JPH0792437B2 - 表面形状の観察装置 - Google Patents
表面形状の観察装置Info
- Publication number
- JPH0792437B2 JPH0792437B2 JP29089486A JP29089486A JPH0792437B2 JP H0792437 B2 JPH0792437 B2 JP H0792437B2 JP 29089486 A JP29089486 A JP 29089486A JP 29089486 A JP29089486 A JP 29089486A JP H0792437 B2 JPH0792437 B2 JP H0792437B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- objective lens
- illumination
- light source
- observation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は物体の表面形状の観察方法およびその装置、
特にその照明のための光源装置に関する。
特にその照明のための光源装置に関する。
〔従来の技術〕 物体の表面の微細形状を観察するための計測装置として
は、従来から顕微鏡やレンズを取り付けたカメラを当該
物体に近付けて、適切な照明を施すことで目的を達成し
たものがある。また表面形状を適当な材料に写し取るレ
プリカの手法が利用された。
は、従来から顕微鏡やレンズを取り付けたカメラを当該
物体に近付けて、適切な照明を施すことで目的を達成し
たものがある。また表面形状を適当な材料に写し取るレ
プリカの手法が利用された。
しかし、観察対象物が顕微鏡の試料台に乗らないような
大きな物であるか、生物であって生きたまま観察する必
要がある場合には直接観測には不都合があった。さら
に、表面の微細な剥離や毛状の構造は、レプリカによっ
ては観察が不可能であった。このような例のひとつとし
て、人間の皮膚表面や、植物の組織表面などの観察があ
げられる。
大きな物であるか、生物であって生きたまま観察する必
要がある場合には直接観測には不都合があった。さら
に、表面の微細な剥離や毛状の構造は、レプリカによっ
ては観察が不可能であった。このような例のひとつとし
て、人間の皮膚表面や、植物の組織表面などの観察があ
げられる。
またレプリカによらず物体表面を直接に対物レンズによ
って観察をする場合には、落射照明によらなければなら
ない。細かい凹凸のある物体の表面を見るには、垂直入
射光の反射量を濃淡画像として捕らえることのできる通
常の落射照明が適している。さらに暗視野照明は、物体
で反射された直接光は対物レンズに入射しないように
し、散乱光、回折光のみで観察し、視野中の微細構造が
輝点として得られるため構造観察の有力な手段となる。
すなわち物体の表面観察にはこの２方式を適切に切り換
えて使い分けられることが必要である。
って観察をする場合には、落射照明によらなければなら
ない。細かい凹凸のある物体の表面を見るには、垂直入
射光の反射量を濃淡画像として捕らえることのできる通
常の落射照明が適している。さらに暗視野照明は、物体
で反射された直接光は対物レンズに入射しないように
し、散乱光、回折光のみで観察し、視野中の微細構造が
輝点として得られるため構造観察の有力な手段となる。
すなわち物体の表面観察にはこの２方式を適切に切り換
えて使い分けられることが必要である。
この発明は、拡大像を得るための対物レンズ、上記対物
レンズ付近に装着されて対物レンズの光軸前方向に照明
光を照射する照明装置、光源の前方にあって反射部と遮
光部を移動可能かつ光軸と同軸に配設したものからな
り、上記反射部と遮光部は後方に移動した場合には光源
から反射部と遮光部に影響なく、観察対象物体に直接光
をあてて落射照明を行い、また前方に移動したときには
遮光部により光源から観察対象物体への直接光を遮ると
ともに、反射部において光線を反射させて落射暗視野照
明を行うことを、任意に選択しうるようにされている。
加えて、いずれの方式の照明でも焦点の再設定が不用で
簡便に観察できるように観察面に付当てて拡大像を得る
ように構成される。
レンズ付近に装着されて対物レンズの光軸前方向に照明
光を照射する照明装置、光源の前方にあって反射部と遮
光部を移動可能かつ光軸と同軸に配設したものからな
り、上記反射部と遮光部は後方に移動した場合には光源
から反射部と遮光部に影響なく、観察対象物体に直接光
をあてて落射照明を行い、また前方に移動したときには
遮光部により光源から観察対象物体への直接光を遮ると
ともに、反射部において光線を反射させて落射暗視野照
明を行うことを、任意に選択しうるようにされている。
加えて、いずれの方式の照明でも焦点の再設定が不用で
簡便に観察できるように観察面に付当てて拡大像を得る
ように構成される。
次に本発明について図面を参照して説明する。第１図は
本発明の実施例の断面図である。すべて中心軸13につい
て軸対称に配置され、１は反射部・２は遮光部でこの２
つは一体であり、外側ケース９の内面で前後移動機構３
により可動支持されている。５は光源のストロボランプ
・４は光源用反射鏡で、光源はケース９内面に固定支持
されている。６は観察用対物レンズ・７は鏡筒で支持部
材８によりケース９に固定支持されている。ケース９の
前面には開口部11を持ったカバー12があり、カバーの前
面を観察対象10に軽く押し当てて観察した場合にレンズ
６の焦点が合うように配置されている。レンズ６の後方
には観察のためのカメラまたは接眼レンズ（図示せず）
が設けられている。
本発明の実施例の断面図である。すべて中心軸13につい
て軸対称に配置され、１は反射部・２は遮光部でこの２
つは一体であり、外側ケース９の内面で前後移動機構３
により可動支持されている。５は光源のストロボランプ
・４は光源用反射鏡で、光源はケース９内面に固定支持
されている。６は観察用対物レンズ・７は鏡筒で支持部
材８によりケース９に固定支持されている。ケース９の
前面には開口部11を持ったカバー12があり、カバーの前
面を観察対象10に軽く押し当てて観察した場合にレンズ
６の焦点が合うように配置されている。レンズ６の後方
には観察のためのカメラまたは接眼レンズ（図示せず）
が設けられている。
反射部・遮光部を第１図のように後方に移動した場合、
光源５の出す光は反射部・遮光部には遮られず、開口部
11を通して観察対象10の表面を照明し、反射光は対物レ
ンズ６に導かれる。この場合通常の落射照明となる。
光源５の出す光は反射部・遮光部には遮られず、開口部
11を通して観察対象10の表面を照明し、反射光は対物レ
ンズ６に導かれる。この場合通常の落射照明となる。
また、反射部・遮光部を第２図のように前方に移動する
と、直接光は遮光部２に遮られて開口部11に達しない。
また反射部１により反射された後、観察対象10の表面で
さらに反射された光線は、直接反射光線は観察対象10の
表面への入射角が小さ過ぎて対物レンズには達せず、散
乱光・乱反射光のみを観察できる。すなわち落射暗視野
照明として動作する。この場合でも対物レンズと観察対
象10との間隔は図１の場合と変わらないため、焦点合わ
せをやり直す必要はない。
