JPH078970A - 水中のアルコール類の除去方法 - Google Patents
水中のアルコール類の除去方法Info
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- JPH078970A JPH078970A JP15876293A JP15876293A JPH078970A JP H078970 A JPH078970 A JP H078970A JP 15876293 A JP15876293 A JP 15876293A JP 15876293 A JP15876293 A JP 15876293A JP H078970 A JPH078970 A JP H078970A
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- water
- alcohols
- exchange resin
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- activated carbon
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- Removal Of Specific Substances (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 水中のアルコール類を容易かつ効率的に分解
除去する。 【構成】 アルコール類を含む水を、活性炭を担体とす
る金属触媒存在下に酸化剤と接触させた後、イオン交換
樹脂と接触させる。 【効果】 アルコールは金属触媒担持活性炭の存在下ア
ルデヒドに分解される。生成したアルデヒド類はイオン
交換樹脂で容易に捕捉されて除去される。従来除去困難
とされていた低級アルコール類を、苛酷な反応条件等を
採用することなく、容易に分解除去することができる。
半導体排水中の微量有機物質としての低級アルコールの
分解除去に有効である。
除去する。 【構成】 アルコール類を含む水を、活性炭を担体とす
る金属触媒存在下に酸化剤と接触させた後、イオン交換
樹脂と接触させる。 【効果】 アルコールは金属触媒担持活性炭の存在下ア
ルデヒドに分解される。生成したアルデヒド類はイオン
交換樹脂で容易に捕捉されて除去される。従来除去困難
とされていた低級アルコール類を、苛酷な反応条件等を
採用することなく、容易に分解除去することができる。
半導体排水中の微量有機物質としての低級アルコールの
分解除去に有効である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は水中のアルコール類の除
去方法に係り、特に、水中の低級アルコール類を効率的
に分解除去することができ、例えば半導体排水中に含ま
れる微量有機物質の除去処理に有効な水中のアルコール
類の除去方法に関する。
去方法に係り、特に、水中の低級アルコール類を効率的
に分解除去することができ、例えば半導体排水中に含ま
れる微量有機物質の除去処理に有効な水中のアルコール
類の除去方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体排水中に含まれる微量有機
物質の除去方法としては、活性炭吸着法、イオン交換
法、ＲＯ（逆浸透膜分離）法等が採用されている。
物質の除去方法としては、活性炭吸着法、イオン交換
法、ＲＯ（逆浸透膜分離）法等が採用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来法はいずれも次のような問題点を有している。 活性炭吸着法：界面活性剤、フェノール類に対する
吸着量は高いが、低級アルコール類の吸着量は小さい。 イオン交換法：酸、塩基物質は除去できるが、低級
アルコール類の除去はできない。 ＲＯ法：プロパノール、エチレングリコールの除去
はできるが、メタノールの除去はできない。
来法はいずれも次のような問題点を有している。 活性炭吸着法：界面活性剤、フェノール類に対する
吸着量は高いが、低級アルコール類の吸着量は小さい。 イオン交換法：酸、塩基物質は除去できるが、低級
アルコール類の除去はできない。 ＲＯ法：プロパノール、エチレングリコールの除去
はできるが、メタノールの除去はできない。
【０００４】このように、従来の微量有機物質の除去法
では低級アルコール類を十分に除去することができな
い。
では低級アルコール類を十分に除去することができな
い。
【０００５】なお、従来において、半導体排水処理シス
テムとして、活性炭による吸着処理後、イオン交換処理
する方法も多用されているが、上述の如く、各々の処理
において、アルコール類の除去が困難であることから、
これらを組み合わせても、アルコール類の除去において
十分な効果は得られない。
テムとして、活性炭による吸着処理後、イオン交換処理
する方法も多用されているが、上述の如く、各々の処理
において、アルコール類の除去が困難であることから、
これらを組み合わせても、アルコール類の除去において
十分な効果は得られない。
【０００６】従ってこのようなことから、特に、低級ア
ルコール類を含む半導体排水の回収、再利用を可能とす
るために、従来法では除去困難な低級アルコール類を効
率的に除去する方法の開発が望まれている。
ルコール類を含む半導体排水の回収、再利用を可能とす
るために、従来法では除去困難な低級アルコール類を効
率的に除去する方法の開発が望まれている。
【０００７】本発明は上記従来の実情に鑑みてなされた
ものであって、水中のアルコール類を容易かつ効率的に
分解除去する方法を提供することを目的とする。
ものであって、水中のアルコール類を容易かつ効率的に
分解除去する方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の水中のアルコー
ル類の除去方法は、アルコール類を含む水を、活性炭を
担体とする金属触媒存在下に酸化剤と接触させた後、イ
オン交換樹脂と接触させることを特徴とする。
