JPH0790627A - 鉄系金属薄板のエッチング方法及び色選別機構の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】バックコート材層を形成することなく鉄系金属
薄板をエッチングし得るエッチング方法を提供する。 【構成】鉄系金属薄板のエッチング方法は、（イ）鉄系
金属薄板１０の表面にエッチングレジスト層１２Ａを形
成した後、このエッチングレジスト層１２Ａに所望のパ
ターンを形成する工程と、（ロ）磁気ベルト５０を鉄系
金属薄板の裏面に密着させた状態で、鉄系金属薄板１０
を表面側からエッチングする工程、から成る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、鉄系金属薄板のエッチ
ング方法、及び陰極線管に用いられる色選別機構の製造
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばカラー受像機等の陰極線管に組み
込まれたアパーチャーグリルやシャドウマスク等の色選
別機構は、通常、鉄系金属薄板をエッチング加工するこ
とによって作製される。陰極線管のアパーチャーグリル
は、通常、図９の（Ａ）に模式的な一部平面図を、ま
た、図９の（Ｂ）に幅方向の拡大切断図を示すように、
帯状の金属薄板を連続的に簾状にエッチング加工した
後、所定の寸法に加工することによって作製される。
尚、図９において、アパーチャーグリルの外形線を破線
で示した。また、断面形状を模式的に表わした。かかる
鉄系金属薄板のエッチング方法の一例を、以下、鉄系金
属薄板等の幅方向の模式的な一部切断図である図６を参
照して説明する。尚、このエッチング方法は片面エッチ
ング法である。

【０００３】［工程−１０Ａ］先ず、鉄系金属薄板１０
の表面及び裏面の両面に厚さ７〜１０μｍの感光性のエ
ッチングレジスト層１２Ａ，１２Ｂを形成する（図６の
（Ａ）参照）。

【０００４】［工程−２０Ａ］次いで、鉄系金属薄板１
０の表面に形成されたエッチングレジスト層１２Ａをパ
ターニングして、エッチングレジスト層１２Ａに所望の
パターン形状を形成する（図６の（Ｂ）参照）。

【０００５】［工程−３０Ａ］その後、鉄系金属薄板１
０の裏面のエッチングレジスト層１２Ｂ上にバックコー
ト材から成る保護層１４を形成する（図６の（Ｃ）参
照）。保護層１４を形成する目的は、鉄系金属薄板１０
の裏面に形成されたエッチングレジスト層１２Ｂを補強
することにある。保護層１４を形成しない場合、鉄系金
属薄板１０のエッチングの際に、エッチング液によって
鉄系金属薄板１０の裏面に形成されたエッチングレジス
ト層１２Ｂが破壊され、鉄系金属薄板１０の裏面にエッ
チング液が回り込み、既に鉄系金属薄板１０に形成され
たパターンが更にエッチングされてしまう。

【０００６】［工程−４０Ａ］その後、鉄系金属薄板１
０の表面側にエッチング液をスプレーして、鉄系金属薄
板１０を表面側からエッチングする。エッチングレジス
ト層１２Ａによって被覆されていない鉄系金属薄板１０
の部分がエッチングされて除去され、貫通領域１６が形
成される（図６の（Ｄ）参照）。

【０００７】［工程−５０Ａ］最後に、エッチングレジ
スト層１２Ａ、１２Ｂ及び保護層１４を除去する。こう
して、所望のパターン形状を有する鉄系金属薄板を得る
ことができる（図６の（Ｅ）参照）。

【０００８】次に、鉄系金属薄板のエッチング方法の別
の一例を、以下、図７を参照して説明する。尚、このエ
ッチング方法は両面エッチング法であり、片面エッチン
グ法よりも微細で高精度のエッチング加工が可能であ
る。

【０００９】［工程−１０Ｂ］先ず、鉄系金属薄板１０
の表面及び裏面の両面にエッチングレジスト層１２Ａ，
１２Ｂを形成する。

【００１０】［工程−２０Ｂ］次いで、鉄系金属薄板１
０の表面及び裏面に形成されたエッチングレジスト層１
２Ａ，１２Ｂをパターニングして、エッチングレジスト
層１２Ａ，１２Ｂに所望のパターン形状を形成する（図
７の（Ａ）参照）。