と、直接光は遮光部２に遮られて開口部11に達しない。
また反射部１により反射された後、観察対象10の表面で
さらに反射された光線は、直接反射光線は観察対象10の
表面への入射角が小さ過ぎて対物レンズには達せず、散
乱光・乱反射光のみを観察できる。すなわち落射暗視野
照明として動作する。この場合でも対物レンズと観察対
象10との間隔は図１の場合と変わらないため、焦点合わ
せをやり直す必要はない。
また、焦点合わせは、いずれの照明方式においても、単
に前面カバーを（観察する物体に影響を与えない程度
に）物体の表面に軽く押し当てるだけですむため、観察
対象を試料台等に固定する必要はない。したがって、生
物をそのまま観察でき、また観察装置を可搬型に構成し
て任意の場所で観察可能にできる。
に前面カバーを（観察する物体に影響を与えない程度
に）物体の表面に軽く押し当てるだけですむため、観察
対象を試料台等に固定する必要はない。したがって、生
物をそのまま観察でき、また観察装置を可搬型に構成し
て任意の場所で観察可能にできる。
以上により、反射部・遮光部を前後させるだけで、落射
照明と落射暗視野照明とが切り換えられる。
照明と落射暗視野照明とが切り換えられる。
この発明は、上記の構成により、通常の落射照明と落射
暗視野照明を任意に選択でき、加えて、いずれの方式の
照明でも焦点の再設定が不用で、容易に物体表面を直接
に観察しうる観察装置を実現できる。
暗視野照明を任意に選択でき、加えて、いずれの方式の
照明でも焦点の再設定が不用で、容易に物体表面を直接
に観察しうる観察装置を実現できる。
第１図・第２図は本発明の一実施例を示す図。 １は反射部・２は遮光部・３は移動機構・４は光源用反
射鏡・５は光源のストロボランプ・６は観察用対物レン
ズ・７は鏡筒・８は支持部材・９はケース・10は観察対
象・11は開口部・12はカバー・13は光学系の光軸であ
る。
射鏡・５は光源のストロボランプ・６は観察用対物レン
ズ・７は鏡筒・８は支持部材・９はケース・10は観察対
象・11は開口部・12はカバー・13は光学系の光軸であ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大坂 哲司 東京都江東区亀戸９丁目19番地20−904 (72)発明者 伊藤 裕幸 神奈川県川崎市麻生区百合ケ丘１丁目18番 地 (56)参考文献 特開 昭56−151912（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−128730（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−29712（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−118115（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】拡大像を得るための対物レンズ、上記対物
レンズ周辺に装着されて対物レンズの光軸前方向に照明
光を照射する照明装置、光源の前方にあって光軸と同軸
に配設され一体で移動可能な反射部と遮光部からなり、
上記反射部と遮光部は後方に移動した場合には光源から
観察対象物体に直接光が当り、前方に移動したときには
遮光部により光源から観察対象物体への直接光を遮ると
ともに、反射部において光線を反射させて暗視野照明を
行うことを特徴とした物体表面形状の観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29089486A JPH0792437B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 表面形状の観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29089486A JPH0792437B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 表面形状の観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63142239A JPS63142239A (ja) | 1988-06-14 |
| JPH0792437B2 true JPH0792437B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=17761883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29089486A Expired - Lifetime JPH0792437B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 表面形状の観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792437B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8718073D0 (en) * | 1987-07-30 | 1987-09-03 | King J T | Surface inspection lighting scheme |
| JPH0344655U (ja) * | 1989-09-06 | 1991-04-25 | ||
| JPH03223972A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-10-02 | Ezel Inc | カメラの照明装置 |
| WO2003010525A1 (en) * | 2001-07-27 | 2003-02-06 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Method for evaluating contamination of object surface and imaging box used for this method |
| JP4599941B2 (ja) | 2004-08-20 | 2010-12-15 | 株式会社ニコン | 自動焦点検出装置およびこれを備える顕微鏡システム |
| US20060092276A1 (en) * | 2004-10-28 | 2006-05-04 | Ariglio James A | Inspection system and method for identifying surface and body defects in a glass sheet |
| JP6438703B2 (ja) * | 2014-08-21 | 2018-12-19 | バンドー化学株式会社 | 異物検査装置、異物検査システム及び異物検査方法 |
-
1986
- 1986-12-05 JP JP29089486A patent/JPH0792437B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63142239A (ja) | 1988-06-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |