JPH0788910B2 - 弁マニホールド積重ね台 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明の属する技術分野は、一般的には、弁に関する装
置のクラスにある。さらに詳しくいえば、切換弁を圧力
調整弁もしくは流量制御弁またはそれらの両方と共に用
いる場合のマニホールドに関するものである。

〔従来の技術〕

今日の工業プラントは、空気圧によつて作動される流体
圧制御装置を備えた様々な機械を用いている。そのよう
な機械に用いる流体圧制御装置は、機械ごとに異つてい
る。ある流体圧制御装置は、圧力調整弁を備えた切換弁
を用い、他の同様の装置は、圧力調整弁と流量制御弁手
段を切換弁とともに用い、なお他の装置は流量制御弁手
段だけを切換弁とともに用いることがある。これまで、
切換空気弁が圧力調整弁または、流量制御弁手段を備え
るべきであつた流体圧制御装置に必要であつた場合、切
換弁マニホールドまたは台に取付けられるサンドイツチ
板または界面板を設けることが必要であって、圧力調整
弁および流量制御弁手段をサンドイツチ板または界面板
に取付けることになっていた。圧力調整弁または流量制
御弁手段を切換弁構造に付加するためにサンドイツチ板
または界面板を用いることによつて生じた問題は、その
ような追加物が切換弁構造全体を大きくし、弁構造の価
格と重量を増大し、そのような構造をさらに複雑にする
ことである。上記のようなサンドイツチ板または界面板
を用いることによつて切換弁が大きくなることは、積重
ね切換弁にそのような構造を用いるとき、一つの欠点で
ある。というのは多くの場合に、その切換弁構造は、そ
れが制御している機械、例えば、ロボツト装置などの非
常に小さな空間または領域内に取付けなければならない
からである。圧力調整弁または流量制御弁を追加するた
めにサンドイツチ板または界面板を用いることのそのほ
かの欠点は、そのような板が弁構造全体に追加の重量を
付加することであつて、それは弁を多くの作動位置の間
で動かされるロボツト腕に用いなければならないとき不
都合な点である。圧力調整機能および流量制御機能を与
えるためにサンドイツチ板または界面板を用いる従来の
切換弁の代表例がターボツクス（Tarbox）の米国特許第
3,513,876号に記載され例示されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

空気圧制御装置においてサンドイツチ板を用いて圧力調
整機能と流量制御機能を与えることが必要なときに、価
格の増大、重量の増加および構造の大形化の問題を克服
する新規なマニホールド積重ね台を提供することが本発
明の主な目的である。

本発明のもう一つの目的は、軽量で構造が小型であり、
圧力調整機能と流量制御機能の両方を与えるかまたは前
記二つの機能のどちらも与えないかを選択的に行えるよ
うに構成された新規なマニホールド積重ね台を提供する
ことである。

本発明のさらに別の目的は、必要な圧力調整機能または
流量制御機能のどれをも与えるためにサンドイツチ板ま
たは界面板を必要としない切換弁構造のための新規なマ
ニホールド積重ね台をさらに提供することである。

本発明のなおもう一つの目的は、低い輪郭の弁構造を与
え、なお圧力調整機能と流量制御機能を与えるのに用い
ることのできる切換弁構造のための新規なマニホールド
積重ね台を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

前述の目的は、構造が簡単で小型であり、製作が経済的
なマニホールド積重ね台を提供することによつて達成さ
れる。本発明のマニホールドは、横方向に貫通して伸び
る共通入口圧力通路を備え、その共通入口圧力通路は、
本発明に従つて作られた隣接マニホールド積重ね台にあ
る同一共通入口圧力通路と相互に接続される。本発明の
マニホールド積重ね台はまた、隣接のマニホールド積重
ね台にある類似の共通排気通路と連通するように構成さ
れた共通排気通路をも備えている。このマニホールド積
重ね台は、台の中に形成された通路を通して台に取付け
られた切換弁内のシリンダ室と連通するように構成され
た１対のシリンダポートを備えている。マニホールド積
重ね台にある共通の入口圧力通路および排気通路は、積
重ねた前記台の中の最も外側の台に取付けられた１対の
端板にある入口ポートと排気ポートにそれぞれ連通する
ように構成されている。単一のマニホールド積重ね台だ
けを空気圧制御装置に用いる場合、その単一の台が１対
の端板の間に取付けられる。

マニホールド積重ね台内の共通の入口圧力通路と排気通
路は、台に形成された通路を通して台に付けられた切換
弁の入口室と排気室のそれぞれと連通している。本発明
のマニホールド積重ね台は、台に取付けられた切換弁か
らの排気の流れを選択的に制御するために一つ以上の流
量制御弁をもつたり、もたなかつたりすることを選択に
できるように構成、配置されている。このマニホールド
積重ね台はまた、その台に取付けた制御弁に供給されて
いる加圧空気に対する圧力調整機能を与えるため、また
は与えないために台に圧力調整弁を選択的に取付けた
り、取付けなかつたりするように構成されている。本発
明のマニホールド積重ね台は、その台を通る種々の流路
の新規な配置のために軽量で小型であり、いくつかの通
路は、１対の隣接して積重ねられた同一の台または１対
の端板によつて囲われた台の側面界面に部分的に形成さ
れている。

マニホールド積重ね台の重量はまたその台の底と側面に
沿つて重量軽減用穴を設けることによつて減らされる。

〔実施例〕

第１図は、本発明の原理に従つて作られたマニホールド
積重ね台を備えた二段重ね４方切換空気弁の斜視図であ
る。数字10は、数字11によつて総括的に示された従来の
電磁弁が作動できるように取付けられているマニホール
ド積重ね台を表している。図示の電磁切換弁の各々は、
個々のマニホールド積重ね台10に１対の適当な小ねじ12
によつて取外し可能に固定されている。第５図に示した
ように、弁小ねじ12は各弁にある穴13を通して隣接のマ
ニホールド積重ね台10にあるねじ付き穴14とねじ係合す
るように伸びている。各切換弁11は、数字15によつて総
括的に示されている従来のソレノイドを備えている。各
電磁切換弁11の一方に複数の適当な小ねじ16によつて作
動できるように接続されている。マニホールド積重ね台
10は、数字17および17′によつてそれぞれ総括的に示さ
れた右側端板および左側端板によつて作動できる形で一
つに接続されている。端板17および17′は、マニホール
ド積重ね台10に１対の適当なタイロツド18によつて固定
され、このタイロツドは、適当なタイロツド穴19（第
２、６および９図）を通してマニホールド積重ね台10を
横に貫通して伸びて第１図に示された構造の遠い側面で
適当なナツトに係合して締め付けを行う。