【００１１】［工程−３０Ｂ］その後、鉄系金属薄板１
０の表面側にエッチング液をスプレーして、鉄系金属薄
板１０を表面側からエッチングする。エッチングレジス
ト層１２Ａによって被覆されていない鉄系金属薄板１０
の部分がエッチングされる。この部分が裏面に貫通する
前にエッチングを止める（図７の（Ｂ）参照）。

【００１２】［工程−４０Ｂ］次に、鉄系金属薄板１０
の表面全面にバックコート材から成る保護層１４を形成
する（図７の（Ｃ）参照）。この保護層１４を形成する
目的は、次の工程での鉄系金属薄板１０を裏面側からエ
ッチングする際に、エッチング液が鉄系金属薄板１０の
表面に回り込み、鉄系金属薄板１０に既に形成されたパ
ターンが更にエッチングされることを防止することにあ
る。

【００１３】［工程−５０Ｂ］その後、鉄系金属薄板１
０の裏面側にエッチング液をスプレーして、鉄系金属薄
板１０を裏面側からエッチングする。エッチングレジス
ト層１２Ｂによって被覆されていない鉄系金属薄板１０
の部分がエッチングされて除去され、貫通領域１６が形
成される（図７の（Ｄ）参照）。

【００１４】［工程−６０Ｂ］最後に、エッチングレジ
スト層１２Ａ、１２Ｂ及び保護層１４を除去する。こう
して、所望のパターン形状を有する鉄系金属薄板を得る
ことができる（図７の（Ｅ）参照）。

【００１５】尚、これらの片面あるいは両面エッチング
法によって、図６の（Ｅ）あるいは図７の（Ｅ）に示し
た断面形状を有する貫通領域１６を形成する理由を、以
下、図８に示す模式的な切断図を参照して、簡単に説明
する。例えば、エッチングされた鉄系金属薄板から成る
色選別機構においては、鉄系金属薄板１０の表面側から
裏面側へと、貫通領域１６を電子ビームが通過する。色
選別機構に対する電子ビームの入射角は、電子ビームが
色選別機構に入射する位置に依存して変化する。図８に
示すように、貫通領域１６の側壁が垂直に近づくほど、
貫通領域１６に入射しそして貫通領域１６の側壁によっ
て反射された電子ビームが、蛍光面に到達する。その結
果、電子ビームの反射（ハレーション）が発生し、陰極
線管の特性が低下する。

【００１６】一方、図６の（Ｅ）あるいは図７の（Ｅ）
に示すような断面形状を貫通領域１６に付与すると、貫
通領域１６に入射しそして貫通領域１６の側壁によって
反射された電子ビームが、蛍光面に到達し難くなる。そ
の結果、電子ビームの反射（ハレーション）を効果的に
防止することができる。尚、図６の（Ｅ）に示した鉄系
金属薄板１０においては、その裏面が電子銃側であり、
表面側が蛍光面側である。また、図７の（Ｅ）に示した
鉄系金属薄板１０においては、その表面が電子銃側であ
り、裏面側が蛍光面側である。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】これらの従来のエッチ
ング方法においては、いずれの場合も、ワックスや紫外
線硬化樹脂から成るバックコート材から構成された保護
層１４の形成を必要とする。保護層１４がエッチング時
に破壊されてしまうと、鉄系金属薄板を高い精度でエッ
チングすることはできなくなる。そのため、従来、厚さ
２０〜３０μｍの保護層１４を形成している。そこで、
バックコート材の使用量を低減し得るエッチング方法が
要望されている。また、望ましくは、保護層を形成する
ことなく鉄系金属薄板をエッチングし得るエッチング方
法が要望されている。

