JPH0442557Y2 - - Google Patents

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JPH0442557Y2
JPH0442557Y2 JP19993786U JP19993786U JPH0442557Y2 JP H0442557 Y2 JPH0442557 Y2 JP H0442557Y2 JP 19993786 U JP19993786 U JP 19993786U JP 19993786 U JP19993786 U JP 19993786U JP H0442557 Y2 JPH0442557 Y2 JP H0442557Y2
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pump
exhaust
oil
oil tank
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【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は各種の真空機器分野で利用される油回
転真空ポンプに関するものである。
[従来の技術] 油回転真空ポンプは、その圧縮性能を増し到達
真空度を高める目的では、ポンプ本体を直列二段
に接続して構成した2連形のものが使用される。
この2連形の油回転真空ポンプは、第4図にその
概要が示される。すなわち、図示例の場合、適量
の油Oを貯溜する油槽ケースTの内部に共通の内
部構造(固定子S内にベーンV付き回転子Rを内
接させてなる)を有する第1、第2段のポンプ本
体,を配設してなる。ここにおいて、各段の
ポンプ本体,はそれぞれ吸気口a1,a2と排気
口b1,b2とを有し、第1段ポンプ本体の吸気口
a1にポンプの吸気口Aを通気系路Dを介して連通
させる一方、第2段ポンプ本体の排気口b2から
排気弁Eを介して間欠的に吐出される排気を油槽
ケースTの内部空間Cを通してからポンプの排気
口Bに導出させるようにし、さらに第1段ポンプ
本体の排気口b1と第2段ポンプ本体の吸気口
a2とを排気連絡通路Gで連通するようにしてい
る。そして、排気連絡通路Gを接続する第1段ポ
ンプ本体の排気口b1近傍にはリリーフ弁Fを備
えた中間排気口b3を設けて、例えばポンプの運転
開始時のように被排気容器の気体密度が高く第1
段ポンプ本体のポンプ室から相対的に容積の小
さな第2段ポンプ本体のポンプ室に排出される
気体のすべてを当該後段ポンプ室に導入すること
ができない時には、この中間排気口b3から直接排
気の一部をポンプの排気口Bと連通する油槽ケー
スTの内部空間Cに放出させるようにしている。
また、従来におけるこの種油回転真空ポンプの
組立構造としては、第5図に示すように、ベース
ボデイBBの一側にモータMを挟んで第1段のポ
ンプ本体と第2段のポンプ本体とを連接固定
し、更にこれら二段のポンプ本体,を包囲す
るようにして同ボデイBBの側面に油槽ケースT
を連着するようにしている。
[考案が解決しようとする問題点] しかし、かかる既往の構造であると、その第1
段ポンプ本体に所要の吸気系路(吸入パイプ)
Dを接続する上で、第5図に示すように、これを
油槽ケースTを貫通させなければならないこと、
等の不都合を生じる。つまり、この取付構造では
組立時における吸入パイプDと油槽ケースTの貫
通孔とのセンタリングが難しく、この貫通部位に
〓間が出来るとケースTから排気が漏れて、特に
危険ガスを使用する場合に問題となる。
また、油回転真空ポンプはその油槽ケースに貯
溜した油をポンプ室に供給しながら排気動作を行
なわせるものであるため、一般にその排気中に油
滴を連行し易く、また排気音が大きい問題がある
(特に第1段ポンプ本体の排気口からの排気リリ
ーフ時では油を含んだ排気が勢いよく油槽ケース
内に噴出される)。この問題に対処するため、従
来からも油槽ケース内に種々形態の仕切板を配設
し、その内部空間に吐出された排気中からの油滴
の分離を図り、あるいは消音効果を得る対策が講
じられているが、未だ不十分な状況にある。
本考案は、このような諸問題点を解消し、ある
いは軽減し得るように改良された構造の油回転真
空ポンプを新たに提供しようとするものである。
[問題点を解決するための手段] 本考案は、この目的を実現するものとして、次
の構成を具備したものを提供する。すなわち、ベ
ースボデイの内部に第1段のポンプ本体を設け、
前記ベースボデイの一側に連着した油槽ケースの