切換弁11は、本発明のどの部分をも形成しないで、例示
のために、４方ポペツト弁が示されたのであり、それは
米国特許第4,574,844号に完全に記載されている。

第１図ないし第18図は、本発明の第１の変形を示してお
り、第８図に数字20および21によつて総括的に示されて
おり、切換弁11からの排気流量を制御する１対の流量制
御弁と切換弁11への入口圧力を制御するピストン型圧力
調整弁22（第18図）とを備えたマニホールド積重ね台を
含んでいる。

端板17および17′の各々は、同じように構成され、それ
らはそれぞれ入口供給圧力通路24と連通する（第15図）
供給圧力ポート23を備えている。使用にあたつては、端
板17および17′の両方にある供給圧力ポート23を、加圧
空気の源に接続することもできるが、むしろ供給圧力ポ
ート23の一方に栓をして、そのような弁の積重ねの中の
弁すべてに供給圧力ポート23の他方のポートを通して加
圧空気を供給するのが好ましい。

端板17または17′にある入口供給圧力通路24は、隣接マ
ニホールド積重ね台10を横に通つて（第５図）伸びる共
通入口供給圧力通路25の一端と連通している。第２図に
示されているように、一次加圧空気の供給をするための
供給入口通路25は、マニホールド積重ね台10の右端で第
２図で見られるような、マニホールド積重ね台10の右端
表面または界面に形成された室27（第７図）と通じてい
る縦に伸びた入口通路26と通じている。

第18図に示されているように、マニホールド積重ね台10
にある界面室27は、圧力調整弁22の胴29の前端に形成さ
れた入口室28と通じている。従つて端板17に入る供給加
圧空気すなわち一次加圧空気は、通路24、25および26を
通して、台10にある室27に運ばれ、次いで連通している
圧力調整器入口室28の中へ運ばれる。

圧力調整弁胴29は、それの上側前端に沿つた一体のフラ
ンジ32を備えている。第18図に示されているように、圧
力調整弁22は、調整ばねケース33を備え、ばねケース33
は圧力調整弁胴29の外側端に１対の適当な小ねじ34によ
つて固定され、小ねじ34は、ばねケース33の前端にある
一体フランジ36を通して形成された穴を通し、次いで圧
力調整弁胴29を通して形成された穴37を通して伸び、マ
ニホールド積重ね台10の右端（第２図で見て）に形成さ
れえたねじ付き穴38（第７図）とねじ係合する。

第18図に示されているように、圧力調整弁胴29にある入
口室28は、縦に配置された入口通路42を通して調整され
た加圧空気すなわち二次加圧空気のための横方向通路43
と通じている。二次圧力通路43の一端は適当な栓44によ
つて囲われている。二次圧力通路43の他端は、縦に伸び
に二次圧力通路45と通じ、その通路45は圧力調整弁胴29
の前端の前面で開いて、隣接マニホールド積重ね台10に
ある縦に伸びた二次圧力通路46（第２、７および11図）
と通じている。

第18図に示されているように、入口通路42を通り、二次
圧力通路43に入る一次圧力の流れは、調整ポペツト弁49
によつて制御される。ポペツト弁49は、入口通路42の外
側端を越えて着座位置すなわち閉じた位置に適当なばね
50によつて押しつけられる。ばね50の一端は、ポペツト
弁49の外面に押しつけて取付けられ、他方の端はマニホ
ールド積重ね台10の右端に形成された界面室27（第７
図）の内壁に一体に形成された円筒形案内ピン51の回り
に据えられる。ポペツト弁49は、細長い軸またはピン52
の外側端に取付けられている。軸52の内側端は、円錐形
に形作られている。ピン52は入口通路42を内方に通り、
二次圧力通路43を通り、ピストン室またはシリンダ55と
通じている軸方向穴54を通つて伸びている。穴54の直径
は、穴54とピン52との間に最小のまたは、精密な裕度の
すきまを与える寸法に作られるので、穴54は、ポペツト
弁ピン52に対する案内および支持の機能を与える。

穴39が二次圧力通路43とピストンシリンダ55との間の壁
56を通して形成されている。穴39は、突起40を通して二
次圧力通路43と通ずる一端をもつている。穴39の他方の
端は凹所41を通してピストンシリンダ55と通じている。
穴39は、穴54の下流にある。穴39は、ベンチユリ、すな
わちピトー管として働くので、ポペツト弁49が開くと空
気が通路43を通して流れ始め、ピストンシリンダ55の中
の空気を低い圧力に保つ吸込み効果が生ずる。空気圧力
は、穴39を通つてピストンシリンダ55の中に入らない。
穴39を通り過ぎて流れる空気は、ピストンシリンダ５の
中の圧力を通路43の中の圧力より低いレベルに保つの
で、ポペツト弁49が開くと、それは迅速に開いて完全に
開いた状態にとどまる。

第18図に示されているように、円筒形調整ピストン58が
ピストンシリンダ55の中に可動に取付けられている。調
整ピストン58はそれの前端に適当な環状シール59とそれ
の後端に円筒形軸方向の内方に伸びた凹所60とを備えて
いる。調整ばね61が調整ピストン58の後端にある凹所60
に据えられた内端をもつている。内方に伸びた穴62が調
整ピストン58の前端に形成され、それは縮小径穴63との
連絡点まで内方に伸びている。穴63は、調整ピストン58
の後端にある凹所60と通じており、二次圧力ブリード通
路を形成している。穴62と63との間の肩によつて形成さ
れた接合点は、弁座64を形成している。第18図に示され
ているように、調整弁部材49のポペツト弁ピン52にある
円錐形内側端53は、弁座64に常時は着座させられてい
る。ポペツト弁ピン52が二つの点すなわち最小の隙間の
穴54と弁座64とにおいて支えられていることがわかるで
あろう。

第18図に示されているように、調整ばね61はばねケース
33の中のばね室66に配置されている。調整ばね61の外側
端は、ばね圧力調整ナツト67の内面に押付けて据えら
れ、ナツト67は、ばね圧力調整ねじ68にねじ結合式に取
付けられている。第８図に示したように、ばね室66の内
側周辺は、断面が六角形でありナツト67の六角形の断面
の外側表面にはまつている。従つて、ばね室66の相補内
側表面は、ナツト67とすべり係合できるようになつてい
るが、ナツト67が室66の中で回転するのを防止してい
る。

第18図に示されているように、圧力調整ねじ68は、その
外側端に一体のフランジ70を備え、かつばねケース33の
端壁73を通つて形成された軸方向穴72の中に回転可能に
取付けられている一体軸71をも備えている。止めナツト
74が軸71に取付けられ、かつばねケース壁73の外面に押
付けて据えられている。調節ノブ76が軸71に一体に形成
されると共に、それはばねケース33の外方へ伸びてい
る。ノブ76は、ねじ68を回わして調整ばね61によつて加
えられる圧力を調節するための工具を受ける溝穴78を備
えている。