【００１８】従って、本発明の第１の目的は、保護層を
形成することなく鉄系金属薄板をエッチングし得るエッ
チング方法を提供することにある。更に、本発明の第２
の目的は、バックコート材の使用量を低減し得る鉄系金
属薄板のエッチング方法を提供することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記の第１の目的は、
（イ）鉄系金属薄板の表面にエッチングレジスト層を形
成した後、このエッチングレジスト層に所望のパターン
を形成する工程と、（ロ）磁気ベルトを鉄系金属薄板の
裏面に密着させた状態で、鉄系金属薄板を表面側からエ
ッチングする工程、から成ることを特徴とする本発明の
第１の態様に係る鉄系金属薄板のエッチング方法によっ
て達成することができる。この第１の態様に係る鉄系金
属薄板のエッチング方法は、片面エッチング法に相当す
る。

【００２０】更に、上記の第２の目的は、（イ）鉄系金
属薄板の両面にエッチングレジスト層を形成した後、エ
ッチングレジスト層のそれぞれに所望のパターンを形成
する工程と、（ロ）鉄系金属薄板を表面側から所定の厚
さまでエッチングする工程と、（ハ）鉄系金属薄板の表
面に保護層を形成する工程と、（ニ）磁気ベルトを保護
層に密着させた状態で、鉄系金属薄板を裏面側からエッ
チングし、鉄系金属薄板に貫通領域を形成する工程、か
ら成ることを特徴とする本発明の第２の態様に係る鉄系
金属薄板のエッチング方法によって達成することができ
る。この第２の態様に係る鉄系金属薄板のエッチング方
法は、両面エッチング法に相当する。尚、（ロ）の工程
は、磁気ベルトを鉄系金属薄板の裏面に密着させた状態
で、鉄系金属薄板を表面側からエッチングし、鉄系金属
薄板を所定の厚さまでエッチングした時点でエッチング
を中断し、磁気ベルトと鉄系金属薄板の裏面との密着状
態を解く工程から構成することができる。

【００２１】本発明の色選別機構の製造方法は、これら
の第１及び第２の態様に係る鉄系金属薄板のエッチング
方法を用いることによって、アパーチャーグリル若しく
はシャドウマスクから成る色選別機構を製造する。

【００２２】

【作用】本発明の第１の態様に係る鉄系金属薄板のエッ
チング方法においては、磁気ベルトを鉄系金属薄板の裏
面に密着させた状態で、鉄系金属薄板を表面側からエッ
チングする。従って、鉄系金属薄板の裏面に密着させた
磁気ベルトによって、エッチング液が鉄系金属薄板の裏
面に回り込み、既に鉄系金属薄板に形成されたパターン
が更にエッチングされることを防止することができる。

【００２３】本発明の第２の態様に係る鉄系金属薄板の
エッチング方法においては、磁気ベルトを保護層に密着
させた状態で、鉄系金属薄板を裏面側からエッチングす
る。従って、エッチング液による保護層の破壊を磁気ベ
ルトによって防止することができ、保護層の厚さを従来
よりも薄くすることができる。また、磁気ベルトを鉄系
金属薄板の裏面に密着させた状態で、鉄系金属薄板を表
面側からエッチングすれば、鉄系金属薄板には均一なテ
ンションが加わり、鉄系金属薄板のパターン形成を高精
度で行うことが可能になる。

【００２４】

【実施例】以下、図面を参照して、実施例に基づき本発
明を説明する。

【００２５】（実施例１）実施例１は、本発明の第１の
態様に係る鉄系金属薄板のエッチング方法に関する。以
下、先ず、実施例１の実施に適した装置の概要を図１及
び図２を参照して説明し、次に、鉄系金属薄板の模式的
な一部切断図である図３を参照して、エッチングの各工
程を説明する。

【００２６】実施例１の実施に適した装置の概要を図１
に示す。この装置は、感光液塗布装置２０と、ヒーター
２２と、レジスト露光・現像装置３０と、レジスト硬膜
処理装置３２と、バーニング処理装置３４と、エッチン
グチャンバー４０と、レジスト剥離・水洗装置６０から
成る。感光液は、感光液塗布装置２０と感光液タンク
（図示せず）との間をポンプ（図示せず）によって循環
させられる。

