JPH079326A - 定盤面の形成装置 - Google Patents
定盤面の形成装置Info
- Publication number
- JPH079326A JPH079326A JP18694493A JP18694493A JPH079326A JP H079326 A JPH079326 A JP H079326A JP 18694493 A JP18694493 A JP 18694493A JP 18694493 A JP18694493 A JP 18694493A JP H079326 A JPH079326 A JP H079326A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- tool
- brush
- forming
- supply pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 平面研磨装置における定盤面の形成装置が、
液体供給管18とブラシ17とからなる切粉除去手段と
工具7とを備えた定盤面の形成装置。 【効果】 工具により面を加工、形成した定盤面に液体
を供給しながら、切粉や異物をブラシで除去するように
したので、加工後の定盤に切粉や異物が残らず、定盤を
工具として使用した時、ワークを傷つけることがなく、
また、研磨加工精度にも悪影響がない。
液体供給管18とブラシ17とからなる切粉除去手段と
工具7とを備えた定盤面の形成装置。 【効果】 工具により面を加工、形成した定盤面に液体
を供給しながら、切粉や異物をブラシで除去するように
したので、加工後の定盤に切粉や異物が残らず、定盤を
工具として使用した時、ワークを傷つけることがなく、
また、研磨加工精度にも悪影響がない。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、平面研磨装置等に使用
する金属定盤、砥石定盤等の一面あるいは一部を所定の
形状に形成する、定盤面の形成装置に関するものであ
る。さらに詳しくは、定盤面形成時に発生する切粉を除
去するための切粉除去手段を備えた定盤面の形成装置に
関するものである。
する金属定盤、砥石定盤等の一面あるいは一部を所定の
形状に形成する、定盤面の形成装置に関するものであ
る。さらに詳しくは、定盤面形成時に発生する切粉を除
去するための切粉除去手段を備えた定盤面の形成装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の技術として、定盤の溝切り加工を
行う切削装置がある。これは、実開昭61−16952
1号公報に開示されているように、回転する定盤の加工
面に刃物を当て外周、または、内周のある一点を目標と
して設定した値に基づいて、該刃物を定盤の半径方向に
移動させながら、切削するものがある。また、特開平3
−149179号公報には上部及び下部定盤に固定し
た、それぞれ第1及び第2の砥石の表面を同時にドレッ
シングするドレッシング装置について開示されているも
のが存在している。
行う切削装置がある。これは、実開昭61−16952
1号公報に開示されているように、回転する定盤の加工
面に刃物を当て外周、または、内周のある一点を目標と
して設定した値に基づいて、該刃物を定盤の半径方向に
移動させながら、切削するものがある。また、特開平3
−149179号公報には上部及び下部定盤に固定し
た、それぞれ第1及び第2の砥石の表面を同時にドレッ
シングするドレッシング装置について開示されているも
のが存在している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記で
示された従来技術のうち、実開昭61−169521号
公報の場合、定盤外周部から定盤中心部(または、中心
部から外周部)のある一点を目標に直線的にバイトを移
動させているので、ある一点の目標切削値が深ければ深
いほど、中心部へ該バイトが進むにしたがってバイトに
負荷がかかるので切削量も多くなり、刃物自身が痛んで
しまう。故に、定盤面の仕上がりが不規則な凹凸になり
やすく、また、加工面に切粉や異物が残ってしまい、後
の研磨加工でワークにスクラッチが入ってしまう問題点
があった。また、特開平3−149179号公報の場合
にも同様なことが起きる可能性がある。この問題を解決