調整ポペツト弁49は、第18図において常閉位置に示さ
れ、それは、二次圧力が減少した圧力に置き替るように
用いられるとき、要求のあり次第開く。調整ポペツト弁
49は、調整ばね61によつて調整ピストン58に加えられる
調整力によつて開位置へ動かされ、調整ばね61は、圧力
調整ねじ68によつて所望の調整力の位置まで圧縮され
る、調整ピストン58のの第18図で見て左への運動は、調
整ポペツト弁ピン52を動かして調整ポペツト弁49を開位
置へ動かす。二次圧力は、穴39及び穴54とピン52との間
の最小隙間を通過し、それは調整ピストン58の外面に対
して働く。二次圧力が調整ばね61の圧力に対して増加す
るにつれて調整ポペツト弁49は、第18図に示された閉位
置へ動く。一次圧力と二次圧力の間の差の量は、調整ピ
ストン58に加わる圧力を調整ばね61によつて調節するこ
とによつて変る。調整ポペツト弁49が閉じているとき、
二次圧力は、静圧力となる。しかし、切換弁11を作動す
ると、二次圧力が用いられて、二次圧力の降下が二次通
路43の中に生ずる。次に調整ばね61は、調整ピストン58
を前方へ、すなわち第18図で見て左へ動かして、調整ポ
ペツト弁49を開位置へ動かし、プリセツト二次圧力条件
に再び達するまで一次圧力を通路43の中に入れる。所望
の二次圧力またはプリセツト二次圧力に再び達すると、
調整ピストン58の前端に加えられた二次圧力は、調整ピ
ストンを第18図で見て右へばね61の圧力に抗して動か
し、調整ポペツト弁49を閉位置へ戻す。

通路43の中の二次圧力が何らかの理由で所望のプリセツ
ト二次圧力より上に増加する場合、増加した二次圧力
は、穴39及び弁ピン52と穴54との間の最小隙間を通過し
て調整ピストン58を第18図で見て右へ動かして弁ピン端
53を弁座64から外して大きくなつた二次圧力または過剰
の二次圧力をブリード通路63を通してばね室66に、次い
で通気穴77を通して外へ排出できるようにし、それをプ
リセツト二次圧力に達するまで続け、二次圧力に達した
ときには、調整ピストン58は再び左へ動いて再び弁座64
の上の円錐形状のピン端53に載る。

第18図に示したピストン型圧力調整器は、その新規な成
形プラスチツク構成のために軽量な圧力調整器である。
第18図に示した圧力調整装置の金属で作られた部品は、
ばね50、ポペツト弁ピン52、ばね61、ナツト67、ねじ68
及びねじ付属部品70〜76だけである。調整ポペツト弁49
は、適当なエラストマ材料で作られる。圧力調整器ケー
ス29、栓44、ばねケース33及び調整ピストン58は、それ
ぞれ「デルリン（商品名）」のような適当な成形プラス
チツク材料で作られる。最後に述べた調整器の部品を成
形プラスチツク材料で作ることは圧力調整器を軽量なも
のにし、それは動作が速く、円錐形のピン端またはブリ
ード弁53をプラスチツク座64に付けることについての制
御を精密かつ正確なものにするので、ブリード通路63の
開閉はピストン58の運動に伴つて瞬間的に得ることがで
きる。それというのも円錐形ピン端53がプラスチツク座
64に載るとき、そのピン端53によつてプラスチツク成形
材料が圧縮されないからである。

第２、５及び11図において最もよく見られるように、二
次加圧空気の流れは、圧力調整器22からマニホールド積
重ね台10にある縦の通路46及び垂直通路80を通して、弁
11の中の通路81に上向きに入り、次に弁入口室82（第２
図）の中に導かれる。この例示的切換弁11は、普通の弁
スプール穴88の中に可動に取付けられ、数字83によつて
総括的に示されている普通の弁スプールを備えている。
弁スプール83は、入口室82から選択的に第１のシリンダ
室89または第２のシリンダ室90に入る二次加圧空気の流
れを制御すると共に前記二つのシリンダ室から１対の排
気室93と94への排気の流れを制御する複数のポペツト弁
要素84〜87を備えている。

例示的弁スプール83は、第２図において入口室82から第
１のシリンダ室89に入る二次圧力の流れを可能にし、排
気を第２のシリンダ室90から排気室94の中に排気できる
ように位置決めされているものとして示されている。排
気室93は、ポペツト弁要素86によつて止められている。
弁スプール83が最後に説明した位置にあるとき、二次加
圧空気は、入口室82から弁スプール穴88を通して第１の
シリンダ室89の中に通ることができ、そこから二次加圧
空気は、弁11の胴にある第１のシリンダ通路95の中に下
向きに（第２図）通る。第２図及び第10図に示されてい
るように、弁11の中の第１のシリンダ通路95は、マニホ
ールド積重ね台10にある垂直な第１のシリンダ通路96と
通じている。台10にある通路96は、水平通路97と通じて
おり、通路97は第１のねじ付シリンダポート98と通じて
いる。

弁スプール83が第２図に示された第１の位置にある場
合、第２のシリンダねじ付ポート100は、以下の通路を
通して弁11にある排気室94に接続されるであろう。第２
図及び第11図に示されるように、第２のシリンダポート
100は、その内側端において横向き通路101に接続されて
いる。第２図及び第６図に示されているように、横向き
通路101は、その外側端において台10の片側に沿つた縦
に伸びた通路102と通じている。通路102は、一端におい
て横向き通路101と通じ、他方の端において垂直通路103
と通じている。通路101〜103は、台10の隣接側面の外側
に開くが、それらは端板または隣接して配置された積重
ね台10によつて、その台が組入れられている積重ね配置
に従つて、囲われている。第４図に示されているよう
に、垂直通路103の上側端は、台10の上側端にある通路1
04の下側端と通じている。台10にある通路104は、弁11
にある垂直通路105の下側端と通じ、垂直通路105は、弁
11にある第２のシリンダ室90と通じている。

最後に説明した通路を通つて第２のシリンダ室90の中に
排気する加圧空気は、弁スプール83が第２図に示された
位置にあるとき、弁スプール穴88を通して排気室94に排
気される。第２図及び第９図に最もよく見られるよう
に、弁11の中の排気室94は、弁11の中の垂直通路108を
通して接続され、通路108は、その下端で台10にある垂
直通路109の上端と通じている。第９図及び第10図に示
されているように、台10の垂直通路109は、水平の円筒
形穴110と通じている。第10図及び第16図に示されてい
るように、穴110は、台10の右端まで伸びている軸方向
に配置された流量制御弁室111と通じている。