【００２７】エッチングチャンバー４０の概要を図２に
示す。エッチングチャンバー４０は、エッチング槽４
２、エッチング液を鉄系金属薄板１０に対してスプレー
するスプレー部４４、搬送ローラ４６、ポンプ４８、磁
気ベルト５０及び磁気ベルト駆動部５２から構成されて
いる。磁気ベルト５０は、複数のシート状の永久磁石を
相互に連結したものであり、磁気ベルト駆動部５２によ
って駆動させられる程度の可撓性を有する。ポンプ４８
によって、エッチング液は、エッチング槽４２とスプレ
ー部４４との間を循環させられる。尚、図２には、エッ
チング途中の鉄系金属薄板１０の一部分を模式的に図示
した。

【００２８】以下、鉄系金属薄板の模式的な一部切断図
である図３を参照して、実施例１のエッチング方法の各
工程を説明する。尚、切断図は、鉄系金属薄板の幅方向
の一部切断図とした。また、鉄系金属薄板のエッチング
加工によって、アパーチャーグリルから成る色選別機構
を製造する。

【００２９】［工程−１００］予め表面を脱脂・洗浄し
た、板厚０．０２５〜０．１５ｍｍ程度の平滑な長尺の
アルミキルド低炭素鋼板から成る鉄系金属薄板１０の表
面に、感光液塗布装置２０にて感光液を塗布する。感光
液は、例えば、カゼイン、及びカゼインに対して１重量
％の重クロム酸アンモニウムから成る。また、感光液の
塗布は、鉄系金属薄板１０を感光液に浸漬する、所謂デ
ィップ塗布法とした。次いで、ヒーター２２を用いて、
約８０〜１００゜Ｃで感光液を乾燥させる。これによっ
て、鉄系金属薄板１０の少なくとも表面に厚さ７〜１０
μｍの感光性のエッチングレジスト層１２Ａが形成され
る。尚、鉄系金属薄板の両面にエッチングレジスト層１
２Ａ，１２Ｂを形成することが好ましい（図３の（Ａ）
参照）。

【００３０】［工程−１１０］次に、鉄系金属薄板１０
の表面に形成されたエッチングレジスト層１２Ａにエッ
チング用パターンを形成する。即ち、鉄系金属薄板１０
の表面に形成されたエッチングレジスト層１２Ａの表面
に、別途作製したパターンマスクを密着させて、メタル
ハライド灯等の紫外線源を用いて露光、焼き付けを行っ
た後、水現像を行う。こうして、エッチングレジスト層
１２Ａに所望のエッチング用パターンが形成される（図
３の（Ｂ）参照）。エッチングレジスト層１２Ａが除去
された部分には、鉄系金属薄板１０の表面が露出してい
る。このエッチングレジスト層１２Ａの露光・現像は、
レジスト露光・現像装置３０を用いて、通常の方法で行
うことができる。

【００３１】［工程−１２０］その後、レジスト硬膜処
理装置３２において、エッチングレジスト層１２Ａを５
〜１０％のクロム酸に浸漬して、エッチングレジスト層
１２Ａの硬膜処理を行った後、水洗する。引き続き、バ
ーニング処理装置３４において、約２００゜Ｃ〜２５０
゜Ｃのバーニング処理（熱処理）を施して、エッチング
レジスト層１２Ａの耐エッチング性を向上させる。尚、
鉄系金属薄板１０の裏面に形成されたエッチングレジス
ト層１２Ｂの全面に対しても、露光・現像処理、硬膜処
理、バーニング処理を施す。但し、パターン形成は行わ
ない。