するために、切削後の定盤を停止させ、ブラシ等により
手作業で切粉を除去する方法がとられていたが、多大な
時間を費やさなければならない問題点があった。しか
も、前記いずれの従来技術にも切粉除去対策は開示され
ていない。本発明は、これらの事情に鑑み、前記従来技
術の欠点を解消し、簡単な構成により、定盤面の形成を
行うにあたり、加工面に切粉や異物を残すことなく、研
磨あるいは研削に供した時にワークに傷をつけたり、加
工精度に悪影響を及ぼすことがない定盤面の形成装置を
提供することを目的とするものである。
示された従来技術のうち、実開昭61−169521号
公報の場合、定盤外周部から定盤中心部(または、中心
部から外周部)のある一点を目標に直線的にバイトを移
動させているので、ある一点の目標切削値が深ければ深
いほど、中心部へ該バイトが進むにしたがってバイトに
負荷がかかるので切削量も多くなり、刃物自身が痛んで
しまう。故に、定盤面の仕上がりが不規則な凹凸になり
やすく、また、加工面に切粉や異物が残ってしまい、後
の研磨加工でワークにスクラッチが入ってしまう問題点
があった。また、特開平3−149179号公報の場合
にも同様なことが起きる可能性がある。この問題を解決
するために、切削後の定盤を停止させ、ブラシ等により
手作業で切粉を除去する方法がとられていたが、多大な
時間を費やさなければならない問題点があった。しか
も、前記いずれの従来技術にも切粉除去対策は開示され
ていない。本発明は、これらの事情に鑑み、前記従来技
術の欠点を解消し、簡単な構成により、定盤面の形成を
行うにあたり、加工面に切粉や異物を残すことなく、研
磨あるいは研削に供した時にワークに傷をつけたり、加
工精度に悪影響を及ぼすことがない定盤面の形成装置を
提供することを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記の課題の
解決を図ったもので、次の技術手段を採用した。請求項
1記載の発明は、平面研磨装置における定盤面の形成装
置が切粉除去手段を備えるという技術手段を採用した。
また、請求項2記載の発明は、切粉除去手段が液体供給
管とブラシとからなるという技術手段を採用した。さら
に、請求項3記載の発明は、工具と液体供給管とブラシ
とを一体的に構成するという技術手段を採用した。
解決を図ったもので、次の技術手段を採用した。請求項
1記載の発明は、平面研磨装置における定盤面の形成装
置が切粉除去手段を備えるという技術手段を採用した。
また、請求項2記載の発明は、切粉除去手段が液体供給
管とブラシとからなるという技術手段を採用した。さら
に、請求項3記載の発明は、工具と液体供給管とブラシ
とを一体的に構成するという技術手段を採用した。
【0005】
【作用】本発明は、以上の技術手段を採用した結果、定
盤を回転させて工具を加工面外周部(内周部)に当て、
該工具と液体供給管とブラシとを所定の速度で少しずつ
定盤の半径方向内周側(外周側)に送り込むと共に定盤
面を形成する。液体供給管は工具先端と定盤面の加工箇
所に液体を供給するか、または工具に対して定盤中心側
に液体を供給し定盤回転の遠心力によって液体を加工箇
所へ供給する。定盤面の形成加工が終わると、工具を定
盤面から離し、ブラシを半径方向外周側へ戻すと共に、
液体を供給しながら、形成された定盤面にブラシを押し
当て、定盤面に残った切粉や異物を除去し、加工面に切
粉等を残さないようにする。したがって、定盤の研磨あ
るいは研削に供した時にワークに傷をつけたり、加工精
度に悪影響を及ぼすことがない。
盤を回転させて工具を加工面外周部(内周部)に当て、
該工具と液体供給管とブラシとを所定の速度で少しずつ
定盤の半径方向内周側(外周側)に送り込むと共に定盤
面を形成する。液体供給管は工具先端と定盤面の加工箇
所に液体を供給するか、または工具に対して定盤中心側
に液体を供給し定盤回転の遠心力によって液体を加工箇
所へ供給する。定盤面の形成加工が終わると、工具を定
盤面から離し、ブラシを半径方向外周側へ戻すと共に、
液体を供給しながら、形成された定盤面にブラシを押し
当て、定盤面に残った切粉や異物を除去し、加工面に切
粉等を残さないようにする。したがって、定盤の研磨あ
るいは研削に供した時にワークに傷をつけたり、加工精
度に悪影響を及ぼすことがない。