ル類の除去方法は、アルコール類を含む水を、活性炭を
担体とする金属触媒存在下に酸化剤と接触させた後、イ
オン交換樹脂と接触させることを特徴とする。
【０００９】以下に本発明を詳細に説明する。本発明の
方法において、活性炭を担体とする金属触媒に担持させ
る触媒金属としては、触媒効果の面から白金族系の貴金
属或いはそれを主成分とする合金が好ましく、その担持
量は０．０５〜５重量％が好適である。なお、触媒の形
状には特に制限はない。
方法において、活性炭を担体とする金属触媒に担持させ
る触媒金属としては、触媒効果の面から白金族系の貴金
属或いはそれを主成分とする合金が好ましく、その担持
量は０．０５〜５重量％が好適である。なお、触媒の形
状には特に制限はない。
【００１０】一方、酸化剤としては、過酸化水素（Ｈ2
Ｏ2 ）、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウムが有効であ
る。
Ｏ2 ）、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウムが有効であ
る。
【００１１】このような酸化剤の使用量は被処理水中の
アルコール類の濃度や種類に応じて、当該アルコール類
がイオン交換樹脂に吸着されやすい化合物に酸化分解さ
れるに必要かつ十分な量となるように適宜決定される。
アルコール類の濃度や種類に応じて、当該アルコール類
がイオン交換樹脂に吸着されやすい化合物に酸化分解さ
れるに必要かつ十分な量となるように適宜決定される。
【００１２】反応温度は常温〜１００℃の範囲で任意に
設定可能であるが、特に常温〜４０℃の範囲とするのが
好適である。反応温度を超える高温になると、触媒層で
の反応効率は上昇するが、イオン交換樹脂の劣化の防止
のために、加圧及び冷却操作が必要となり、好ましくな
い。
設定可能であるが、特に常温〜４０℃の範囲とするのが
好適である。反応温度を超える高温になると、触媒層で
の反応効率は上昇するが、イオン交換樹脂の劣化の防止
のために、加圧及び冷却操作が必要となり、好ましくな
い。
【００１３】本発明の水中のアルコール類の除去方法の
実施方法としては、原水（アルコール類を含む水）に所
定量の酸化剤を添加混合した後、活性炭を担体とする金
属触媒を充填した触媒反応塔に通水した後、イオン交換
樹脂塔、例えば弱アニオン交換樹脂塔、強カチオン交換
樹脂塔及び強アニオン交換樹脂塔に順次通水する方法が
挙げられる。この際、原水の加温を必要とする場合に
は、原水を触媒反応塔に送給する配管と触媒反応塔の処
理水の排出配管に熱交換器を設けて原水の加温を行なう
と共に、触媒反応塔の処理水との熱交換を行なうのが好
ましい。
実施方法としては、原水（アルコール類を含む水）に所
定量の酸化剤を添加混合した後、活性炭を担体とする金
属触媒を充填した触媒反応塔に通水した後、イオン交換
樹脂塔、例えば弱アニオン交換樹脂塔、強カチオン交換
樹脂塔及び強アニオン交換樹脂塔に順次通水する方法が
挙げられる。この際、原水の加温を必要とする場合に
は、原水を触媒反応塔に送給する配管と触媒反応塔の処
理水の排出配管に熱交換器を設けて原水の加温を行なう
と共に、触媒反応塔の処理水との熱交換を行なうのが好
ましい。
【００１４】このような本発明の水中のアルコール類の
除去方法は、特に、有機酸等に比べて従来法では除去困
難な、炭素数１〜４の低級アルコール類の除去に極めて
有効である。具体的には、半導体製造工程から排出され
る半導体排水中に含まれる微量有機物質としての低級ア
ルコール類の分解除去に有効である。
除去方法は、特に、有機酸等に比べて従来法では除去困
難な、炭素数１〜４の低級アルコール類の除去に極めて
有効である。具体的には、半導体製造工程から排出され
る半導体排水中に含まれる微量有機物質としての低級ア
ルコール類の分解除去に有効である。
【００１５】
【作用】活性炭を担体とする金属触媒の存在下に、アル
コール類と酸化剤、例えばＨ2Ｏ2 とを反応させると、
下記反応式に従って、アルコールは効率的に酸化分解さ
れて、アルデヒドとなる。
コール類と酸化剤、例えばＨ2Ｏ2 とを反応させると、
下記反応式に従って、アルコールは効率的に酸化分解さ
れて、アルデヒドとなる。
【００１６】 ＣＨ3 ＯＨ＋Ｈ2 Ｏ2 → ＨＣＨＯ＋２Ｈ2 Ｏ Ｃ2 Ｈ5 ＯＨ＋Ｈ2 Ｏ2 → ＣＨ3 ＣＨＯ＋２Ｈ2 Ｏ このようにして生成したアルデヒド類は、イオン交換樹
脂により容易に捕捉されて除去される。
脂により容易に捕捉されて除去される。
【００１７】前述の如く、従来、半導体排水処理システ
ムとして活性炭−イオン交換樹脂の処理系は多用されて
おり、従って、本発明の方法は、従来の装置において活
性炭に金属を担持させることにより、装置の設計変更を
要することなく、容易に実施できる。
ムとして活性炭−イオン交換樹脂の処理系は多用されて
おり、従って、本発明の方法は、従来の装置において活
性炭に金属を担持させることにより、装置の設計変更を
要することなく、容易に実施できる。
【００１８】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限
り、以下の実施例に限定されるものではない。
り具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限
り、以下の実施例に限定されるものではない。
【００１９】実施例１ 超純水にメタノール及びイソプロピルアルコールを各々
１ｍｇ／ｌ添加した溶液を原水とし、これに酸化剤とし
て過酸化水素水４０ｍｇ／ｌを添加して図１に示す処理
装置に通水して処理した。図１において、１は０．５重
量％Ｐｔ担持活性炭を充填した触媒反応塔、２は弱アニ
オン交換樹脂塔、３は強カチオン交換樹脂塔、４は強ア
ニオン交換樹脂塔であり、１１〜１５の各符号は配管で
ある。即ち、酸化剤を添加した原水は、触媒反応塔１を
通水させた後、弱アニオン交換樹脂塔２、強カチオン交
換樹脂塔３及び強アニオン交換樹脂塔４に順次通水させ
て処理した。
１ｍｇ／ｌ添加した溶液を原水とし、これに酸化剤とし