【００３２】［工程−１３０］次いで、エッチングチャ
ンバー４０中で、鉄系金属薄板１０のエッチングを行
う。エッチング液として、例えば、ボーメ度４５〜４８
゜Ｂｅの塩化第二鉄を用いた。搬送ローラ４６によって
搬送された鉄系金属薄板１０は、磁気ベルト駆動部５２
によって駆動させられる磁気ベルト５０によって吸着さ
れる。その結果、磁気ベルト５０が鉄系金属薄板１０の
裏面（より具体的には、鉄系金属薄板の裏面に形成され
たエッチングレジスト層１２Ｂ）と密着した状態となる
（図３の（Ｃ）参照）。この状態で、スプレー部４４か
らエッチング液を鉄系金属薄板１０の表面側にスプレー
し、鉄系金属薄板１０を表面側からエッチングする。ス
プレー圧は、１．５〜２．５ｋｇ／ｃｍ²−Ｇである。
エッチング中、鉄系金属薄板１０は磁気ベルト５０によ
って搬送される。

【００３３】エッチング終了直後の鉄系金属薄板１０の
模式的な一部切断図を図３の（Ｄ）に示す。エッチング
終了後には、鉄系金属薄板１０に貫通領域１６が形成さ
れる。

【００３４】磁気ベルト５０が鉄系金属薄板１０の裏面
と密着した状態となるので、鉄系金属薄板１０の裏面に
形成されたエッチングレジスト層１２Ｂが磁気ベルト５
０によって保護される。その結果、エッチング液によっ
てエッチングレジスト層１２Ｂが破壊されることを防止
し得る。従って、エッチング液が鉄系金属薄板１０の裏
面に回り込むことによって、既に鉄系金属薄板１０に形
成されたパターンが更にエッチングされることを防止す
ることができる。しかも、鉄系金属薄板１０には磁気ベ
ルト５０によって均一なテンションが加わるので、鉄系
金属薄板１０のパターン形成を高精度で行うことが可能
になる。

【００３５】［工程−１４０］その後、磁気ベルト５０
と鉄系金属薄板１０の裏面との密着状態を解く。鉄系金
属薄板１０が長尺であるために、磁気ベルト５０の後方
端部で磁気ベルト５０が鉄系金属薄板１０から自然に離
脱するので、この操作は自動的に行われる。次いで、レ
ジスト剥離・水洗装置６０において、界面活性剤が添加
された、８０〜９０゜Ｃ、１０〜２０％の苛性ソーダを
用いて、鉄系金属薄板１０の両面からエッチングレジス
ト層１２Ａ，１２Ｂを膨潤剥離させた後、鉄系金属薄板
１０を水洗・乾燥する。こうして、長尺の鉄系金属薄板
１０に所望のパターン（例えば、多数の簾状の貫通領
域）が形成される（図３の（Ｅ）参照）。尚、この場
合、鉄系金属薄板１０の裏面が電子銃側であり、表面側
が蛍光面側である。別の工程で長尺の鉄系金属薄板１０
を所望の寸法に切断して、アパーチャーグリルから成る
色選別機構を製造することができる。

【００３６】（実施例２）実施例２は、本発明の第２の
態様に係る鉄系金属薄板のエッチング方法に関する。以
下、先ず、実施例２の実施に適した装置の概要を図４を
参照して説明し、次に、鉄系金属薄板の模式的な一部切
断図である図５を参照して、エッチングの各工程を説明
する。

【００３７】実施例２の実施に適した装置の概要を図４
に示す。この装置は、感光液塗布装置２０と、ヒーター
２２と、レジスト露光・現像装置３０と、レジスト硬膜
処理装置３２と、バーニング処理装置３４と、第１のエ
ッチングチャンバー１４０と、バックコート材から成る
保護層１４を形成するためのバックコート材塗布装置７
０と、バックコート材を乾燥するヒーター７２と、第２
のエッチングチャンバー２４０と、レジスト剥離・水洗
装置６０から成る。感光液は、感光液塗布装置２０と感
光液タンク（図示せず）との間をポンプ（図示せず）に
よって循環させられる。

【００３８】第１及び第２のエッチングチャンバー１４
０，２４０の構造は、図２に示したエッチングチャンバ
ーと同様とすることができる。バックコート材塗布装置
７０は、例えば、通常のロールコーターから構成するこ
とができる。