第３図に示されているように、流量制御弁室111は、横
方向の水平排気通路112と通じ、通路112は、次に第２図
で見て台10の前側に沿つて形成されている垂直排気通路
113と通じている。第３図に示されているように、排気
通路113の下端は、台10の下端を通過し、垂直排気通路
の下端と共に共通排気通路を形成する横向き排気通路11
4と通じている。端板17及び17′は、それぞれ、第３図
に示されているように、台10の両側面で開いている横向
き排気通路112と通ずるねじ付排気ポート115を備えてい
る。

第８、16及び17図に示されているように、数字21によつ
て総括的に示された流量制御弁が流量制御弁室111の中
に作動できるように取付けられている。弁排気室94から
端板17にある排気ポート115への排気の流れを流量制御
弁21によつて制御できる。流量制御弁21は、数字120
（第16図）によつて示されているように、それの中央と
前端に沿つて円筒形に形作られている胴をもつている。
流量制御弁胴の円筒形部分120の前端には、円錐形に形
作られた弁体121が一体に形成され、弁体121は、穴110
と流量制御弁室111の内側端との接合点に形成された弁
座122を通る流体の流れを制御するように構成されてい
る。第16図に示されているように、流量制御弁121は、
実線の開位置に示されている。数字121aは、流量制御弁
体121が第16図に示された実線の開位置から内方へすな
わち左へ調節されているときの流量制御弁体121の破線
の閉位置を示している。

流量制御弁21は、それが流量制御弁体121の位置を調節
するために回転されるとき、縦方向に静止したままであ
る調節制御ヘツド123をもつている非上昇型弁である。
円筒形調節ヘツド123は、適当な工具を用いて調節ヘツ
ドを回転するためにその外側端面に形成された横方向溝
穴124を備えている。調節ヘツド123は、圧力調整弁胴29
のフランジ32を通して形成された穴125の中に回転可能
に取付けられている。

第16図に示されているように、円筒形調節ヘツド123
は、その内側端に調節ヘツド123の直径より大きい直径
の一体フランジ128を一体に形成されている。一体フラ
ンジ128は、穴125の内側端に形成され穴125より大きい
直径に形成されている穴129の中に回転可能に据えられ
る。調節ヘツド123はさらに滑らかな外側周辺を有し、
フランジ128の内側にフランジ128の外形より小さい直径
に一体に形成された一体軸部分130を備えている。調節
ヘツド軸部分130は、台10の外側面に形成された環状凹
部132に据えられる適当なｏリングシール131を周りに取
付けられている、凹部132は、フランジ128が据えられる
フランジ穴129より大きい直径に形成されている。第16
図に示されているように、細長いねじ付調節ねじ軸133
がヘツド軸部分130の内側側面に一体に形成されてお
り、それは流量制御弁胴120の後端に形成されている縦
方向に伸びたねじ付穴134の中に取付けられて作動する
ようになつている。

第17図に示されているように、流量制御弁室111の外側
端は、断面が六角形の部分を備えている。流量制御弁胴
120の後端部分はまた、六角形の流量制御弁室111に摺動
可能に取付けられているように周囲が六角形となつてい
る。流量制御調節ヘツド123をどちらかの方向に回転す
るとき、ねじ付調節ねじ軸133がその縦方向の位置にと
どまることがわかるであろう。

ねじ付調節ねじ軸133を弁胴ねじ付穴134の中で回すこと
によつて、弁胴120が流量制御弁室111の六角形断面部分
にある流量制御弁胴120の六角形後端部分の滑り効果に
より、いかなる回転もない直線動作で前方または後方に
動く。従つて、流量制御弁121の弁座122に対する位置決
めは、非上昇型流量制御弁21の最後に説明した部品によ
つて制御される。

第16図に示されているように、流量制御調節ヘツド123
のどんな縦方向の動きもフランジ128によつて防止さ
れ、フランジ128は、ｏリング環状凹部132の中に据えら
れているｏリング131の保持作用によつて穴129の横方向
の面に押付けて適所に保持される。

以上のことは、例示的切換弁11の弁スプール83が第２図
に示した第１の位置にあるときに、マニホールド積重ね
台を通る二次加圧空気の流れを説明している。以下のこ
とは、例示的切換弁11の弁スプール83が第２図に示され
た第１の位置から左へすなわちソレノイド15が作用した
ときの第２の位置に動かされるときのモジユラー積重ね
台10を通る二次加圧空気及び排気空気の流れを説明す
る。

前記第２の位置において、弁スプール83は、二次圧力の
流れが入口室82から第２のシリンダ室92の中へ、そして
排出空気を第１のシリンダ室89から排気室93の中に排気
できるように位置決めされる。次に排気室94は、ポペツ
ト弁要素87によつてふさがれる。弁スプール83が最後に
説明した第２の位置にある場合、二次加圧空気は、入口
室に82から弁スプール穴88を通つて第２のシリンダ室90
の中に通ることができ、第２のシリンダ室90から二次加
圧空気は、下向きに（第２図）切換弁11の第２のシリン
ダ通路105の中にゆく。前に説明したように、切換弁11
の垂直通路105は、弁10の中の垂直通路104の上端に通じ
ている。弁10の通路104は、通路103、102及び101を通し
て第２のシリンダポート100（第２、４、６及び11図）
と通じている。

第１のシリンダポート98に入つて共通排気通路112の中
に排気される空気は、第１のシリンダポート98を通過し
て縦の通路97に入り、次いで垂直通路96（第10図）に入
る。第２図に示されているように、台10にある通路96
は、切換弁11の垂直通路95の下端に通じ、垂直通路95は
切換弁11にある第１のシリンダ室89と通じている。第１
のシリンダ室89の中に最後に説明した諸通路を通つて第
１のシリンダポート98から排気される空気は、次に弁ス
プール穴88を通つて切換弁11の中の排気室93に導かれ
る。第６図に図示したように、排気室93は、切換弁11に
形成された垂直の排気通路136の上端と通じている。次
に、通路136を通して排気する空気は、台10にある垂直
通路137に下向きに入つて、次に連通する横通路138の中
に横向きに入る。第10図に示されているように、横向き
通路138は、縦の排気通路139（第２図）と通じ、通路13
9は、第２の横向き排気通路140と通じている。第９図及
び第10図に示されているように、水平の横向き通路1140
は、その内側端において、水平な縦方向の円筒形穴141
と通じている。第10図に示されているように、穴141
は、最初に説明した流量制御弁室111と平行な位置に台1
0の右側まで伸びる軸方向に配置された流量制御弁室142
と通じている。第３図に示されているように、流量制御
弁室142は通路112〜114を含む前述の共通排気通路と通
じている。