【0006】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面で詳細に
説明する。図1は両面平面研磨装置に定盤面形成装置を
設けたものである。通常、両面平面研磨装置は、サンギ
ヤとインターナルギヤに噛み合ったキャリヤに保持され
たワークを回転する上下定盤で圧接して加工するもので
ある。ここで1は上定盤、2は下定盤、3はドライバー
である。上定盤1はドライバー3によって駆動される。
4は定盤面形成装置で、水平方向の送り装置5と垂直方
向の送り装置6とから成っており、水平方向の送り装置
5は、工具7、7(例えば刃物)を上下に備えた工具支
持部材8が直線ガイド9aにガイドされて、ボールネジ
10aの回転により、定盤の内外周の間を矢印Aの方向
に水平移動する。垂直方向の送り装置6も同様の構成
で、水平方向の送り装置5を載せた機台12が直線ガイ
ド9bにガイドされて、ボールネジ10bの回転により
垂直方向に移動するようになっている。11a、11b
はそれぞれ水平方向の送り用サーボモータ、垂直方向の
送り用サーボモータで、制御装置13でコンピュータコ
ントロールすることにより、定盤面を任意の形状にする
ことができる。このように構成された定盤面形成装置4
により定盤面を例えば直線的に形成する場合、まず、上
定盤1を加工するとすれば、上定盤1をドライバー3に
係合する範囲で所定の高さまで上昇させ、工具7の刃先
を定盤面に合わせたところで0調整する。次に、制御装
置13に加工形状を入力してから、定盤を回転させ、加
工を始める(図2)。定盤面形成装置による加工は定盤
の外周側からでも、内周側からでも良いが、上定盤1を
ドライバー3により回転駆動させながら図1の矢印A方
向に移動させる。加工が終わると、工具7はスタート位
置に戻るようにする。下定盤2の加工においても同様で
あるので説明を省略する。なお、上定盤1は調芯軸受1
4を使っているので、加工中は固定しておく必要があ
る。そこで、図1に示す通り、上定盤1が上昇した時、
ブロック15がストッパ16に当接し、上定盤1の調芯
が機能しなくなり、上定盤1が固定される。加工終了後
上定盤1を下降させれば再び調芯が機能する。なお、図
1ではわかりやすくするために上下定盤間を開いた状態
にしたが、加工中は図2に示す状態となる。次に定盤面
の形成装置には工具7の他に切粉除去装置としてブラシ
17と液体供給管18が備えてある。図2、図3を参照
して加工中のブラシ17と液体供給管18の働きについ
て説明する。上定盤1をドライバー3に係合させて回転
させ、スタートボタン等により定盤面の加工を始める
と、先ず、液体供給管18から定盤面に向けて液体が供
給される。次に工具7が定盤面に押し当てられる。工具
7、ブラシ17、液体供給管18の位置関係は、定盤面
の形成装置の側面から見れば、図2に示す通り、液体供
給管18は工具7に対して、定盤回転中心側である。ブ
ラシ17は工具7に対して、定盤回転の後側である。ま
た、定盤面の形成装置を正面から見ると図3に示す通
り、定盤の回転方向に向かって、液体供給管18、工具
7、ブラシ17の順になっている。液体供給管18が工
具7に対して定盤の中心側にあるのは、定盤回転の遠心
力によって液体が定盤外周側へ運ばれるからである。ま
た、工具7、ブラシ17、液体供給管18の高さ関係
は、ブラシ17、工具7、液体供給管18の順であり、
ブラシ17の毛先が定盤面に最も近くなっている。ブラ
シ17の毛先が工具7よりも定盤面に近くなっているの
は、工具7による加工だけでなく、ブラシ17と液体供
給管18から供給される液体による切粉除去だけができ
るようにするためである。定盤面の形成装置が図1の矢
印A方向に進み、例えば外周側から内周側への加工が終
了すると、工具7を定盤面から離し、ブラシ17だけが
定盤面に当たるようにして、液体供給管18から液体を
供給しながら、今度は逆に内周側から外周側へ切粉除去
作業をする。液体供給管18から供給する液体は、切粉
除去用であるが、そのために定盤面を形成するにあたっ
て、切削性や研削性に悪影響を与えないものでなければ
ならない。使用する液体は、主に水、油性切削剤、水溶
性切削剤である。また、工具7、ブラシ17、液体供給
管18の位置関係は、定盤面の加工形状によって変わ
る。加工形状は、直線、曲線、スパイラル、同心円等あ
