JPH079334Y2 - 電子線装置用表示装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は走査電子顕微鏡等の電子線装置に関し、特に試
料に応じて加速電圧を切り換えるようにした電子線装置
に関する。

［従来の技術］ 走査電子顕微鏡等の電子線装置においては、１次電子線
の加速電圧を適切な値に設定して試料観察するにはオペ
レーターにかなりの経験と知識が要求される。一方、こ
のような電子線装置は、現在では生物，医学等の研究用
だけでなく半導体工業等の分野で品質管理用としても使
用されるようになってきている。特に、走査電子顕微鏡
においてこの傾向が著しく、オペレーターは観察試料を
変える都度、経験によって加速電圧を選択して観察して
いる。

［考案が解決しようとする課題］ ところで、このような装置において、加速電圧によって
最小ビーム径は決定されてしまうため、加速電圧が適当
であっても目的とする試料像が所望の倍率で観察できな
いという問題があった。すなわち、ある試料を最適な加
速電圧で観察するために加速電圧を下げると、最小ビー
ム径が大きくなり、最高観察倍率が低くなってその試料
を所望とする倍率で観察できなくなる。このような場
合、オペレーターは、目的とする試料像が最適な状態か
ら少し外れるが、加速電圧を徐々に高くしてゆき所望と
する倍率の試料像を得ている。しかし、このように、所
望とする倍率での試験像が得られるまで加速電圧を試行
錯誤で調整する操作は非常に厄介である。

本考案は、以上の点に鑑みてなされたもので、加速電圧
を指示することにより、この加速電圧のもとでの最高観
察倍率を表示することのできる電子線装置を提供するこ
とを目的としている。

［課題を解決するための手段］ そのため、本考案の電子線装置は、細く絞られた電子線
を発生するための手段と、該電子線の加速電圧を指示す
る手段と、該加速電圧指示手段よりの指示信号に基づい
て加速電圧を切り換えるための手段と、前記細く絞られ
た電子線を試料上において走査することにより試料より
得られる情報信号に基づいて試料像を表示する手段とを
備える電子線装置において、加速電圧とその加速電圧の
もとでの最高観察倍率との関係を表わす情報を記憶する
ための記憶手段と、前記加速電圧指示手段よりの加速電
圧指示信号に基づいて前記記憶手段より信号を読みだし
設定された加速電圧のもとでの前記最高観察倍率を表示
するための手段とを備えている。

［実施例］ 以下、本考案の実施例を図面に基づき説明する。

第１図は本考案の一実施例を示す構成図である。第１図
において、１は物質名、加速電圧、最高観察倍率を表示
するCRTの如き表示装置であり、２は表示装置１に表示
信号を供給する表示信号発生回路である。３は表示信号
発生回路２に接続されたマイクロコンピュータ等の演算
制御装置である。４は演算制御装置３に接続されたメモ
リーで、メモリー４には複数に分割された加速電圧の各
範囲に対応してその加速電圧範囲での分析又は又は観察
に適した物質名及びその加速電圧範囲における最高観察
倍率を表わす情報がテーブルとして記憶されている。こ
こで、最高観察倍率を記憶しているのは、各加速電圧に
よって最小ビーム径は決定されてしまうため、物質名等
と共に表示装置上に最高観察倍率を表示するためであ
る。５は走査電子顕微鏡（図示せず）等の操作パネル上
に配置された加速電圧可変スイッチで、可変スイッチ５
を操作することにより１次電子線を加速する加速電圧が
変えられると共に、この可変スイッチ５により設定した
加速電圧を表わす信号が演算制御装置３に送られる。