第８図に示されているように、数字20によつて総括的に
表わされた第２の流量制御弁が流量制御弁室142の中に
作動できるように取付けられている。流量制御弁20は、
構造と動作が第16図に詳細に示された流量制御弁21と同
一であり、それは、穴141を通り排気通路112に入る排出
空気の流れを最初に説明した流量制御弁21と同じように
して制御するように構成されている。

第８図に示されているように、流量制御弁20のための流
量制御弁調節ヘツド123は、第10図に示された段付穴12
5、129の中に取付けられている流量制御弁21に対する流
量制御弁調節ヘツド123と同じようにして段付穴143、14
4（第10図）に作動できるように取付けられている。流
量制御弁室142は、流量制御弁20の六角形のねじ付調節
ねじ133の部分にはまり合う流量制御弁室111と同じ形の
内六角形周辺形状をもつている。

マニホールド積重ね台10は、軽量な台を与えるためにダ
イカストアルミニウムで作るのが好ましい。端板17は、
ダイカストアルミニウムまたは亜鉛のような適当なダイ
カスト材料で作るのが好ましい。第２、３〜６及び９〜
11図に例示されているように、台10の片側は、台10を貫
通する前述の諸通路の周辺の周り、および台10の内側側
面に形成された諸通路の周りに伸びているシール部材14
6を備えている。端板17及び17′は、シール部材146を備
えていない台10の外側側面に対してシールを行う適当な
シール部材を備えている。一つの台10にあるシール部材
146は、シール部材146を備えていない隣接の台10の側面
に係合することになる。従つて、積重ねの各台10にある
すべての他の部材は、その片側に隣接台のシールされて
いない側または端板17もしくは17′に押付けて位置決め
されるシールをもつていることがわかるであろう。

台10の重量は、台10の側面及び底面に凹所または穴を設
けることによつて減らされる。第４図において、穴148
は、台10の側面に形成されているものとして示されてい
る。第５図において、数字149は、台10の側面にある重
量軽減穴または凹所を表わしている。第４、５及び14図
における数字150は、台10の底面にある段付凹所を表わ
している。第９図及び第14図における数字151は台10の
底面にある重量軽減凹所を表わしている。第２、10及び
11図における数字152は、台10の側面にある重量軽減穴
を表わしている。

これまでに説明した積重ね台10を通る種々の流れ通路の
説明は、台10の側面において開いている多くの通路を含
んでいる。しかし、開いている通路は、隣接の積重ね台
10、積重ねた数個の台10または端板17もしくは17′にあ
る穴または凹所に接合することによつて囲われている。
例えば、第４図に示された通路103は、103′のような凹
所または穴によつて囲われ、その穴の１例が第４図で見
て台10の左側に示されている。第４図で見て台10の右側
に配置された第２の積重ね台10は、通路103を覆つて置
かれ、それを取囲む凹所103′を備えている。第３の積
重ね台10が第４図で見て台10の左側に取付けられる場
合、凹所103′は、第３の積重ね台10の右側にある通路1
03を取囲み、以下同様である。第６図は、凹所101に対
する相補凹所101′を示しており、凹所101′は、第６図
に示された台10のの左側に取付けられた隣接積重ね台10
にある凹所101を囲む。相補凹所101′及び通路101はま
た第11図にも示されている。第11図はまた隣接積重ね台
10にある通路103及び113とぴつたり合う相補凹所103′
及び113′を示している。第９図は、隣接積重ね台10に
ある通路113及び140とぴつたり合う相補凹所113′及び1
40′を示している。第14図は、隣接積重ね台10にある通
路102とぴつたり合う相補凹所102′を示している。第10
図及び第15図の数字139′は、隣接積重ね台10にある凹
所139とぴつたり合う凹所を表わしている。第15図は、
隣接積重ね台10にある通路139とぴつたり合う右端板17
にある相補凹所139′を示している。第25図に示されて
いるように、右端板17は、積重ね台10の側面または界面
にある対応する数字の付いた通路とぴつたり合う相補凹
所25′、101′、102′、103′、114′、及び139′を備
えている。左端板17′は、第25図に示されているのと同
じであるが位置が逆の凹所を備え、図は第１図の台10お
よび端板17、17′の積重ねを左から見たところのものに
なる。

使用時には、本発明のモジユラー式積重ね台10が例示の
弁11のような切換弁に対して圧力調整機能及び流量制御
機能を与えることがわかるであろう。圧力調整機能及び
流量制御機能は、マニホールド積重ね台10の機能と統合
される。本発明のマニホールド積重ね台10は、小型で軽
量であり、かつ圧力調整機能と流量制御機能を与えるた
めに台と切換弁との間にサンドイツチ板を備えた従来の
台と比較するとき、安い費用で圧力調整機能と流量制御
機能を与える簡単なマニホールド積重ね台を提供する。

第19図は本発明のマニホールド積重ね台10と共に用いる
ことのできるダイヤフラム型圧力調整器22aを示してい
る。第18図に示したピストン型圧力調整器22の対応する
部品と同じである第19図に示した圧力調整器22aの部品
は文字ａがあとに付いている同じ参照数字で記されてい
る。

第19図に示した圧力調整器22aにおいては、調節ねじ68a
は、調整ばねケース端壁73aに形成された円錐形肩157に
座る円錐形外周辺へり156を備えている一体フランジ155
をその外側端に備えている。調整ねじ68aはさらにフラ
ンジの円錐形側面または端面156の外側端に一体に形成
され、かつ調整ばねケース端壁73aにある穴72aを通つて
伸びている調節ノブ158を備えている。調節ノブ158は、
調節ねじ68aを回わす適当な工具を挿入するための溝穴1
61を備えている。ねじ68aは、調整ばねケース33aの外方
に伸びてばねケース端壁73aの外側に押付けて載せら
れ、調節ノブ158の外端の周りに位置決めされる止め輪1
60を用いて縦方向の位置に保持される。

第19図に示されているように、円筒形のダイヤフラム室
162が調整器胴29aの後端に一部分そしてばねケース33a
の中に一部分形成されている。平らで円形のダイヤフラ
ム163が調整器胴29aの後端に形成された円形凹所164に
取付けられる。ダイヤフラム163の外周辺は、円形凹所1
64の内側端に形成された端壁165に押付けて据えられ
る。ダイヤフラム163は、ばねケースフランジ36aの前端
に一体に形成されている円筒形延長部166によつて端壁1
65に押付けて所定位置に保持される。

ダイヤフラム163は、円形ダイヤフラム支持板172の後側
に一体に形成されている軸171が中を通つて取付けられ
ている軸方向穴170を備えている。ダイヤフラム163は、
止め板173によつてダイヤフラム支持板172の後側に押付
けて保持される。止め板173は、軸171が中を通つて受け
られる軸方向穴174を備えている。止め板173は、一体の
円筒形の軸方向に伸びたフランジ175をもつている。軸1
71の自由端は、支持板172と止め板173との間にダイヤフ
ラム163をしめ付けるために止め板173の外面の上に打曲
げられている（176）。