るが、定盤面に工具7を当てた時に液体供給管18が定
盤に当たらないようにしなければならない。なお、上記
の水平方向の送り装置5、垂直方向の送り装置6の送り
手段としては、サーボモータとボールネジによるもの、
或いはサーボモータとラック、ピニオンによるもの等、
従来公知の送り装置であれば、種々利用できることはい
うまでもない。また、定盤面形成装置4はラッピングマ
シンに固定であっても着脱自在に設けられていても良
い。固定の場合には、モータ、エアシリンダ等の常套手
段によって上下定盤間の加工位置と平面研磨装置外周の
待機位置との間を回動自在にすることができる。本実施
例ではラップ定盤面をツルーイングによって形成する技
術について述べたが、工具7をペレット等に替えて、本
技術を砥石面のドレッシングや、ポリシングパット面の
ドレッシングにも応用できることはいうまでもない。ま
た、両面研磨装置についてだけでなく、片面研磨装置に
ついても応用できる。
説明する。図1は両面平面研磨装置に定盤面形成装置を
設けたものである。通常、両面平面研磨装置は、サンギ
ヤとインターナルギヤに噛み合ったキャリヤに保持され
たワークを回転する上下定盤で圧接して加工するもので
ある。ここで1は上定盤、2は下定盤、3はドライバー
である。上定盤1はドライバー3によって駆動される。
4は定盤面形成装置で、水平方向の送り装置5と垂直方
向の送り装置6とから成っており、水平方向の送り装置
5は、工具7、7(例えば刃物)を上下に備えた工具支
持部材8が直線ガイド9aにガイドされて、ボールネジ
10aの回転により、定盤の内外周の間を矢印Aの方向
に水平移動する。垂直方向の送り装置6も同様の構成
で、水平方向の送り装置5を載せた機台12が直線ガイ
ド9bにガイドされて、ボールネジ10bの回転により
垂直方向に移動するようになっている。11a、11b
はそれぞれ水平方向の送り用サーボモータ、垂直方向の
送り用サーボモータで、制御装置13でコンピュータコ
ントロールすることにより、定盤面を任意の形状にする
ことができる。このように構成された定盤面形成装置4
により定盤面を例えば直線的に形成する場合、まず、上
定盤1を加工するとすれば、上定盤1をドライバー3に
係合する範囲で所定の高さまで上昇させ、工具7の刃先
を定盤面に合わせたところで0調整する。次に、制御装
置13に加工形状を入力してから、定盤を回転させ、加
工を始める(図2)。定盤面形成装置による加工は定盤
の外周側からでも、内周側からでも良いが、上定盤1を
ドライバー3により回転駆動させながら図1の矢印A方
向に移動させる。加工が終わると、工具7はスタート位
置に戻るようにする。下定盤2の加工においても同様で
あるので説明を省略する。なお、上定盤1は調芯軸受1
4を使っているので、加工中は固定しておく必要があ
る。そこで、図1に示す通り、上定盤1が上昇した時、
ブロック15がストッパ16に当接し、上定盤1の調芯
が機能しなくなり、上定盤1が固定される。加工終了後
上定盤1を下降させれば再び調芯が機能する。なお、図
1ではわかりやすくするために上下定盤間を開いた状態
にしたが、加工中は図2に示す状態となる。次に定盤面
の形成装置には工具7の他に切粉除去装置としてブラシ
17と液体供給管18が備えてある。図2、図3を参照
して加工中のブラシ17と液体供給管18の働きについ
て説明する。上定盤1をドライバー3に係合させて回転
させ、スタートボタン等により定盤面の加工を始める
と、先ず、液体供給管18から定盤面に向けて液体が供
給される。次に工具7が定盤面に押し当てられる。工具
7、ブラシ17、液体供給管18の位置関係は、定盤面
の形成装置の側面から見れば、図2に示す通り、液体供
給管18は工具7に対して、定盤回転中心側である。ブ
ラシ17は工具7に対して、定盤回転の後側である。ま
た、定盤面の形成装置を正面から見ると図3に示す通
り、定盤の回転方向に向かって、液体供給管18、工具
7、ブラシ17の順になっている。液体供給管18が工
具7に対して定盤の中心側にあるのは、定盤回転の遠心
力によって液体が定盤外周側へ運ばれるからである。ま
た、工具7、ブラシ17、液体供給管18の高さ関係
は、ブラシ17、工具7、液体供給管18の順であり、
ブラシ17の毛先が定盤面に最も近くなっている。ブラ
シ17の毛先が工具7よりも定盤面に近くなっているの