このような構成において、加速電圧可変スイッチ５を操
作して加速電圧を例えば20Kvに設定すると、スイッチ５
よりの信号は図示外の高圧電源に送られ、１次電子線の
加速電圧がこの設定した電圧に変えられると共に、スイ
ッチ５よりこの加速電圧を表わす信号が演算制御装置３
に送られる。演算制御装置３は、この加速電圧値が予め
区分けした複数の加速電圧範囲のどの範囲に該当するか
を判別し、この判別に基づいて前記メモリー４の対応す
る番地の記憶内容を読み出す。次に演算制御装置３は、
このメモリー４から読み出された信号を表示信号発生回
路２に送る。表示信号発生回路２においては、演算制御
装置３よりの信号に基づいて表示装置１に前記加速電圧
に対応する物質名を表示するための表示信号を作成し、
表示装置１に送る。その結果、表示装置１の上部1aに
は、第２図に示すように加速電圧20Kvでの観察又は分析
に適した物質名、Ａ（例えばガラス）,B（例えばアルミ
ニウム）等が表示される。又、この時、設定した加速電
圧を表わす信号も演算制御装置３より表示信号発生回路
２に送られるため、表示装置１の左下部1bにはこの時の
加速電圧を表わす文字が表示される。更に又、前記物質
名を表わす情報の読み出しと共に、物質名を読みだした
番地に対応する番地から最高観察倍率を表わす情報も読
み出され、この情報も演算制御装置３を介して表示信号
発生回路２に送られる。そのため、前記表示装置１の右
下部1cには、この加速電圧における最高観察倍率、例え
ば10万倍を表わす文字が表示される。そこで、オペレー
ターは観察しようとする試料の主成分である物質名が表
示装置１に表示されている場合には、そのまま、観察又
は分析を開始する。そうでない場合には、加速電圧可変
スイッチ５を操作すると、同様の動作により他の物質名
が表示装置１に表示されるため、この中に注目する物質
名が表示されているか否かを確かめ、注目する物質名を
見つけるまで、同様の操作を繰り返す。また、注目する
物質名は見つかったものの、表示装置の右下部1cに表示
される最高観察倍率が所望とする倍率より低い場合、前
記右下部1cに所望とする倍率以上の倍率が表示されるま
で加速電圧可変スイッチ５を操作する。

上述した実施例は、本考案の一実施例に過ぎず、幾多の
他の変形が考えられる。

例えば、上記実施例においては、物質名がCRT等の表示
装置に文字で表示されるようにしたが、CRT等の表示装
置には予め対象となる全物質名を表示しておき、加速電
圧の指示に基づいて、観察に適した物質名の範囲のみ点
滅，輝度アップ，カーソル表示等で表示するようにして
も良い。

又、上述した実施例においては、CRT等の表示装置に表
示を行なうようにしたが、装置のパネルに複数の表示ラ
ンプを設けると共に、この表示灯に対応させて物質名を
記載しておき、加速電圧の指示に基づいて、対応する物
質の範囲にあるランプを点灯させるようにしても良い。

又、上記実施例では、表示装置１に表示される内容は物
質名のみであったが、物質名と共に密度，平均原子番号
等を同時に表示するようにしても良い。

［考案の効果］ 以上詳述したように、本考案によれば、加速電圧を指示
することにより、その加速電圧のもとでのその装置の最
高観察倍率が表示されるため、その最高観察倍率が所望
とする倍率よりも低い場合、オペレーターは、所望とす
る倍率での試料像が得られる加速電圧を容易に設定する
ことができ、操作性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は表示装置
による表示例を示す図である。 ［符号の説明］ １……表示装置 ２……表示信号発生回路 ３……演算制御装置 ４……メモリー ５……加速電圧可変スイッチ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】細く絞られた電子線を発生するための手段
   と、該電子線の加速電圧を指示する手段と、該加速電圧
   指示手段よりの指示信号に基づいて加速電圧を切り換え
   るための手段と、前記細く絞られた電子線を試料上にお
   いて走査することにより試料より得られる情報信号に基
   づいて試料像を表示する手段とを備える電子線装置にお
   いて、加速電圧とその加速電圧のもとでの最高観察倍率
   との関係を表わす情報を記憶するための記憶手段と、前
   記加速電圧指示手段よりの加速電圧指示信号に基づいて
   前記記憶手段より信号を読みだし設定された加速電圧の
   もとでの前記最高観察倍率を表示するための手段とを備
   える電子線装置。