【００３９】以下、鉄系金属薄板の模式的な一部切断図
である図５を参照して、実施例２のエッチング方法の各
工程を説明する。尚、切断図は、鉄系金属薄板の幅方向
の一部切断図とした。また、鉄系金属薄板のエッチング
加工によって、アパーチャーグリルから成る色選別機構
が製造される。

【００４０】［工程−２００］先ず、鉄系金属薄板１０
の表面及び裏面の両面にエッチングレジスト層１２Ａ，
１２Ｂを形成した後、エッチングレジスト層１２Ａ，１
２Ｂのそれぞれに所望のパターンを形成する。即ち、予
め表面を脱脂・洗浄した、鉄系金属薄板１０の表面及び
裏面の両面に感光液を塗布し、次いで、感光液を乾燥さ
せる。これによって、鉄系金属薄板１０の両面にエッチ
ングレジスト層１２Ａ，１２Ｂが形成される。その後、
エッチングレジスト層１２Ａ，１２Ｂに所望のパターン
形状を形成する（図５の（Ａ）参照）。次いで、エッチ
ングレジスト層１２Ａ，１２Ｂの硬膜処理、バーニング
処理を行う。これらの工程は、実施例１の［工程−１０
０］〜［工程−１２０］と実質的に同様の工程とするこ
とができる。

【００４１】［工程−２１０］次いで、第１のエッチン
グチャンバー１４０中で、鉄系金属薄板１０の部分的な
エッチングを行う。即ち、磁気ベルト５０を鉄系金属薄
板１０の裏面に密着させた状態で、鉄系金属薄板１０を
表面側からエッチングする。そして、鉄系金属薄板１０
を所定の厚さまでエッチングした時点でエッチングを中
断し、磁気ベルト５０と鉄系金属薄板１０の裏面との密
着状態を解く。

【００４２】エッチング液として、例えば、ボーメ度４
５〜４８゜Ｂｅの塩化第二鉄を用いた。搬送ローラ４６
によって搬送された鉄系金属薄板１０は、図２に示すよ
うに、磁気ベルト駆動部５２によって駆動させられる磁
気ベルト５０によって吸着される。その結果、磁気ベル
ト５０は鉄系金属薄板１０の裏面（より具体的には、鉄
系金属薄板の裏面に形成されたエッチングレジスト層１
２Ｂ）と密着した状態となる。この状態で、スプレー部
４４からエッチング液を鉄系金属薄板１０の表面側にス
プレーし、鉄系金属薄板１０を表面側からエッチングす
る。スプレー圧は、１．５〜２．５ｋｇ／ｃｍ²−Ｇで
ある。エッチング中、鉄系金属薄板１０は磁気ベルト５
０によって搬送される。

【００４３】鉄系金属薄板１０を所定の厚さまでエッチ
ングした時点でエッチングを中断する。即ち、第１のエ
ッチングチャンバー１４０中では、もうこれ以上、鉄系
金属薄板１０にエッチング液がかからないようにする。
この状態の鉄系金属薄板１０の模式的な一部切断図を図
５の（Ｂ）に示す。磁気ベルト５０が鉄系金属薄板１０
の裏面と密着した状態となっているので、鉄系金属薄板
１０には均一なテンションが加わり、鉄系金属薄板１０
のパターン形成を高精度で行うことが可能になる。尚、
場合によっては、この工程で使用するエッチングチャン
バーとして、通常のエッチングチャンバー、即ち、磁気
ベルトで鉄系金属薄板を搬送する形式ではなく、搬送ロ
ーラによって鉄系金属薄板を搬送する形式のエッチング
チャンバーを用いることができる。

【００４４】その後、磁気ベルト５０と鉄系金属薄板１
０の裏面との密着状態を解く。鉄系金属薄板１０が長尺
であるために、磁気ベルト５０の後方端部で磁気ベルト
５０が鉄系金属薄板１０から自然に離脱するので、この
操作は自動的に行われる。その後、鉄系金属薄板１０を
水洗する。