は、工具7による加工だけでなく、ブラシ17と液体供
給管18から供給される液体による切粉除去だけができ
るようにするためである。定盤面の形成装置が図1の矢
印A方向に進み、例えば外周側から内周側への加工が終
了すると、工具7を定盤面から離し、ブラシ17だけが
定盤面に当たるようにして、液体供給管18から液体を
供給しながら、今度は逆に内周側から外周側へ切粉除去
作業をする。液体供給管18から供給する液体は、切粉
除去用であるが、そのために定盤面を形成するにあたっ
て、切削性や研削性に悪影響を与えないものでなければ
ならない。使用する液体は、主に水、油性切削剤、水溶
性切削剤である。また、工具7、ブラシ17、液体供給
管18の位置関係は、定盤面の加工形状によって変わ
る。加工形状は、直線、曲線、スパイラル、同心円等あ
るが、定盤面に工具7を当てた時に液体供給管18が定
盤に当たらないようにしなければならない。なお、上記
の水平方向の送り装置5、垂直方向の送り装置6の送り
手段としては、サーボモータとボールネジによるもの、
或いはサーボモータとラック、ピニオンによるもの等、
従来公知の送り装置であれば、種々利用できることはい
うまでもない。また、定盤面形成装置4はラッピングマ
シンに固定であっても着脱自在に設けられていても良
い。固定の場合には、モータ、エアシリンダ等の常套手
段によって上下定盤間の加工位置と平面研磨装置外周の
待機位置との間を回動自在にすることができる。本実施
例ではラップ定盤面をツルーイングによって形成する技
術について述べたが、工具7をペレット等に替えて、本
技術を砥石面のドレッシングや、ポリシングパット面の
ドレッシングにも応用できることはいうまでもない。ま
た、両面研磨装置についてだけでなく、片面研磨装置に
ついても応用できる。
【0007】
【発明の効果】本発明は、以上の構成を採用した結果、
次の効果を得ることができる。 (1)工具により面を加工、形成した定盤面に液体を供
給しながら、切粉や異物をブラシで除去するようにした
ので、加工後の定盤に切粉や異物が残らず、定盤を工具
として使用した時、ワークを傷つけることがなく、ま
た、研磨加工精度にも悪影響がない。
次の効果を得ることができる。 (1)工具により面を加工、形成した定盤面に液体を供
給しながら、切粉や異物をブラシで除去するようにした
ので、加工後の定盤に切粉や異物が残らず、定盤を工具
として使用した時、ワークを傷つけることがなく、ま
た、研磨加工精度にも悪影響がない。
【図1】本発明の1実施例に関する定盤面の形成装置を
示す概略正面図である。
示す概略正面図である。
【図2】本発明の1実施例に関する定盤面の形成装置の
要部概略正面図である。
要部概略正面図である。
【図3】本発明の1実施例に関する定盤面の形成装置の
要部側面図である。
要部側面図である。
1‥‥上定盤 2‥‥下定
盤 3‥‥ドライバー 4‥‥定盤
面形成装置 5‥‥水平方向の送り装置 6‥‥垂直
方向の送り装置 7‥‥工具 8‥‥工具
支持部材 9a‥‥直線ガイド 9b‥‥直
線ガイド 10a・・・・ボールネジ 10b・・・・
ボールネジ 11a‥‥水平方向の送り用サーボモータ 11b・・・・垂直方向の送り用サーボモータ 12・・・・機台 13・・・・制
御装置 14・・・・調芯軸受 15・・・・ブ
ロック 16・・・・ストッパ 17‥‥ブ
ラシ 18‥‥液体供給管
盤 3‥‥ドライバー 4‥‥定盤
面形成装置 5‥‥水平方向の送り装置 6‥‥垂直
方向の送り装置 7‥‥工具 8‥‥工具
支持部材 9a‥‥直線ガイド 9b‥‥直
線ガイド 10a・・・・ボールネジ 10b・・・・
ボールネジ 11a‥‥水平方向の送り用サーボモータ 11b・・・・垂直方向の送り用サーボモータ 12・・・・機台 13・・・・制
御装置 14・・・・調芯軸受 15・・・・ブ
ロック 16・・・・ストッパ 17‥‥ブ
ラシ 18‥‥液体供給管
Claims (3)
- 【請求項1】 平面研磨装置における定盤面の形成装置
が切粉除去手段を備えていることを特徴とする定盤面の
形成装置。 - 【請求項2】 切粉除去手段が液体供給管とブラシとか
らなっていることを特徴とする請求項1記載の定盤面の
形成装置。 - 【請求項3】 工具と液体供給管とブラシとを一体的に
構成したことを特徴とする平面研磨装置における請求1