内部に第2段のポンプ本体を収容してなる2連形
の油回転ポンプであつて、前記油槽ケースの内部
に、前記第2段ポンプ本体の排気口を覆つて該排
気口から吐出される排気をその内面に沿つて案内
する断面山形の仕切板を配設するとともに、前記
油槽ケースと前記ベースボデイとの間に仕切隔板
を設け、前記第1段ポンプ本体の排気口から吐出
される排気を該仕切隔板に設けた狭いガス通路を
通して油槽ケース内の前記仕切板で形成した排気
通路に導出するようにしたものである。
[作用] 上記構成の油回転真空ポンプであると、先ず、
その第1段のポンプ本体をベースボデイの内部に
設けるようにしているので、必要な吸気系路は該
ボデイ内に設置することができる。従つて油槽ケ
ースに吸入パイプを貫通する構造の場合の組立、
取付の不便が回避され、加えてベースボデイに対
する油槽タンクの取付、組立作業の簡便化やポン
プ全体のコンパクト化が図れる。
また、このものでは第2段ポンプ本体の排気口
を覆つて断面山形をなす仕切板を設けるようにし
ているので、排気中からの油滴除去効果がより確
実なものに改善される。仕切板はポンプ本体の排
気口から吐出される排気を一旦遮蔽して減勢し、
油槽タンク内で排気をその内面に沿つて案内しつ
つ油滴分の分離を促進するものであるが、従来の
仕切板では油滴をトラツプしてもそれが仕切板の
表面に溜つて、ポンプ本体から勢いよく排気が噴
出されるときそれが再び飛散して排気と共にポン
プの排気口から放出される不具合が生じている。
これに対し、本考案に係る仕切板では断面山形で
両側に傾斜面が付いているので、その表面に付着
した油滴は順次流れ落ち滞留することがない。
更に又、この考案では、その油槽ケースとベー
スボデイとの間に仕切隔板を設け、第1段ポンプ
本体の排気口からそのリリーフ時に吐出される排
気を、該仕切隔板を設けた狭いガス通路を通して
油槽ケース内の前記仕切板で形成した排気通路に
導出させるようにしているので、排気中からの油
滴の分離除去とその排気音の低減に一層有効に作
用する。つまり、この構造では第1段ポンプ本体
の排気口からリリーフ時に勢いよく吹き出される
ガスが、該排気口の上のベースボデイ内で略密閉
された空間(その5面が内壁と仕切隔板とにより
塞がれている)で一旦膨張拡散し、減勢してから
仕切隔板の狭いガス通路を通して油槽ケースの内
部空間に導き出されることになるため、この種ポ
ンプの騒音発生と油拡散の大きな要因であつたリ
リーフ時における排気の激しい吹き出しを緩和
し、油の飛散防止と消音効果とをもたらすものと
なるのである。
[実施例] 以下、本考案の一実施例を第1〜3図を参照し
て説明する。
本考案に係る油回転真空ポンプは、第1図にそ
の縦断面を示すように、容積の大きな第1段のポ
ンプ本体と容積の小さな第2段のポンプ本体
とを直列二段に接続して構成される。ここに各段
のポンプ本体,は、第2図に示すように、固
定子Sを形成するポンプフレームにその軸心から
二葉のベーンVを凸没自在で逆向きに突出する回
転子Rを偏心位置で摺接させてなるもので、この
回転子Rの駆動回転下に、各ベーンVの後方に形
成される増溶ポンプ室に吸引し、前方に形成され
る減容ポンプ室から排気する周知のポンプ機能を
営ませるようにしている。
この2連形の油回転真空ポンプにおいて、第1
段のポンプ本体は、後述する吸気系路を含めて
これをベースボデイ1の内部に設けるようにして
いる。すなわち、ベースボデイ1を第1段ポンプ
本体のポンプフレームに兼用し、その内部に形
成した固定子Sの空間にベーン付き回転子Rを配
置し、該回転子Sの軸心部に回転軸4を貫装して
いる。そして、固定子Sと回転子Rとによりつく
られる当該ポンプ室の両側を前壁5と中間壁6と
により各々閉塞しているとともに、この中間壁6
を介して第2段のポンプ本体をベースボデイ1
に取着している。第2段ポンプ本体は、前述の
ようにポンプ容積を小さくした点を除き、第1段
ポンプ本体と同様の構成を具備しており、両回
転子R,Rを同軸上に連装した前記回転軸4が延
出されるその後端側を後壁7で閉塞している。な
お、この後壁7には更にその背面に端板8を接合
し、両者の間に前記回転軸4を駆動軸として作動
される小さな油送りポンプ(ロータリポンプ)
を設けている。
このようにしてベースボデイ1の後側に取着さ
れる第2段ポンプ本体等は、このベースボデイ
1の一側の端面外周に連着した油槽ケース2の内
部に収容され、さらに該油槽ケース2の中に注入
貯溜される油Oにその大部分が浸漬されることに
なる。なお、この油槽ケース2内の油Oはベース
ボデイ1内で第1段ポンプ本体のまわりに凹設
した空間にも導入されることになる。また、ロー
タリポンプの各段に必要な油Oは前記油送りポン
プから所要の油通路を通し供給されて循環され
る。一方、ベースボデイ1の前側には、その端面
外周に前カバー3を取着し、前記前壁5から貫出
される回転軸4にベースボデイ1の前側壁を直接
冷却するフアン9を設けているとともに、カツプ
リング10,10を介し回転軸4を図外のモータ
と接続している。
次いで、第1、第2段ポンプ本体,に接続
される吸、排気系について説明する。この種のポ
ンプにおける吸、排気系は、既に第4図に示した
通りであるが、この場合、まず第1段ポンプ本体
の吸気口11とポンプの吸気口Aとがベースボ
デイ1の内部に開通させた吸気系路11Aにより
接続連通されている。また、第1段ポンプ本体
の排気口12と第2段ポンプ本体の吸気口14
とが前記中間壁6に穿設した排気連絡通路13で
連通されている。そして、第1段ポンプ本体に
そのポンプ室から排気の一部を直接逃がすための
一組の中間排気口15,15が固定子Sを上方に
貫通して設けられている。この中間排気口15,
15はベースボデイ1の内部で、上壁16aと、
前壁16bと、側壁16c,16dとが包囲して
形成する空間(排気室)17に開口されていると
ともに、第1段ポンプ本体の排気圧が一定以上
に上昇したときのみ、これを開放するリリーフ弁
18,18を付設している。具体的には、排気室
17にその上壁16aから支持ガイドロツド18
c,18cを垂下し、これと弁体18a,18a
とに該弁体18a,18aを弁座に付勢するバネ
18b,18bを介装してなる。なお、支持ガイ
ドロツド18c,18cの一本には、その上端に
封止栓20を螺着する通気路19を内部に穿孔し
て、ベースボデイ1内の排気室17に該通気路1
9からチヤージ用ガスを流入できるように工夫し
ている。
また、第2段ポンプ本体には第1段から送り
込まれる排気を更に圧縮した後これを間欠的に排
出するための排気口21が設けられている。この
排気口21は、固定子Sを上方に貫通して、油槽
ケース2の内部空間22に開口されているととも
に、これを所定の排気圧で作動させる排気弁23
を備えている。すなわち、第2段ポンプ本体の
フレーム上に設けた縦壁24に支持板25を架設
し、この支持板25から支持ガイドロツド23c
を垂下し、これと弁体23aとに該弁体23aを
弁座に付勢するバネ23bを介装してなる。なお
その支持板25の後端部には前記油送りポンプ
のオイル供給量を調整する弁機構26が付設され
ている。そして、この第2段ポンプ本体の排気
口21から吐出される排気は、第1段ポンプ本体
の前記中間排気口15から吐出される排気と共
に油槽ケース2の内部空間22を通り、最終的に
油槽ケース2の後部上壁に設けたポンプの排気口
Bより外部に放出される。
しかして、このような構造の2連形油回転真空
ポンプにおいて、その油槽ケース2の内部空間2
2に、第2段ポンプ本体の排気口23を覆うよ
うに断面山形の仕切板27を配設している。この
仕切板27は、第3図に示すように、その片側に
急勾配の短斜辺部27aを反対側に緩勾配の長斜
辺部27bを形成して、その中高部を第2段ポン
プ本体の排気口21の位置する側に偏心させて
いるとともに、油槽ケース2内でベースボデイ1
との接合面から該油槽ケース2の後壁近傍にまで
延設されている。そして、この仕切板27はその
下方に排気通路28を形成し、第2段ポンプ本体
の排気口21から吐出される排気を一旦その内
面に沿つて案内してから上方の内部空間22に流
通させる。また、この仕切板27を内有する油槽
ケース2とベースボデイ1の前記排気室17との
間には仕切隔板29を介設し、この仕切隔板29
とベースボデイ1の前述した各壁とにより、第1
段ポンプ本体の中間排気口15の上でベースボ
デイ1の内部に形成される前記排気室17の5面
を包囲するようにしている。そして、この仕切隔
板29の下端にスリツト状の狭いガス通路30を
開口させ、中間排気口15から吐出させる排気を
密閉タイプの排気室17で膨張拡散させ減勢して
から、このガス通路30を通して油槽ケース2内
に配設した仕切板27下方の前記排気通路28に
導出するようにしている。
なお、この実施例の場合、油槽ケース2の内部
空間22を画成する仕切板27とこれとベースボ
デイ1の空間(排気室)17とを画する仕切隔板
29とは一体に組立られており、ベースボデイ1
の前記側壁16c,16dと、第2段ポンプ本体
上の前記支持板25との接触部位に固定具31
