み込み，更に端板（油送り
ポンプ後壁）10を取付けるようにすればよいので，その
組立作業が非常に簡単に行なえるものとなる。

また，この油送りポンプIIIにより第２段ポンプ本体II
側から送り込まれる油は，その吸込ポート21に設けたフ
ィルター22を介して油槽ケース12の油面下より汲取られ
るものであるため，該油槽ケース12の油面に浮く汚染油
や混入異物を吸込むことがなく，異物等がポンプ本体I,
IIのポンプ室が入り込んでトラブルを起こすのを確実に
防止できる。この場合弁機構26がリリーフ作動中は油が
配管Ｎから油槽12側に帰還されるが，この帰還はフィル
ター22に指向すべく曲折された配管Ｎによって行なわれ
るので帰還油の動圧によってフィルター22に付着した生
成物ははぎとられる。そして又，真空ポンプの運転停止
時には，その弁機構26が働いて油送りポンプIIIの油通
路24,25を遮断し，ポンプ室内に該油通路24,25を通して
油槽ケース12内の貯溜油が侵入して来る不具合も有効に
阻止される。

なお，実施例は２連形の油回転真空ポンプに適用した場
合を示すが，本考案は単連形のものについても同様に適
用できることは勿論である。また油送りポンプとして
は，実施例のベーン形ポンプに限らず，その他例えば歯
車ポンプのような形式のものであってもよい。配管Ｎの
取付位置は，弁機構26がポンプ作動時送油によって上下
動しそのとき油の一部を油槽12に帰還させ得る位置であ
る。したがって図示例には限定されない。配管の形状も
図示例に限定されない。

〔考案の効果〕

本考案は，以上に述べたように，油送りポンプの配置お
よびポンプ本体への油供給機構を改良し合わせて油供給
機構における弁機構からの油の油槽への帰還をフィルタ
ーへ射出させるよう工夫したのでポンプ室への清浄な油
の供給とポンプ停止時の油の侵入防止が確保できるとと
もにフィルターの目づまりがなくなり油交換やオーバー
ホールのサイクルが少なくてすむなどの特性を備えた油
回転真空ポンプを実現し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す２連形の油回転真空ポ
ンプの縦断面図であり，第２図はその要部の詳細拡大図
である。 Ｉ……第１段ポンプ本体,II……第２段ポンプ本体 III……油送りポンプ,1……ベースボディ ３……駆動軸,3b……駆動軸延出端 11……吸込口,12……油槽ケース Ｏ……油,21……吸込ポート 22……フィルター,23……吐出口 24,25……油通路,26……弁機構 Ｎ……配管、Ｌ……リリーフ路

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ポンプ本体の反モータ側でその駆動軸端に
   油送りポンプを設け油槽ケース内の油面下にフィルター
   を介して該油送りポンプの吸込口を開口させ，かつこの
   油送りポンプから前記ポンプ本体に油を送り込む油通路
   にポンプ停止時での油の侵入を阻止する弁機構を設けた
   真空ポンプにおいて，前記弁機構のポンプ作動時におけ
   る送油の一部を油槽に帰還させる配管を設けるととも
   に，この配管の先端を前記フィルターに指向するよう曲
   折したことを特徴とする油回転真空ポンプ。