第19図に示したダイヤフラム型圧力調整器22aは、第18
図に示したピストン型圧力調整器の説明において前に述
べたのと同じ方法で機能する。通路43aにおける二次圧
力が何らかの理由で所望のプリセツト二次圧力以上に上
がる場合、上がつた二次圧力は、穴39a及び弁ピン52aと
穴54aの間の最小隙間とを通過してダイヤフラム室162に
入る。ダイヤフラム室162の中の上がつた二次圧力は、
第19図で見て右へ板172を動かし、ダイヤフラム163が曲
げられ、支持板172及びダイヤフラム163の結合構造は、
第19図で見て右へ動き、その結果弁座64aを弁ピン52aの
円錐形端53aから離し、過剰な二次圧力が穴63aを通つて
ばね室66aにブリードし、次いでばねケース33aの中の通
気穴77aを通つて大気に出ることができるようにする。
プリセツト二次圧力に達すると、調整ばね60aは、支持
板172及びダイヤフラム163を正常な位置に戻して円錐形
ピン端53aを弁座64aに押付けて据える。

ダイヤフラム163は、適当なエラストマ材料で作られ
る。ダイヤフラム支持板172及び止め板173はそれぞれ適
当な金属で作つてもよいが、好ましいのはそれらを「デ
ルリン（商品名）」のような適当な成形プラスチツク材
料で作ることである。第19図に示した圧力調整器の他の
部品は、第18図に示したピストン型圧力調整器に対して
前述したのと同じ材料で作られる。第19図に示したダイ
ヤフラム型圧力調整器は、第18図に示したピストン型圧
力調整器の説明の中で前述したのと同じようにして二次
圧力を調整するように機能する。

本発明のマニホールド積重ね台10の新規な特徴は、それ
を台10に取付けた４方向切換弁によつて制御される空気
シリンダの一端または両端に対する流量制御機能と共に
切換弁に対する加圧空気の供給に対する圧力調整機能を
与えるように使用できることである。台10はまた、圧力
調整機能及び流量制御機能を与えることなく用いること
ができるし、またはそれを流量制御機能なしに圧力調整
機能を与えるのに用いることもでき、もしくはその逆も
可能である。

第20図及び第21図は、圧力調整機能と流量制御機能を与
えないで台10を用いることを示している。圧力調整機能
と流量制御機能なしで台10を用いることを望む場合、第
２図で見て台10の右端に蓋板178が設けられ、それは台1
0にねじ34bによつて保持される。蓋板178の内側表面に
垂直に配置された凹所または溝179が形成される。溝179
は、台10の中の入口圧力室27を台10にある通路46と接続
する通路を形成する。蓋板178を用いる場合、入口加圧
空気が入口ポート23から切換弁11にある入口圧力室82に
流れ入ることがわかるであろう。

第22及び23図は、流量制御機能なしに圧力制御機能を与
えて台10を用いることを示している。第22及び23図に示
した変更形において、流量制御弁20及び21が除かれ、１
対の円形ダミープラグ180が穴129及び凹所132（第16
図）の中に取付けられ、凹所132は、常時はフランジ128
と流量制御調節ヘツド123（第16図）の軸部分130とを収
容している。第23図に示されたように、ダミープラグ18
0は、Ｔ字形断面をもつており、調節フランジ128と軸部
分130の結合した形の形状と同じであり、それらは凹所1
32の中に据えられたｏリング131によつて密封されてい
る。

第24図は、圧力調整機能なしに流量制御機能を与える場
合の台10の使用法を示している。第24図に示された実施
例においては、端板178cが普通の小ねじ34cによつて第
２図で見て台10の右端に作動できるように取付けられ
る。板178cは、入口圧力室27（第７図）と台10にある通
路46を第20及び21図の実施例におけると同様の方法で接
続する溝179cを備えている。板178cは１対の流量制御弁
20c及び21cの調節ヘツド123を取付けるための１対の穴1
25c及び143cを備え、流量制御弁20c及び21cは最初に説
明した実施例において用いられた流量制御弁20及び21と
機能的及び構造的に同じである。

特許請求の範囲において上面、底面、側面及び端面とい
う用語を用いており、それらは第２、12、及び13図にお
いてそれぞれ数字182、183、184、185、186及び187によ
つて表わされている。第12図に見られるように、入口圧
力通路80の上端は、台10の上面182にある供給圧力ポー
トまたは入口圧力ポートを形成している。第12図に示さ
れているように、通路96及び104の上端は、台10の上面1
82にある弁供給及び戻しポートを形成している。第12図
に示されているように通路137及び109の上端は、台10の
上面182にある排気ポートを形成している。

凹所27から蓋板178または178cのいずれか一方を通るか
またはピストン型圧力調整器22を通る通路もしくはダイ
ヤフラム型圧力調整器22aを通る通路のいずれかを通つ
て通ずる部分を除いて、入口圧力通路が完全に台10の内
部に形成されていることが台10の前記説明からわかるで
あう。切換弁11の中の第１のシリンダ室89のための台10
にある供給及び戻し通路手段が完全に台10の中に形成さ
れ、弁11の中の他方のシリンダ室90のための供給及び戻
し通路手段が台10を完全に通して形成され、この通路手
段101〜103の一部分が右側または界面187で開いている
こともわかるであろう。切換弁11の中の排気室94のため
の台10にある排気通路手段は、台10を完全に通つて形成
され、一方、切換弁11の中の排気室93のための台10にあ
る排気通路手段が台10の中央部分を一部分通つて形成さ
れ、開いた部分139が界面側面187に形成されている。台
10にある界面の一方または他方に開いている前述の通路
の部分が同じ積み重なつた台10の隣接側面または端板17
もしくは17′の一方にある相補穴によつて囲われている
ことが理解されるであろう。台10の界面または側面186
及び187にある前述の通路の開いた部分もまた任意の平
らな面になつた板によつて囲うことができ、各通路は、
それでもなお動作できることもわかるであろう。