を止着して固定されている。
以上に説明した本考案に係る2連形の油回転真
空ポンプでは、既述のように、ベースボデイ1の
内部に第1段のポンプ本体を設置しているため
吸入パイプの接続等が不要で、ポンプ全体として
の組立が簡便となり小型化にも資する。そして、
この構造により油槽ケース2内の気密性を保ち、
またベースボデイ1の排気室17にはチヤージ用
ガスの流入機構を装備しているから、危険ガスを
排気する上での安全性も確保される。そして、油
槽ケース2内に第2段ポンプ本体の排気口21
を覆つて断面山形をなす仕切板27を配設したこ
とと、ベースボデイ1内の排気室17と油槽ケー
ス2内とに仕切隔板29を介設し、第1段ポンプ
本体からの排気を該仕切隔板29に設けた狭い
ガス通路30から仕切板27が形成する後方の排
気通路28に導出せしめるようにしたことで、両
ポンプ本体,からの排気を内部でよく沈静化
し、また特に仕切板27には油滴が溜ることがな
いので、ポンプの排気口Bから油滴を連行した排
気を放出することも軽減れ、更に消音効果もアツ
プする。
[考案の効果] 以上の通り、本考案によると組立簡単で、ポン
プの排気口からの油の放散が少なくかつ排気音の
静かな特性を備えた油回転真空ポンプを提供する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示す2連形の油回
転真空ポンプの縦断面図であり、第2図は第1図
のX−X線断面図、第3図はY−Y線断面図であ
る。第4図は2連形の油回転真空ポンプの構成例
を示す概略断面図であり、第5図は同じく組立構
造を示す概略断面図である。 ……第1段ポンプ本体、……第2段ポンプ
本体、1……ベースボデイ、2……油槽ケース、
3……前カバー、4……回転軸、15……第1段
ポンプ本体の中間排気口、17……ベースボデイ
内の空間(排気室)、21……第2段ポンプ本体
の排気口、22……油槽ケースの内部空間、27
……仕切板、28……排気通路、29……仕切隔
板、30……ガス通路、A……ポンプの吸気口、
B……ポンプの排気口、O……油。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ベースボデイの内部に第1段のポンプ本体を設
    け、前記ベースボデイの一側に連着した油槽ケー
    スの内部に第2段のポンプ本体を収容してなる2
    連形の油回転ポンプであつて、前記油槽ケースの
    内部に、前記第2段ポンプ本体の排気口を覆つて
    該排気口から吐出される排気をその内面に沿つて
    案内する断面山形の仕切板を配設するとともに、
    前記油槽ケースと前記ベースボデイとの間に仕切
    隔板を設け、前記第1段ポンプ本体の排気口から
    吐出される排気を該仕切隔板に設けた狭いガス通
    路を通して油槽ケース内の前記仕切板で形成した
    排気通路に導出するようにしたことを特徴とする
    油回転真空ポンプ。
JP19993786U 1986-12-25 1986-12-25 Expired JPH0442557Y2 (ja)

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JP19993786U JPH0442557Y2 (ja) 1986-12-25 1986-12-25

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JPS63104693U JPS63104693U (ja) 1988-07-06
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JP2812022B2 (ja) * 1991-11-12 1998-10-15 松下電器産業株式会社 バイパス弁装置を備えた多段気体圧縮機
DE102006058839A1 (de) * 2006-12-13 2008-06-19 Pfeiffer Vacuum Gmbh Schmiermittelgedichtete Drehschiebervakuumpumpe
US10760573B2 (en) * 2014-06-27 2020-09-01 Ateliers Busch Sa Method of pumping in a system of vacuum pumps and system of vacuum pumps

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