記載の定盤面の形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18694493A JPH079326A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 定盤面の形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18694493A JPH079326A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 定盤面の形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH079326A true JPH079326A (ja) | 1995-01-13 |
Family
ID=16197459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18694493A Pending JPH079326A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 定盤面の形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079326A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10296616A (ja) * | 1997-04-08 | 1998-11-10 | Lsi Logic Corp | 化学・機械研磨用研磨パッドの前調整 |
| US9707039B2 (en) | 2011-08-05 | 2017-07-18 | DePuy Synthes Products, Inc. | Packaging for medical devices |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5621772A (en) * | 1979-07-27 | 1981-02-28 | Hitachi Ltd | Cutter |
| JPS59161263A (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-12 | Hitachi Ltd | ラツプ盤 |
| JPH01149261U (ja) * | 1988-04-04 | 1989-10-16 | ||
| JPH01271173A (ja) * | 1988-04-21 | 1989-10-30 | Makino Furaisu Seiki Kk | Nc工具研削盤の砥石整形方法と装置 |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP18694493A patent/JPH079326A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5621772A (en) * | 1979-07-27 | 1981-02-28 | Hitachi Ltd | Cutter |
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Cited By (4)
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| US9707039B2 (en) | 2011-08-05 | 2017-07-18 | DePuy Synthes Products, Inc. | Packaging for medical devices |
| US10016247B2 (en) | 2011-08-05 | 2018-07-10 | DePuy Synthes Products, Inc. | Packaging for medical devices |
| US10231796B2 (en) | 2011-08-05 | 2019-03-19 | DePuy Synthes Products, Inc. | Packaging for medical devices |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020402 |