〔発明の効果〕

上述のように、本発明の弁マニホールド積重ね台は、こ
の台の中に（イ）圧力流体供給源と連通する流体の供給
及び戻しポート、（ロ）流体機械に連通する入口圧力通
路と排気通路、（ハ）流体切換弁の各通路に通じる通
路、（ニ）圧力調整弁及び流量制御弁に連通する流路を
備えているので、従来のこの種の台において圧力調整弁
及び流量制御弁を接続するときにそれぞれの接続ブロッ
クを切換弁と台の間に必要とした構成になっていたが、
本発明の構成では台に直接圧力調整弁と流量制御弁の両
方を同時に取り付けることもでき、しかもそれらを組み
立てた総合高さが低くおさまり、小型で軽量の切換弁構
造を提供できる効果がある。これによって非常に小さな
空間に取り付けることを必要とするロボットなどの用途
において実用効果が大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の原理に従つて作られたマニホールド
積重ね台を備えた二つ重ね４方切換空気弁の斜視図、 第２図は、本発明の原理に従つて作られた弁マニホール
ド積重ね台の側面図、その上に圧力制御弁と流量制御弁
手段を示すと共に前記台に取付けられた４方切換弁を一
部分断面で示している側面図、 第３図は、第２図に示されたマニホールド積重ね台構造
を第２図の線３−３に沿つてとり矢印の方向に見た立断
面図、 第４図は、第２図に示したマニホールド積重ね台及び切
換弁構造を弁スプールを取除き、第２図の線４−４に沿
つてとり矢印の方向に見た立断面図、 第５図は、第２図の線５−５に沿つてとり矢印の方向に
見た第２図に示したマニホールド積重ね台と切換弁構造
の弁スプールを取除いた立断面図、 第６図は、第２図に示したマニホールド積重ね台と切換
弁構造の第２図の線６−６に沿つてとり矢印の方向に見
た弁スプールを取除いた立断面図、 第７図は、第２図に示されたマニホールド積重ね台の右
端の第２図の線７−７に沿つてとり矢印の方向に見た立
面図、 第８図は、第２図に示したマニホールド積重ね台構造の
第２図の線８−８に沿つてとり矢印の方向に見た立面
図、 第９図は、第２図に示したマニホールド積重ね台と切換
弁構造の弁スプールを取除き第２図の線９−９に沿つて
とつて矢印の方向に見た立断面図、 第10図は、第２図に示したマニホールド積重ね台構造の
流量制御弁を取除き第２図の線10−10に沿つてとり矢印
の方向に見た水平断面図、 第11図は、第２図に示したマニホールド積重ね台構造の
第２図の線11−11に沿つてとり矢印の方向に見た平面
図、 第12図は、第２図に示したマニホールド積重ね台構造の
第２図の線12−12に沿つてとり矢印の方向に見た平面
図、 第13図は、第２図に示したマニホールド積重ね台構造の
第２図の線13〜13に沿つてとり矢印の方向に見た左端面
図、 第14図は、第２図に示されたマニホールド積重ね台構造
の「14」と印した矢印の方向にとつた底面図、 第15図は、第１図に示したマニホールド積重ね台端板の
第１図の線15−15に沿つてとり矢印の方向に見た立断面
図、 第16図は、第８図に示したマニホールド積重ね台構造の
第８図の線16−16に沿つてとり矢印の方向に見た流量制
御弁を一部分断面で示している部分立断面図、 第17図は、第16図に示した流量制御弁構造の第16図の線
17−17に沿つてとり矢印の方向に見た部分立断面図、 第18図は、本発明で用いられるピストン型圧力調整弁の
第１図の線18−18に事実上沿つてとり矢印の方向に見た
縦方向断面図、 第19図は、本発明に用いられるダイヤフラム型圧力調整
弁の第１図の線19−19に沿つてとり矢印の方向に見た縦
方向断面図、 第20図は、第21図に示されたマニホールド積重ね台構造
の第21図の線20−20に沿つて矢り矢印の方向に見、かつ
マニホールド積重ね台がどんな流量制御弁または圧力制
御弁をも備えていない本発明の改変形を示す部分水平断
面図、 第21図は、第20図に示したマニホールド積重ね台構造の
第20図の線21−21に沿つてとり矢印の方向に見た右側端
面立面図、 第22図は、本発明の原理に従つて作られたマニホールド
積重ね台右側端面立面図であり、マニホールド積重ね台
がどんな流量制御弁をも備えていないが圧力調整弁を備
えている本発明の別の改変形を示した図、 第23図は第22図に示された構造の第22図の線23−23に沿
つてとり矢印の方向に見た水平断面図、 第24図は、本発明の原理に従つて作られたマニホールド
積重ね台の部分右端立面図で二つの流量制御弁が用いら
れているが圧力調整弁が用いられていない本発明のなお
別の改変形を示す図、 第25図は、第１図に示した右側端板の「24」と印された
矢印の方向にとつた側立面図である。 10……マニホールド積重ね台、11……切換弁、17,17′
……端板、20,21……流量制御弁、22……圧力調整弁、2
3……供給圧力ポート、25……共通入口供給圧力通路、4
6……二次圧力通路、95,96,97……第１シリンダ通路、9
8……第１シリンダポート、100……第２シリンダポー
ト、101,102,103……第２シリンダ通路、112,113,114…
…排気通路、138,139,140……排気通路、182……上面、
183……底面、184,185……側面、186,187……端面。