【００４５】［工程−２２０］次に、鉄系金属薄板１０
の表面にバックコート材から成る保護層１４を形成す
る。そのために、通常のロールコーターから構成された
バックコート材塗布装置７０を用いて、ワックスから成
るバックコート材を鉄系金属薄板１０の表面に塗布す
る。尚、鉄系金属薄板１０の表面にはエッチングレジス
ト層１２Ａが残っている。その後、ヒーター７２でバッ
クコート材を乾燥して、鉄系金属薄板１０の表面にバッ
クコート材から成る保護層１４を形成する。尚、バック
コート材として紫外線硬化樹脂を用いる場合には、ヒー
ター７２の代わりに紫外線硬化装置を使用する。

【００４６】［工程−２３０］その後、第２のエッチン
グチャンバー２４０を使用して、磁気ベルト５０を保護
層１４に密着させた状態で、鉄系金属薄板１０を裏面側
からエッチングし、鉄系金属薄板１０に貫通領域１６を
形成する。

【００４７】エッチング液として、例えば、ボーメ度４
５〜４８゜Ｂｅの塩化第二鉄を用いた。搬送ローラ４６
によって搬送された鉄系金属薄板１０は、図２に示すよ
うに、磁気ベルト駆動部５２によって駆動させられる磁
気ベルト５０によって吸着される。その結果、磁気ベル
ト５０は鉄系金属薄板１０の表面に形成された保護層１
４と密着した状態となる。この状態で、スプレー部４４
からエッチング液を鉄系金属薄板１０の裏面側にスプレ
ーし、鉄系金属薄板１０を裏面側からエッチングする。
スプレー圧は、１．５〜２．５ｋｇ／ｃｍ²−Ｇであ
る。エッチング中、鉄系金属薄板１０は磁気ベルト５０
によって搬送される。

【００４８】エッチングが完了して貫通領域１６が形成
された時点の鉄系金属薄板１０の模式的な一部切断図を
図５の（Ｄ）に示す。磁気ベルト５０が鉄系金属薄板１
０の表面に形成された保護層１４と密着した状態となっ
ているので、保護層１４が磁気ベルト５０によって保護
され、エッチング液によって保護層１４が破壊されるこ
とを防止し得る。従って、従来よりも薄い保護層１４で
十分に鉄系金属薄板１０の表面を保護することができ
る。しかも、鉄系金属薄板１０には磁気ベルト５０によ
って均一なテンションが加わるので、鉄系金属薄板１０
のパターン形成を高精度で行うことが可能になる。

【００４９】その後、磁気ベルト５０と鉄系金属薄板１
０の表面に形成された保護層１４との密着状態を解く。
鉄系金属薄板１０が長尺であるために、磁気ベルト５０
の後方端部で磁気ベルト５０が鉄系金属薄板１０から自
然に離脱するので、この操作は自動的に行われる。

【００５０】［工程−２４０］次いで、レジスト剥離・
水洗装置６０において、鉄系金属薄板１０の両面からエ
ッチングレジスト層１２Ａ，１２Ｂ及び保護層１４を剥
離した後、鉄系金属薄板１０を水洗・乾燥する（図５の
（Ｅ）参照）。こうして、長尺の鉄系金属薄板１０に所
望のパターンが形成される。尚、この場合、鉄系金属薄
板１０の表面が電子銃側であり、裏面側が蛍光面側であ
る。別の工程で長尺の鉄系金属薄板１０を所望の寸法に
切断して、アパーチャーグリルから成る色選別機構を製
造することができる。

【００５１】以上、本発明を好ましい実施例に基づき説
明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。実施例にて使用した各種材料や加工条件は例示
であり、適宜変更することができる。鉄系金属薄板とし
て、例えば冷延鋼板やアンバー鋼板を用いることができ
る。感光液塗布装置として、他にも、ロールコーター
等、各種の塗布装置を用いることができる。バックコー
ト材塗布装置も、任意の塗布装置に置き換えることがで
きる。