て過酸化水素水４０ｍｇ／ｌを添加して図１に示す処理
装置に通水して処理した。図１において、１は０．５重
量％Ｐｔ担持活性炭を充填した触媒反応塔、２は弱アニ
オン交換樹脂塔、３は強カチオン交換樹脂塔、４は強ア
ニオン交換樹脂塔であり、１１〜１５の各符号は配管で
ある。即ち、酸化剤を添加した原水は、触媒反応塔１を
通水させた後、弱アニオン交換樹脂塔２、強カチオン交
換樹脂塔３及び強アニオン交換樹脂塔４に順次通水させ
て処理した。
【００２０】なお、触媒反応塔１の通水条件はＳＶ＝２
ｈｒ-1，温度２０℃とし、各イオン交換樹脂塔２、３、
４の通水条件はＳＶ＝１ｈｒ-1とした。
ｈｒ-1，温度２０℃とし、各イオン交換樹脂塔２、３、
４の通水条件はＳＶ＝１ｈｒ-1とした。
【００２１】得られた処理水について、微量ＴＯＣ計
（ジャスコインタナショナル（株）製「７００型高感度
ＴＯＣ測定装置」）を用いて測定を行ない、ＴＯＣの除
去率を求めてアルコール類の分解除去性能を評価した。
結果を表１に示す。
（ジャスコインタナショナル（株）製「７００型高感度
ＴＯＣ測定装置」）を用いて測定を行ない、ＴＯＣの除
去率を求めてアルコール類の分解除去性能を評価した。
結果を表１に示す。
【００２２】比較例１ 触媒反応塔の代りに、金属触媒を担持していない活性炭
充填塔に原水を通水したこと以外は実施例１と同様に行
なって、分解除去性能を評価し、結果を表１に示した。
充填塔に原水を通水したこと以外は実施例１と同様に行
なって、分解除去性能を評価し、結果を表１に示した。
【００２３】比較例２ イオン交換樹脂塔２、３、４に通水せず、触媒反応塔１
のみに原水を通水したこと以外は実施例１と同様に行な
って、分解除去性能を評価し、結果を表１に示した。
のみに原水を通水したこと以外は実施例１と同様に行な
って、分解除去性能を評価し、結果を表１に示した。
【００２４】
【表１】
【００２５】表１より、本発明の方法によれば、アルコ
ール類を容易に分解除去できることが明らかである。
ール類を容易に分解除去できることが明らかである。
【００２６】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の水中のアル
コール類の除去方法によれば、水中のアルコール類、特
に、従来除去困難とされていた低級アルコール類を、苛
酷な反応条件等を採用することなく、容易に分解除去す
ることができる。
コール類の除去方法によれば、水中のアルコール類、特
に、従来除去困難とされていた低級アルコール類を、苛
酷な反応条件等を採用することなく、容易に分解除去す
ることができる。
【００２７】本発明の方法は、特に、半導体排水中の微
量有機物質としての低級アルコールの分解除去に有効で
ある。
量有機物質としての低級アルコールの分解除去に有効で
ある。
【図１】実施例１で用いた処理装置の系統図である。
１ 触媒反応塔 ２ 弱アニオン交換樹脂塔 ３ 強カチオン交換樹脂塔 ４ 強アニオン交換樹脂塔
Claims (1)
- 【請求項１】 アルコール類を含む水を、活性炭を担体
とする金属触媒存在下に酸化剤と接触させた後、イオン
交換樹脂と接触させることを特徴とする水中のアルコー
ル類の除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15876293A JPH078970A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 水中のアルコール類の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15876293A JPH078970A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 水中のアルコール類の除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH078970A true JPH078970A (ja) | 1995-01-13 |
Family
ID=15678791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15876293A Pending JPH078970A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 水中のアルコール類の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH078970A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013208557A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Kurita Water Ind Ltd | 有機物含有水の処理方法 |
| CN110052294A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-07-26 | 中峰化学有限公司 | 异丙醇水溶液中金属离子去除过滤器 |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP15876293A patent/JPH078970A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013208557A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Kurita Water Ind Ltd | 有機物含有水の処理方法 |
| CN110052294A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-07-26 | 中峰化学有限公司 | 异丙醇水溶液中金属离子去除过滤器 |
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