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】流体圧力弁装置用のマニホールド積重ね台
   （10）であり、 （ａ）前記積重ね台（10）が上面（182）、底面（18
   3）、側面（186、187）及び端面（184、185）を有する
   矩形形状を有し、 （ｂ）前記側面（186、187）が同種の積重ね台（10）及
   び各々が入口圧力ポート（23）と排気ポート（115）を
   有する積み重ね端板（17、17′）の側面に接合するのに
   適応しており、 （ｃ）前記積重ね台（10）が二つの端面の一方（185）
   に着脱可能に取り付けられた囲い手段（32、178、178
   c）を備え、 （ｄ）前記積重ね台（10）がそれを横に貫通して伸び、
   隣接の同種の積重ね台（10）又は端板（17、17′）内の
   共通入口圧力通路（25又は24）と通ずるように構成され
   た共通圧力通路（25）を有し、 （ｅ）前記積重ね台（10）がそれを横に貫通して伸び、
   隣接の同種の積み重ね台（10）又は端板（17、17′）内
   の共通入口排気通路（114又は116）と通ずるように構成
   された共通入口排気通路（114）を有し、 （ｆ）圧力ポート（80）、第１の弁供給及び戻しポート
   （96）、第２の弁供給及び戻しポート（104）、並びに
   １対の排気ポート（109、137）が前記積重ね台（10）の
   前記上面に形成されており、 （ｇ）前記積重ね台（10）の中の圧力通路手段（26〜2
   8、42、43、45、46）（26、27、179、146）が前記共通
   入口圧力通路（25）を前記上面（182）にある前記圧力
   ポート（80）と通じさせ、 （ｈ）前記積重ね台（10）の中の排気通路手段（110〜1
   13）（138〜141、113）が前記共通排気通路（114）を前
   記上面（182）にある前記１対の排気ポート（109、13
   7）と通じさせ、 （ｉ）第１のシリンダポート（98）と第２のシリンダポ
   ート（100）が前記積重ね台（10）の二つの端面の他方
   （184）に形成され、流体装置用の供給及び戻しポート
   を構成しており、 （ｊ）前記積重ね台（10）にある供給及び戻し通路手段
   （96、104）が前記積重ね台（10）の前記他方（184）の
   端面にある前記流体装置の供給及び戻しポート（98、10
   0）を前記積重ね台（10）の前記上面（182）にある前記
   第１及び第２の弁供給及び戻しポート（95、105）と通
   じさせ、 （ｋ）前記上面（182）は、流体圧力弁（11）の表面を
   前記積重ね台（10）の前記上面（182）にある入口圧力
   ポート（80）、排気ポート（109、137）並びに弁供給及
   び戻しポート（96、104）と結合して流体圧力弁（11）
   にある入口圧力ポート通路（81）、排気通路（108、13
   6）並びに弁供給及び戻し通路（95、105）と重ならせる
   ように構成されており、 （ｌ）前記圧力通路手段の一部分（28、42、23、25）
   （179）が前記積重ね台（10）の前記一方の端面（185）
   に取り付けられた前記囲い手段（32、178）を貫通して
   形成されており、 （ｍ）前記共通排気通路（114）を前記積重ね台（10）
   の前記上面（182）にある前記１対の排気ポート（109、
   137）と通じさせる前記積重ね台（10）にある前記１対
   の排気通路手段（110〜113）（138〜141、113）の各部
   分（113、139）が前記積重ね台（10）の界面側面の一つ
   （187）に部分的に形成され、前記積重ね台（10）の外
   部に通じ、隣接の前記積重ね台（10）又は端板（17）に
   よって囲われ、 （ｎ）前記積重ね台（10）の中の前記供給及び戻し通路
   手段の一方（96）が完全に前記積重ね台（10）の中に形
   成され、 （ｏ）前記供給及び戻し通路手段の他方（104）が前記
   積重ね台（10）の側面（（187）の中に部分的に形成さ
   れ、隣接の前記積重ね台（10）または端板（17）によっ
   て囲われていることを特徴とする流体圧力弁装置用マニ
   ホールド積重ね台。
2. 【請求項２】（ａ）前記囲い手段（32）が前記積重ね台
   （10）の前記一方の端面（185）に取り付けられ、前記
   共通圧力通路（25）からの入口圧力を調整して前記積重
   ね台（10）の前記上面（182）に形成された圧力ポート
   （80）へ導くための調整された二次圧力を与える圧力調
   整手段（22、22a）を備えていることを特徴とする請求
   項１に記載の流体圧力弁装置用マニホールド積重ね台。
3. 【請求項３】（ａ）前記圧力調整手段（22、22a）がピ
   ストン型圧力調整弁（22）を備えていることを特徴とす
   る請求項２に記載の流体圧力弁装置用マニホールド積重
   ね台。
4. 【請求項４】（ａ）前記圧力調整手段がダイヤフラム型
   圧力調整弁（22a）を備えていることを特徴とする請求
   項２に記載の流体圧力弁装置用マニホールド積重ね台。
5. 【請求項５】（ａ）流量制御弁手段（20または21）が前
   記共通排気通路（114）を前記積重ね台（10）の前記上
   面（182）にある前記１対の排気ポートの一方（109また
   は137）と通じさせる前記積重ね台（10）にある前記１
   対の排気通路手段の少なくとも一方（110〜113）（138
   〜141、113）の中に作動可能に取り付けられており、前
   記流量制御弁手段が前記積重ね台（10）の外方に伸びて
   前記流量制御弁手段（20または21）の流量制御位置を調
   節する調節ヘッド（123）を有することを特徴とする請
   求項１に記載の流体圧力弁装置用マニホールド積重ね
   台。
6. 【請求項６】（ａ）前記囲い手段は、前記積重ね台（1
   0）の前記一方の端面（185）に取り付けられ、前記共通
   入口圧力通路（25）からの入口圧力を調節して前記積重
   ね台（10）の前記上面に形成された圧力ポート（80）へ
   導くための制御された二次圧力を与える圧力調整手段
   （22）（22a）を備えていることを特徴とする請求項２
   に記載の流体圧力弁装置用マニホールド積重ね台。
7. 【請求項７】（ａ）前記積重ね台（10）の前記一方の端
   面（185）に取り付けられた前記囲い手段は、前記積重
   ね台（10）の前記一方の端面（185）に着脱可能に取り
   付けられた板を備え、前記流量制御弁手段の調節ヘッド
   （123）が前記板（178）にある前記調節ヘッド（123）
   に接近するための穴（125cまたは143c）を通って伸びて
   いることを特徴とする請求項５に記載の流体圧力弁装置
   用マニホールド積重ね台。
8. 【請求項８】（ａ）（ａ）流量制御弁装置（20または2
   1）が前記共通排気通路（114）を前記積重ね台（10）の
   前記上面（182）にある前記１対の排気ポート（109、13
   7）と通じさせる前記積重ね台（10）にある前記１対の
   排気通路手段の各々（110〜113）（138〜141、113）の
   中に作動可能に取り付けられており、各流量制御手段
   （20、21）が前記積重ね台（10）の外方に伸びて前記流
   量制御弁手段（20または21）を調節する調節ヘッド（12
   3）を有することを特徴とする請求項２に記載の流体圧
   力装置用マニホールド積重ね台。
9. 【請求項９】（ａ）前記囲い手段は、前記積重ね台（1
   0）の前記一方の端面（185）に取り付けられ、前記共通
   入口圧力通路（25）からの入口圧力を調節して前記積重
   ね台（10）の前記上面に形成された圧力ポート（80）へ
   導くための制御された二次圧力を与える圧力調整手段
   （22）（22a）を備えていることを特徴とする請求項８
   に記載の流体圧力装置用マニホールド積重ね台。
10. 【請求項１０】（ａ）前記圧力調整手段（22）は、前記
    積重ね台（10）の前記一方の端面（185）に取り付けら
    れて流量制御手段（20、21）を調節するために流量制御
    弁手段の調節ヘッド（123）に接近するための貫通穴（1
    25）（143）を備えているフランジ（32）を備えている
    ことを特徴とする請求項９に記載の流体圧力弁装置用マ
    ニホールド積重ね台。
11. 【請求項１１】（ａ）前記積重ね台（10）の前記一方の
    端面（185）に取り付けられた前記囲い手段は、前記積
    重ね台（10）の前記一方の端面（185）に着脱可能に取
    り付けられ、前記圧力通路手段の一部分を形成するよう
    に内面に通路（179、179c）を形成されている板（178、
    178c）を備えていることを特徴とする請求項１に記載の
    流体圧力弁装置用マニホールド積重ね台。