【００５２】磁気ベルトは、可撓性を有する磁性金属ベ
ルトの内面に電磁石や永久磁石を取り付けた構造、可撓
性を有する磁性金属ベルト、及びその内側に磁性金属ベ
ルトに沿って固定されて配設された電磁石や永久磁石か
ら成る構造、ベルト駆動部を電磁石や永久磁石から構成
し、これによって磁性金属ベルトを磁化する構造等とす
ることができる。

【００５３】

【発明の効果】本発明の第１の態様に係る鉄系金属薄板
のエッチング方法においては、保護層を形成することな
く鉄系金属薄板をエッチングすることができる。また、
本発明の第２の態様に係る鉄系金属薄板のエッチング方
法においては、保護層の厚さを従来よりも薄くすること
ができる。しかも、これらのエッチング方法において
は、磁気ベルトによって鉄系金属薄板に均一のテンショ
ンを加えることができるので、高い精度で、しかも非常
に薄い鉄系金属薄板をエッチングすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の実施に適した装置の概要を示す図で
ある。

【図２】エッチングチャンバーの概要を示す図である。

【図３】実施例１のエッチング方法の各工程を説明する
ための鉄系金属薄板等の模式的な一部切断図である。

【図４】実施例２の実施に適した装置の概要を示す図で
ある。

【図５】実施例２のエッチング方法の各工程を説明する
ための鉄系金属薄板等の模式的な一部切断図である。

【図６】従来の片面エッチング法を説明するための鉄系
金属薄板等の模式的な一部切断図である。

【図７】従来の両面エッチング法を説明するための鉄系
金属薄板等の模式的な一部切断図である。

【図８】貫通領域１６に入射した電子ビームが鉄系金属
薄板に形成された貫通領域の側壁によって反射される状
態を説明する図である。

【図９】アパーチャーグリルの模式的な一部平面図及び
拡大切断図である。

【符号の説明】

１０ 鉄系金属薄板 １２Ａ，１２Ｂ エッチングレジスト層 １４ 保護層 １６ 貫通領域 ２０ 感光液塗布装置 ２２，７２ ヒーター ３０ レジスト露光・現像装置 ３２ レジスト硬膜処理装置 ３４ バーニング処理装置 ４０，１４０，２４０ エッチングチャンバー ４２ エッチング槽 ４４ スプレー部 ４６ 搬送ローラ ４８ ポンプ ５０ 磁気ベルト ５２ 磁気ベルト駆動部 ６０ レジスト剥離・水洗装置 ７０ バックコート材塗布装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】（イ）鉄系金属薄板の表面にエッチングレ
   ジスト層を形成した後、該エッチングレジスト層に所望
   のパターンを形成する工程と、 （ロ）磁気ベルトを鉄系金属薄板の裏面に密着させた状
   態で、鉄系金属薄板を表面側からエッチングする工程、
   から成ることを特徴とする鉄系金属薄板のエッチング方
   法。
2. 【請求項２】（イ）鉄系金属薄板の両面にエッチングレ
   ジスト層を形成した後、該エッチングレジスト層のそれ
   ぞれに所望のパターンを形成する工程と、 （ロ）鉄系金属薄板を表面側から所定の厚さまでエッチ
   ングする工程と、 （ハ）鉄系金属薄板の表面に保護層を形成する工程と、 （ニ）磁気ベルトを保護層に密着させた状態で、鉄系金
   属薄板を裏面側からエッチングし、鉄系金属薄板に貫通
   領域を形成する工程、から成ることを特徴とする鉄系金
   属薄板のエッチング方法。
3. 【請求項３】前記（ロ）の工程は、磁気ベルトを鉄系金
   属薄板の裏面に密着させた状態で、鉄系金属薄板を表面
   側からエッチングし、鉄系金属薄板を所定の厚さまでエ
   ッチングした時点でエッチングを中断し、磁気ベルトと
   鉄系金属薄板の裏面との密着状態を解く工程から成るこ
   とを特徴とする請求項２に記載の鉄系金属薄板のエッチ
   ング方法。
4. 【請求項４】請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記
   載の鉄系金属薄板のエッチング方法を用いた、アパーチ
   ャーグリル若しくはシャドウマスクから成る色選別機構
   の製造方法。